CN113843716A - 一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，包括用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工，本发明将检测装置与加工装置集成为一体，工件通过激光干涉仪进行测量之后可以直接移动到喷射装置下方进行加工，实现一体化制造加工，减少多次装夹带来的误差。

Description

一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备

技术领域

本发明涉及一种加工设备，具体涉及一种对工件表面进行磨料喷射精加工的设备。

背景技术

磨料水射流抛光技术是利用由喷嘴高速喷出的混有细小磨料粒子的抛光液作用于工件表面，通过磨料的高速碰撞剪切作用达到磨削去除材料的目的，通过控制抛光液喷射时的压力、角度及喷射时间等工艺参数来修正工件表面粗糙度的抛光加工工艺。

在目前的工艺流程中，在对工件进行喷射加工前，需要先采用检测装置对工件的表面进行测量来确定加工位置，得到检测的结果后，再通过喷射装置对工件进行抛光加工，这样需要先将工件通过夹具安装在检测装置的下方，检测完成后将工件拆卸下来，再次安装在喷射装置的下方进行抛光处理，这样重复地拆装工件，不仅耗时耗力、降低工作效率，而且有可能会给测量和加工带来误差，而且目前已有的检测方式的测量精度往往不够高，无法进行高精度控制从而保证抛光质量，基本上达不到精加工要求，尤其是达不到纳米级别的加工精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，将检测功能与喷射加工功能集成为一体，实现工件的一次装夹，省去了手动将工件取下再重新安装上的步骤。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，包括：

用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工。

所述运动机构包括一长平台、在所述长平台上可沿Y轴方向平移的Y轴移动平台、可随所述Y轴移动平台共同移动的同时也可以沿X轴方向平移的X轴移动平台以及可分别驱动所述Y轴移动平台和X轴移动平台进行运动的直线电机模组。

在所述长平台上沿长度方向设有两道Y轴直线导轨，所述Y轴直线导轨的尽头两端分别安装有端部侧板，所述端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶，所述直线电机模组驱动所述Y轴移动平台沿所述Y轴直线导轨进行移动。

所述Y轴移动平台上固定有一底板，所述底板上沿X轴方向设有两道X轴直线导轨，所述X轴移动平台由所述直线电机模组驱动可沿所述X轴直线导轨上移动，所述X轴移动平台的顶部中间固定有用于夹置工件的工作台，在所述X轴直线导轨尽头的两端分别设有端部侧板，两个端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶。

还包括排水系统，其包括安装在所述Y轴移动平台上的防水槽、透明防水罩、集水槽、短水槽以及安装在所述长平台的台面上的长水槽，所述防水槽安装在所述工作台的顶面上，所述防水槽为一可积水的圆盘形状，并且形成中间高、四周低的坡面，在中间最高的位置设有用于安装玻璃镜片的镜片夹具，在四周位于较低处的边缘位置形成数个通往外部的排水口，沿所述防水槽的周边设起垂直的透明防水罩，沿所述工作台的四周形成包围的集水槽，且所述集水槽正好对着多个所述排水口的出水位置，所述集水槽的内部形成倾斜的坡面，在其中的最低一侧形成通往底部的出水口，在所述出水口一侧的下方通过支架安装有短水槽，在所述长平台上通过支架安装有长水槽，所述短水槽倾斜地安装在所述工作台的侧面，并且所述短水槽较高的一头正对所述出水口的下方，较低的另一头导流到长水槽，在所述长水槽的尽头放置储水装置。

所述测量机构包括激光干涉仪、可带动激光干涉仪绕X轴转动的X轴调整架、可带动激光干涉仪绕Y轴转动的Y轴调整架以及可带动激光干涉仪在Z轴方向上升降的升降机构，所述激光干涉仪活动连接在所述X轴调整架的中间，所述X轴调整架活动连接在Y轴调整架的中间；

所述Y轴调整架具有一呈方框形的Y轴调整架主体，所述Y轴调整架主体中与Y轴方向平行的两相对边框分别固定在两侧，与X轴方向平行的其中一边框上通过第一安装座安装有相连接的Y轴电机和减速器，与之相对的另一个边框上通过第一轴承座安装有第一支撑轴，所述减速器和第一支撑轴分别与中间的X轴调整架的两侧进行可转动地连接。

所述X轴调整架活动地连接在所述Y轴调整架的中间，所述X轴调整架具有一呈方框形、且比Y轴调整架主体方框小的X轴调整架主体，其四个边框与外侧的Y轴调整架的四个边框分别相平行，其中X轴调整架主体与X轴方向平行的两个相对边框上分别设有第二轴承座和第二安装座，所述第二轴承座与所述Y轴调整架上的第一轴承座通过所述第一支撑轴来进行转动连接，所述第二安装座与所述Y轴调整架上的减速器和Y轴电机相连；

所述X轴调整架主体在与Y轴方向平行的其中一个边框上通过第四安装座安装有X轴电机和与之连接的减速器，另一个相对的边框上安装有第三轴承座，所述X轴调整架主体的方框内活动地连接一托盘，所述托盘的一侧与所述第三轴承座通过第二支撑轴进行转动连接，所述托盘的另一侧通过第三安装座与所述减速器、X轴电机相连，所述激光干涉仪固定在托盘上，所述X轴电机通过减速器驱动所述托盘绕X轴方向转动。

所述升降机构包括底部连接在所述托盘上的多道垂直设立的升降柱、固定在所述激光干涉仪机身上的固定架、底部连接在托盘上并且与升降柱相平行的一升降螺杆、可沿升降柱和升降螺杆进行上下移动的升降安装座，所述升降安装座支撑在固定架的下方，在所述升降安装座上设有升降主动伞齿轮、升降被动伞齿轮和升降手轮，其中所述升降被动伞齿轮与升降安装座共同安装在升降螺杆上，所述升降主动伞齿轮一方面与所述升降被动伞齿轮啮合，另一方面通过手轮轴与所述升降手轮连接。

所述喷射机构主要由分立在长平台的台面两侧的两道立柱、横跨在两立柱之间的横梁、设在横梁中间的喷射模组构成，喷射模组包括固定在横梁中间的伺服电机、由伺服电机驱动可垂直上下移动的滚珠丝杆滑台以及安装在滑台底部的喷嘴。

所述Y轴调整架主体上在所述第一安装座的两侧安装有两个角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述X轴调整架主体的上方；所述X轴调整架主体上在所述第四安装座的两侧安装有角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述托盘的上方。

采用上述技术方案后，本发明与背景技术相比，具有如下优点：

1、本发明采用激光干涉仪对镜片的加工质量进行原位检测，激光干涉仪是一种高精度、高灵敏度的测量仪器，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，在高端制造领域应用十分广泛，本发明通过激光干涉仪对工件的表面粗糙度等进行测量，并根据测量结果进行精密加工，提高抛光精度，实现纳米精度制造，能够提高产品加工的可靠性和稳定性。

2、本发明将检测装置与加工装置集成为一体，工件通过激光干涉仪进行测量之后可以直接移动到喷射装置下方进行加工，省去了手动将工件取下再重新安装上的步骤，提高了生产效率，降低生产成本本设备可以实现一次装夹，完成表面精度测量、超精密抛光等多道工序，实现镜片一体化制造加工，减少多次装夹带来的同轴度误差。

3、本发明的装置能够实现X、Y、Z三坐标轴方向上的移动。平台上任何方向的轨迹均可分解为X和Y轴两个方向的运动，因此根据上位机规划出的加工路径将工件精确移动至喷嘴下方，实现往任何方向轨迹上的加工路径，能够实现各种复杂曲面的加工，并保证对加工产品无亚表面损伤。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的运动机构示意图；

图3为运动机构上Y轴移动平台和X轴移动平台的结构示意图；

图4为本发明的工作台以及排水系统的示意图；

图5为本发明的测量机构的示意图；

图6为本发明的测量机构的俯视状态示意图；

图7为本发明的测量机构的另一角度俯视状态示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例

请参阅图1所示，本发明公开了一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其包括用于装载工件的工作台1、用于对工件进行检测的测量机构2、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构3以及运动机构4，工作台1、测量机构2和喷射机构3均设置在运动机构4上并集成为一体，运动机构4可分别带动工作台1往复来回移动到测量机构2和喷射机构3的下方，本发明还包括上位机，上位机分别与测量机构2、喷射机构3、运动机构4相连。

在本发明中，把平台的长度方向设定为Y轴方向，把平台的宽度方向设定为X轴方向，见图1所示的坐标轴。

见图2和图3所示，运动机构4包括一长平台41、在长平台41上可沿Y轴方向平移的Y轴移动平台42、可随Y轴移动平台42共同移动的同时也可以沿X轴方向平移的X轴移动平台43、分别驱动Y轴移动平台42和X轴移动平台43进行运动的直线电机模组，在长平台41的底部设有用于支撑的平台支撑架44、在长平台41与平台支撑架44之间设有多个气浮隔震垫45，在长平台41上沿长度方向设有两道Y轴直线导轨46，Y轴直线导轨46尽头的两端分别安装有端部侧板47，两个端部侧板47在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶48，直线电机模组的组成部分包括铝合金型材、直线导轨、在直线导轨上进行滑动的滑块、读数头、光栅尺、传感器、锁紧钣金等，用于带动Y轴移动平台42或X轴移动平台43在各自导轨上移动，并且可以通过位置检测反馈控制，实现平移的精准定位。

在Y轴移动平台42上固定有一底板49，底板49上沿X轴方向设有两道X轴直线导轨50，X轴移动平台43由直线电机模组驱动可沿X轴直线导轨50移动，在X轴直线导轨50尽头的两端分别设有端部侧板51，两个端部侧板51在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶52。

在Y轴直线导轨上从Y轴移动平台42到两个端部侧板之间分别安装有风琴防护罩53，在X轴导轨的方向上从X轴移动平台43到两个端部侧板之间也分别安装有风琴防护罩53。

见图4，工作台1固定在X轴移动平台43的顶部，在工作台1的顶面安装有一防水槽12，防水槽12为一可积水的圆盘形状，并且形成中间高、四周低的坡面，在中间最高的位置设有用于安装玻璃镜片的镜片夹具11，在四周位于较低处的边缘位置形成数个通往外部的排水口15，沿防水槽12的周边设起垂直的透明防水罩13，沿工作台1的四周形成包围的集水槽14，且集水槽14正好可以对着多个排水口15的出水位置，集水槽14的内部形成倾斜的坡面，在其中的最低一侧形成通往底部的出水口16，在集水槽14的一侧下方通过支架安装有一短水槽17，在长平台41上通过支架安装有一长水槽18，短水槽17倾斜地安装在X轴移动平台43的侧面，并且短水槽17较高的一头正对在出水口16的下方，较低的另一头导流到长水槽18，在长水槽18的尽头可放置储水装置，比如水桶。防水槽12、透明防水罩13、集水槽14、短水槽17和长水槽18等构成了本发明的排水系统，用于排出和收集在射流抛光过程中产生的废液。

见图5至图7所示，测量机构2包括激光干涉仪21、可带动激光干涉仪21绕X轴转动的X轴调整架、可带动激光干涉仪21绕Y轴转动的Y轴调整架以及可带动激光干涉仪21在Z轴方向上升降的升降机构。

在长平台41台面的两侧分别直立有左角度调整支架22和右角度调整支架23，激光干涉仪21、X轴调整架和Y轴调整架安装在左角度调整支架22和右角度调整支架23之间，在左角度调整支架22和右角度调整支架23之间且正对激光干涉仪21的下方设有一抽拉式的托板24，托板24是用于单独将工件放置在托板24上进行检测的情况下使用，当使用激光干涉仪21在对下方移动平台上的工件进行检测时，需要将托板24拿开避免挡住发射的激光。

在两个角度调整支架之间安装有用于调整激光干涉仪21在Y轴方向的Y轴调整架，Y轴调整架具有一呈方框形的调整架主体251，调整架主体251中与Y轴方向平行的两个相对的边框分别固定在左角度调整支架22和右角度调整支架23上，与X轴方向平行的其中一个边框上通过第一安装座252安装有Y轴电机253和减速器，与之相对的另一个边框上通过第一轴承座254安装有第一支撑轴255，减速器和第一支撑轴255分别与X轴调整架的两侧进行可转动地连接。

X轴调整架活动地连接于Y轴调整架的中间，X轴调整架同样具有一呈方框形的调整架主体261，X轴调整架主体261比Y轴调整架主体251的方框小使得其可在Y轴调整架主体251的方框内自由转动不受干涉，并且四个边框与外侧的Y轴调整架的四个边框分别相平行，其中X轴调整架主体261与X轴方向平行的两个相对边框上分别设有第二轴承座262和第二安装座263，第二轴承座262与Y轴调整架上相对一侧的第一轴承座254通过第一支撑轴255来进行转动连接，第二安装座263与Y轴调整架上相对一侧的减速器和电机相连，Y轴电机253通过减速器驱动第二安装座263的转动，使得X轴调整架带动激光干涉仪21可绕Y轴方向转动。调整架主体251上在第一安装座252的两侧还安装有角度限位开关256，角度限位开关256的触头伸出在X轴调整架主体261的上方，当X轴调整架主体261不管是往逆时针还是顺时针转动超过一定的角度时，会碰到角度限位开关256的触头从而断开Y轴电机253的电路，从而使激光干涉仪21停止继续绕Y轴转动。

X轴调整架主体261在与Y轴方向平行的其中一个边框上通过第四安装座269安装有X轴电机264和减速器，另一个相对的边框上安装有第三轴承座265，在X轴调整架主体261的方框内活动地连接一托盘266，托盘266的中间形成供激光干涉仪21往下方投射出激光的中空部分，托盘266的一侧与第三轴承座265通过第二支撑轴267进行转动连接，托盘266的另一侧的第三安装座268与减速器、X轴电机264相连，激光干涉仪21固定在托盘266上，X轴电机264通过减速器驱动托盘266绕X轴方向转动，从而可带动激光干涉仪21绕X轴方向转动，X轴调整架主体261上在第四安装座269的两侧还安装有角度限位开关260，角度限位开关260的触头伸出在托盘266的上方，托盘266不管是往逆时针还是顺时针转动超过一定的角度时，会碰到角度限位开关260的触头从而断开X轴电机264的电路，从而使激光干涉仪21停止继续绕X轴转动。

见图5所示，升降机构包括底部连接在托盘266上的多道垂直设立的升降柱271、固定在激光干涉仪21机身上的固定架272、底部连接在托盘266上并且与升降柱271相平行的一升降螺杆273、可沿升降柱271和升降螺杆273进行上下移动的升降安装座274，激光干涉仪21也可随着固定架272沿着升降柱271上下，升降安装座274支撑在固定架的下方，在升降安装座274上设有升降主动伞齿轮275、升降被动伞齿轮276和升降手轮277，其中升降被动伞齿轮276与升降安装座74共同安装在升降螺杆273上，升降主动伞齿轮275一方面与升降被动伞齿轮276啮合，另一方面通过手轮轴与升降手轮277连接。对激光干涉仪21进行Z轴方向上的高度调整时，转动升降手轮277，通过升降主动伞齿轮275与升降被动伞齿轮276的啮合，使升降被动伞齿轮276在升降螺杆273上旋转，驱使升降安装座274沿升降柱271和升降螺杆273移动，与激光干涉仪21相连的固定架272被带动沿升降柱271上下移动。

见图1，喷射机构3主要由分立在长平台41的台面两侧的两道立柱31、横跨在两立柱31之间的横梁32、设在横梁32中间的喷射模组构成，喷射模组包括固定在横梁32中间的伺服电机34、由伺服电机驱动可垂直上下移动的滚珠丝杆滑台35以及安装在滑台底部的喷嘴36，喷射模组33连接外部的上位机、供料装置等，在工作台1需要水平移动时，伺服电机34把喷嘴36的位置往上升防止阻碍工作台1的运动，等工作台1移动到确定位置上后，伺服电机再驱动喷嘴36往下降，喷嘴36喷射出混合磨料的水柱对工作台1上的工件进行加工。

本发明的工作过程如下：本发明的运动机构4可将工作台1移动至测量机构2的下方，通过激光干涉仪对工件的表面粗糙度等进行测量，将形成的图像信息发送至上位机，上位机通过计算得到待加工的位置等信息并规划出加工路径，运动机构4将工作台1移动至喷射机构3的下方，在X轴和Y轴方向上精确移动到喷嘴的下方位置，并且上位机根据计算得到的加工路径控制喷射机构3对工件进行抛光处理，加工完成后，运动机构4可再将工作台1往回移动至测量机构2的下方重新对工件表面进行测量，通过测量得到的图像信息判断抛光的质量是否合格，如果不合格，通过运动机构4将工作台1移动至喷射机构3再进行抛光处理重复以上步骤直至合格；若合格，则加工完成。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：包括

用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工。

2.如权利要求1所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述运动机构包括一长平台、在所述长平台上可沿Y轴方向平移的Y轴移动平台、可随所述Y轴移动平台共同移动的同时也可以沿X轴方向平移的X轴移动平台以及可分别驱动所述Y轴移动平台和X轴移动平台进行运动的直线电机模组。

3.如权利要求2所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：在所述长平台上沿长度方向设有两道Y轴直线导轨，所述Y轴直线导轨的尽头两端分别安装有端部侧板，所述端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶，所述直线电机模组驱动所述Y轴移动平台沿所述Y轴直线导轨进行移动。

4.如权利要求3所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述Y轴移动平台上固定有一底板，所述底板上沿X轴方向设有两道X轴直线导轨，所述X轴移动平台由所述直线电机模组驱动可沿所述X轴直线导轨上移动，所述X轴移动平台的顶部中间固定有用于夹置工件的工作台，在所述X轴直线导轨尽头的两端分别设有端部侧板，两个端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶。

5.如权利要求4所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：还包括排水系统，其包括安装在所述Y轴移动平台上的防水槽、透明防水罩、集水槽、短水槽以及安装在所述长平台的台面上的长水槽，所述防水槽安装在所述工作台的顶面上，所述防水槽为一可积水的圆盘形状，并且形成中间高、四周低的坡面，在中间最高的位置设有用于安装玻璃镜片的镜片夹具，在四周位于较低处的边缘位置形成数个通往外部的排水口，沿所述防水槽的周边设起垂直的透明防水罩，沿所述工作台的四周形成包围的集水槽，且所述集水槽正好对着多个所述排水口的出水位置，所述集水槽的内部形成倾斜的坡面，在其中的最低一侧形成通往底部的出水口，在所述出水口一侧的下方通过支架安装有短水槽，在所述长平台上通过支架安装有长水槽，所述短水槽倾斜地安装在所述工作台的侧面，并且所述短水槽较高的一头正对所述出水口的下方，较低的另一头导流到长水槽，在所述长水槽的尽头放置储水装置。

6.如权利要求5所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述测量机构包括激光干涉仪、可带动激光干涉仪绕X轴转动的X轴调整架、可带动激光干涉仪绕Y轴转动的Y轴调整架以及可带动激光干涉仪在Z轴方向上升降的升降机构，所述激光干涉仪活动连接在所述X轴调整架的中间，所述X轴调整架活动连接在Y轴调整架的中间；

所述Y轴调整架具有一呈方框形的Y轴调整架主体，所述Y轴调整架主体中与Y轴方向平行的两相对边框分别固定在两侧，与X轴方向平行的其中一边框上通过第一安装座安装有相连接的Y轴电机和减速器，与之相对的另一个边框上通过第一轴承座安装有第一支撑轴，所述减速器和第一支撑轴分别与中间的X轴调整架的两侧进行可转动地连接。

7.如权利要求6所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述X轴调整架活动地连接在所述Y轴调整架的中间，所述X轴调整架具有一呈方框形、且比Y轴调整架主体方框小的X轴调整架主体，其四个边框与外侧的Y轴调整架的四个边框分别相平行，其中X轴调整架主体与X轴方向平行的两个相对边框上分别设有第二轴承座和第二安装座，所述第二轴承座与所述Y轴调整架上的第一轴承座通过所述第一支撑轴来进行转动连接，所述第二安装座与所述Y轴调整架上的减速器和Y轴电机相连；

所述X轴调整架主体在与Y轴方向平行的其中一个边框上通过第四安装座安装有X轴电机和与之连接的减速器，另一个相对的边框上安装有第三轴承座，所述X轴调整架主体的方框内活动地连接一托盘，所述托盘的一侧与所述第三轴承座通过第二支撑轴进行转动连接，所述托盘的另一侧通过第三安装座与所述减速器、X轴电机相连，所述激光干涉仪固定在托盘上，所述X轴电机通过减速器驱动所述托盘绕X轴方向转动。

8.如权利要求7所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述升降机构包括底部连接在所述托盘上的多道垂直设立的升降柱、固定在所述激光干涉仪机身上的固定架、底部连接在托盘上并且与升降柱相平行的一升降螺杆、可沿升降柱和升降螺杆进行上下移动的升降安装座，所述升降安装座支撑在固定架的下方，在所述升降安装座上设有升降主动伞齿轮、升降被动伞齿轮和升降手轮，其中所述升降被动伞齿轮与升降安装座共同安装在升降螺杆上，所述升降主动伞齿轮一方面与所述升降被动伞齿轮啮合，另一方面通过手轮轴与所述升降手轮连接。

9.如权利要求8所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述喷射机构主要由分立在长平台的台面两侧的两道立柱、横跨在两立柱之间的横梁、设在横梁中间的喷射模组构成，喷射模组包括固定在横梁中间的伺服电机、由伺服电机驱动可垂直上下移动的滚珠丝杆滑台以及安装在滑台底部的喷嘴。

10.如权利要求7所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述Y轴调整架主体上在所述第一安装座的两侧安装有两个角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述X轴调整架主体的上方；所述X轴调整架主体上在所述第四安装座的两侧安装有角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述托盘的上方。

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