CN113828876A - 超声辅助旋转管电解加工装置、机床及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种超声辅助旋转管电解加工装置、机床及方法，其中的电解加工装置包括主轴、旋转驱动机构、喷液管体、超声组件、工具电极、行星轮系组件以及电解液供给模块；行星轮系组件的太阳轮与主轴固定连接，行星轮系组件的齿圈与喷液管体固定连接；所述超声组件与所述主轴端部固定连接；所述主轴内部设有中空设置的第一进液通道，所述超声组件内部设有中空设置的第二进液通道；所述喷液管体的下端部设有电解液出口，工具电极设置在电解液出口处，所述工具电极与所述电解液出口之间形成环形的电解液喷口，所述工具电极与电源负极连接。本发明有效提高电解加工过程中的稳定性，电解液流动性好，电场均匀，有利于提高工件的加工精度。

Description

超声辅助旋转管电解加工装置、机床及方法

技术领域

本发明涉及一种电化学加工设备，具体涉及一种超声辅助旋转管电解加工装置、机床及方法。

背景技术

随着现代化工业技术的发展转变，人们越来越需要高性能、精密化的微元器件，深微孔、微槽是微元器件中最普遍的微结构；随着对深微孔、微槽精度和质量要求的不断提高，作为其最常用加工方式的电解加工存在一定的瓶颈。诸如电解金属钝化现象严重，电解产物排出不畅，电解效率低，精度差，产品质量和加工要求相差较大等，故如何提高深微孔、微槽的加工精度和效率是迫切需要研究的问题。而提高加工精度和效率首要应该去除金属表面钝化膜，加快电解液更新流动以及减小工件杂散腐蚀。

电极电解孔加工(Electrochemical drilling，ECD)是一种使用金属管作为阴极对工件阳极进行电化学蚀除的孔加工工艺。照比传统工具电极，电极电解能有效提高产品加工质量和加工效率，但管电解加工尚存在一些问题限制了它的发展与应用，加工过程稳定性较差就是其中之一，而在加工过程中的稳定性差往往恶化为短路、火花放电等现象。

电极电解加工的稳定性受到多种因素的影响，例如，加工间隙内的流场分布不均匀、出现空穴状态等。其中空穴现象的产生是因为电解液流动不畅导致电解液扩张，进而引起加工区的电解液无法很好的流动，造成电解液的流动死穴。在加工区，发生空穴现象的位置电导率为0，这个近似为0的电导率会重新分布加工区的电场；阳极工件表面由于电场分布不均匀，最终使阳极氧化的速度不一致，若阴极工具头继续进给将发生短路现象。

现有技术中为了解决电极电解加工时的稳定性差的问题，出现采用超声辅助结合电解技术的加工方式，但是，仍然无法很好地解决电解液流动以及电场不均匀的问题，加工时的稳定性仍需提高，否则不能满足精细工件或超精密加工的需求。

发明内容

本发明目的在于克服现有技术的不足，提供一种超声辅助旋转管电解加工装置，该装置有效提高电解加工过程中的稳定性，电解液流动性好，电场均匀，有利于提高阳极工件的加工精度。

本发明的第二目的在于提供一种电解加工机床。

本发明的第三目的在于提供一种电解加工方法。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，包括主轴、驱动主轴旋转的旋转驱动机构、喷液管体、超声组件、工具电极、行星轮系组件以及电解液供给模块；其中，所述行星轮系组件设置在所述主轴与所述喷液管体之间，所述行星轮系组件的太阳轮与所述主轴固定连接，所述行星轮系组件的齿圈与所述喷液管体固定连接；所述超声组件设置在所述喷液管体内腔中，所述超声组件与所述主轴端部固定连接，所述主轴、喷液管体以及超声组件同轴设置；所述主轴内部设有中空设置的第一进液通道，所述超声组件内部设有中空设置的第二进液通道，所述第一进液通道与所述第二进液通道连通设置，所述第一进液通道与所述电解液供给模块连接；所述喷液管体的下端部设有电解液出口，所述工具电极设置在所述电解液出口处，所述工具电极的一端与超声组件的振动输出端连接，所述工具电极的另一端向下延伸设置，所述工具电极与所述电解液出口之间形成环形的电解液喷口，所述电解液喷口与所述第二进液通道连通，所述工具电极与电源负极连接。

上述超声辅助旋转管电解加工装置的工作原理是：

待电解加工的工件装夹在机床的装夹平台上，并与电源阳极连接；本发明的电解加工装置与机床的升降机构连接，通过升降机构驱动装置升降，以实现加工进给。工作时，电解液供给模块提供电解液，将电解液供给至主轴的第一进液通道中，并依次经过第二进液通道以及电解液喷口后喷向工件；与此同时，喷液管体的电解液出口处的工具电极靠近工件的加工位置，电解液环形喷向工具电极与工件加工位置之间的间隙，通过阳极腐蚀作用，实现电解腐蚀加工。在加工过程中，工具电极与超声组件的振动输出端连接，超声组件的超声波振动作用在工具电极上，使得工具电极与工件之间的间隙中的电解液不停地振动，利用超声振动提高电解液的分布均匀度，避免出现空穴现象或电解液流动不畅问题。更进一步地，旋转驱动机构驱动主轴正方向旋转，并带动与之固定连接的超声组件正方向旋转，从而带动所述工具电极正方向旋转；同时，在行星轮系的作用下，太阳轮正方向旋转，齿圈反方向旋转，并带动喷液管体反方向旋转；最终，形成工具电极正方向旋转，而喷液管体反方向旋转的状态，这样使得从电解液喷口喷出的电解液在喷出时受到正反方向(内外方向)的受力差，从而形成无数个小水涡流(水涡流是指流体力学中的涡流。在本发明中流体指的是电解液，当电解液的旋转角速度不为零，电解液就会因为力矩的存在而产生离心力，也称为有旋运动，重要的是当液体分子或液体团在运动过程中绕其自身轴线旋转时，一般产生一个水涡流就会有其他相应的水涡流存在。)，而这些小水涡流就会破坏加工时的空穴现象和杂散腐蚀现象，使得电解液的喷出更加均衡稳定，并且形成电场更加均匀，从而提高电解加工质量。

本发明的一个优选方案，所述旋转驱动机构为中空出水式驱动机构，该中空出水式驱动机构与所述主轴同轴设置，且中空出水式驱动机构的中空通道与所述主轴的第一进液通道连通，所述电解液供给模块与所述中空出水式驱动机构的中空通道连通。

本发明的一个优选方案，还包括轴外壳，所述主轴设置在所述轴外壳内；所述轴外壳与机床的升降机构连接。

本发明的一个优选方案，所述喷液管体的顶部设有连接通孔，所述主轴的下端穿过所述连接通孔后延伸至喷液管体内部；所述行星轮系组件设置在所述喷液管体的内腔中，所述齿圈的外壁与所述喷液管体的内壁固定连接。

本发明的一个优选方案，所述超声组件包括换能器和变幅杆，所述第二进液通道贯穿所述换能器和变幅杆，所述换能器的顶部与主轴固定连接，所述变幅杆的底部与所述工具电极固定连接。

优选地，所述变幅杆的下端设有多个出液过孔，所述多个出液过孔设置在变幅杆的外圆面上，且等间距设置；所述出液过孔与喷液管体的内腔连通。

电解加工机床，包括用于装夹工件的装夹台、驱动装夹台纵横移动的水平驱动机构以及升降机构，其特征在于，还包括所述超声辅助旋转管电解加工装置；所述升降机构与所述超声辅助旋转管电解加工装置连接。

优选地，所述装夹台包括座体以及设置在座体上的夹紧机构，所述夹紧机构包括两个相对设置的夹紧块以及驱动所述夹紧块相互靠近或远离移动的夹紧驱动机构。

优选地，所述装夹台还包括竖向夹紧机构，该竖向夹紧机构包括多个竖向压板以及驱动所述多个竖向压板升降的竖向驱动机构。

电解加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将待加工的工件装夹在装夹台上，对工具电极与工件进行对刀定位；将工具电极与电源负极连接，待加工的工件与电源负极连接；

(2)接通电源，超声组件启动工作，旋转驱动机构驱动主轴正方向旋转，电解液供给模块向主轴上的第一进液通道泵入电解液；此时，主轴带动超声组件以及工具电极正方向旋转，在行星轮系组件的作用下，喷液管体反方向旋转；电解液依次经过第一进液通道、超声组件的第二进液通道以及喷液管体的电解液喷口后，在工具电极和喷液管体的正反方向旋转作用下形成无数个小水涡流，并喷向工件；

(3)升降机构带动工具头往复升降进给或逐渐向下进给，实现对工件的电解加工。

本发明与现有技术相比具有以下有益效果：

1、本发明将超声微振动加工技术与电解加工技术相结合，利用超声组件对工具电极的振动，有效地增加了电解液喷出时的振幅，从而提高电解液的流动性和均匀度。

2、本发明利用行星轮系，使得工具电极和喷液管体的旋转方向相反，而电解液则从两者之间喷出，使得电解液喷出时形成无数个小水涡流，有效解决电解液流动以及形成电场不均匀的问题，且稳定性好，从而解决空穴现象。

3、本发明的主轴、超声组件、工具电极以及喷液管体同轴设置，加工时的稳定性明显提高，结合小水涡流以及超声微振动的作用，有利于满足精细工件或超精密加工的需求，

附图说明

图1-图2为本发明的电解加工机床的结构示意图，其中，图1为主视图，图2为立体图。

图3-图7为本发明的超声辅助旋转管电解加工装置的结构示意图，其中美图3为立体图，图4为剖视图，图5为轴承组件设置在变幅杆底部上方时的剖视图，图6为变幅杆底部设置出液过孔时的剖视图，图7为换能器、变幅杆以及行星轮系组件的立体图。

图8为装夹台、升降机构和水平驱动机构的立体图。

图9为装夹台的立体图。

图10为本发明的电解加工机床与电解液循环系统的示意图，其中虚线框内容表示电解加工机床。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步描述，但本发明的实施方式不仅限于此。

参见图1-图7，本实施例公开一种超声辅助旋转管电解加工装置，包括主轴13、驱动主轴13旋转的旋转驱动机构1、喷液管体4、超声组件、工具电极12、行星轮系组件20以及电解液供给模块；其中，所述行星轮系组件20设置在所述主轴13与所述喷液管体4之间，所述行星轮系组件20的太阳轮23与所述主轴13固定连接，所述行星轮系组件20的齿圈24与所述喷液管体4固定连接；所述超声组件设置在所述喷液管体4内腔中，所述超声组件与所述主轴13端部固定连接，所述主轴13、喷液管体4以及超声组件同轴设置；所述主轴13内部设有中空设置的第一进液通道15，所述超声组件内部设有中空设置的第二进液通道16，所述第一进液通道15与所述第二进液通道16连通设置，所述第一进液通道15与所述电解液供给模块连接；所述喷液管体4的下端部设有电解液出口，所述工具电极12设置在所述电解液出口处，所述工具电极12的一端与超声组件的振动输出端连接，所述工具电极12的另一端向下延伸设置，所述工具电极12与所述电解液出口之间形成环形的电解液喷口18，所述电解液喷口18与所述第二进液通道16连通，所述工具电极12与电源负极连接。还包括轴外壳2，所述主轴13设置在所述轴外壳2内；所述轴外壳2与机床的升降机构8连接。本实施例中，所述主轴13与轴外壳2之间设有轴承14，以便主轴13的安装以及提高主轴13旋转时的稳定性。通过轴外壳2的设置，便于与机床的升降机构8连接，从而实现对整个装置的竖向方向的驱动，实现加工时的进给。

本实施例中，所述旋转驱动机构1为中空出水式驱动机构，该中空出水式驱动机构与所述主轴13同轴设置，且中空出水式驱动机构的中空通道与所述主轴13的第一进液通道15连通，所述电解液供给模块与所述中空出水式驱动机构的中空通道连通。具体地，本实施例的旋转驱动机构1为中空出水通孔型马达，具体实施方式可参见现有技术，其中的中空出水通孔型马达与主轴13的顶部连接。采用这样的旋转驱动机构1，有利于进一步提高装置的同轴度，使得驱动机构、主轴13、超声组件、工具电极12以及喷液管体4均为同轴设置，使得加工时工具电极12和喷液管体4的转动以及电解液的喷出更加稳定，有利于满足微细深小孔和微槽质量的超精密加工要求。

参见图3-图4，所述喷液管体4的顶部设有连接通孔，所述主轴13的下端穿过所述连接通孔后延伸至喷液管体4内部；所述行星轮系组件20设置在所述喷液管体4的内腔中，所述齿圈24的外壁与所述喷液管体4的内壁固定连接。这样，将行星轮系组件20设置在喷液管体4的内腔，有利于对行星轮系组件20进行保护，提高工作旋转时的稳定性。本实施例中，所述行星轮系组件20中包括三个行星轮25，三个行星轮25设置在齿圈24和太阳轮23之间，太阳轮23套设固定在主轴13外，主轴13的下部呈阶梯设置，以便与行星轮25系和超声组件的连接。

参见图3-图4，进一步地，本实施例中的喷液管体4包括上管体9和下管体10，所述连接通孔设置在上管体9的顶部，所述下管体10的底部设有向下延伸设置的出液管26，该出液管26构成所述电解液出口，本实施例中的出液管26与所述下管体10为一体式结构。另外，所述上管体9顶部与轴外壳2底部之间留有一定空间，以便主轴13露出，并且在此处装有电刷3，实现主轴13与电源负极的连接，从而实现工具电极12连接电源的负极。本实施例中，所述下管体10的外部下端设有密封圈11，用于阻挡电解液向上飞溅。

参见图4和图7，所述超声组件包括换能器22和变幅杆21，所述第二进液通道16贯穿所述换能器22和变幅杆21，所述换能器22的顶部与主轴13固定连接，所述变幅杆21的底部与所述工具电极12固定连接。所述超声组件还包括发生器，其中的发生器将交流电转化为高频超声波，再经过换能器22将高频超声波转化为简谐机械振动，通过变幅杆21对固定在变幅杆21底部的工具电极12产生超声波振动。本实施例的超声组件具体实施方式可参见现有技术。

参见图4，所述变幅杆21的下端设有多个出液过孔17，所述多个出液过孔17设置在变幅杆21的外圆面上，且等间距设置；所述出液过孔17与喷液管体4的内腔连通。通过出液过孔17的设置，实现第二进液通道16与喷液管体4内腔的连通，从而实现与所述电解液喷口18连通。另外，将出液过孔17设置在变幅杆21的外圆面上，从而在变幅杆21的底部具有足够的面积空间与工具电极12连接，提高连接稳定性和超声振动的作用。

参见图4，本实施例中，所述变幅杆21的底部设有轴承组件19，该轴承组件19设置在所述工具电极12和变幅杆21底部之间，工具电极12与轴承组件19的内圈固定连接。在变幅杆21旋转时，带动轴承组件19的内圈转动，从而带动工具电极12正方向旋转；而电解液从出液过孔17流出至喷液管体4内腔中，并通过轴承组件19的滚珠间隙即可流向工具电极12和喷液管体4之间的环形的电解液喷口18，从而喷出。

参见图5和图6，为了让电解液更好的喷出，本实施例还公开了另一种工具电极12和变幅杆21的连接方式。其中，轴承组件19设置在变幅杆21底部上方，工具电极12上端直接与变幅杆21底部固定连接，直接通过变幅杆21带动工具电极12旋转，从而进一步提高加工时的稳定性。另外，除了在变幅杆21的外圆面上设置出液过孔17外，也可在变幅杆21的底部设置出液过孔17，从而使得电解液更好地直接从变幅杆21底部流动至电解液喷口18处，进而快速高效地喷向工件。

参见图1-图7，本实施例的超声辅助旋转管电解加工装置的工作原理是：

待电解加工的工件装夹在机床的装夹平台上，并与电源阳极连接；本发明的电解加工装置与机床的升降机构8连接，通过升降机构8驱动装置升降，以实现加工进给。工作时，电解液供给模块提供电解液，将电解液供给至主轴13的第一进液通道15中，并依次经过第二进液通道16以及电解液喷口18后喷向工件；与此同时，喷液管体4的电解液出口处的工具电极12靠近工件的加工位置，电解液环形喷向工具电极12与工件加工位置之间的间隙，通过阳极腐蚀作用，实现电解腐蚀加工。在加工过程中，工具电极12与超声组件的振动输出端连接，超声组件的超声波振动作用在工具电极12上，使得工具电极12与工件之间的间隙中的电解液不停地振动，利用超声振动提高电解液的分布均匀度，避免出现空穴现象或电解液流动不畅问题。更进一步地，旋转驱动机构1驱动主轴13正方向旋转，并带动与之固定连接的超声组件正方向旋转，从而带动所述工具电极12正方向旋转；同时，在行星轮25系的作用下，太阳轮23正方向旋转，齿圈24反方向旋转，并带动喷液管体4反方向旋转；最终，形成工具电极12正方向旋转，而喷液管体4反方向旋转的状态，这样使得从电解液喷口18喷出的电解液在喷出时受到正反方向(内外方向)的受力差，从而形成无数个小水涡流(水涡流是指流体力学中的涡流。在本发明中流体指的是电解液，当电解液的旋转角速度不为零，电解液就会因为力矩的存在而产生离心力，也称为有旋运动，重要的是当液体分子或液体团在运动过程中绕其自身轴线旋转时，一般产生一个水涡流就会有其他相应的水涡流存在。)，而这些小水涡流就会破坏加工时的空穴现象和杂散腐蚀现象，使得电解液的喷出更加均衡稳定，并且形成电场更加均匀，从而提高电解加工质量。

参见图1-图2、图8-图9，本实施例还公开一种电解加工机床，包括用于装夹工件的装夹台5、驱动装夹台5纵横移动的水平驱动机构以及升降机构8，还包括上述超声辅助旋转管电解加工装置；所述升降机构8与所述超声辅助旋转管电解加工装置连接。本实施例中，所述水平驱动机构包括纵向驱动机构7和横向驱动机构6，所述横向驱动机构6设置在所述纵向驱动机构7上，所述装夹台5设置在所述横向驱动机构6上，通过横向驱动机构6和纵向驱动机构7的驱动，实现装夹台5的纵向和横向移动。具体地，其中的升降机构8、纵向驱动机构7和横向驱动机构6均包括电机和丝杆传动机构，具体可参见现有技术，当然也可采用其他形式的直线式驱动机构。

参见图8-图9，所述装夹台5包括座体27以及设置在座体27上的夹紧机构，所述夹紧机构包括两个相对设置的夹紧块28以及驱动所述夹紧块28相互靠近或远离移动的夹紧驱动机构29。本实施例中，所述夹紧驱动机构29有两个，分别与两个夹紧块28一一对应设置，且两个夹紧驱动机构29均为气缸。

参见图8-图9，所述装夹台5还包括竖向夹紧机构，该竖向夹紧机构包括多个竖向压板30以及驱动所述多个竖向压板30升降的竖向驱动机构31。本实施例中，所述多个竖向压板30设有四个，每两个为一组分别设置在夹紧机构的两侧；当然，也可设置其他数量以及其他分布形式的竖向压板30。本实施例中的竖向驱动机构31有四个，与四个竖向压板30一一对应设置，四个竖向驱动机构31均为气缸。通过夹紧机构和竖向夹紧机构的设置，使得装夹台5上的装夹方式更加灵活多变，能够适应不同类型尺寸的工件，以提高工件的装夹稳定性，从而提高加工精度。

参见图10，本实施例中，所述电解液供给模块包括供液泵以及清液池；本实施例中还包括电解液过滤模块，与电解液供给模块构成一个电解循环系统。具体地，电解液过滤模块包括浊液池、电动隔膜泵以及过滤罐，机床上经过工件的电解液回流至浊液池中，经过电动隔膜泵以及过滤罐后，再重新汇流至清液池中，然后通过供液泵(离心泵)的作用，再次供给至中空出水通孔型马达中，实现电解液的循环利用；其中，供液泵与主轴13之间还设有压力表和流量计，以便对电解液的供给进行监控，方便反馈调节。

本实施例还公开一种电解加工方法，包括以下步骤：

(1)将待加工的工件装夹在装夹台5上，对工具电极12与工件进行对刀定位；将工具电极12与电源负极连接，待加工的工件与电源负极连接；

(2)接通电源，超声组件启动工作，旋转驱动机构1驱动主轴13正方向旋转，电解液供给模块向主轴13上的第一进液通道15泵入电解液；此时，主轴13带动超声组件以及工具电极12正方向旋转，在行星轮系组件20的作用下，喷液管体4反方向旋转；电解液依次经过第一进液通道15、超声组件的第二进液通道16以及喷液管体4的电解液喷口18后，在工具电极12和喷液管体4的正反方向旋转作用下形成无数个小水涡流，并喷向工件；

(3)升降机构8带动工具头往复升降进给或逐渐向下进给，实现对工件的电解加工。

上述为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，包括主轴、驱动主轴旋转的旋转驱动机构、喷液管体、超声组件、工具电极、行星轮系组件以及电解液供给模块；其中，所述行星轮系组件设置在所述主轴与所述喷液管体之间，所述行星轮系组件的太阳轮与所述主轴固定连接，所述行星轮系组件的齿圈与所述喷液管体固定连接；所述超声组件设置在所述喷液管体内腔中，所述超声组件与所述主轴端部固定连接，所述主轴、喷液管体以及超声组件同轴设置；所述主轴内部设有中空设置的第一进液通道，所述超声组件内部设有中空设置的第二进液通道，所述第一进液通道与所述第二进液通道连通设置，所述第一进液通道与所述电解液供给模块连接；所述喷液管体的下端部设有电解液出口，所述工具电极设置在所述电解液出口处，所述工具电极的一端与超声组件的振动输出端连接，所述工具电极的另一端向下延伸设置，所述工具电极与所述电解液出口之间形成环形的电解液喷口，所述电解液喷口与所述第二进液通道连通，所述工具电极与电源负极连接。

2.根据权利要求1所述的超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，所述旋转驱动机构为中空出水式驱动机构，该中空出水式驱动机构与所述主轴同轴设置，且中空出水式驱动机构的中空通道与所述主轴的第一进液通道连通，所述电解液供给模块与所述中空出水式驱动机构的中空通道连通。

3.根据权利要求1所述的超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，还包括轴外壳，所述主轴设置在所述轴外壳内；所述轴外壳与机床的升降机构连接。

4.根据权利要求1所述的超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，所述喷液管体的顶部设有连接通孔，所述主轴的下端穿过所述连接通孔后延伸至喷液管体内部；所述行星轮系组件设置在所述喷液管体的内腔中，所述齿圈的外壁与所述喷液管体的内壁固定连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，所述超声组件包括换能器和变幅杆，所述第二进液通道贯穿所述换能器和变幅杆，所述换能器的顶部与主轴固定连接，所述变幅杆的底部与所述工具电极固定连接。

6.根据权利要求5所述的超声辅助旋转管电解加工装置，其特征在于，所述变幅杆的下端设有多个出液过孔，所述多个出液过孔设置在变幅杆的外圆面上，且等间距设置；所述出液过孔与喷液管体的内腔连通。

7.电解加工机床，包括用于装夹工件的装夹台、驱动装夹台纵横移动的水平驱动机构以及升降机构，其特征在于，还包括权利要求1-6任一项所述的超声辅助旋转管电解加工装置；所述升降机构与所述超声辅助旋转管电解加工装置连接。

8.根据权利要求7所述的电解加工机床，其特征在于，所述装夹台包括座体以及设置在座体上的夹紧机构，所述夹紧机构包括两个相对设置的夹紧块以及驱动所述夹紧块相互靠近或远离移动的夹紧驱动机构。

9.根据权利要求7或8所述的电解加工机床，其特征在于，所述装夹台还包括竖向夹紧机构，该竖向夹紧机构包括多个竖向压板以及驱动所述多个竖向压板升降的竖向驱动机构。

10.应用权利要求7-9任一项所述的电解加工机床的电解加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将待加工的工件装夹在装夹台上，对工具电极与工件进行对刀定位；将工具电极与电源负极连接，待加工的工件与电源负极连接；

(2)接通电源，超声组件启动工作，旋转驱动机构驱动主轴正方向旋转，电解液供给模块向主轴上的第一进液通道泵入电解液；此时，主轴带动超声组件以及工具电极正方向旋转，在行星轮系组件的作用下，喷液管体反方向旋转；电解液依次经过第一进液通道、超声组件的第二进液通道以及喷液管体的电解液喷口后，在工具电极和喷液管体的正反方向旋转作用下形成无数个小水涡流，并喷向工件；

(3)升降机构带动工具头往复升降进给或逐渐向下进给，水平驱动机构配合驱动装夹台移动，实现对工件的电解加工。

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