CN113817988A - 一种pvd复合镀膜的生产工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种PVD复合镀膜的生产工艺,涉及PVD镀膜技术领域,包括待镀膜金属件清洗、金属件打磨、釉层喷涂,加热使釉层固化、选用可控制其旋转的支撑架,支撑架中设置厚度大于金属件的放置盒,将金属件分别放置在相应的放置盒内PVD复合镀膜,待零部件表面镀膜完毕后,控制支撑架翻转,使金属件翻转,并使金属件先前被支撑面朝上,再进行一次镀膜处理。本发明通过在镀膜时,在金属件其他部位镀膜完毕后,控制转轴翻转,使先前被锥形垫柱阻挡的位置暴露出来,即可对其进行镀膜,从而可以对金属件进行全部镀膜,进而极大地提高了PVD复合镀膜效果,增强了金属件的镀膜质量,提高了镀膜使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及PVD镀膜技术领域,具体涉及一种PVD复合镀膜的生产工艺。
背景技术
PVD(Physical Vapor Deposition)--物理气相沉积:指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使得母体具有更好的性能。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是最快的,它已经成为当今最先进的表面处理方式之一。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜,其具体原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
现有的PVD复合镀膜工艺中,例如刀具类镀膜,仅是对工件部分位置进行镀膜,因此可以预留出不需要镀膜的夹持位置,但针对于一些金属件,需要整体全部镀膜时,由于必须使用支撑物对金属件进行支撑,从而导致镀膜时,产生较小部分的无膜区,具有一定的局限性。
发明内容
本发明的目的是提供一种PVD复合镀膜的生产工艺,以解决现有技术中的上述不足之处。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种PVD复合镀膜的生产工艺,包括以下步骤:
步骤一、待镀膜金属件清洗,使用除锈剂对金属件进行喷涂,待锈迹消除后,使用金属清洗剂对金属件进行清洁,最后将金属件浸泡在30-50℃的水中,浸泡时长为30-50min;
步骤二、金属件打磨,取出金属件,将其烘干后放置在震动打磨机中,在振动打磨机中置入磨料,使得振动打磨机带动磨料相对轮毂运动进行打磨抛光处理;
步骤三、釉层喷涂,将金属用支点式支撑件支起,用喷枪或喷雾器将釉料雾化喷到金属基体的表面,形成釉层,期间,在金属件一侧喷涂完毕且釉料干燥后,将金属件翻转,对另一面进行喷涂,喷涂完毕后,将金属件投入烤箱中加热使釉层固化;
步骤四、金属件装架,选用可控制其旋转的支撑架,支撑架中设置厚度大于金属件的放置盒,放置盒为可开合盒体,框内采用支点式支撑,将金属件分别放置在相应的放置盒内;
步骤五、PVD复合镀膜,将放置好金属件的支撑架移入真空镀膜机的镀膜室内,使金属件其中一面竖直朝下放置,开启设备进行真空镀膜,待零部件表面镀膜完毕后,控制支撑架翻转,使金属件翻转,并使金属件先前被支撑面朝上,再进行一次镀膜处理;
步骤六、镀膜结束后,等待真空镀膜机自然冷却后,取出支撑架,并将其内部镀膜完成的金属件取出。
优选的,所述步骤二中,将金属件放置在鼓风干燥箱中,烘干温度设定在预热至80-125℃之间,烘干时间设定为5-10min。
优选的,所述步骤三中金属件外部喷涂的釉层控制在10-16μm之间。
优选的,所述步骤五中,镀膜厚度控制再0.2μm-0.6μm之间。
一种PVD复合镀膜支撑架,包括多个盛放框,锁哥所述盛放框相互连接形成一个整体,多个所述盛放框形成整体的两端固定安装有用于带动其转动的转轴,所述盛放框的顶部通过合页转动安装有网盖,所述网盖和锥形垫柱的内壁均固定安装有锥形垫柱,且所述网盖内部的锥形垫柱与盛放框内部的锥形垫柱相近端之间的距离值大于金属件的厚度值。
优选的,所述网盖和锥形垫柱均采用网状结构。
优选的,所述网盖的一侧固定安装有插片,所述盛放框靠近插片的一侧固定连接有与插片卡合的插槽,所述插片与插槽之间通过销钉销合。
在上述技术方案中,本发明提供的技术效果和优点:
本发明通过在镀膜时,将金属件放置在盛放框中,利用锥形垫柱对金属件产生支点式支撑,随后关闭网盖,利用销钉将其销合固定,以形成金属件的放置盒,随后对金属件进行镀膜处理,当金属件其他部位镀膜完毕后,控制转轴翻转,金属件由网盖中的锥形垫柱支撑,且离开盛放框中的锥形垫柱,此时,先前被锥形垫柱阻挡的位置暴露出来,即可对其进行镀膜,从而可以对金属件进行全部镀膜,进而极大地提高了PVD复合镀膜效果,增强了金属件的镀膜质量,提高了镀膜使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明用于支撑金属件镀膜的支撑架的整体结构示意图。
附图标记说明:
1、转轴;2、盛放框;3、网盖;4、锥形垫柱;5、插片;6、插槽;7、销钉。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。
本发明提供了一种PVD复合镀膜的生产工艺,包括以下步骤:
步骤一、待镀膜金属件清洗,使用除锈剂对金属件进行喷涂,待锈迹消除后,使用金属清洗剂对金属件进行清洁,最后将金属件浸泡在30-50℃的水中,浸泡时长为30-50min;
步骤二、金属件打磨,取出金属件,将其烘干后放置在震动打磨机中,在振动打磨机中置入磨料,使得振动打磨机带动磨料相对轮毂运动进行打磨抛光处理;
步骤三、釉层喷涂,将金属用支点式支撑件支起,用喷枪或喷雾器将釉料雾化喷到金属基体的表面,形成釉层,期间,在金属件一侧喷涂完毕且釉料干燥后,将金属件翻转,对另一面进行喷涂,喷涂完毕后,将金属件投入烤箱中加热使釉层固化;
步骤四、金属件装架,选用可控制其旋转的支撑架,支撑架中设置厚度大于金属件的放置盒,放置盒为可开合盒体,框内采用支点式支撑,将金属件分别放置在相应的放置盒内;
步骤五、PVD复合镀膜,将放置好金属件的支撑架移入真空镀膜机的镀膜室内,使金属件其中一面竖直朝下放置,开启设备进行真空镀膜,待零部件表面镀膜完毕后,控制支撑架翻转,使金属件翻转,并使金属件先前被支撑面朝上,再进行一次镀膜处理;
步骤六、镀膜结束后,等待真空镀膜机自然冷却后,取出支撑架,并将其内部镀膜完成的金属件取出。
进一步的,在上述技术方案中,所述步骤二中,将金属件放置在鼓风干燥箱中,烘干温度设定在预热至80-125℃之间,烘干时间设定为5-10min。
进一步的,在上述技术方案中,所述步骤三中金属件外部喷涂的釉层控制在10-16μm之间。
进一步的,在上述技术方案中,所述步骤五中,镀膜厚度控制再0.2μm-0.6μm之间。
一种PVD复合镀膜支撑架,包括多个盛放框2,锁哥所述盛放框2相互连接形成一个整体,多个所述盛放框2形成整体的两端固定安装有用于带动其转动的转轴1,所述盛放框2的顶部通过合页转动安装有网盖3,所述网盖3和锥形垫柱4的内壁均固定安装有锥形垫柱4,且所述网盖3内部的锥形垫柱4与盛放框2内部的锥形垫柱4相近端之间的距离值大于金属件的厚度值。
进一步的,在上述技术方案中,所述网盖3和锥形垫柱4均采用网状结构。
进一步的,在上述技术方案中,所述网盖3的一侧固定安装有插片5,所述盛放框2靠近插片5的一侧固定连接有与插片5卡合的插槽6,所述插片5与插槽6之间通过销钉7销合;
实施方式具体为:通过对金属件进行预处理,使其表面整洁光滑,随后喷涂釉层再加热固化,可以有效的对金属件表面进行保护,防止其氧化,而通过设置支撑架,对金属件进行支撑,在镀膜时,将网盖3打开后,将金属件放置在盛放框2中,利用锥形垫柱4对金属件产生支点式支撑,随后关闭网盖3,利用销钉7将其销合固定,以形成金属件的放置盒,随后对金属件进行镀膜处理,此时,只有锥形垫柱4的支点处无法镀膜,但当金属件其他部位镀膜完毕后,控制转轴1翻转,使盛放框2和网盖3形成的放置盒整体翻转,进而利用网盖3对金属件支撑,金属件由网盖3中的锥形垫柱4支撑,且离开盛放框2中的锥形垫柱4,此时,先前被锥形垫柱4阻挡的位置暴露出来,即可对其进行镀膜,从而可以对金属件进行全部镀膜,进而极大地提高了PVD复合镀膜效果,增强了金属件的镀膜质量,提高了镀膜使用寿命。
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本发明的精神和范围的情况下,可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。
Claims (7)
1.一种PVD复合镀膜的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、待镀膜金属件清洗,使用除锈剂对金属件进行喷涂,待锈迹消除后,使用金属清洗剂对金属件进行清洁,最后将金属件浸泡在30-50℃的水中,浸泡时长为30-50min;
步骤二、金属件打磨,取出金属件,将其烘干后放置在震动打磨机中,在振动打磨机中置入磨料,使得振动打磨机带动磨料相对轮毂运动进行打磨抛光处理;
步骤三、釉层喷涂,将金属用支点式支撑件支起,用喷枪或喷雾器将釉料雾化喷到金属基体的表面,形成釉层,期间,在金属件一侧喷涂完毕且釉料干燥后,将金属件翻转,对另一面进行喷涂,喷涂完毕后,将金属件投入烤箱中加热使釉层固化;
步骤四、金属件装架,选用可控制其旋转的支撑架,支撑架中设置厚度大于金属件的放置盒,放置盒为可开合盒体,框内采用支点式支撑,将金属件分别放置在相应的放置盒内;
步骤五、PVD复合镀膜,将放置好金属件的支撑架移入真空镀膜机的镀膜室内,使金属件其中一面竖直朝下放置,开启设备进行真空镀膜,待零部件表面镀膜完毕后,控制支撑架翻转,使金属件翻转,并使金属件先前被支撑面朝上,再进行一次镀膜处理;
步骤六、镀膜结束后,等待真空镀膜机自然冷却后,取出支撑架,并将其内部镀膜完成的金属件取出。
2.根据权利要求1所述的一种PVD复合镀膜的生产工艺,其特征在于:所述步骤二中,将金属件放置在鼓风干燥箱中,烘干温度设定在预热至80-125℃之间,烘干时间设定为5-10min。
3.根据权利要求1所述的一种PVD复合镀膜的生产工艺,其特征在于:所述步骤三中金属件外部喷涂的釉层控制在10-16μm之间。
4.根据权利要求1所述的一种PVD复合镀膜的生产工艺,其特征在于:所述步骤五中,镀膜厚度控制再0.2μm-0.6μm之间。
5.一种用于权利要求1所述PVD复合镀膜的生产工艺中的PVD复合镀膜支撑架,其特征在于:包括多个盛放框(2),锁哥所述盛放框(2)相互连接形成一个整体,多个所述盛放框(2)形成整体的两端固定安装有用于带动其转动的转轴(1),所述盛放框(2)的顶部通过合页转动安装有网盖(3),所述网盖(3)和锥形垫柱(4)的内壁均固定安装有锥形垫柱(4),且所述网盖(3)内部的锥形垫柱(4)与盛放框(2)内部的锥形垫柱(4)相近端之间的距离值大于金属件的厚度值。
6.根据权利要求5所述的一种PVD复合镀膜支撑架,其特征在于:所述网盖(3)和锥形垫柱(4)均采用网状结构。
7.根据权利要求5所述的一种PVD复合镀膜支撑架,其特征在于:所述网盖(3)的一侧固定安装有插片(5),所述盛放框(2)靠近插片(5)的一侧固定连接有与插片(5)卡合的插槽(6),所述插片(5)与插槽(6)之间通过销钉(7)销合。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
CN102392246A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-03-28 | 东莞市泉硕五金加工有限公司 | 一种金属表面处理工艺 |
CN210711727U (zh) * | 2019-09-30 | 2020-06-09 | 福建浩蓝光电有限公司 | 一种新型光学透镜加工装置 |
CN112281117A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-01-29 | 合肥春池工业设计有限公司 | 一种钕铁硼磁铁用真空镀膜设备 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102392246A (zh) * | 2011-11-30 | 2012-03-28 | 东莞市泉硕五金加工有限公司 | 一种金属表面处理工艺 |
CN210711727U (zh) * | 2019-09-30 | 2020-06-09 | 福建浩蓝光电有限公司 | 一种新型光学透镜加工装置 |
CN112281117A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-01-29 | 合肥春池工业设计有限公司 | 一种钕铁硼磁铁用真空镀膜设备 |
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