CN113809266A - 显示基板、其制作方法及显示装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供的一种显示基板、其制作方法及显示装置，可提高柔性衬底的区域性剥离精度，包括：刚性衬底；柔性衬底，位于刚性衬底的一侧；牺牲层，位于柔性衬底与刚性衬底之间，牺牲层在柔性衬底上的正投影与刚性衬底的正投影互不交叠，且牺牲层对激光的吸收效率大于柔性衬底对激光的吸收效率。

Description

显示基板、其制作方法及显示装置

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示基板、其制作方法及显示装置。

背景技术

当今显示产品形态日新月异、结构也日益丰富。在弯折、曲面显示等某些特殊形态显示时，需要实现产品的部分区域固定曲率的弯折形态。对于柔性OLED、MLED显示而言，绑定走线部分往往占据较大的空间，为实现显示的窄边框化，可选择的方案之一是将走线部分弯折到背面以实现超窄边框显示或超窄拼缝的拼接显示。以上技术实现都需要对柔性衬底进行区域化的激光剥离，再除去对应区的承载玻璃，即可形成局部可弯折的柔性衬底。

发明内容

本公开实施例提供一种显示基板、其制作方法及显示装置，用以改善现有技术中对柔性衬底进行区域性剥离的精度较差的问题。

因此，本公开实施例提供的一种显示基板，包括：

刚性衬底；

柔性衬底，位于所述刚性衬底的一侧；

牺牲层，位于所述柔性衬底与所述刚性衬底之间，所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与所述刚性衬底的正投影互不交叠，且所述牺牲层对激光的吸收效率大于所述柔性衬底对激光的吸收效率。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述柔性衬底包括平坦区，以及位于所述平坦区至少一侧的弯曲区；

所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯曲区大致重合，所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区相互交叠、且与所述弯曲区互不交叠。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，还包括：位于所述柔性衬底背离所述牺牲层一侧的显示功能层，所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区相互交叠。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述弯曲区包括在第一方向上位于所述平坦区两侧的第一弯曲区和第二弯曲区；

所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区、所述第一弯曲区、以及所述第二弯曲区大致重合。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述弯曲区包括在第二方向上位于所述平坦区一侧的第三弯曲区；

所述柔性衬底还包括位于所述第三弯曲区远离所述平坦区一侧的绑定区；

所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区、以及所述绑定区大致重合。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述柔性衬底包括依次并排设置的多个弯曲区，各所述弯曲区的曲率大致相同；

所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与中间的所述弯曲区大致重合，所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与最外侧的所述弯曲区大致重合。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，还包括：位于所述柔性衬底背离所述牺牲层一侧的显示功能层，所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述多个弯曲区大致重合。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述牺牲层的材料为柔性材料。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述柔性材料包括由咔唑、芴、芴酮、呋喃、噻吩中的至少之一修饰的聚酰亚胺。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，所述牺牲层在垂直所述柔性衬底方向上的厚度为

基于同一发明构思，本公开实施例提供了一种显示基板的制作方法，包括：

提供一刚性衬底，所述刚性衬底包括待切割区；

在所述待切割区形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成整层设置的柔性衬底，所述柔性衬底对激光的吸收效率小于所述牺牲层对激光的吸收效率；

在所述刚性衬底一侧采用激光照射所述待切割区直至所述牺牲层与所述刚性衬底脱离，之后去除所述待切割区的所述刚性衬底。

基于同一发明构思，本公开实施例还提供了一种显示装置，包括本公开实施例提供的上述显示基板。

本公开有益效果如下：

本公开实施例提供的显示基板、其制作方法及显示装置，包括：刚性衬底；柔性衬底，位于刚性衬底的一侧；牺牲层，位于柔性衬底与刚性衬底之间，牺牲层在柔性衬底上的正投影与刚性衬底的正投影互不交叠，且牺牲层对激光的吸收效率大于柔性衬底对激光的吸收效率。通过在柔性衬底与刚性衬底之间增加图案化的牺牲层，使得在激光剥离的过程中，牺牲层可以充当与柔性衬底紧密接触的“掩膜版”，以致牺牲层所在区域的柔性衬底可随牺牲层一起自刚性衬底上剥离，并且由于柔性衬底对激光的吸收效率小于牺牲层对激光的吸收效率，因此，即使激光扫描的工艺边界偏差较大，也不会使得牺牲层之外区域的柔性衬底剥离，由此可提高柔性衬底的区域性剥离精度。

附图说明

图1为相关技术中柔性衬底区域化剥离的一种结构示意图；

图2为相关技术中柔性衬底区域化剥离的又一种结构示意图；

图3为本公开实施例提供的显示基板的一种结构示意图；

图4为沿图3中I-II线的一种剖面结构示意图；

图5为图4中的弯曲区弯折前的结构示意图；

图6为沿图3中I-II线的又一种剖面结构示意图；

图7为图6中的弯曲区弯折前的结构示意图；

图8为本公开实施例提供的显示基板的又一种结构示意图；

图9为沿图8中III-IV线的剖面结构示意图；

图10为图9中的弯曲区弯折前的结构示意图；

图11为本公开实施例提供的显示基板的又一种结构示意图；

图12为本公开实施例提供的显示基板的又一种结构示意图；

图13为沿图12中V-VI线的剖面结构示意图；

图14为本公开实施例提供的显示基板的制作方法的流程图；

图15为本公开实施例提供的显示装置的一种结构示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。需要注意的是，附图中各图形的尺寸和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本公开内容。并且自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“内”、“外”、“上”、“下”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

现有的激光剥离设备精度较差，激光扫描部分的工艺边界偏差很大，往往有毫米量级，无法实现高精度的图案化剥离，在某些产品的实际应用中有很大局限。同时，激光剥离设备可实现的衬底图案化剥离形状单一，只能是矩形(如图1所示)形状的剥离，对于圆形(如图2所示)等不规则形状的剥离则无能为力，其中图1和图2中的101表示刚性衬底，102表示柔性衬底。为了实现不同形状的区域性剥离，现行方法为额外增加金属掩膜版。但额外增加的金属掩膜版不能与显示基板实现“无缝贴合”，在激光扫描过程中会增大扫描边界、精度变差。

为了解决相关技术中存在的上述技术问题，本公开实施例提供了一种显示基板，如图3和图4所示，包括：

刚性衬底101，可选地，刚性衬底101的材料可以包括玻璃(Glass)；

柔性衬底102，位于刚性衬底101的一侧，可选地，柔性衬底102的材料可以包括聚酰亚胺(PI)；

牺牲层103，位于柔性衬底102与刚性衬底101之间，牺牲层103在柔性衬底102上的正投影与刚性衬底101的正投影互不交叠，且牺牲层103对激光的吸收效率大于柔性衬底102对激光的吸收效率。

通过在柔性衬底102与刚性衬底101之间增加图案化的牺牲层103，使得在激光剥离的过程中，牺牲层103可以充当与柔性衬底102紧密接触的“掩膜版”，以致牺牲层103所在区域的柔性衬底102可随牺牲层103一起自刚性衬底101上剥离，并且由于柔性衬底102对激光的吸收效率小于牺牲层103对激光的吸收效率，因此，即使激光扫描的工艺边界偏差较大，也不会使得牺牲层103之外区域的柔性衬底102剥离，由此可提高柔性衬底102的区域性剥离精度。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，如图3至图7所示，柔性衬底102可以包括平坦区A，以及位于平坦区A至少一侧的弯曲区(例如包括B₁、B₂、B₃)；牺牲层103在柔性衬底102上的正投影可以与弯曲区大致重合，刚性衬底101在柔性衬底102上的正投影与平坦区A相互交叠、且与弯曲区互不交叠。由于刚性衬底101在弯曲区内不存在，因此易于将弯曲区朝向背面(即显示面的相对面)弯折，从而实现超窄边框或曲面显示。

需要说明的是，在本公开提供的实施例中，由于工艺条件的限制或测量等其他因素的影响，“大致重合”可能会恰好重合，也可能会有一些偏差(例如具有±2μm的偏差)，因此相关特征之间“大致重合”的关系只要满足误差允许，均属于本公开的保护范围。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，如图3至图7所示，还可以包括：位于柔性衬底102背离牺牲层103一侧的显示功能层104，显示功能层104在柔性衬底102上的正投影与平坦区A相互交叠，使得至少可以在平坦区A内可实现画面显示。

示例性地，如图3所示，弯曲区包括在第一方向X上位于平坦区A两侧的第一弯曲区B₁和第二弯曲区B₂。并且在图4和图5中，显示功能层104在柔性衬底102上的正投影与平坦区A大致重合，此时仅在平坦区A内显示画面，第一弯曲区B₁和第二弯曲区B₂的存在利于实现窄边框；在图6和图7中，显示功能层104在柔性衬底102上的正投影与平坦区A、第一弯曲区B₁、以及第二弯曲区B₂大致重合，此时可在平坦区A、第一弯曲区B₁和第二弯曲区B₂内均显示画面，使得画面延展性更好，利于提高用户体验。

需要说明的是，显示功能层104可以包括驱动电路、及与驱动电路电连接的发光器件等，该发光器件可以为OLED、QLED、MLED等。并且驱动电路及发光器件的具体结构与现有技术相同，在此不做赘述。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，如图8至图10所示，弯曲区可以包括在第二方向Y上位于平坦区A一侧的第三弯曲区B₃，柔性衬底102还包括位于第三弯曲区B₃远离平坦区A一侧的绑定区C，刚性衬底101在柔性衬底102上的正投影与平坦区A、以及绑定区C大致重合。在本公开中将第三弯曲区B₃朝向背面弯折后，绑定区C会位于显示面的相对侧，从而使得绑定区C所在边框较窄。另外，平坦区A的刚性衬底101可以实现对柔性衬底102及显示功能层104的有效支撑，绑定区C的刚性衬底101可以实现对柔性电路板等的有效支撑。

应当理解的是，在本公开实施例提供的上述显示基板中，如图11所示，弯曲区可以同时包括在第一方向X上位于平坦区A两侧的第一弯曲区B₁和第二弯曲区B₂，以及在与第一方向X交叉设置的第二方向Y上位于平坦区A一侧的第三弯曲区B₃，其中，牺牲层103、显示功能层104和刚性衬底101的设置方式可以参考以上关于图3至图10的相关内容，在此不做赘述。当然，在具体实施时，也可以在平坦区A的四周均具有弯曲区，使得平坦区A四周均可实现窄边框，利于进行超窄拼缝的拼接显示。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，在应用于具有固定曲率的曲面显示产品时，如图12和图13所示，柔性衬底102可以包括依次并排设置的多个弯曲区(例如B₄、B₅、B₆)，各弯曲区的曲率大致相同；牺牲层103在柔性衬底102上的正投影与中间的弯曲区(即最外侧之外的弯曲区)大致重合，刚性衬底101在柔性衬底102上的正投影与最外侧的弯曲区大致重合，显示功能层104在柔性衬底102上的正投影与多个弯曲区大致重合。

示例性地，图12和图13中，示出了依次紧密排列且曲率相同的第四弯曲区B₄、第五弯曲区B₅和第六弯曲区B₆，牺牲层103在柔性衬底102上的正投影与中间的第五弯曲区B₅大致重合，刚性衬底101在柔性衬底102上的正投影与最外侧的第四弯曲区B₄及第六弯曲区B₆大致重合，显示功能层104在柔性衬底102上的正投影与第四弯曲区B₄、第五弯曲区B₅和第六弯曲区B₆大致重合。

需要说明的是，在本公开提供的实施例中，由于工艺条件的限制或测量等其他因素的影响，“大致相同”可能会完全等同，也可能会有一些偏差(例如±5％的偏差)，因此相关特征之间“大致相同”的关系只要满足误差允许，均属于本公开的保护范围。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，为了便于弯折，牺牲层103的材料可以选用柔性材料。可选地，柔性材料可以包括由咔唑、芴、芴酮、呋喃、噻吩中的至少之一修饰的聚酰亚胺。当然，在具体实施时，柔性材料还可以包括其他对激光有强吸收且可耐高温(例如≥430℃)的材料，在此不做具体限定。

在一些实施例中，在本公开实施例提供的上述显示基板中，为了有效实现柔性衬底102的区域性剥离，牺牲层103在垂直柔性衬底102方向上的厚度可以为

具体地，包含由咔唑、芴、芴酮、呋喃、噻吩中的至少之一修饰的聚酰亚胺涂料的固含量越低(例如小于10％)，所制作的牺牲层103厚度越不容易做厚。例如固含量低于10％的聚酰亚胺涂料所制作的牺牲层103厚度可能为

而固含量较高(例如大于50％)的聚酰亚胺涂料所制作的牺牲层103厚度可能为

另外，本公开中柔性衬底102的涂覆厚度可以为5μm，远大于牺牲层103的厚度，因此即使设置牺牲层103的厚度取

这一最大值，仍可以保证牺牲层103对柔性衬底102的平整度无影响，利于为后续显示功能层104的制作提供一个平整表面。

基于同一发明构思，本公开实施例提供了一种显示基板的制作方法，由于该制作方法解决问题的原理与上述显示基板解决问题的原理相似，因此，本公开实施例提供的该制作方法的实施可以参见本公开实施例提供的上述显示基板的实施，重复之处不再赘述。

具体地，本公开实施例提供的一种显示基板的制作方法，如图14所示，包括：

提供一刚性衬底101，该刚性衬底101包括待切割区D；

在待切割区D形成牺牲层103；

在牺牲层103上形成整层设置的柔性衬底102，柔性衬底102对激光的吸收效率小于牺牲层103对激光的吸收效率；

在刚性衬底101一侧采用激光L(例如紫外激光)照射待切割区D直至牺牲层103与刚性衬底101脱离，之后去除待切割区D的刚性衬底101。

在一些实施例中，在牺牲层103上形成整层设置的柔性衬底102之后，且在刚性衬底101一侧采用激光照射待切割区D直至牺牲层103与刚性衬底101脱离之前，还可以执行以下步骤：在柔性衬底102上形成显示功能层104，随后翻转显示基板，使得刚性衬底101在上、显示功能层104在下，以便于后续在刚性衬底101一侧采用激光照射牺牲层103。

在一些实施例中，在激光剥离过程中选取的激光能量可以小于或等于150mj/cm²，在这种能量较低的激光的照射下，牺牲层103对其有强吸收，而柔性衬底102在此能量下几乎无反应，利于实现柔性衬底102的区域化激光剥离。

需要说明的是，在本公开实施例提供的上述制作方法中，形成各层结构涉及到的构图工艺，不仅可以包括沉积、光刻胶涂覆、掩模板掩模、曝光、显影、刻蚀、光刻胶剥离等部分或全部的工艺过程，还可以包括其他工艺过程，具体以实际制作过程中形成所需构图的图形为准，在此不做限定。例如，在显影之后和刻蚀之前还可以包括后烘工艺。

其中，沉积工艺可以为化学气相沉积法、等离子体增强化学气相沉积法或物理气相沉积法，在此不做限定；掩膜工艺中所用的掩膜板可以为半色调掩膜板(Half ToneMask)、单缝衍射掩模板(Single Slit Mask)或灰色调掩模板(Gray Tone Mask)，在此不做限定；刻蚀可以为干法刻蚀或者湿法刻蚀，在此不做限定。

基于同一发明构思，本公开实施例还提供了一种显示装置，包括本公开实施例提供的上述显示基板。在一些实施例中，如图15所示，该显示装置可以包括多个拼接在一起的显示基板001，以获得窄拼缝的大尺寸显示装置。

在一些实施例中，该显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪、智能手表、健身腕带、个人数字助理等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置包括但不限于：射频单元、网络模块、音频输出&输入单元、传感器、显示单元、用户输入单元、接口单元、存储器、处理器、以及电源等部件。另外，本领域技术人员可以理解的是，上述结构并不构成对本公开实施例提供的上述显示装置的限定，换言之，在本公开实施例提供的上述显示装置中可以包括上述更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。

显然，尽管已描述了本公开的优选实施例，但本领域的技术人员可以对本公开实施例进行各种改动和变型而不脱离本公开实施例的精神和范围。这样，倘若本公开实施例的这些修改和变型属于本公开权利要求及其等同技术的范围之内，则本公开也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (12)

1.一种显示基板，其特征在于，包括：

刚性衬底；

柔性衬底，位于所述刚性衬底的一侧；

牺牲层，位于所述柔性衬底与所述刚性衬底之间，所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与所述刚性衬底的正投影互不交叠，且所述牺牲层对激光的吸收效率大于所述柔性衬底对激光的吸收效率。

2.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述柔性衬底包括平坦区，以及位于所述平坦区至少一侧的弯曲区；

所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与所述弯曲区大致重合，所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区相互交叠、且与所述弯曲区互不交叠。

3.如权利要求2所述的显示基板，其特征在于，还包括：位于所述柔性衬底背离所述牺牲层一侧的显示功能层，所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区相互交叠。

4.如权利要求3所述的显示基板，其特征在于，所述弯曲区包括在第一方向上位于所述平坦区两侧的第一弯曲区和第二弯曲区；

所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区、所述第一弯曲区、以及所述第二弯曲区大致重合。

5.如权利要求2～4任一项所述的显示基板，其特征在于，所述弯曲区包括在第二方向上位于所述平坦区一侧的第三弯曲区；

所述柔性衬底还包括位于所述第三弯曲区远离所述平坦区一侧的绑定区；

所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与所述平坦区、以及所述绑定区大致重合。

6.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述柔性衬底包括依次并排设置的多个弯曲区，各所述弯曲区的曲率大致相同；

所述牺牲层在所述柔性衬底上的正投影与中间的所述弯曲区大致重合，所述刚性衬底在所述柔性衬底上的正投影与最外侧的所述弯曲区大致重合。

7.如权利要求6所述的显示基板，其特征在于，还包括：位于所述柔性衬底背离所述牺牲层一侧的显示功能层，所述显示功能层在所述柔性衬底上的正投影与所述多个弯曲区大致重合。

8.如权利要求1～4、6、7任一项所述的显示基板，其特征在于，所述牺牲层的材料为柔性材料。

9.如权利要求8所述的显示基板，其特征在于，所述柔性材料包括由咔唑、芴、芴酮、呋喃、噻吩中的至少之一修饰的聚酰亚胺。

10.如权利要求1～4、6、7任一项所述的显示基板，其特征在于，所述牺牲层在垂直所述柔性衬底方向上的厚度为

11.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括：

提供一刚性衬底，所述刚性衬底包括待切割区；

在所述待切割区形成牺牲层；

在所述牺牲层上形成整层设置的柔性衬底，所述柔性衬底对激光的吸收效率小于所述牺牲层对激光的吸收效率；

在所述刚性衬底一侧采用激光照射所述待切割区直至所述牺牲层与所述刚性衬底脱离，之后去除所述待切割区的所述刚性衬底。

12.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1～10任一项所述的显示基板。

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