CN113808896B - 一种阴栅组件及电子枪 - Google Patents

Abstract

本申请的实施例公开了一种阴栅组件及电子枪，所述阴栅组件包括壳体、位于所述壳体内的栅极部件和阴极部件；所述栅极部件包括栅网和散热环，所述栅网设置于所述散热环的一个开口处；所述阴极部件包括阴极和用于加热所述阴极的热子，所述阴极靠近所述栅网且与所述栅网之间具有间隙，所述阴极的发射面朝向所述栅网，其中，所述阴极和所述热子位于所述散热环的中空部。本申请通过设置与栅网固定连接以及包裹阴极和热子的散热环，增加了栅极部件的散热性能，使得阴栅组件能够实现高流强电子束的引出。

Description

一种阴栅组件及电子枪

技术领域

本申请一般涉及电子枪技术领域，具体涉及一种阴栅组件及电子枪。

背景技术

阴栅组件是电子直线加速器中电子枪的关键部件，是产生电子束流的源头设备。在工作状态下阴栅组件中的栅极需要承受较高的热功率，热功率主要来自于阴极表面的热辐射和栅极对束流的部分拦截。对于高流强的阴栅组件，为了产生足够的发射流强往往需要选择较大面积的阴极，从而导致栅极由于承受更多热辐射功率和拦截更多的束流而处于较高的温度。栅极温度过高会使得栅网高温变形导致阴栅之间的间距变小或者发生阴栅短路，并且栅极温度达到栅极焊料的熔点会导致栅极脱焊，以上问题使得阴栅组件无法正常使用甚至损坏。

现有的阴栅组件的结构使得难以实现高流强电子束流的引出。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种阴栅组件及电子枪，以期通过改善栅极散热实现阴栅组件高流强电子束流的引出。

作为本申请的第一个方面，本申请提供一种阴栅组件，所述阴栅组件包括壳体、位于所述壳体内的栅极部件和阴极部件；

所述栅极部件包括栅网和散热环，所述栅网设置于所述散热环的一个开口处；

所述阴极部件包括阴极和用于加热所述阴极的热子，所述阴极靠近所述栅网且与所述栅网之间具有间隙，所述阴极的发射面朝向所述栅网，其中，所述阴极和所述热子位于所述散热环的中空部。

作为优选，所述栅网包括网格状的基体，所述基体与所述开口之间设置有用于支撑所述基体的支撑部，通过调整所述支撑部的厚度用以调整所述基体与所述阴极之间的距离。

作为优选，所述阴极部件还包括第一支撑筒和位于所述第一支撑筒内部的阴极筒；

所述阴极筒包括周壁部和封闭所述周壁部一端开口的底部，所述阴极设置于所述底部朝向所述栅网的表面，所述热子设置于所述阴极筒内，所述阴极筒的内壁电性连接所述热子的第一引脚，所述阴极筒的外壁连接所述第一支撑筒；

所述阴极筒和至少部分所述第一支撑筒位于所述散热环内。

作为优选，所述第一支撑筒由围绕所述阴极筒的周向间隔设置的若干金属片构成。

作为优选，所述阴极部件还包括第二支撑筒，所述第二支撑筒包括与所述阴极筒的底部相互平行底壁和设在所述底壁外周侧且自所述底壁向所述第一支撑筒延伸的侧壁，所述底壁上设有向所述第一支撑筒延伸的接线筒，所述接线筒电性连接所述热子的第二引脚。

作为优选，还包括分别与所述栅极部件和所述阴极部件连接的封接件，以将所述阴极部件固定在所述壳体中；

所述封接件包括同轴设置且连接的第一筒状结构和第二筒状结构，所述第二筒状结构包括位于所述第一筒状结构内的第一部分和伸出所述第一筒状结构的第二部分，所述第一筒状结构限定一空腔，所述第二支撑筒容置在所述空腔内并与所述第一部分的顶面通过第一绝缘件连接，所述第二部分与所述第一支撑筒连接，所述第一筒状结构的底面通过第二绝缘件与所述散热环连接。

作为优选，所述第二部分的外侧壁上形成有第一台阶，所述第一支撑筒远离所述阴极筒的端部固定在所述第一台阶处。

作为优选，所述第一绝缘件和第二绝缘件均为陶瓷环。

作为优选，还包括设置于所述壳体外围的法兰。

作为本申请的第二个方面，本申请提供一种电子枪，其包括如上所述的阴栅组件。

本申请的有益效果：

本申请通过设置与栅网固定连接以及包裹阴极和热子的散热环，增加了栅极部件的散热性能，使得阴栅组件能够实现高流强电子束的引出。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请一种实施例的阴栅组件的立体示意图；

图2为本申请一种实施例的阴栅组件的爆炸图；

图3为本申请一种实施例的阴栅组件的俯视图；

图4为图3中的A-A方向的剖视图；

图5为本申请一种实施例的栅网的立体示意图；

图6为本申请一种实施例的栅网的俯视图；

图7为本申请一种实施例的封接件的立体示意图；

图8为本申请一种实施例的封接件的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请的实施例公开了一种阴栅组件，请参照图1至图4，所述阴栅组件包括壳体1、位于所述壳体1内的栅极部件和阴极部件；所述栅极部件包括栅网20和散热环21，所述栅网20设置于所述散热环21的一个开口处；所述阴极部件包括阴极30和用于加热所述阴极30的热子31，所述阴极30靠近所述栅网20且与所述栅网20之间具有间隙，所述阴极30的发射面朝向所述栅网20，其中，所述阴极30和所述热子31位于所述散热环21的中空部。

具体地，所述壳体1为两端开口的筒状结构，栅极部件设置于壳体1的一个端部；

散热环21为具有一定壁厚的圆筒，其限定一个具有一定壁厚的腔体210，腔体的两端开口，栅网20焊接于腔体210的其中一个开口处；阴极30和热子31位于腔体210内，且与腔体210的内壁之间具有间隙，保证阴极部件与栅极部件之间彼此绝缘；

阴极30的发射面朝向栅网20，阴极30的热量通过热辐射的形式传导至栅网20，由于栅网20与散热环21固定连接，栅网20的热量可传递给散热环21从而发挥散热功效，且由于散热环21具有一定的壁厚，使得其温度不易升高；此外，散热环21包裹阴极30和热子31，从一定程度上发挥热屏蔽的功效，能有效减少热子31通过热辐射流失的热功率，使得其较好的灯丝热效率。

本实施例的阴栅组件通过设置散热环21，能够显著降低栅极热量，保证栅极正常工作，进而使得本申请的阴栅组件能够配置较大尺寸的阴极30，实现高流强电子束的引出；其中，阴极30的尺寸可达到16mm，可使阴栅组件引出后的电子束流强超过12A。

根据本申请的一个实施例，所述散热环21由可伐金属冲压制成，其具有与栅网20外径基本一致的内径，具有显著大于栅网20外径的外径，使得其具有足够大的壁厚，当将其与栅网20焊接在一起后，栅网20的热功率传递至散热环21，散热环21较大的体积使其温度不易升高，且其较大的表面积可以大量的向外散热。

根据本申请的一个实施例，所述阴极的直径为16.2mm，面积为2cm²，所述散热环21的内径为18mm，外径为32mm，高度(两端开口之间的距离)为7.5mm，体积为4cm³，散热环21具有足够大的表面积，散热效果显著且自身温度不易升高。

进一步地，在本申请的一些实施例中，请参照图5和图6，所述栅网20包括网格状的基体200，所述基体200与所述开口之间设置有用于支撑所述基体200的支撑部，通过调整所述支撑部的厚度用以调整所述基体200与所述阴极30之间的距离。

在一些实施例中，所述支撑部为形成在散热环21用于设置栅网20的开口的端面上的凸起，基体200朝向散热环21的表面焊接在该凸起上，从而实现将基体200固定在散热环的该开口处。

示例性地，可以预先在所述开口的端面上形成支撑部，然后采用焊接的形式将基体200固定在支撑部上，或所述支撑部可以在将基体200焊接在所述开口的过程中由焊料形成，通过调整焊料在所述开口处的堆积量调整所述支撑部的厚度。

在另一些实施例中，所述支撑部为环绕所述基体200一周设置的固定框201，其为栅网的组成部分，即所述栅网20包括网格状的基体200和环绕所述基体200一周设置的固定框201，所述固定框201固定在所述开口处，所述固定框201被配置为具有厚度，用以调整所述基体200与所述阴极30之间的距离。

具体地，所述固定框201为具有一定厚度圆环结构，其具有相对的正面2011和背面2012，基体200焊接于固定框201的背面2012，固定框201能够保证基体200的网面平整，使其不易扭曲变形；栅网20以固定框201正面朝向散热环21的方式通过焊接固定在散热环21的开口处，基体200与阴极30表面保持较近的间距从而承受了大量的阴极30表面向外的热辐射传热，因此栅极部件中温度最高的是基体200，其次是固定框201，基体200上的热量通过固定框201传递至散热环21，通过散热环21发挥散热功效；

其中，由于固定框201具有一定的厚度，使得基体200与阴极30之间具有间距，可通过调节固定框201的厚度使得基体200与阴极30发射面之间的距离被调整，其中，固定框201的厚度可以为0.3～2mm，优选为0.5～1mm。

根据本申请的一个实施例，所述固定框201的材质为钼，其具有较高的机械强度，能够对基体200发挥足够的固定作用。

根据本申请的一个实施例，所述网格状的基体200由若干根金属丝编织形成，若干金属丝交错排列后在金属丝之间成形若干网格(或栅孔)，网格之间的间距较小，且网格之间的间距可通过调整金属丝的直径和金属丝之间的间距即可实现，不仅能够方便地获得网格间距足够小的栅网20，且栅网20尺寸调控的精度较高。

可以理解的是，在另一些实施例中，网格状的基体200可以由金属丝焊接形成，或通过在金属片上开孔所形成。

根据本申请的一个实施例，所述金属丝的直径为0.02～0.03mm，使得本申请的栅网20具有足够小的网格间距。

根据本申请的一个实施例，相邻两根所述金属丝之间的间距为0.17～0.18mm，其中，通过调整相邻两根金属丝之间的间距可实现网格尺寸的调整。

根据本申请的一个实施例，所述金属丝为镀金钨铼丝。

根据本申请的一个实施例，请参照图6，所述栅网20还包括用于防止所述基体200形变的加强件202，所述加强件202焊接在所述基体200上，能够避免或减小基体200在高温下形变。

所述加强件202包括加强环2021和加强筋2022，所述加强环2021与所述基体200同心设置，所述加强筋2022的一端与所述加强环2021连接，另一端延伸至所述固定框201。

具体地，加强环2021通过焊接的形式连接于基体200背向固定框201的表面上，且其中心与基体200的中心同心，加强筋2022的一端连接在加强环2021上，另一端向朝向固定框201的方向延伸，所述加强件202不仅能够防止基体200热变形，而且有助于栅网20中心的热功率向栅网20的边缘传导，从而降低栅网20中心区域的温度；其中，加强环2021与加强筋2022可以一体成型，也可以形成为单独的元件，通过任何合适的方式，例如通过焊接连接在一起；

其中，对于加强环2021的形状应做广义理解，其不限于为圆环，可以为呈矩形的环状结构，呈三角形或其他多边形的环状结构，其尺寸，例如内径根据栅网尺寸确定，其形状可以与固定框201的形状相同，也可以不同。

根据本申请的一个实施例，加强环2021和加强筋2022由直径为0.2mm的金属丝构成。

根据本申请的一个实施例，所述加强筋2022的数量为多个，沿所述加强环2021的周向均匀分布在所述加强环2021与所述固定框201之间。

根据本申请的一个实施例，如图5所示，所述加强筋2022的数量为6个，以60°的间隔均匀分布在加强环2021与固定框201之间的圆环内。

根据本申请的一个实施例，所述加强筋2022延伸至所述固定框201的端部具有片状部2023，所述片状部2023连接于所述基体200。片状部2023可通过焊接的形式连接于基体200，通过设置片状部2023可增加加强筋2022延伸至固定框201的端部与基体200的接触面积，增强其与基体200的连接牢靠性，防止加强筋2022与基体200的连接点(例如焊点)断裂，避免栅网20在高温环境中失效；

根据本申请的一个实施例，所述片状部2023是厚度为0.2mm的钼金属片；其中，加强环2021、加强筋2022与片状部2023可以形成为单独的元件，通过任何合适的方式，例如通过焊接连接在一起，优选加强环、加强筋与片状部一体成型。

根据本申请的一个实施例，当本申请的栅网20被固定在散热环21的开口处后，固定框201，基体200和加强件202三者按照距离阴极30由近及远的顺序叠加，即栅网20以固定框201正面2011朝向阴极30的方式设置在阴栅极组件中；其中，由于固定框201的厚度为0.3～2mm，优选为0.5～1mm，使得网格状的基体200的平面与阴极30发射面之间具有足够的间距，便于通过在阴极面和栅网之间施加脉冲电压来引出短脉冲的电子束流。

其中，阴极和栅极直接施加的脉冲电压由于最高不超过1kV，对于脉冲电源而言，可以实现FWHM脉宽仅仅1ns的脉冲高压，而对于直接采用阴极和阳极两极结构的电子枪，直接通过阴极和阳极的脉冲高压，难于实现纳秒级别的束流引出。

根据本申请的一个实施例，固定框201为圆环结构，圆环外径为20.8mm，圆环内径为17.4mm，厚度为1mm，与具有该固定框201的栅网对应的阴极30的直径最大为16.2mm，阴极30发射面与栅网20间距为0.16mm。

进一步地，在本申请的一些实施例中，所述阴极部件还包括第一支撑筒32和位于所述第一支撑筒32内部的阴极筒33；

所述阴极筒33包括周壁部330和封闭所述周壁部330一端开口的底部331，所述阴极30设置于所述底部331朝向所述栅网20的表面，所述热子31设置于所述阴极筒33内，所述阴极筒33的内壁电性连接所述热子21的第一引脚(图中未示出)，所述阴极筒33的外壁连接所述第一支撑筒32；

所述阴极筒33和至少部分所述第一支撑筒32位于所述散热环21内。

具体地，请参照图2，阴极筒33为承载阴极30和热子31的载体，其为一端开口的筒状结构，阴极30焊接在阴极筒33的底部331朝向栅网20的表面，呈饼状的热子31设置在阴极筒33内，热子31靠近阴极30且通过底部331隔开，热子31的第一引脚焊接至阴极筒33的内壁形成共电位点，热子31的第二引脚310从阴极筒33中引出；其中，阴极筒33由导电材料制成，配置为灯丝电路的组成部分。

第一支撑筒32套设在阴极筒33上，其内壁面与阴极筒33底部331的外壁面焊接，由于热子31的第一引脚与阴极筒33电性连接，阴极筒33与第一支撑筒32连接后，第一支撑筒32被配置为是热子31第一引脚的延伸；

第一支撑筒32一方面发挥支撑作用，可对阴极30和热子31形成稳固可靠的支撑，避免阴栅组件在长时间使用过程中出现阴极面位移或者阴栅之间短路；另一方面，第一支撑筒32和阴极筒33构成二层热屏结构，显著减少热子31通过热辐射流失的热功率，改善灯丝热效率。

其中，第一支撑筒32的外径略小于散热环21的内径，当其位于散热环21中时，与散热环21之间具有绝缘间隙，保证了栅极部件与阴极部件的绝缘。

进一步地，在本申请的一些实施例中，请参照图2，所述第一支撑筒32由围绕所述阴极筒33的周向间隔设置的若干金属片构成，所述金属片可以是厚度为0.02～0.1mm的钼铼合金片。

进一步地，在本申请的一些实施例中，所述阴极部件还包括第二支撑筒34，所述第二支撑筒34包括与所述阴极筒33的底部331相互平行底壁340和设在所述底壁340外周侧且自所述底壁340向所述第一支撑筒32延伸的侧壁341，所述底壁340上设有向所述第一支撑筒32延伸的接线筒342，所述接线筒342电性连接所述热子31的第二引脚310。

具体地，请参照图2，所述第二支撑筒34为一端开口的筒状结构，其内部设有接线筒342，接线筒342的一端连接第二支撑筒34的底壁340，另一端向第一支撑筒32延伸并连接热子31的第二引脚310；

其中，第二支撑筒34由导电材料制成，其不仅用作灯丝电路的接出端，而且可以作为真空隔离部件，可以配合法兰使得阴极30和热子31处于真空环境，当阴栅组件被安装到电子枪后，通过电子枪内部的真空抽气系统，即可使得阴栅组件的阴极30处于所需的高真空环境。

进一步地，在本申请的一些实施例中，还包括分别与所述栅极部件和所述阴极部件连接的封接件4，以将所述阴极部件固定在所述壳体1中；

所述封接件4包括同轴设置且连接的第一筒状结构40和第二筒状结构41，所述第二筒状结构41包括位于所述第一筒状结构40内的第一部分410和伸出所述第一筒状结构40的第二部分411，所述第一筒状结构40限定一空腔400，所述第二支撑筒34容置在所述空腔400内并与所述第一部分410的顶面通过第一绝缘件50连接，所述第二部分411与所述第一支撑筒32连接，所述第一筒状结构40的底面通过第二绝缘件51与所述散热环21连接。

具体地，请参照图7和图8，封接件4包括同轴设置的且两端具有开口的第一筒状结构40和第二筒状结构41，第二筒状结构41的一部分延伸至第一筒状结构40外，第一筒状结构40在其一个开口处通过一金属环与第二筒状结构41的外壁连接，且第一筒状结构40和第二筒状结构41均由导电材料制成；

第二支撑筒34位于第一筒状结构40的空腔400内，其开口朝向热子31，热子31的第二引脚310贯穿第二筒状结构41内部的通道连接至接线筒342；第二支撑筒34和第一支撑筒32分别与封接件4的第一部分410和第二部分411焊接，由于第二支撑筒34电性连接热子31的第二引脚310，第一支撑筒32间接地电性连接热子31的第一引脚，通过第一绝缘件50保证了热子电路两端的绝缘性，避免灯丝电路两极形成短路；

第一筒状结构40靠近第一支撑筒32的端部的底部通过第二绝缘件51与散热环21远离栅网20的端部焊接，由于第二部分411与第一支撑筒32焊接，第一支撑筒32间接地电性连接热子31的第一引脚，通过第二绝缘件51保证了栅极部件和阴极部件(具体是热子电路)之间的绝缘性；

封接件4发挥固定支撑阴极部件的作用，将阴极部件固定在了壳体1的中心处，并通过与第一绝缘件50和第二绝缘件51的配合实现了阴栅组件三端之间的绝缘功能。

进一步地，在本申请的一些实施例中，请参照图8，所述第二部分411的外侧壁上形成有第一台阶4111，所述第一支撑筒32远离所述阴极筒33的端部固定在所述第一台阶处4111。

进一步地，在本申请的一些实施例中，所述第一绝缘件50和第二绝缘件51均为陶瓷环。

陶瓷具有优良的电绝缘性和热稳定性，在发挥绝缘功效的同时赋予阴栅组件足够的稳定性，并增强各部件之间的连接密封性。

进一步地，在本申请的一些实施例中，还包括设置于所述壳体1外围的法兰6。

具体地，请参照图1，所述法兰6固定在所述壳体1的上端(远离栅极部件的另一端)，所述法兰6为CF35法兰。

阴栅组件为电真空器件，其阴极部件和栅极部件的工作环境为高真空环境(静态真空度好于1E-7Pa)，上述真空隔离功能由法兰6，壳体1、封接件4、第一绝缘件50、第二绝缘件51、栅极部件等配合形成，可通过所述法兰6与电子枪的对应法兰接口的配合将阴栅组件安装到电子枪，完成真空封接，通过电子枪内部的真空抽气系统，即可使得阴栅组件的阴极部件和栅极部件处于所需的高真空环境。

进一步地，在本申请的一些实施例中，所述热子31包括灯丝和包裹所述灯丝的烧结瓷，所述灯丝的两端伸出所述烧结瓷形成所述第一引脚和所述第二引脚。

具体地，所述灯丝由钨铼合金丝绕制形成环面螺旋加热体，用于形成烧结瓷的绝缘介质(例如氧化铝、刚玉粉)包裹灯丝，灯丝的两个端部伸出绝缘介质，二者经高温烧结后成为一体，形成容置于阴极筒33中的呈圆饼状的热子31。

进一步地，在本申请的一些实施例中，所述壳体1、散热环21、阴极筒33、第一支撑筒32、第二支撑筒34和封接件4同轴设置。

本申请实施例的阴栅组件通过设置散热环21，显著降低了栅极部件的热量，实现高流强电子束流的引出；通过采用CF35法兰实现了小尺寸的阴栅结构；通过设置栅极部件和阴极部件，可以在阴栅之间施加纳秒级以下的短脉冲高压从而实现短脉冲电子束流的引出，从阴栅组件引出后的电子束流强超过12A，电子束脉冲宽度可以低至1ns。

本申请的实施例还公开了一种电子枪，该电子枪包括如上所述的阴栅组件。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (9)

1.一种阴栅组件，其特征在于，包括壳体、位于所述壳体内的栅极部件和阴极部件；

所述栅极部件包括栅网和散热环，所述栅网设置于所述散热环的一个开口处；

所述阴极部件包括阴极和用于加热所述阴极的热子，所述阴极靠近所述栅网且与所述栅网之间具有间隙，所述阴极的发射面朝向所述栅网，其中，所述阴极和所述热子位于所述散热环的中空部；

所述阴极部件还包括第一支撑筒和位于所述第一支撑筒内部的阴极筒；

所述阴极筒包括周壁部和封闭所述周壁部一端开口的底部，所述阴极设置于所述底部朝向所述栅网的表面，所述热子设置于所述阴极筒内，所述阴极筒的内壁电性连接所述热子的第一引脚，所述阴极筒的外壁连接所述第一支撑筒；

所述阴极筒和至少部分所述第一支撑筒位于所述散热环的中空部。

2.根据权利要求1所述的阴栅组件，其特征在于，所述栅网包括网格状的基体，所述基体与所述开口之间设置有用于支撑所述基体的支撑部，通过调整所述支撑部的厚度用以调整所述基体与所述阴极之间的距离。

3.根据权利要求1所述的阴栅组件，其特征在于，所述第一支撑筒由围绕所述阴极筒的周向间隔设置的若干金属片构成。

4.根据权利要求1所述的阴栅组件，其特征在于，所述阴极部件还包括第二支撑筒，所述第二支撑筒包括与所述阴极筒的底部相互平行底壁和设在所述底壁外周侧且自所述底壁向所述第一支撑筒延伸的侧壁，所述底壁上设有向所述第一支撑筒延伸的接线筒，所述接线筒电性连接所述热子的第二引脚。

5.根据权利要求4所述的阴栅组件，其特征在于，还包括分别与所述栅极部件和所述阴极部件连接的封接件，以将所述阴极部件固定在所述壳体中；

所述封接件包括同轴设置且连接的第一筒状结构和第二筒状结构，所述第二筒状结构包括位于所述第一筒状结构内的第一部分和伸出所述第一筒状结构的第二部分，所述第一筒状结构限定一空腔，所述第二支撑筒容置在所述空腔内并与所述第一部分的顶面通过第一绝缘件连接，所述第二部分与所述第一支撑筒连接，所述第一筒状结构的底面通过第二绝缘件与所述散热环连接。

6.根据权利要求5所述的阴栅组件，其特征在于，所述第二部分的外侧壁上形成有第一台阶，所述第一支撑筒远离所述阴极筒的端部固定在所述第一台阶处。

7.根据权利要求5所述的阴栅组件，其特征在于，所述第一绝缘件和第二绝缘件均为陶瓷环。

8.根据权利要求1～7任一项所述的阴栅组件，其特征在于，还包括设置于所述壳体外围的法兰。

9.一种电子枪，其特征在于，包括权利要求1～8任一项所述的阴栅组件。

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