CN113791589A - 统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 - Google Patents
统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113791589A CN113791589A CN202110923125.1A CN202110923125A CN113791589A CN 113791589 A CN113791589 A CN 113791589A CN 202110923125 A CN202110923125 A CN 202110923125A CN 113791589 A CN113791589 A CN 113791589A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- statistical
- value
- state variable
- sum
- calculation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 title claims abstract description 104
- 238000003070 Statistical process control Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 171
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 143
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 27
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 13
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 11
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41885—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by modeling, simulation of the manufacturing system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32339—Object oriented modeling, design, analysis, implementation, simulation language
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
本发明实施例公开一种统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质。在一具体实施方式中，统计计算方法包括：在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。该实施方式可在保证统计计算精度的情况下大幅提升统计计算效率，从而大幅缩短了统计查询时延。
Description
技术领域
本发明涉及数据统计领域。更具体地，涉及一种统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质。
背景技术
目前，在多种生产场景中，为了及时发现生产过程中由特殊原因导致的异常，监测生产设备的工作状态，深入分析生产系统中存在的漏洞，进一步提高产品品质，为客户提供更好的产品，会在生产设备管理中使用统计过程控制SPC(Statistical Process Control)进行数据统计。以半导体生产场景中采用的半导体生产设备的集群管理软件中的SPC为例，目前，其SPC的性能较低。例如，单个SPC包含1000次工艺(Process)的日志(log)，若采样周期为100ms，每次工艺时长为8小时，则对于某种状态变量(例如工作温度)而言包含288000个状态变量值，即使采用在统计计算时通过对多次工艺的日志并行查询计算，绘制该SPC的日志也需耗时1.5小时左右。其中，现有技术将所有类型的所有状态变量值存在一张表中以方便写入操作，每种状态变量组成一张小表，表内部按照时间顺序存储变量值，为了节省存储空间，会压缩7天前的数据，在进行统计计算或者说聚合计算时，这些历史数据需先装载解压，且数据量巨大，增加了查询数据的时延。
发明内容
本发明的目的在于提供一种统计过程控制的统计计算方法、装置和计算机设备，以解决现有技术存在的问题中的至少一个。
为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：
本发明第一方面提供了一种统计过程控制的统计计算方法，包括：
在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
可选地，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值。
所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。
所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
本发明第二方面提供了一种统计过程控制的统计计算装置，包括：
第一计算模块，用于在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
第二计算模块，用于获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
可选地，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值；
所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。
可选地，所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
本发明第三方面提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现本发明第一方面提供的一种统计过程控制的统计计算方法。
本发明第四方面提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本发明第一方面提供的一种统计过程控制的统计计算方法。
本发明的有益效果如下：
本发明所述技术方案，通过在生产过程中的每一工序结束时即计算该工序中的状态变量值的至少一种中间统计值作为统计计算的依据，即，提前预先计算出SPC的统计计算对应的中间统计值，将一个时间点的爆发的统计计算平均分摊到生产过程时间段内，使得在进行统计计算时可在保证计算精度的情况下大幅提升计算效率，从而大幅缩短了统计查询时延。
附图说明
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
图1示出本发明的一个实施例提供的一种统计过程控制的统计计算方法的流程图。
图2示出本发明实施例中提出的工艺和工序的关系示意图。
图3示出本发明的另一个实施例提供的一种统计过程控制的统计计算装置的示意图。
图4示出实现本发明实施例提供的统计过程控制的统计计算装置的计算机设备的结构示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明，下面结合实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。
在实现本发明过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：目前，集群管理软件中的SPC的性能较低。例如，单个SPC包含1000次工艺(Process)的日志(log)，若采样周期为100ms，每次工艺时长为8小时，则对于某种状态变量(例如工作温度)而言包含288000个状态变量值，即使采用在统计计算时通过对多次工艺的日志并行查询计算，绘制该SPC的日志也需耗时1.5小时左右。其中，现有技术将所有类型的所有状态变量值存在一张表中以方便写入操作，每种状态变量组成一张小表，表内部按照时间顺序存储变量值，为了节省存储空间，会压缩7天前的数据，在进行统计计算或者说聚合计算时，这些历史数据需先装载解压，且数据量巨大，增加了查询数据的时延。
有鉴于此，本发明的一个实施例提供了一种统计过程控制的统计计算方法，应用于例如统计过程控制(SPC，Statistical Process Control)服务器中，其中，统计过程控制服务器例如为半导体生产设备的集群管理提供统计过程控制，或者说，本实施例提供的统计过程控制的统计计算方法用于为半导体生产设备集群管理的SPC提供统计计算。
如图1所示，该统计过程控制的统计计算方法包括：
S10：在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
S20：获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
在一种可能的实现方式中，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值。
在一种可能的实现方式中，所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。此实现方式中计算并存储的中间统计值类型，便于在统计计算时准确高效地计算得到上述最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值等类型的统计计算值。需要说明的是，不同的统计计算值可对应有不同的中间统计值，可根据需求的统计计算值类型对每一工序结束时计算的工序中的至少一种状态变量值的中间统计值的类型进行调整。
在一种可能的实现方式中，所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
在一个具体示例中，如图2所示，工艺包括多道工序，生产一批产品需要重复执行多次工艺，具体的，在使用半导体立式炉进行生产时，该工艺(process)对应的工序(step)包含外部装载、缓冲仓储、仓储机械手、晶圆机械手、内部装载等，在生产过程中，对所述半导体立式炉的装载槽状态(sv-zzc)、炉内温度(sv-temp)、炉内压强(sv-pre)、流量(sv-flow)、控制阀状态(sv-control)等多种类型的状态变量分别进行采样周期例如为100ms的采样，以得到每种状态变量的多个状态变量值；在每道工序结束后，即开始计算该工序中状态变量的中间统计值并存储。
接续前述示例，当所述缓冲仓储工序结束时，对该工序内采集的数值型状态变量进行计算得到所述数值型状态变量的中间统计值，所述数值型状态变量即sv-temp、sv-pre和sv-flow，所述中间统计值包括缓冲仓储工序内炉内温度的最大值、炉内温度的最小值、炉内温度的和值、炉内温度的平方和值、炉内压强的最大值、炉内压强的最小值、炉内压强的和值SUM、炉内压强的平方和值、流量的最大值、流量的最小值、流量的和值SUM、流量的平方和值、统计数量值COUNT、采样时间戳和值SUM(timestamp)、采样时间戳平方和值SUMSQ(timestamp)和各状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值，将所述中间统计值按状态变量进行存储。
在一个具体的实施例中，所述统计过程控制的统计计算值的需求为在执行完100次工艺时绘制内部装载工序的平均值-极差控制图，则根据所述100次工艺中得到的中间统计值进行计算以得到统计范围为100次工艺中选定的内部装载工序的炉内温度的平均值和极差值，具体的，需获取统计范围为100次工艺中选定的内部装载工序的炉内温度的最大值、最小值、数量值和和值。
其中，内部装载工序过程中炉内温度的平均值MEAN(temp)_i_nbzz的计算公式为：
MEAN(temp)_i_nbzz＝SUM(sv-temp)_i_nbzz/COUNT(sv-temp)_i_nbzz………(1)
内部装载工序过程中炉内温度的极差值的RANGE(temp)_i_nbzz计算公式为：
RANGE(temp)_i_nbzz＝MAX(sv-temp)_i_nbzz-MIN(sv-temp)_i_nbzz………(2)
其中，i为工艺执行次数，0<i<N+1，N为所述统计过程控制的统计计算值的需求中要求计算的执行次数，在本实施例中N＝100，SUM(sv-temp)_i_nbzz为第i次工艺内部装载工序过程中统计的炉内温度的和，COUNT(sv-temp)_i_nbzz为第i次内部装载工序统计的数量值，MAX(sv-temp)_i_nbzz为第i次工艺内部装载工序过程中统计的炉内温度的最大值，MIN(sv-temp)_i_nbzz为第i次工艺内部装载工序过程中统计的炉内温度的最小值；
按需获取存储的100次工艺中统计的内部装载工序过程中炉内温度的中间统计值，计算出100次工艺中统计的内部装载工序过程中炉内温度的极差值和平均值，计算方法参考公式1和2，基于100个极差值和100个平均值绘制所述统计过程控制的统计计算值的需求的平均值-极差控制图。
在一个具体的实施例中，所述统计过程控制的统计计算值的需求为在执行完1000次工艺时输出所有工序的标准差表，则根据所述1000次工艺中得到的中间统计值进行计算以得到统计范围为1000次工艺中各个工序中包含的多个数值型的状态变量值的标准差，具体的，需获取统计范围为1000次工艺中各个工序包含的多个数值型状态变量值的平方和、平均值和数量值。
具体的，获取第i次工艺过程中X道工序的炉内压强值的平方和、平均值和数量值，第i次工艺过程中炉内压强的标准差STDDEV(sv-pre)_i的计算公式为：
STDDEV(sv-pre)_i＝sqrt((SUM(SUMSQ(sv-pre_i_1),SUM(SUMSQ(sv-pre_i_2),…,SUMSQ(sv-pre_i_x),…,SUMSQ(sv-pre_i_X))-(MEAN(sv-pre_i_1)+MEAN(sv-pre_i_2)+…+MEAN(sv-pre_i_x)+…+MEAN(sv-pre_i_X))/X)^2/SUM(COUNT(sv-pre)_i_1,COUNT(sv-pre)_i_2,…,COUNT(sv-pre)_i_x,…,COUNT(sv-pre)_i_X))；………(3)
其中，i为工艺执行次数，0<i<N+1，N为所述统计过程控制的统计计算值的需求中要求计算的执行次数，在本实施例中N＝1000，x标识该工艺过程中工序的数目，0<x<X+1，其中X为该工艺的总的工序数，sqrt()为开方函数，SUM()为求和函数，SUMSQ()为平方和函数，SUMSQ(sv-pre_i_x)指第i次工艺过程中第x道工序执行过程中所统计的炉内压强的平方和，MEAN(sv-pre_i_x)指第i次工艺过程中第x道工序执行过程中所统计的炉内压强的均值，COUNT(sv-pre)_i_x指第i次工艺过程中第x道工序执行过程中所统计的炉内压强统计的数量值，所述数量值即采样次数。
按需获取存储的1000次工艺中统计的各个数据型状态变量值的中间统计值，计算出1000次工艺中统计的各个数据型状态变量值的标准差，计算方法参考公式3，基于1000次工艺中各个数据型状态变量的标准差值生成所述统计过程控制的统计计算所需求的执行完1000次工艺时所有工序的标准差表。
对于其他统计过程控制的统计计算值的需求的处理，与上述各实施例相似，相关之处可以参照上述说明，在此不再赘述，本领域技术人员应该清楚，统计过程控制的统计计算值的需求的工艺次数并不限于100、1000，其工艺次数大于等于1即可进行统计计算。
综上，本实施例提出的所述统计过程控制的统计计算方法通过在生产过程中的每一工序结束时即计算该工序中的状态变量值的至少一种中间统计值作为统计计算的依据，即，提前预先计算出SPC的统计计算对应的中间统计值，将一个时间点的爆发的统计计算平均分摊到生产过程时间段内，使得在进行统计计算时可在保证计算精度的情况下大幅提升计算效率，从而大幅缩短了统计查询时延。基于被发明所提出的统计计算方法测试绘制1000个工艺，每个包含10个工序，花费时间为10s左右，且准确性不变；需要注意的是，本发明提出的所述统计过程控制的统计计算方法并不限于为半导体生产设备立式炉的集群管理提供统计过程控制服务，适用于任何需要统计过程控制的工艺流程。
本发明的一个实施例提出了一种统计过程控制的统计计算装置，如图3所示，包括：
第一计算模块，用于在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
第二计算模块，用于获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
其中，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值。
其中，所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。
在一种可能的实施方式中，所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
需要说明的是，本实施例提供的统计过程控制的统计计算装置的原理及工作流程与上述统计过程控制的统计计算方法相似，相关之处可以参照上述说明，在此不再赘述。
如图4所示，适于用来实现上述实施例提供的统计过程控制的统计计算装置的计算机设备，包括中央处理模块(CPU)，其可以根据存储在只读存储器(ROM)中的程序或者从存储部分加载到随机访问存储器(RAM)中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM中，还存储有计算机设备操作所需的各种程序和数据。CPU、ROM以及RAM通过总线被此相连。输入/输入(I/O)接口也连接至总线。
以下部件连接至I/O接口：包括键盘、鼠标等的输入部分；包括诸如液晶显示器(LCD)等以及扬声器等的输出部分；包括硬盘等的存储部分；以及包括诸如LAN卡、调制解调器等的网络接口卡的通信部分。通信部分经由诸如因特网的网络执行通信处理。驱动器也根据需要连接至I/O接口。可拆卸介质，诸如磁盘、光盘、磁光盘、半导体存储器等等，根据需要安装在驱动器上，以便于从其上读出的计算机程序根据需要被安装入存储部分。
特别地，根据本实施例，上文流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本实施例包括一种计算机程序产品，其包括有形地包含在计算机可读介质上的计算机程序，上述计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分从网络上被下载和安装，和/或从可拆卸介质被安装。
附图中的流程图和示意图，图示了本实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或示意图中的每个方框可以代表一个模块、程序段或代码的一部分，上述模块、程序段或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，示意图和/或流程图中的每个方框、以及示意和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
描述于本实施例中所涉及到的模块可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现。所描述的模块也可以设置在处理器中，例如，可以描述为：一种处理器，包括第一计算模块第二模块。其中，这些模块的名称在某种情况下并不构成对该模块本身的限定。例如，第一计算模块还可以被描述为“预处理模块”。
作为另一方面，本实施例还提供了一种非易失性计算机存储介质，该非易失性计算机存储介质可以是上述实施例中上述装置中所包含的非易失性计算机存储介质，也可以是单独存在，未装配入终端中的非易失性计算机存储介质。上述非易失性计算机存储介质存储有一个或者多个程序，当上述一个或者多个程序被一个设备执行时，使得上述设备：在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
还需要说明的是，在本发明的描述中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。
Claims (10)
1.一种统计过程控制的统计计算方法，其特征在于，包括：
在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
5.一种统计过程控制的统计计算装置，其特征在于，包括：
第一计算模块，用于在至少一次工艺中的每一工序结束时，计算该工序中的至少一种状态变量值的至少一种中间统计值并存储，其中，每一次工艺包含多个工序，每一个工序中对于每一种状态变量采样得到多个状态变量值；
第二计算模块，用于获取统计过程控制的统计计算值的需求，根据所述至少一种中间统计值计算得到所述需求对应的统计计算值。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述统计过程控制的统计计算值包括至少一次工艺中的选定的至少一个工序包含的状态变量值的最大值、最小值、平均值、极差值、标准差值及斜率值。
7.根据权利要求5或6所述的装置，其特征在于，所述至少一种中间统计值包括工序中采样得到的多个状态变量值的最大值、最小值、数量值、和值、平方和值、采样时间戳和值、采样时间戳平方和值及状态变量值与对应的采样时间戳的乘积的和值。
8.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述统计过程控制的统计计算值的需求包括统计计算值的类型及统计计算值的统计范围。
9.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1-4中任一项所述的方法。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-4中任一项所述的方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110923125.1A CN113791589A (zh) | 2021-08-12 | 2021-08-12 | 统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110923125.1A CN113791589A (zh) | 2021-08-12 | 2021-08-12 | 统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113791589A true CN113791589A (zh) | 2021-12-14 |
Family
ID=78875885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110923125.1A Pending CN113791589A (zh) | 2021-08-12 | 2021-08-12 | 统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113791589A (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6456894B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
| CN101470426A (zh) * | 2007-12-27 | 2009-07-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种故障检测的方法和系统 |
| US20110190919A1 (en) * | 2008-01-07 | 2011-08-04 | Adrian Kiermasz | Method of Controlling Semiconductor Device Fabrication |
| CN105425749A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-23 | 西安电子科技大学 | 批量加工晶圆的统计过程控制方法 |
| CN109344037A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-02-15 | 四川新网银行股份有限公司 | 一种基于实时统计与告警公式的业务监控方法 |
| CN110083797A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-08-02 | 大禹节水集团股份有限公司 | 一种滴灌管生产线异常实时监测方法及系统 |
| CN110442092A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-12 | 柳州钢铁股份有限公司 | 一种基于热连轧生产的自动统计和分析方法 |
-
2021
- 2021-08-12 CN CN202110923125.1A patent/CN113791589A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6456894B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-09-24 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
| CN101470426A (zh) * | 2007-12-27 | 2009-07-01 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种故障检测的方法和系统 |
| US20110190919A1 (en) * | 2008-01-07 | 2011-08-04 | Adrian Kiermasz | Method of Controlling Semiconductor Device Fabrication |
| CN105425749A (zh) * | 2015-12-15 | 2016-03-23 | 西安电子科技大学 | 批量加工晶圆的统计过程控制方法 |
| CN109344037A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-02-15 | 四川新网银行股份有限公司 | 一种基于实时统计与告警公式的业务监控方法 |
| CN110083797A (zh) * | 2019-04-19 | 2019-08-02 | 大禹节水集团股份有限公司 | 一种滴灌管生产线异常实时监测方法及系统 |
| CN110442092A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-11-12 | 柳州钢铁股份有限公司 | 一种基于热连轧生产的自动统计和分析方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0865666B1 (en) | A system for monitoring and analyzing manufacturing processes using statistical simulation with single step feedback | |
| CN113502870B (zh) | 挖掘机工况判定方法及装置 | |
| CN102201324A (zh) | 半导体制造方法与系统 | |
| CN110442911B (zh) | 一种基于统计机器学习的高维复杂系统不确定性分析方法 | |
| US20230067182A1 (en) | Data Processing Device and Method, and Computer Readable Storage Medium | |
| CN112433472B (zh) | 半导体生产控制方法及控制系统 | |
| CN111861127A (zh) | 一种气缸设备分析方法、系统、装置及其存储介质 | |
| CN112950908B (zh) | 一种数据监测预警方法、系统、介质及电子终端 | |
| CN113791589A (zh) | 统计过程控制的统计计算方法及装置、计算机设备及介质 | |
| CN111176226A (zh) | 一种基于运行工况的设备特征参数报警阈值自动分析方法 | |
| US7324865B1 (en) | Run-to-run control method for automated control of metal deposition processes | |
| CN114429256A (zh) | 数据监测方法、装置、电子设备及存储介质 | |
| CN112561388A (zh) | 一种基于物联网的信息处理方法、装置及设备 | |
| CN112241512A (zh) | 提升审计精度的方法及系统 | |
| CN116208465A (zh) | 一种电力信息通信状况智能监测预警方法及系统 | |
| CN109213513B (zh) | 软件份额占比的确定方法、装置及计算机可读存储介质 | |
| Chen | Computing the moments of polling models with batch Poisson arrivals by transform inversion | |
| CN115408858A (zh) | 脉谱参数分区方法、装置、电子设备以及存储介质 | |
| US6766265B2 (en) | Processing tester information by trellising in integrated circuit technology development | |
| CN113661510A (zh) | 基于非线性规划模型的投产规划系统，投产规划方法和计算机可读存储介质 | |
| TW200424816A (en) | Method for automatic configuration of a processing system | |
| Schmeiser et al. | Batching methods in simulation output analysis: what we know and what we don't | |
| EP1315069A2 (en) | Date and time processing in computers | |
| CN113779109B (zh) | 一种基于上下文环境的电力数据预处理方法 | |
| CN118037472B (zh) | 财务数据处理方法及相关装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20211214 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |