CN113758504A - 位置检测装置、镜头模组和摄像装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的位置检测装置具备磁传感器、第一磁场发生部和第二磁场发生部。第一磁场发生部包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,第一磁体和第二磁体在第一方向上互相分开配置。第二磁场发生部产生第二磁场,并且设置为对第一磁场发生部和磁传感器可以沿着第二方向移动,第二方向与第一方向正交。在第一方向上,磁传感器的中心位置处于第一磁体与第二磁体之间的区域中的第一磁体与第二磁体的中间位置以外的位置。磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测第二磁场发生部的位置的变化,检测对象磁场由沿着与第二方向正交的平面的第一磁场与沿着该平面的第二磁场合成。

Description

位置检测装置、镜头模组和摄像装置
技术领域
本发明涉及一种具备磁传感器的位置检测装置、镜头模组和摄像装置。
背景技术
迄今为止,已经提出了使用磁传感器的位置检测装置。本申请人已经提出了例如具备位置检测装置的相机模组(例如参照专利文献1)。在该相机模组中,位置检测装置检测聚焦时移动的镜头的位置。专利文献2提出了具有位置检测磁体和磁检测部件的镜头驱动装置。位置检测磁体检测镜头保持部件的移动位置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2019-082445号公报
专利文献2:国际公开第2018/051729号说明书
发明内容
然而,对于这样的位置检测装置,要求具有更高的位置检测精度。
因此,期望提供一种能够发挥高检测精度的位置检测装置、镜头模组和摄像装置。
作为本发明的一种实施方式的位置检测装置,其具备磁传感器、第一磁场发生部和第二磁场发生部。第一磁场发生部包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,第一磁体和第二磁体在第一方向上互相分开配置。第二磁场发生部产生第二磁场,并且设置为对第一磁场发生部和磁传感器可以沿着第二方向移动,第二方向与第一方向正交。在第一方向上,磁传感器的中心位置处于第一磁体与第二磁体之间的区域中的第一磁体与第二磁体的中间位置以外的位置。磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测第二磁场发生部的位置的变化,检测对象磁场由沿着与第二方向正交的平面的第一磁场与沿着该平面的第二磁场合成。再有,正交是几何学上严密的90°的概念,另外也包括起因于制造误差的例如90°±5°左右的概念。
作为本发明的另一种实施方式的镜头模组具备上述位置检测装置。作为本发明的其他实施方式的摄像装置具备上述镜头模组。
附图说明
图1是表示本发明的一种实施方式的具备包括位置检测装置的镜头模组的摄像装置的整体结构例的概略立体图。
图2是图1所示的摄像装置的内部的示意性说明图。
图3是图1所示的位置检测装置的主要部分的示意性说明图。
图4是图1所示的驱动装置的主要部分的示意性说明图。
图5是表示图1所示的驱动装置的主要部分的侧视图。
图6是图1所示的位置检测装置的主要部分的示意性立体图。
图7是表示图1所示的位置检测装置的磁传感器的电路结构的电路图。
图8是表示图7的1个电阻部的一部分的立体图。
图9是图1所示的位置检测装置的第一磁场发生部与磁传感器的位置关系的详细放大主视图。
图10A是表示图1所示的位置检测装置的第一磁场、第二磁场和检测对象磁场的说明图。
图10B是表示图1所示的位置检测装置的镜头相对基板的位置与检测对象角度的关系的特性图。
图11是表示图1所示的位置检测装置的X轴方向的位置与第一磁场强度的关系的特性图。
图12是图1所示的镜头模组的XY面内的磁场分布的示意图。
图13A是表示作为参考例的位置检测装置的检测误差的特性图。
图13B是表示图1所示的位置检测装置的检测误差的1个实验例的特性图。
图14是表示作为本发明的一种实施方式的第一变形例的镜头模组的磁体的配置例的主视图。
图15是表示图14所示的位置检测装置的第一磁场发生部与磁传感器的位置关系的详细放大主视图。
图16是表示图14所示的位置检测装置的U轴方向的位置与第一磁场强度的关系的特性图。
图17是表示进一步放大图16的(C)所示的特性图的放大图。
图18是用于说明图14所示的作为第一变形例的镜头模组的效果的说明图。
图19A是表示作为本发明的一种实施方式的第二变形例的镜头模组的磁体的形状的主视图。
图19B是表示作为本发明的一种实施方式的第三变形例的磁体的形状的主视图。
图19C是表示作为本发明的一种实施方式的第四变形例的磁体的形状的主视图。
图19D是表示作为本发明的一种实施方式的第五变形例的磁体的形状的主视图。
符号说明
100摄像装置
200图像传感器
300镜头模组
1位置检测装置
3驱动装置
4控制部
5镜头
6壳体
7基板
7a上面
7K开口部
11第一磁场发生部
12第二磁场发生部
13、31A、34A磁体
14第一保持部件
15第二保持部件
16第一线
17第二线
20、30磁传感器
41~46线圈
150MR元件
162下部电极
163上部电极
151磁化自由层
152非磁性层
153磁化固定层
154反强磁性层
MF1第一磁场
MF2第二磁场
MF合成磁场
具体实施方式
下面参照附图对用于实施本发明的实施方式进行详细说明。以下说明的实施方式全都表示本发明所优选的一个具体例子。因此,在以下的实施方式中所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接形态等,仅仅是一个例子,并不旨在限定本发明。因此,对以下的实施方式的构成要素中的、在表示本发明的最上位概念的独立权利要求中没有记载的构成要素,作为任意的构成要素进行说明。再有,各个附图仅是示意图,图示并不一定严密。另外,在各个附图中,对实质上同一的结构附加同一的符号,并且省略或简化重复的说明。再有,说明按以下的顺序进行。
1.一种实施方式
具备镜头模组的摄像装置的例子,该镜头模组具有:产生用于驱动镜头的第一磁场的第一磁场发生部,产生第二磁场且与镜头一体移动的第二磁场发生部,以及用于进行镜头的位置检测的磁传感器。
2.变形例
<1.一种实施方式>
[摄像装置100的结构]
最初参照图1和图2,对作为本发明的一种实施方式的摄像装置100的结构进行说明。
图1是表示摄像装置100的整体结构例的立体图。图2是摄像装置100的内部的示意说明图。再有,在图2中,为了便于理解,以与图1所示的对应的各个构成要素不同的尺寸和配置描写摄像装置100的各个构成要素。
摄像装置100构成例如智能手机用照相机的一部分,该照相机具备光学手抖补正机构和自动聚焦机构。摄像装置100例如具备:使用CMOS等取得图像的作为摄像元件的图像传感器200,以及将来自被拍对象的光导入图像传感器200的镜头模组300。
[镜头模组300的结构]
镜头模组300具有:本发明的一种实施方式的位置检测装置1,驱动装置3,镜头5,壳体6,以及基板7。位置检测装置1是磁式的位置检测装置,在自动地进行入射光的聚焦时检测出镜头5的位置,以使从被拍对象射入的光(以下仅称入射光)在图像传感器200的摄像面上成像。为了进行入射光的聚焦,驱动装置3使镜头5移动。壳体6收纳并保护位置检测装置1和驱动装置3等。基板7具有上面7a。上面7a是对应于本发明的“平面”的一个具体例子。再有,在图1中,省略基板7;在图2中,省略壳体6。
在此,如图1和图2所示,定义U轴、V轴和Z轴。U轴、V轴和Z轴互相正交。在本实施方式中,Z轴与基板7的上面7a垂直,U轴和V轴全都与基板7的上面7a平行。并且,在本实施方式中,将+Z方向作为上方向,将-Z方向作为下方向。另外,本实施方式的+Z方向和-Z方向即平行于Z轴的方向是对应于本发明的“第二方向”的一个具体例子。
(镜头5)
镜头5以其光轴方向与Z轴一致的姿势配置在基板7上面7a的上方。另外,基板7具有开口部7K,该开口部7K使透过镜头5的光通过。如图2所示,镜头模组300对图像传感器200定位,以使来自被拍对象的依次通过镜头5和基板7的开口部7K的光射入图像传感器200。
(位置检测装置1和驱动装置3)
其次,参照图2~图5,对本实施方式的位置检测装置1和驱动装置3进行详细说明。图3是表示镜头模组300中的位置检测装置1和驱动装置3的立体图。图4是表示驱动装置3的多个线圈41~46的立体图。图5是表示驱动装置3的主要部分的侧视图。
位置检测装置1具有第一保持部件14、第二保持部件15、多根第一线16和多根第二线17。第二保持部件15保持镜头5。第二保持部件15例如具有筒状的形状,该筒状的形状以在第二保持部件15的内部能够安装镜头5的方式构成。再有,位置检测装置1也可以没有第一线16和第二线17。
第二保持部件15设置为:对第一保持部件14可以沿着镜头5的光轴方向即Z轴方向移动。在本实施方式中,第一保持部件14具有盒状的形状,该盒状的形状以在第一保持部件14的内部能够收纳镜头5和第二保持部件15的方式构成。多根第二线17连接第一保持部件14与第二保持部件15,并且以使第二保持部件15对第一保持部件14能够在Z轴方向上移动的方式支撑第二保持部件15。
第一保持部件14设置为:在基板7上面7a的上方,对基板7可以在U轴方向和V轴方向的双方上移动。多根第一线16连接基板7与第一保持部件14,并且以使第一保持部件14对基板7能够在U轴方向和V轴方向上移动的方式支撑第一保持部件14。如果第一保持部件14相对基板7的位置发生变化,那么第二保持部件15相对基板7的位置也发生变化。
位置检测装置1进一步具有:产生第一磁场MF1的第一磁场发生部11,产生第二磁场MF2的第二磁场发生部12,以及磁传感器20。第一磁场发生部11包含分开配置在互相不同的位置的第一磁体和第二磁体。具体地说,第一磁场发生部11具有作为上述第一磁体和第二磁体的磁体31A和磁体34A,磁体31A和磁体34A以沿着基板7上面7a且夹着磁传感器20的方式配置。再有,磁体31A和磁体34A也是构成驱动装置3的要素。第一磁场MF1是磁体31A和磁体34A分别产生的磁场的合成磁场。磁体31A和磁体34A以第一磁性材料为主要成分,并且呈例如长方体形状。作为第一磁性材料,可以列举例如NdFeB(钕铁硼磁体)等钕类磁体材料。磁体31A和磁体34A具有第一剩余磁通密度的温度系数。磁体31A和磁体34A被固定在第一保持部件14中。也就是说,第一磁场发生部11由第一保持部件14保持。磁体31A和磁体34A是驱动用磁体,产生使保持镜头5的第二保持部件15沿着Z轴移动的驱动力。并且,磁体31A和磁体34A也可以是用于对磁传感器20施加偏压的偏置磁体。
如图3所示,磁体31A具有位于磁体31A的+U方向的端部的端面31A1。磁体34A具有位于磁体34A的-V方向的端部的端面34A1。
第二磁场发生部12设置为:相对第一磁场发生部11的位置可以发生变化。第二磁场发生部12具有例如磁体13。因此,第二磁场MF2是磁体13产生的磁场。磁体13以与第一磁性材料不同的第二磁性材料为主要成分,并且具有例如与磁体31A和磁体34A同样的长方体形状。但是,磁体13的形状与磁体31A和磁体34A的形状不同。作为第二磁性材料,可以列举例如NdFeB等钕类磁体材料。或者,也可以使用作为第二磁性材料的SmCo(钐钴磁体)。磁体13可以具有第二剩余磁通密度的温度系数。在此,磁体13具有的第二剩余磁通密度的温度系数的绝对值优选地比磁体31A和磁体34A具有的第一剩余磁通密度的温度系数的绝对值小。磁体13是位置检测用磁体,产生用于进行保持镜头5的第二保持部件15的位置检测的第二磁场MF2。
另外,磁体13被以位于磁体31A的端面31A1(图3)和磁体34A的端面34A1(图3)附近的空间的方式固定在第二保持部件15中。也就是说,第二磁场发生部12由第二保持部件15保持。如果第二保持部件15相对第一保持部件14的位置沿着Z轴方向发生变化,那么第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11的位置也沿着Z轴方向发生变化。
磁传感器20检测其所配置的所定的检测位置的检测对象磁场MF,生成对应于检测对象磁场MF的方向的检测信号。磁传感器20被以位于磁体31A的端面31A1和磁体34A的端面34A1双方的附近的方式固定在基板7上。如后所述,从磁体31A到磁传感器20的距离与从磁体34A到磁传感器20的距离互相不同。磁体13例如配置在磁传感器20的上方。
在本实施方式中,所定的检测位置是配置有磁传感器20的位置。如前所述,如果第二磁场发生部12的位置相对第一磁场发生部11的位置发生变化,那么上述所定的检测位置与第二磁场发生部12之间的距离发生变化。检测对象磁场是检测位置的第一磁场MF1与第二磁场MF2的合成磁场MF。磁传感器20通过检测合成磁场MF,可以检测第二磁场发生部12的位置变化。再有,第一磁场MF1和第二磁场MF2由后述的图6表示。合成磁场MF由后述的图10A表示。对于第一磁场发生部11、第二磁场发生部12和磁传感器20的位置关系,以及磁传感器20的结构,在后面详述。
驱动装置3以包括磁体31A,31B,32A,32B,33A,33B,34A,34B和线圈41,42,43,44,45,46的方式构成。如图1和图2所示,磁体31A从镜头5看位于-V方向。磁体32A从镜头5看位于+V方向。磁体33A从镜头5看位于-U方向。磁体34A从镜头5看位于+U方向。也就是说,在驱动装置3中,在例如沿着基板7上面7a的正方形或长方形的区域的四边上分别配置有磁体31A,32A,33A,34A。磁体31B,32B,33B,34B分别位于磁体31A,32A,33A,34A的上方(+Z方向)。另外,磁体31A,31B,32A,32B,33A,33B,34A,34B保持在第一保持部件14中。
如图3所示,磁体31A,31B,32A,32B各自具有以U轴方向为长方向的长方体形状。磁体33A,33B,34A,34B各自具有以V轴方向为长方向的长方体形状。磁体31A,32B的磁化的方向是+V方向。磁体31B,32A的磁化的方向是-V方向。磁体33A,34B的磁化的方向是+U方向。磁体33B,34A的磁化的方向是-U方向。在图5中,磁体31A,31B中的箭头分别表示磁体31A,31B的磁化的方向。
如图1和图2所示,线圈41配置在磁体31A与基板7之间。线圈42配置在磁体32A与基板7之间。线圈43配置在磁体33A与基板7之间。线圈44配置在磁体34A与基板7之间。线圈45配置在磁体31A,31B与镜头5之间。线圈46配置在磁体32A,32B与镜头5之间。另外,线圈41,42,43,44各自固定在基板7上。线圈45,46各自固定在第二保持部件15中。
对于线圈41,主要施加有从磁体31A产生的磁场。对于线圈42,主要施加有从磁体32A产生的磁场。对于线圈43,主要施加有从磁体33A产生的磁场。对于线圈44,主要施加有从磁体34A产生的磁场。
另外,如图2、图4和图5所示,线圈45包括:沿着磁体31A延伸的U轴延伸的第一导体部45A,沿着磁体31B延伸的U轴延伸的第二导体部45B,以及连接第一导体部45A与第二导体部45B的2个第三导体部45C,45D。另外,如图4所示,线圈46包括:沿着磁体32A延伸的U轴延伸的第一导体部46A,沿着磁体32B延伸的U轴延伸的第二导体部46B,以及连接第一导体部46A与第二导体部46B的2个第三导体部46C,46D。
对于线圈45的第一导体部45A,主要施加有从磁体31A产生的磁场的+V方向的分量。对于线圈45的第二导体部45B,主要施加有从磁体31B产生的磁场的-V方向的分量。对于线圈46的第一导体部46A,主要施加有从磁体32A产生的磁场的-V方向的分量。对于线圈46的第二导体部46B,主要施加有从磁体32B产生的磁场的+V方向的分量。
驱动装置3在线圈41~44的内侧进一步分别具有固定在基板7上的4个磁传感器30。如后所述,4个磁传感器30在为了减少手抖的影响而改变镜头5的位置时使用。
位于线圈41内侧的磁传感器30检测从磁体31A产生的磁场,生成对应于磁体31A的位置的信号。位于线圈42内侧的磁传感器30检测从磁体32A产生的磁场,生成对应于磁体32A的位置的信号。位于线圈43内侧的磁传感器30检测从磁体33A产生的磁场,生成对应于磁体33A的位置的信号。位于线圈44内侧的磁传感器30检测从磁体34A产生的磁场,生成对应于磁体34A的位置的信号。磁传感器30例如能够由霍尔元件等检测磁场的元件构成。再有,驱动装置3也可以仅具有位于线圈41内侧的磁传感器30或位于线圈42内侧的磁传感器30的任何一个。同样,驱动装置3也可以仅具有位于线圈43内侧的磁传感器30或位于线圈44内侧的磁传感器30的任何一个。
其次,参照图3和图6,对第一磁场发生部11、第二磁场发生部12和磁传感器20的位置关系进行详细说明。图6是表示位置检测装置1的主要部分的立体图。在此,如图6所示,定义+X方向和+Y方向。+X方向和+Y方向全都是与基板7的上面7a(参照图2)平行的方向。+X方向是从+U方向朝着+V方向旋转45°的方向。+Y方向是从+V方向朝着-U方向旋转45°的方向。另外,将与+X方向相反的方向作为-X方向,将与+Y方向相反的方向作为-Y方向。再有,+X方向和-X方向即平行于X轴的方向是对应于本发明的“第一方向”的一个具体例子。
在图6中,付有符号MF1的箭头表示检测位置的第一磁场MF1。在本实施方式中,第一磁场发生部11和磁传感器20设置为:检测位置的第一磁场MF1的方向为-Y方向。检测位置的第一磁场MF1的方向例如能够根据磁体31A,34A相对磁传感器20的位置和磁体31A,34A对磁传感器20的姿势进行调整。磁体31A,34A优选地以对包括检测位置的YZ平面对称的方式配置。
在图6中,付有符号MF2的箭头表示检测位置的第二磁场MF2,磁体13内的箭头表示磁体13的磁化的方向。另外,第二磁场MF2的方向与第一磁场MF1的方向不同。
检测对象磁场MF的方向与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个都不同,是它们之间的方向。检测对象磁场MF的方向的可变范围未满180°。在本实施方式中,第二磁场MF2的方向是与第一磁场MF1的方向正交的-X方向。在这种情况下,检测对象磁场MF的方向的可变范围未满90°。
其次,参照图7,对磁传感器20的结构进行说明。图7是表示磁传感器20的结构的电路图。在本实施方式中,磁传感器20以如下方式构成:生成对应于检测对象磁场MF的方向对基准方向所呈的角度的检测信号,作为对应于检测对象磁场MF的方向的检测信号。在本实施方式中,基准方向是+X方向。
如图7所示,磁传感器20具有惠斯通电桥电路21和差分检测器22。惠斯通电桥电路21包括电源端口V、接地端口G、2个输出端口E1,E2、串联的第一电阻部R1和第二电阻部R2、串联的第三电阻部R3和第四电阻部R4。第一电阻部R1的第一端部和第三电阻部R3的第一端部各自连接于电源端口V。第一电阻部R1的第二端部分别连接于第二电阻部R2的第一端部与输出端口E1。第三电阻部R3的第二端部分别连接于第四电阻部R4的第一端部与输出端口E2。第二电阻部R2的第二端部和第四电阻部R4的第二端部各自连接于接地端口G。对电源端口V施加所定大小的电源电压。接地端口G接地。
在本实施方式中,第一~第四电阻部R1~R4各自包括串联的多个磁阻效应元件(MR元件)。多个MR元件各自是例如自旋阀型MR元件。该自旋阀型MR元件具有:磁化方向固定的磁化固定层,对应检测对象磁场的方向而磁化的方向发生变化的磁性层即自由层,以及配置在磁化固定层与自由层之间的非磁性层。自旋阀型MR元件可以是隧道磁电阻效应元件(TMR元件),也可以是巨磁电阻效应元件(GMR元件)。在TMR元件中,非磁性层是隧道阻挡层。在GMR元件中,非磁性层是非磁性导电层。在自旋阀型MR元件中,对应自由层的磁化的方向对磁化固定层的磁化的方向所呈的角度而电阻值发生变化,在该角度为0°时电阻值最小,在该角度为180°时电阻值最大。在图7中,黑色的箭头表示MR元件的磁化固定层的磁化的方向,白色的箭头表示MR元件的自由层的磁化的方向。
分别包含在第一电阻部R1和第四电阻部R4中的多个MR元件的磁化固定层的磁化的方向是在图6中用符号MP1表示的方向(以下称为方向MP1。)。对此,包含在第二电阻部R2和第三电阻部R3中的多个MR元件的磁化固定层的磁化的方向是用与方向MP1相反的符号MP2表示的方向(以下称为方向MP2。)。在本实施方式中,在基准平面内,正交于方向MP1的2个方向各自都与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个不同。在基准平面内,正交于方向MP2的2个方向与正交于方向MP1的2个方向相同。因此,在基准平面内,正交于方向MP2的2个方向也各自都与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个不同。输出端口E1的电位、输出端口E2的电位和输出端口E1,E2的电位差对应检测对象磁场MF的方向对方向MP1所呈的角度的余弦而变化。差分检测器22将对应于输出端口E1,E2的电位差的信号作为检测信号输出。检测信号依存于输出端口E1的电位、输出端口E2的电位和输出端口E1,E2的电位差。另外,检测信号因为对应检测对象磁场MF的方向而变化,所以是对应检测对象磁场MF的方向的信号。
再有,鉴于MR元件的制作精度等,即使多个MR元件的磁化固定层的磁化的方向从上述方向稍微偏离也可。
在此,参照图8,对第一~第四电阻部R1~R4的结构的一例进行说明。图8是表示图7所示的磁传感器20的1个电阻部的一部分的立体图。在本例中,1个电阻部具有多个下部电极162、多个磁阻效应(MR)元件150和多个上部电极163。多个下部电极162配置在未图示的基板上。各个下部电极162具有细长的形状。在下部电极162的长方向上邻接的2个下部电极162之间,形成有间隙。如图8所示,在下部电极162的上面上的长方向的两端附近,各自配置有MR元件150。MR元件150例如包括从下部电极162侧依次层积的磁化自由层151、非磁性层152、磁化固定层153和反强磁性层154。磁化自由层151与下部电极162电连接。反强磁性层154以包含反强磁性材料的方式构成,并且在与磁化固定层153之间产生交换连接来固定磁化固定层153的磁化的方向。多个上部电极163配置在多个MR元件150上。各个上部电极163具有细长的形状,并且用于使邻接的2个MR元件150的反强磁性层154彼此电连接,该2个MR元件150配置在下部电极162的长方向上邻接的2个下部电极162上。由于这样的结构,图8所示的电阻部具有多个MR元件150,该多个MR元件150通过多个下部电极162与多个上部电极163串联。再有,MR元件150的磁化自由层151、非磁性层152、磁化固定层153和反强磁性层154的配置也可以与图8所示的配置上下相反。
其次,参照图9,对第一磁场发生部11的磁体31A和磁体34A与磁传感器20的位置关系进行详细说明。图9是沿着与Z轴正交的上面7a的磁体31A和磁体34A与磁传感器20的位置关系的示意主视图。
如图9所示,在X轴方向上,磁传感器20的中心位置P20处于磁体31A与磁体34A之间的区域GP中的磁体31A与磁体34A的中间位置P11以外的位置。中间位置P11是指后述的顶点31AP与后述的顶点34AP的连线上的中点位置。特别是,磁传感器20的全部可以设置在X轴方向上的区域GP中的中间位置P11以外的位置。
另外,第二磁场发生部12的磁体13在X轴方向上配置在磁体31A与磁体34A的中间位置P11。在此,“磁体13在X轴方向上配置在磁体31A与磁体34A的中间位置P11”意味着:在X轴方向上,磁体13以磁体13的一部分处在中间位置P11的方式配置在区域GP。特别是,第二磁场发生部12的磁体13的X轴方向的中心位置P13可以处于X轴方向的中间位置P11。
另外,磁体31A包括端面31A1与侧面31A2相交的顶点31AP,端面31A1沿着V轴方向,侧面31A2对端面31A1呈90±5°的角度。磁体34A包括端面34A1与侧面34A2相交的顶点34AP,端面34A1沿着U轴方向,侧面34A2对端面34A1呈90±5°的角度。因此,端面31A1与端面34A1互相呈90±5°的角度,侧面31A2与侧面34A2互相呈90±5°的角度。端面31A1,34A1和侧面31A2,34A2全都对上面7a实质上垂直。磁体31A和磁体34A各自以离磁传感器20的距离在各自的顶点31AP,34AP为最小的姿势配置。在此,端面31A1,34A1是对应于本发明的“第一面”的一个具体例子,侧面31A2,34A2是对应于本发明的“第二面”的一个具体例子。
进一步说,位置检测装置1可以满足下列条件表达式(1)。
0<D<(G×2/5)……(1)
其中,D是从X轴方向的磁体31A的顶点31AP与磁体34A的顶点34AP的中间位置P11到磁传感器20的中心位置P20的距离。G是X轴方向的磁体31A的顶点31AP与磁体34A的顶点34AP的间隔。
并且,位置检测装置1可以满足下列条件表达式(2)。
(G/6)<D<(G/3)……(2)
其次,参照图1~图5,对驱动装置3的动作进行说明。最初,简单说明光学手抖补正机构和自动聚焦机构。驱动装置3构成光学手抖补正机构和自动聚焦机构的一部分。驱动装置3、光学手抖补正机构和自动聚焦机构由设置在摄像装置100外部的控制部4(参照图1)控制。
光学手抖补正机构例如构成为:能够通过摄像装置100外部的陀螺传感器等检测手抖。如果光学手抖补正机构检出手抖,那么控制部4控制驱动装置3,以便根据手抖的样态改变镜头5相对基板7的位置。由此,能够使镜头5的绝对位置稳定化,从而减少手抖的影响。再有,镜头5相对基板7的位置根据手抖的样态在平行于U轴的方向或平行于V轴的方向上变化。
自动聚焦机构例如构成为:能够通过图像传感器200或自动聚焦传感器等,检测对被拍对象的聚焦状态。控制部4通过驱动装置3,使镜头5相对基板7的位置沿着Z轴变化,以对被拍对象聚焦。由此,能够自动地进行对被拍对象的聚焦。
其次,对关联光学手抖补正机构的驱动装置3的动作进行说明。如果通过控制部4使电流流过线圈41,42;那么由于从磁体31A,32A产生的磁场与从线圈41,42产生的磁场相互作用,固定有磁体31A,32A的第一保持部件14沿着V轴移动。其结果是,镜头5也沿着V轴移动。另外,如果通过控制部4使电流流过线圈43,44;那么由于从磁体33A,34A产生的磁场与从线圈43,44产生的磁场相互作用,固定有磁体33A,34A的第一保持部件14沿着U轴移动。其结果是,镜头5也沿着U轴移动。控制部4通过测定信号,来检测镜头5的位置,该信号由磁传感器30生成且对应于磁体31A,32A,33A,34A的位置。
其次,对关联自动聚焦机构的驱动装置3的动作进行说明。在使镜头5相对基板7的位置沿着Z轴移动的情况下,控制部4使电流流过线圈45,以使在第一导体部45A有+U方向的电流流动,在第二导体部45B有-U方向的电流流动。控制部4进一步使电流流过线圈46,以使在第一导体部46A有-U方向的电流流动,在第二导体部46B有+U方向的电流流动。通过这些电流和从磁体31A,31B,32A,32B产生的磁场,对线圈45的第一导体部45A和第二导体部45B以及线圈46的第一导体部46A和第二导体部46B施加+Z方向的洛伦兹力。由此,固定有线圈45,46的第二保持部件15向+Z方向移动。其结果是,镜头5也向+Z方向移动。
在使镜头5相对基板7的位置向-Z方向移动的情况下,控制部4使电流流过线圈45,46,此时的电流方向与向+Z方向移动的情况的电流方向相反。
[摄像装置100的作用效果]
其次,对本实施方式的位置检测装置1和具备位置检测装置1的摄像装置100的作用和效果进行说明。本实施方式的位置检测装置1用于检测镜头5的位置。在本实施方式中,如果镜头5相对基板7的位置发生变化,那么第二保持部件15相对基板7和第一保持部件14的位置也发生变化。如前所述,第一保持部件14保持第一磁场发生部11,第二保持部件15保持第二磁场发生部12。因此,如果如上所述镜头5的相对位置发生变化,那么第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11的位置也发生变化。在本实施方式中,第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11的位置变化的方向是镜头5的光轴方向即与Z轴平行的方向。
如果第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11的位置发生变化;那么虽然第一磁场发生部11相对基板7的位置没有变化,但是第二磁场发生部12相对基板7的位置发生变化。为此,如果第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11的位置发生变化;那么虽然第一磁场MF1的强度和方向与第二磁场MF2的方向没有变化,但是第二磁场MF2的强度发生变化。如果第二磁场MF2的强度发生变化,那么检测对象磁场MF的方向和强度也发生变化,随之,磁传感器20生成的检测信号的值也发生变化。磁传感器20生成的检测信号的值依存于第二磁场发生部12相对基板7的位置而变化。控制部4通过测定来自磁传感器20的检测信号,来检测第二磁场发生部12相对基板7的位置。第二磁场发生部12相对基板7的位置表示镜头5相对基板7的位置。
在此,参照图10A,对方向MP1和方向MP2以及第一磁场MF1和第二磁场MF2进行详细说明。在图10A中,符号RP表示基准平面,符号P表示检测位置。在图10A中,用付有符号MF1的箭头表示第一磁场MF1,用付有符号MF2的箭头表示第二磁场MF2,用付有符号MF的箭头表示检测对象磁场。另外,在图10A中,X方向的轴表示X方向的磁场强度Hx,Y方向的轴表示Y方向的磁场强度Hy。
因为检测对象磁场MF是第一磁场MF1与第二磁场MF2的合成磁场,所以检测对象磁场MF的方向与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个都不同,是第一磁场MF1的方向与第二磁场MF2的方向之间的方向。在图10A中,在基准平面RP内,用符号PP1和符号PP2表示与方向MP1正交的2个方向。在基准平面RP内,与方向MP2正交的2个方向与方向PP1和方向PP2相同。如前所述,在本实施方式中,方向PP1和方向PP2各自与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个都不同。
在图10A中,将从基准方向(+X方向)沿着反时针方向看检测对象磁场MF的方向与基准方向(+X方向)之间的夹角称为检测对象角度,用记号θ表示。检测对象角度θ表示检测对象磁场MF的方向。在本实施方式中,磁传感器20生成对应于检测对象角度θ的检测信号。
在此,参照图10B,对本实施方式的镜头5相对基板7的位置与检测对象角度θ的关系进行说明。图10B是表示镜头5相对基板7的位置与检测对象角度θ的关系的特性图。在图10B中,横轴表示镜头5相对基板7的位置,纵轴表示检测对象角度θ。
在本实施方式中,将第二磁场发生部12对检测位置P最近时的检测位置P与第二磁场发生部12之间的距离作为最近距离,并且用从处于任意位置的第二磁场发生部12与检测位置P之间的距离减去最近距离的值表示镜头5相对基板7的位置。再有,在此,作为镜头5相对基板7的位置的可动范围的一个例子,为0~0.3mm的范围。
在本实施方式中,如图10B所示,在镜头5相对基板7的位置在0~0.3mm的可动范围内变化时,检测对象角度θ在207°~240°的可变范围内变化。检测对象角度θ的变化相对于镜头5相对基板7的位置的变化是线性的。检测对象角度θ表示检测对象磁场MF的方向。因此,检测对象角度θ的可变范围的范围与对应于镜头5相对基板7的位置的可动范围的检测对象磁场MF的方向的可变范围相对应。在图10A中,符号θR所示的范围表示检测对象角度θ的可变范围。
如图10A所示,在本实施方式中,在基准平面RP内,与磁化固定层的磁化的方向正交的方向PP1、PP2各自与第一磁场MF1的方向和第二磁场MF2的方向的任何一个都不同。由此,根据本实施方式的位置检测装置1,可以进行高精度的位置检测。
另外,在本实施方式中,在X轴方向上,使磁传感器20的中心位置P20为磁体31A与磁体34A之间的区域GP中的中间位置P11以外的位置。因此,即使在例如实际安装的磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置(安装相对位置)偏离设计上的磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置(设计相对位置)的情况下,也能够降低磁传感器20的输出信号的误差。以下,参照图11,对磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置给施加于磁传感器20的第一磁场MF1带来的影响进行说明。
图11是表示作为本发明的一种实施方式的1个实验例的位置检测装置1的第一磁场MF1的强度的位置依赖性的特性图。处于图11最上面的(A)是表示区域GP的X轴方向的位置[μm]与区域GP的第一磁场MF1的强度的关系的特性图。在图11的(A)中,用虚线记载磁体31A和磁体34A产生的第一磁场MF1中的X轴方向分量的磁场Hx,用实线记载该第一磁场MF1中的Y轴方向分量的磁场Hy。处于图11中间的(B)是表示第一磁场MF1的X轴方向分量即磁场Hx的方向与第一磁场MF1的Y轴方向分量即磁场Hy的方向之间的角度θ[deg]如何对应区域GP的X轴方向的位置[μm]而变化的特性图。处于图11最下面的(C)是表示图11的(B)所示的角度θ的倾斜[deg/μm]如何对应区域GP的X轴方向的位置[μm]而变化的特性图。如图11的(A)所示,第一磁场MF1的X轴方向分量即磁场Hx和Y轴方向分量即磁场Hy各自对应X轴方向的位置而变动。也就是说,如图11的(B)所示,施加于磁传感器20的第一磁场MF1的方向(角度)对应磁传感器20的X轴方向的位置而变动。该变动的倾斜如图11的(C)所示,在X轴方向上,在中间位置P11附近的倾斜比在中间位置P11的倾斜更小。因此,通过使磁传感器20的中心位置P20为中间位置P11以外的位置,即使在磁传感器20的安装相对位置与设计相对位置偏离的情况下,也能够降低磁传感器20的输出信号的误差。
具体地说,通过满足例如上述条件表达式(1),相比磁传感器20的中心位置P20配置在中间位置P11的情况,由于磁传感器20的位置偏离而能够降低磁传感器20的测定误差。特别是通过满足上述条件表达式(2),能够更进一步降低磁传感器20的测定误差。
图12是镜头模组300的XY面内的第一磁场MF1的分布的一例的示意图。如图12所示,磁体31A~34A在与各自的长方向正交的方向上着磁。另外,通过磁传感器20的磁通量大致朝向Y轴方向。
另外,在本实施方式中,第二磁场发生部12在X轴方向上配置在磁体31A与磁体34A的中间位置P11。因此,因为作为整个位置检测装置1容易获得重量平衡,所以在第二磁场发生部12向Z轴方向移动时,镜头5容易维持所望的姿势。具体地说,例如能够将镜头5的光轴对图像传感器200的倾斜抑制为较小。特别是,如果使磁体13的X轴方向的中心位置P13与中间位置P11一致;那么因为更加容易获得重量平衡,所以在第二磁场发生部12向Z轴方向移动时,能够更加容易正确地维持镜头5的姿势。
另外,在本实施方式中,磁体31A,34A的形状与磁体13的形状不同。为此,能够使第一磁场发生部11的磁体31A,34A为适宜的形状,以作为用于使镜头5沿着Z轴移动的驱动源;并且能够使第二磁场发生部12的磁体13为适宜的形状,以便于磁传感器20检测磁体13的沿着Z轴的位置。另外,在本实施方式中,第一磁场发生部11的磁体31A,34A的主要成分的第一磁性材料与第二磁场发生部12的磁体13的主要成分的第二磁性材料不同。因此,即使第一磁场发生部11的磁体31A,34A的形状与第二磁场发生部12的磁体13的形状不同,也能够使磁体31A,34A的热退磁率与磁体13的热退磁率接近。因此,在摄像装置100中,即使在设置有位置检测装置1的环境的温度发生变化的情况下,第二磁场发生部12相对第一磁场发生部11和磁传感器20的位置也不易产生变动。也就是说,环境温度变化的影响不易波及由磁传感器20进行的镜头5的位置检测的精度,能够降低由磁传感器20进行的镜头5的位置检测的精度的温度依存性。其结果是,根据本实施方式的摄像装置100,能够更加正确地改变镜头5的位置,从而能够取得更好的图像。
另外,在本实施方式中,通过使磁体13具有的第二剩余磁通密度的温度系数的绝对值比磁体31A和磁体34A具有的第一剩余磁通密度的温度系数的绝对值小,能够使伴随环境温度变化的由磁传感器20进行的镜头5的位置检测的偏差更小。
在此,在图13A中,表示作为参考例的位置检测装置的温度特性。在图13A中,横轴表示沿着Z轴的镜头5的实际位移量[μm],纵轴表示在环境温度从25℃变动至65℃时由位置检测装置对沿着Z轴的镜头5的实际位移量的检测的测定值的最大误差[μm]。再有,横轴的位移量[μm]以0作为基准位置,+Z方向的位移量用正值表示,-Z方向的位移量用负值表示。在该参考例中,作为磁体31A,34A、磁体13的构成材料使用NdFeB。在本参考例中,进一步使磁体31A,34A各自的形状为“长度7mm×宽度1mm×厚度0.5mm”的长方体,使磁体13的形状为“长度1mm×宽度0.8mm×厚度0.5mm”的长方体。其结果是,磁体31A,34A的热退磁率为-3.5%,而磁体13的热退磁率为-4.51%。如图13A所示,可知在作为参考例的位置检测装置中,在镜头5沿着Z轴在-400μm~+400μm的范围位移时,最大会产生6μm的误差。
在图13B中,表示本实施方式的位置检测装置1的温度特性的1个实验例。在图13B中,横轴表示沿着Z轴的镜头5的实际位移量[μm],纵轴表示在环境温度从25℃变动至65℃时由位置检测装置对沿着Z轴的镜头5的实际位移量的检测的测定值的最大误差[μm]。再有,横轴的位移量[μm]与图13A同样,以0作为基准位置,+Z方向的位移量用正值表示,-Z方向的位移量用负值表示。在该实验例中,作为磁体31A,34A的构成材料使用NdFeB,作为磁体13的构成材料使用SmCo。在本实验例中,进一步使磁体31A,34A各自的形状为“长度7mm×宽度1mm×厚度0.5mm”的长方体,使磁体13的形状为“长度1mm×宽度0.8mm×厚度0.5mm”的长方体。其结果是,磁体31A,34A的热退磁率为-3.5%,磁体13的热退磁率为-3.5%。如图13B所示,可知在本实施例中,在镜头5沿着Z轴在-400μm~+400μm的范围位移时,能够将最大误差控制为0.6μm。
<2.变形例>
以上,虽然列举实施方式说明了本发明,但是本发明并不限定于上述实施方式,可以做出各种变化。例如在上述实施方式中,虽然在磁传感器中,使用4个电阻部形成了全桥电路;但是在本发明中,也可以例如使用2个电阻部形成半桥电路。另外,多个磁阻效应元件的形状和尺寸可以彼此相同,也可以不同。另外,电阻部也可以包括例如磁检测元件。在此,磁检测元件是指具有检测磁场的功能的任意的元件,不限定于自旋阀型MR元件,是包括各向异性磁电阻效应元件(AMR元件)、霍尔元件等(例如平面霍尔元件、垂直霍尔元件)的概念。一般来说,虽然平面霍尔元件有具有对基板垂直的灵敏度轴的倾向,磁阻效应元件、垂直霍尔元件有具有对基板平行的灵敏度轴的倾向;但是在本发明中,优选地,使用具有对基板或与Z轴正交的平面平行的灵敏度轴的磁检测元件。另外,各个构成要素的尺寸、各个构成要素的设计等仅是示例,并不限定于此。
另外,本发明的位置检测装置并不限定于用于进行镜头的位置检测的装置,也可以进行镜头以外的其他物体的空间上的位置检测。
另外,在上述实施方式中,虽然第一磁体产生第一磁场,并且该第一磁场被作为用于对镜头和保持镜头的第二保持部件进行驱动的驱动源使用,但是本发明并不限定于此。在本发明中,也可以作为例如对磁传感器的磁阻效应元件施加偏压的偏置磁体,使用第一磁体。
另外,在上述实施方式的位置检测装置1中,通过使作为第一磁体的主要成分的第一磁性材料与作为第二磁体的主要成分的第二磁性材料不同,并且使第一磁体的形状与第二磁体的形状不同,从而使第一磁体的热退磁率与第二磁体的热退磁率接近。然而,本发明并不限定于此。例如,也可以使第一磁体的主要成分和第二磁体的主要成分全都是同样的磁性材料(例如第一磁性材料),并且使第一磁体的磁导率(为了方便起见,称作第一磁导率。)与第二磁体的磁导率(为了方便起见,称作第二磁导率。)实质上相同。在这种情况下,例如可以使第一磁体的形状与第二磁体的形状相同或相似。即使在这种情况下,也能够使第一磁体的热退磁率与第二磁体的热退磁率接近。因此,第一磁体的温度特性与第二磁体的温度特性近似,能够降低位置检测精度的误差。
另外,虽然在上述实施方式中,在沿着基板7上面7a的正方形或长方形的区域的四边上分别配置有磁体31A,32A,33A,34A,但是本发明并不限定于此。例如,像图14所示的作为变形例的镜头模组300A那样,也可以在沿着基板7上面7a的正方形或长方形的区域的四角上分别配置磁体31A,32A,33A,34A。再有,在镜头模组300A中,沿着U轴的方向对应于本发明的“第一方向”。在镜头模组300A中,镜头5配置在由磁体31A,32A,33A,34A包围的中央区域,并且线圈C以包围该镜头5的方式配置在磁体31A,32A,33A,34A与镜头5的间隙中。磁体31A,32A,33A,34A可以各自与线圈C的外侧面对置,并且在与线圈C的延伸方向正交的方向(图14所示的箭头的方向或箭头的方向的相反方向)上着磁。镜头5和线圈C由保持部件一体地保持,在Z轴方向上被一对板簧所夹。由保持部件保持的镜头5和线圈C通过一对板簧的弹性变形,可以在Z轴方向上自由移动。在镜头模组300A中,由磁体31A,32A,33A,34A形成沿着UV平面与线圈C交叉的第一磁场。如果对线圈C供给驱动电流,那么在线圈C的周围产生感应磁场,使镜头5和线圈C沿着Z轴方向位移。
其次,参照图15,对镜头模组300A的磁体31A和磁体34A与磁传感器20的位置关系进行详细说明。图15是镜头模组300A的沿着与Z轴正交的上面7a的磁体31A和磁体34A与磁传感器20的位置关系的示意主视图。
如图15所示,在U轴方向上,磁传感器20的中心位置P20处于磁体31A与磁体34A之间的区域GP中的磁体31A与磁体34A的中间位置P11以外的位置。特别是,磁传感器20的全部可以设置在U轴方向上的区域GP中的中间位置P11以外的位置。另外,在镜头模组300A中,U轴方向的磁传感器20的中心位置P20离中间位置P11的距离可以比其离磁体31A和磁体34A的双方的距离近。也就是说,中心位置P20可以处于中间位置P11和后述顶点31AP的中间位置P31与中间位置P11之间,或者可以处于中间位置P11和后述顶点34AP的中间位置P34与中间位置P11之间。
另外,磁体31A包括端面31S1与侧面31S2相交的顶点31AP,端面31S1沿着U轴方向,侧面31S2对该端面31S1呈45±5°的角度。磁体34A包括端面34S1与侧面34S2相交的顶点34AP,端面34S1沿着U轴方向,侧面34S2对该端面34S1呈45±5°的角度。因此,端面31S1与端面34S1实质上互相平行,侧面31S2与侧面34S2互相呈90±5°的角度。端面31S1,34S1和侧面31S2,34S2全都对上面7a实质上垂直。磁体31A和磁体34A各自以离磁传感器20的距离在各自的顶点31AP,34AP为最小的姿势配置。
在作为本变形例的镜头模组300A中,在U轴方向上,使磁传感器20的中心位置P20为磁体31A与磁体34A之间的区域GP中的中间位置P11以外的位置。因此,即使在例如实际安装的磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置(安装相对位置)偏离设计上的磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置(设计相对位置)的情况下,也能够降低磁传感器20的输出信号的误差。以下,参照图16,对磁传感器20与磁体31A和磁体34A的相对位置给施加于磁传感器20的第一磁场MF1带来的影响进行说明。
图16是表示位置检测装置1A的第一磁场MF1的强度的位置依赖性的特性图。处于图16最上面的(A)是表示区域GP的U轴方向的位置[μm]与区域GP的第一磁场MF1的强度的关系的特性图。在图16的(A)中,用虚线记载磁体31A和磁体34A产生的第一磁场MF1中的U轴方向分量的磁场Hu,用实线记载该第一磁场MF1中的V轴方向分量的磁场Hv。处于图16中间的(B)是表示第一磁场MF1的U轴方向分量即磁场Hu的方向与第一磁场MF1的V轴方向分量即磁场Hv的方向之间的角度θ[deg]如何对应区域GP的U轴方向的位置[μm]而变化的特性图。处于图16最下面的(C)是表示图16的(B)所示的角度θ的倾斜[deg/μm]如何对应区域GP的U轴方向的位置[μm]而变化的特性图。如图16的(A)所示,第一磁场MF1的U轴方向分量即磁场Hu和V轴方向分量即磁场Hv各自对应U轴方向的位置而变动。也就是说,如图16的(B)所示,施加于磁传感器20的第一磁场MF1的方向(角度)对应磁传感器20的U轴方向的位置而变动。该变动的倾斜如图16的(C)所示,在U轴方向上,在中间位置P11附近的倾斜比在中间位置P11的倾斜更小。因此,通过使磁传感器20的中心位置P20为中间位置P11以外的位置,即使在磁传感器20的安装相对位置与设计相对位置偏离的情况下,也能够降低磁传感器20的输出信号的误差。
具体地说,镜头模组300A的位置检测装置1A可以满足例如下列条件表达式(3)。这是因为相比磁传感器20的中心位置P20配置在中间位置P11的情况,由于磁传感器20的位置偏离而能够降低磁传感器20的测定误差(参照图16的(C))。
0<D<(G/4)……(3)
其中,D是从U轴方向的磁体31A的顶点31AP与磁体34A的顶点34AP的中间位置P11到磁传感器20的中心位置P20的距离。G是U轴方向的磁体31A的顶点31AP与磁体34A的顶点34AP的间隔。
特别是,位置检测装置1A如图17所示,可以满足下列条件表达式(4)。这是因为这样能够更进一步降低磁传感器20的测定误差。图17是图16的(C)的一部分的放大图。
(G/12)<D<(G/5)……(4)
另外,在镜头模组300A中,通过如图18的(A)所示使磁传感器20的中心位置P20从磁体31A与磁体34A的中间位置P11移开,相比如图18的(B)所示磁传感器20的中心位置P20设置在中间位置P11的情况,能够有效利用平面形状为圆形的镜头5周围的空间。其结果是:在配备所定大小的镜头5的情况下,能够减小作为整个镜头模组300A的占有面积。因此,适合于镜头模组300A的小型化和具备镜头模组300A的摄像装置100的小型化。再有,图18是用于说明作为本变形例的镜头模组300A的效果的说明图。另外,虽然在镜头模组300A中,对磁体31A,32A,33A,34A的形状和配置位置进行了说明;但是也能够使磁体31B,32B,33B,34B的形状和配置位置与图14和图15所示的磁体31A,32A,33A,34A的形状和配置位置相同。
再有,虽然在上述变形例中,如图14和图15所示,4个磁体的平面形状具有底角为45°的直角等腰三角形的轮廓,但是本发明并不限定于此。在本发明中,第一磁体和第二磁体可以各自包含第一面和第二面,该第一面对平面呈90±5°的角度且沿着第一方向,该第二面包括对平面呈90±5°的角度且对第一面呈45±5°以下的角度的部分,第一磁体的第二面与第二磁体的第二面可以设置为:在第一方向上对置,并且越远离第一磁体的第一面和第二磁体的第一面彼此在第一方向上越远离。如图19A所示的磁体31A,34A,也可以包括沿着U轴方向的端面31S1,34S1以及对这些端面31S1,34S1呈45±5°以下的角度θ的侧面31S2,34S2,平面形状具有直角三角形状的轮廓。另外,如图19B所示的磁体31A,34A,平面形状也可以具有多角形状(在图19B中为六角形状)的轮廓。另外,如图19C所示的磁体31A,34A,平面形状也可以具有包括直线和曲线的轮廓。进一步说,如图19D所示的磁体31A,34A,也可以具有弯曲的侧面31S2,34S2。
本发明的第一面也可以不是磁体本身的实际外表面(第一表面)而是包括第一表面作为一部分的几何第一虚拟面,本发明的第二面也可以不是磁体本身的实际外表面(第二表面)而是包括第二表面作为一部分的几何第二虚拟面。
另外,虽然在上述实施方式中,如图9所示,磁传感器20的全部在X轴方向上收纳于磁体31A与磁体34A之间的区域GP,但是本发明并不限定于此。磁传感器的一部分也可以在第一方向上从第一磁体与第二磁体之间的区域露出。
根据作为本发明的一种实施方式的位置检测装置、镜头模组和摄像装置,能够发挥高检测精度。
再有,本技术也能够采用以下结构。
(1)
一种位置检测装置,具备:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;以及
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
(2)
所述(1)所述的位置检测装置,其中,
所述磁传感器的全部在所述第一方向上设置在所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置。
(3)
所述(1)或所述(2)所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁场发生部在所述第一方向上以其一部分处于所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置的方式配置在所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域。
(4)
所述(1)或所述(2)所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁场发生部的所述第一方向的中心位置处于所述第一方向的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置。
(5)
所述(1)至所述(4)中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体各自包含第一面与第二面相交的顶点,所述第一面对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一方向呈45±5°的角度,所述第二面对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一面呈90±5°的角度,
所述第一磁体的所述第二面与所述第二磁体的所述第二面之间的夹角是90±5°,
所述第一磁体和所述第二磁体各自以离所述磁传感器的距离在各自的所述顶点为最小的姿势配置,并且
满足下列条件表达式(1),
0<D<(G×2/5)……(1)
其中,
D:从第一方向的第一磁体的顶点与第二磁体的顶点的中间位置到磁传感器的中心位置的距离,
G:第一方向的第一磁体的顶点与第二磁体的顶点的间隔。
(6)
所述(5)所述的位置检测装置,其中,
满足下列条件表达式(2),
(G/6)<D<(G/3)……(2)
(7)
所述(1)至所述(4)中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体各自包含第一面和第二面,所述第一面对所述平面呈90±5°的角度且沿着所述第一方向,所述第二面包括对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一面呈小于等于45±5°的角度的部分,
所述第一磁体的所述第二面与所述第二磁体的所述第二面设置为在所述第一方向上对置且越远离所述第一磁体的所述第一面和所述第二磁体的所述第一面彼此在所述第一方向上越远离,并且
满足下列条件表达式(3),
0<D<(G/4)……(3)
其中,
D:从第一方向的第一磁体与第二磁体的中间位置到磁传感器的中心位置的距离,
G:第一方向的第一磁体与第二磁体的最小间隔。
(8)
所述(7)所述的位置检测装置,其中,
满足下列条件表达式(4),
(G/12)<D<(G/5)……(4)
(9)
所述(1)至所述(8)中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体全都以第一磁性材料为主要成分且具有第一形状,
所述第二磁场发生部包含第三磁体,所述第三磁体以第二磁性材料为主要成分且呈第二形状。
(10)
所述(9)所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁体的第二剩余磁通密度的温度系数的绝对值比所述第一磁体的第一剩余磁通密度的温度系数的绝对值小。
(11)
所述(9)或所述(10)所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁性材料包含NdFeB,
所述第二磁性材料包含SmCo。
(12)
所述(1)至所述(11)中的任一项所述的位置检测装置,其中,
进一步具备第一保持部件和第二保持部件,
所述第一保持部件保持所述第一磁场发生部,
所述第二保持部件设置为对所述第一保持部件可以沿着所述第二方向移动,并且保持所述第二磁场发生部。
(13)
所述(12)所述的位置检测装置,其中,
所述第二保持部件可以保持镜头,所述镜头具有沿着所述第二方向的光轴。
(14)
所述(1)至所述(13)中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述磁传感器具有灵敏度轴,所述灵敏度轴对与所述第二方向正交的平面平行。
(15)
一种镜头模组,具备:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交;以及
镜头,设置为可以以与所述第二磁场发生部联动的方式对所述第一磁场发生部和所述磁传感器沿着所述第二方向移动,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
(16)
所述(15)所述的镜头模组,其中,
进一步具备第一保持部件和第二保持部件,
所述第一保持部件保持所述第一磁场发生部,
所述第二保持部件设置为对所述第一保持部件可以沿着所述第二方向移动,并且保持所述第二磁场发生部和所述镜头。
(17)
一种摄像装置,具备摄像元件和镜头模组,
所述镜头模组具有:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交;以及
镜头,设置为可以以与所述第二磁场发生部联动的方式对所述第一磁场发生部和所述磁传感器沿着所述第二方向移动,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
本公开含有分别涉及在2020年5月28日、2021年4月7日在日本专利局提交的日本优先权专利申请JP2020-093498、JP2021-065177中公开的主旨,其全部内容包括在此,以供参考。
本领域的技术人员应该理解,虽然根据设计要求和其他因素可能出现各种修改,组合,子组合和可替换项,但是它们均包含在附加的权利要求或它的等同物的范围内。

Claims (17)

1.一种位置检测装置,具备:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;以及
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
2.根据权利要求1所述的位置检测装置,其中,
所述磁传感器的全部在所述第一方向上设置在所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁场发生部在所述第一方向上以其一部分处于所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置的方式配置在所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁场发生部的所述第一方向的中心位置处于所述第一方向的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置。
5.根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体各自包含第一面与第二面相交的顶点,所述第一面对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一方向呈45±5°的角度,所述第二面对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一面呈90±5°的角度,
所述第一磁体的所述第二面与所述第二磁体的所述第二面之间的夹角是90±5°,
所述第一磁体和所述第二磁体各自以离所述磁传感器的距离在各自的所述顶点为最小的姿势配置,并且
满足下列条件表达式(1),
0<D<(G×2/5)……(1)
其中,
D:从第一方向的第一磁体的顶点与第二磁体的顶点的中间位置到磁传感器的中心位置的距离,
G:第一方向的第一磁体的顶点与第二磁体的顶点的间隔。
6.根据权利要求5所述的位置检测装置,其中,
满足下列条件表达式(2),
(G/6)<D<(G/3)……(2)。
7.根据权利要求1至权利要求4中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体各自包含第一面和第二面,所述第一面对所述平面呈90±5°的角度且沿着所述第一方向,所述第二面包括对所述平面呈90±5°的角度且对所述第一面呈小于等于45±5°的角度的部分,
所述第一磁体的所述第二面与所述第二磁体的所述第二面设置为在所述第一方向上对置且越远离所述第一磁体的所述第一面和所述第二磁体的所述第一面彼此在所述第一方向上越远离,并且
满足下列条件表达式(3),
0<D<(G/4)……(3)
其中,
D:从第一方向的第一磁体与第二磁体的中间位置到磁传感器的中心位置的距离,
G:第一方向的第一磁体与第二磁体的最小间隔。
8.根据权利要求7所述的位置检测装置,其中,
满足下列条件表达式(4),
(G/12)<D<(G/5)……(4)。
9.根据权利要求1至权利要求8中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁体和所述第二磁体全都以第一磁性材料为主要成分且具有第一形状,
所述第二磁场发生部包含第三磁体,所述第三磁体以第二磁性材料为主要成分且呈第二形状。
10.根据权利要求9所述的位置检测装置,其中,
所述第二磁体的第二剩余磁通密度的温度系数的绝对值比所述第一磁体的第一剩余磁通密度的温度系数的绝对值小。
11.根据权利要求9或权利要求10所述的位置检测装置,其中,
所述第一磁性材料包含NdFeB,
所述第二磁性材料包含SmCo。
12.根据权利要求1至权利要求11中的任一项所述的位置检测装置,其中,
进一步具备第一保持部件和第二保持部件,
所述第一保持部件保持所述第一磁场发生部,
所述第二保持部件设置为对所述第一保持部件可以沿着所述第二方向移动,并且保持所述第二磁场发生部。
13.根据权利要求12所述的位置检测装置,其中,
所述第二保持部件可以保持镜头,所述镜头具有沿着所述第二方向的光轴。
14.根据权利要求1至权利要求13中的任一项所述的位置检测装置,其中,
所述磁传感器具有灵敏度轴,所述灵敏度轴对与所述第二方向正交的平面平行。
15.一种镜头模组,具备:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交;以及
镜头,设置为可以以与所述第二磁场发生部联动的方式对所述第一磁场发生部和所述磁传感器沿着所述第二方向移动,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
16.根据权利要求15所述的镜头模组,其中,
进一步具备第一保持部件和第二保持部件,
所述第一保持部件保持所述第一磁场发生部,
所述第二保持部件设置为对所述第一保持部件可以沿着所述第二方向移动,并且保持所述第二磁场发生部和所述镜头。
17.一种摄像装置,具备摄像元件和镜头模组,
所述镜头模组具有:
磁传感器;
第一磁场发生部,包含第一磁体和第二磁体,并且产生第一磁场,所述第一磁体和所述第二磁体在第一方向上互相分开配置;
第二磁场发生部,产生第二磁场,并且设置为对所述第一磁场发生部和所述磁传感器可以沿着第二方向移动,所述第二方向与所述第一方向正交;以及
镜头,设置为可以以与所述第二磁场发生部联动的方式对所述第一磁场发生部和所述磁传感器沿着所述第二方向移动,
在所述第一方向上,所述磁传感器的中心位置处于所述第一磁体与所述第二磁体之间的区域中的所述第一磁体与所述第二磁体的中间位置以外的位置,
所述磁传感器生成对应于检测对象磁场的方向的检测信号,并且可以检测所述第二磁场发生部的位置的变化,所述检测对象磁场由沿着与所述第二方向正交的平面的所述第一磁场与沿着所述平面的所述第二磁场合成。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113991965A (zh) * 2021-12-28 2022-01-28 微传智能科技(常州)有限公司 相机稳定控制系统及方法
CN114265265A (zh) * 2021-12-30 2022-04-01 微传智能科技(常州)有限公司 光学稳定系统及光学稳定控制方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7120264B2 (ja) * 2020-02-14 2022-08-17 Tdk株式会社 位置検出装置、レンズモジュールおよび撮像装置

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101644561A (zh) * 2008-07-30 2010-02-10 Tdk株式会社 角度检测装置和角度检测方法
JP2016102754A (ja) * 2014-11-28 2016-06-02 村田機械株式会社 磁気式位置検出装置
JP2016217932A (ja) * 2015-05-22 2016-12-22 株式会社デンソー 回転検出装置
CN106405455A (zh) * 2015-07-29 2017-02-15 英飞凌科技股份有限公司 磁场传感器
JP2018077149A (ja) * 2016-11-10 2018-05-17 浜松光電株式会社 磁気センサ
CN108627944A (zh) * 2017-03-24 2018-10-09 Tdk株式会社 位置检测装置
US20190128699A1 (en) * 2017-10-31 2019-05-02 Tdk Corporation Magnetic sensor and position detection device
CN109724506A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 Tdk株式会社 位置检测装置
JP6577639B1 (ja) * 2018-08-13 2019-09-18 株式会社マコメ研究所 位置検出装置
CN113267203A (zh) * 2020-02-14 2021-08-17 Tdk株式会社 位置检测装置、镜头模组和摄像装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101644561A (zh) * 2008-07-30 2010-02-10 Tdk株式会社 角度检测装置和角度检测方法
JP2016102754A (ja) * 2014-11-28 2016-06-02 村田機械株式会社 磁気式位置検出装置
JP2016217932A (ja) * 2015-05-22 2016-12-22 株式会社デンソー 回転検出装置
CN106405455A (zh) * 2015-07-29 2017-02-15 英飞凌科技股份有限公司 磁场传感器
JP2018077149A (ja) * 2016-11-10 2018-05-17 浜松光電株式会社 磁気センサ
CN108627944A (zh) * 2017-03-24 2018-10-09 Tdk株式会社 位置检测装置
US20190128699A1 (en) * 2017-10-31 2019-05-02 Tdk Corporation Magnetic sensor and position detection device
CN109725269A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 Tdk株式会社 磁传感器及位置检测装置
CN109724506A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 Tdk株式会社 位置检测装置
JP2019082445A (ja) * 2017-10-31 2019-05-30 Tdk株式会社 磁気センサおよび位置検出装置
JP6577639B1 (ja) * 2018-08-13 2019-09-18 株式会社マコメ研究所 位置検出装置
CN113267203A (zh) * 2020-02-14 2021-08-17 Tdk株式会社 位置检测装置、镜头模组和摄像装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113991965A (zh) * 2021-12-28 2022-01-28 微传智能科技(常州)有限公司 相机稳定控制系统及方法
CN114265265A (zh) * 2021-12-30 2022-04-01 微传智能科技(常州)有限公司 光学稳定系统及光学稳定控制方法

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