CN113725322A - 用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备 - Google Patents

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Abstract

本发明适用于光伏技术领域,提供了用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,用于光伏玻璃硅片的加工,解决了现有装置浸泡箱内放置的硅片容易堆积,减小了硅片与浸泡液接触面积的问题;包括:浸泡部,所述浸泡部用于储存浸泡液,浸泡部包括浸泡座;设置在浸泡腔内的硅片放置机构,硅片放置机构包括硅片承托组件和硅片防堆积机构,与硅片放置机构连接的放置机构调节组件,所述放置机构调节组件用于调节所述硅片放置机构的位置;本发明实施例设置了硅片放置机构和硅片防堆积机构,硅片放置机构和硅片防堆积机构配合工作,既能够对硅片实现充分浸泡,同时还能避免硅片的堆积,且硅片放置机构的位置灵活可调,进一步提高了浸泡效率。

Description

用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备
技术领域
本发明属于光伏技术领域,尤其涉及用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备。
背景技术
随着环境问题日益突出,传统的能源逐渐在各个领域被新能源所取代,新能源因为具有污染小、成本小的优点被人们所接受,其中,太阳能是常见的新能源,一般利用太阳能的方式为通过光伏电板实现光能向电能转换的,光伏玻璃也叫光电玻璃,是通过将太阳能光伏组件压入,利用太阳辐射发电,并安装有电流引出装置的特种玻璃,具有美观、透光性强、不产生废气的优点,光伏玻璃主要分为分晶体硅光伏玻璃和薄膜光伏玻璃两大类。
在光伏玻璃生产加工过程中,作为光伏玻璃的电能载体,其内置的硅片组件加工安装是保证光伏玻璃质量的保证;为了提高硅片的光电转换率,需要对硅片的表面进行刷浆作业,从而使得硅片表面形成耐腐蚀层和磷硅玻璃层,保证硅片的质量,现有一种太阳能光伏玻璃制作生产用硅片浸泡设备,该装置包括机架;机架的一端连接有收集框,收集框连接有滤网,机架上部还连接有驱动机构,驱动机构连接有用于放置硅片的浸泡箱,浸泡箱上设有阀门,该装置还设置有敲打机构,敲打机构与滤网连接,用于提高装置的晾晒效率;但是该装置浸泡箱内放置的硅片容易堆积,减小了硅片与浸泡液接触面积,因此,我们提出了用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备。
发明内容
本发明提供用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,旨在解决现有装置浸泡箱内放置的硅片容易堆积,减小了硅片与浸泡液接触面积的问题。
本发明是这样实现的,用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,用于光伏玻璃硅片的加工,所述用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备包括:
浸泡部,所述浸泡部用于储存浸泡液,浸泡部包括浸泡座,浸泡座内设置有浸泡腔;
设置在所述浸泡腔内的硅片放置机构,用于放置待浸泡的硅片,硅片放置机构包括硅片承托组件和硅片防堆积机构,硅片承托组件和硅片防堆积机构连接,硅片防堆积机构用于避免硅片的堆积;
与硅片放置机构连接的放置机构调节组件,所述放置机构调节组件用于调节所述硅片放置机构的位置,辅助硅片防堆积机构工作。
优选地,所述放置机构调节组件包括:
调节驱动部,所述调节驱动部固定安装在浸泡腔内;
与调节驱动部连接的调节传动部,所述调节传动部设置在浸泡腔内;
套设在调节传动部上的调节套设部,所述调节套设部与硅片放置机构固定连接,用于调节硅片放置机构的位置,避免硅片的堆积;
浸泡腔内还设置有用于与硅片放置机构配合工作的防堆积驱动机构,所述防堆积驱动机构与硅片防堆积机构连接,用于调节硅片防堆积机构的位置,配合所述硅片防堆积机构以及硅片承托组件工作。
优选地,所述防堆积驱动机构包括:
至少一组主动挤压件,所述主动挤压件安装在挤压件安装座上,挤压件安装座固定安装在浸泡腔内;
挤压驱动腔,所述挤压驱动腔与调节套设部或硅片放置机构固定连接,挤压驱动腔内安装有与主动挤压件配合工作的从动挤压件,从动挤压件与挤压驱动腔滑动连接,挤压驱动腔内设置有用于保护从动挤压件的挤压缓冲部,挤压缓冲部至少设置有一组;
贯穿挤压驱动腔设置的挤压推动部,所述挤压推动部的一端与从动挤压件固定连接,另一端固定连接有硅片防堆积机构。
优选地,所述硅片放置机构还包括硅片放置腔,硅片承托组件和硅片防堆积机构均设置在所述硅片放置腔内,硅片放置腔与所述调节套设部固定连接,所述硅片防堆积机构包括:
防堆积移动部,所述防堆积移动部安装在硅片放置腔内,且与所述硅片放置腔滑动连接,防堆积移动部上设置有多个防堆积限位部,所述防堆积限位部内活动安装有防堆积铰接部;
与所述防堆积铰接部铰接的防堆积摆动部,所述防堆积摆动部的一端与硅片放置腔转动连接,防堆积摆动部的另一端连接有所述硅片承托组件。
优选地,所述硅片承托组件包括:
承托安装座,所述承托安装座活动安装在硅片放置腔内;
安装在所述承托安装座上的硅片承托部,硅片承托部与承托安装座滑动连接;
与承托安装座连接的承托连接组件,所述承托连接组件包括:
承托连接腔,所述承托连接腔的一侧固定连接有承托铰接部,承托铰接部与防堆积摆动部铰接;
设置在承托连接腔内的承托连接部,承托连接部的一端转动连接有所述承托安装座,另一端固定连接有承托推动部,所述承托推动部的一侧滑动连接有多个用于对承托推动部限位的承托导向部,所述承托导向部内设置有用于保护所述承托推动部的承托保护部。
优选地,所述浸泡腔内设置有用于搅拌浸泡液的扰流组件,所述扰流组件与调节传动部连接,扰流组件包括:
扰流连接部,所述扰流连接部与调节传动部之间固定连接;
与扰流连接部固定连接的扰流转动部,所述扰流转动部上安装有转动部铰接件,转动部铰接件套设在转动部限位件上;
与转动部限位件的一侧连接的连接杆组件,连接杆组件包括两个相互铰接的连接杆,且其中一个所述的连接杆铰接有扰流件,扰流件上开设有多个扰流槽。
优选地,所述浸泡腔内还设置有用于对浸泡液过滤的浸泡液过滤机构,所述浸泡液过滤机构包括:
浸泡液过滤部,用于过滤浸泡液,辅助浸泡液的回收;
设置在浸泡液过滤部两侧的浸泡液缓冲腔,所述浸泡液缓冲腔内设置有过滤套设部,过滤套设部套设在过滤导向部上,且过滤套设部与过滤导向部滑动连接;
设置在过滤导向部上的套设部缓冲件,所述套设部缓冲件与过滤套设部固定连接。
优选地,所述浸泡液过滤机构的一侧设置有用于刮除浸泡座侧壁吸附物的残渣刮除机构,所述残渣刮除机构与浸泡液过滤机构连接,残渣刮除机构包括:
刮除机构安装座,所述刮除机构安装座内设置有多个刮除机构安装槽;
设置在刮除机构安装槽内的残渣刮除组件,所述残渣刮除组件包括:
空气循环腔,所述空气循环腔安装在刮除机构安装槽内;
设置在空气循环腔内的残渣刮除部,所述残渣刮除部用于吸附物和残渣的刮除;
安装在空气循环腔内的排气组件,所述排气组件与空气循环腔滑动连接,排气组件通过刮除连接组件连接。
优选地,所述残渣刮除部包括:
刮除件,刮除件的一侧固定连接有刮除推动部;
安装在刮除件上的清理件,清理件至少设置有一组;
与刮除件滑动连接的刮除限位部,所述刮除限位部与空气循环腔固定连接,用于刮除件的限位;
所述排气组件包括:
排气座;
安装在排气座上的排气端,所述排气端设置有多组,且排气端上安装有空气延缓部,所述空气延缓部用于空气的扰流。
优选地,所述刮除连接组件包括:
与所述刮除推动部固定连接的刮除驱动部,所述刮除驱动部内设置有驱动移动件,所述驱动移动件与空气循环腔滑动连接;
设置在空气循环腔内的驱动从动件,驱动从动件与空气驱动腔转动连接,驱动从动件的侧壁铰接有第一铰接杆,第一铰接杆远离驱动从动件的一端铰接有第二铰接杆,第二铰接杆的另一端固定连接有所述排气组件;
空气循环腔内还设置有用于保证残渣刮除部复位的刮除复位组件,所述刮除复位组件包括:
刮除复位部,所述刮除复位部套设在复位部导向件上,且与所述复位部导向件滑动连接;
与所述刮除复位部连接的刮除滑动部,所述刮除滑动部远离刮除复位部的一端铰接有刮除推动部。
与现有技术相比,本申请实施例主要有以下有益效果:
本发明实施例设置了硅片放置机构和硅片防堆积机构,硅片放置机构和硅片防堆积机构配合工作,既能够对硅片实现充分浸泡,同时还能避免硅片的堆积,且硅片放置机构的位置灵活可调,进一步提高了浸泡效率。
附图说明
图1是本发明提供的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备的结构示意图。
图2是本发明提供的浸泡部的结构示意图。
图3是本发明提供的硅片放置机构的结构示意图。
图4是本发明提供的防堆积移动部的结构示意图。
图5是本发明提供的承托连接组件的结构示意图。
图6是本发明提供的承托连接腔的结构示意图。
图7是本发明提供的扰流件的结构示意图。
图8是本发明提供的残渣刮除机构的结构示意图。
图9是本发明提供的刮除机构安装座的结构示意图。
图10是本发明提供的残渣刮除组件的结构示意图。
图11是本发明提供的排气组件的结构示意图。
图12是本发明提供的刮除连接组件的结构示意图。
图13是本发明提供的扰流组件的结构示意图。
图中:
1-浸泡部、11-浸泡座、12-浸泡腔;
2-放置机构调节组件、21-调节驱动部、22-调节传动部、23-调节套设部;
3-扰流组件、31-扰流连接部、32-扰流转动部、33-转动部限位件、34-转动部铰接件、35-扰流件;
4-硅片放置机构、41-硅片放置腔、42-防堆积移动部、43-防堆积限位部、44-防堆积摆动部、45-防堆积铰接部;
5-防堆积驱动机构、51-主动挤压件、52-从动挤压件、53-挤压驱动腔、54-挤压推动部、55-挤压缓冲部;
6-浸泡液过滤机构、61-浸泡液过滤部、62-过滤套设部、63-套设部缓冲件;
7-残渣刮除机构、71-刮除机构安装座、72-残渣刮除组件;
721-空气循环腔、722-刮除驱动部、723-驱动移动件、724-驱动从动件、725-第一铰接杆、726-第二铰接杆、727-复位部导向件、728-刮除滑动部、729-刮除复位部;
8-硅片承托组件、81-硅片承托部、82-承托连接组件、821-承托铰接部、822-承托连接腔、823-承托连接部、824-承托导向部、825-承托推动部、826-承托保护部、83-承托安装座;
9-残渣刮除部、91-刮除件、92-清理件、93-刮除限位部、94-刮除推动部;
10-排气组件、101-排气座、102-排气端、103-空气延缓部。
具体实施方式
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请技术领域的技术人员通常理解的含义相同;本文中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请;本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象,而不是用于描述特定顺序。
在本文中提及“实施例”意味着,结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例,也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是,本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
本发明实施例提供了用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,如图1-2所示,用于光伏玻璃硅片的加工,所述用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备包括:
浸泡部1,所述浸泡部1用于储存浸泡液,浸泡部1包括浸泡座11,浸泡座11内设置有浸泡腔12;
设置在所述浸泡腔12内的硅片放置机构4,用于放置待浸泡的硅片,硅片放置机构4包括硅片承托组件8和硅片防堆积机构,硅片承托组件8和硅片防堆积机构连接,硅片防堆积机构用于避免硅片的堆积;
与硅片放置机构4连接的放置机构调节组件2,所述放置机构调节组件2用于调节所述硅片放置机构4的位置,辅助硅片防堆积机构工作。
在本实施例中,浸泡部1内存放有浸泡液,浸泡液用于浸没待加工的硅片,本实施例中,浸泡液可以为银浆、银铝浆、铝浆,也可以为氢氟酸溶液,从而保证硅片的质量,浸泡座11的底部固定在支撑座上,浸泡座11的顶部设置有投料口,投料口也也可以注入浸泡液,浸泡座11的底部开设有排液口,排液口倾斜设置。
本发明实施例设置了硅片放置机构4和硅片防堆积机构,硅片放置机构4和硅片防堆积机构配合工作,既能够对硅片实现充分浸泡,同时还能避免硅片的堆积,且硅片放置机构4的位置灵活可调,进一步提高了浸泡效率。
工作时,将硅片放置在硅片放置机构4内,然后开启所述放置机构调节组件2,放置机构调节组件2带动所述硅片放置机构4和硅片防堆积机构移动,从而实现了对硅片放置机构4和硅片防堆积机构内硅片的堆积,起到辅助硅片浸泡的作用。
本发明进一步较佳实施例中,所述放置机构调节组件2包括:
调节驱动部21,所述调节驱动部21固定安装在浸泡腔12内;
与调节驱动部21连接的调节传动部22,所述调节传动部22设置在浸泡腔12内;
套设在调节传动部22上的调节套设部23,所述调节套设部23与硅片放置机构4固定连接,用于调节硅片放置机构4的位置,避免硅片的堆积;
浸泡腔12内还设置有用于与硅片放置机构4配合工作的防堆积驱动机构5,所述防堆积驱动机构5与硅片防堆积机构连接,用于调节硅片防堆积机构的位置,配合所述硅片防堆积机构以及硅片承托组件8工作。
在本实施例中,调节驱动部21为伺服电机,调节传动部22为螺纹杆,且调节传动部22和调节套设部23之间通过螺纹连接,调节套设部23为螺纹块或螺纹套筒结构,工作时,开启调节驱动部21,调节驱动部21带动调节传动部22转动,调节传动部22带动调节套设部23和硅片放置机构4移动,从而实现了对硅片放置机构4位置的调节。
浸泡腔12内还设置有用于对硅片放置机构4导向的放置机构导向部,放置机构导向部为导向杆,且固定安装在浸泡腔12内,与所述硅片放置机构4滑动连接。
在本发明的另一个实施例中,调节驱动部21采用液压缸、电动推杆或气缸结构,调节驱动部21的伸缩端通过螺栓固定连接有调节传动部22,调节传动部22为升降杆,调节传动部22与浸泡腔12滑动连接,调节套设部23采用卡扣或螺栓固定的方式与调节传动部22固定连接。
本发明进一步较佳实施例中,所述防堆积驱动机构5包括:
至少一组主动挤压件51,所述主动挤压件51安装在挤压件安装座上,挤压件安装座固定安装在浸泡腔12内;
挤压驱动腔53,所述挤压驱动腔53与调节套设部23或硅片放置机构4固定连接,挤压驱动腔53内安装有与主动挤压件51配合工作的从动挤压件52,从动挤压件52与挤压驱动腔53滑动连接,挤压驱动腔53内设置有用于保护从动挤压件52的挤压缓冲部55,挤压缓冲部55至少设置有一组;
贯穿挤压驱动腔53设置的挤压推动部54,所述挤压推动部54的一端与从动挤压件52固定连接,另一端固定连接有硅片防堆积机构。
在本实施例中,主动挤压件51为球形或锥形块结构,主动挤压件51和从动挤压件52均采用弹性体材质,且主动挤压件51镶嵌安装在挤压件安装座内,挤压件安装座通过螺栓固定在浸泡座11内,挤压驱动腔53为内部中空的长方体或圆筒状结构,挤压驱动腔53通过螺栓与调节套设部23或硅片放置机构4固定连接;而挤压缓冲部55为复位弹簧或伸缩套筒结构,在挤压驱动腔53内至少设置有一组,实现了对从动挤压件52的缓冲保护,为从动挤压件52移动提供回复力,同时也为驱动硅片防堆积机构提供了动力,不但节能环保,同时还提高了装置的传动效率。
本发明进一步较佳实施例中,如图3所示,所述硅片放置机构4还包括硅片放置腔41,硅片放置腔41的底部和侧壁均开设有导流槽,硅片承托组件8和硅片防堆积机构均设置在所述硅片放置腔41内,硅片放置腔41与所述调节套设部23固定连接,所述硅片防堆积机构包括:
防堆积移动部42,如图4所示,所述防堆积移动部42安装在硅片放置腔41内,且与所述硅片放置腔41滑动连接,防堆积移动部42上设置有多个防堆积限位部43,所述防堆积限位部43内活动安装有防堆积铰接部45,防堆积铰接部45为铰接块;
与所述防堆积铰接部45铰接的防堆积摆动部44,所述防堆积摆动部44的一端与硅片放置腔41转动连接,防堆积摆动部44的另一端连接有所述硅片承托组件8。
在本实施例中,硅片放置腔41与浸泡座11滑动连接,硅片放置腔41与所述调节套设部23之间通过螺栓固定连接;防堆积移动部42为中心设置有凹槽的板状结构,且防堆积限位部43为铰接槽,防堆积限位部43关于防堆积移动部42对称设置,也可以不对称设置,其作用是为了带动防堆积摆动部44运动的,进而实现了带动硅片承托组件8运动的目的。
本发明进一步较佳实施例中,所述硅片承托组件8包括:
承托安装座83,所述承托安装座83活动安装在硅片放置腔41内;
安装在所述承托安装座83上的硅片承托部81,硅片承托部81与承托安装座83滑动连接;
与承托安装座83连接的承托连接组件82,如图5-6所示,所述承托连接组件82包括:
承托连接腔822,所述承托连接腔822的一侧固定连接有承托铰接部821,承托铰接部821与防堆积摆动部44铰接;
设置在承托连接腔822内的承托连接部823,承托连接部823的一端转动连接有所述承托安装座83,另一端固定连接有承托推动部825,所述承托推动部825的一侧滑动连接有多个用于对承托推动部825限位的承托导向部824,所述承托导向部824内设置有用于保护所述承托推动部825的承托保护部826。
在本实施例中,承托安装座83为矩形框结构,硅片承托部81网板状结构,且网板的网孔为圆形或菱形结构,网板的材质为耐腐蚀的PVC材质或合金材质,承托铰接部821为铰接座结构,且承托铰接部821通过铰链与防堆积摆动部44连接;
本实施例中,防堆积摆动部44为摆动板结构,防堆积摆动部44通过转轴与硅片放置腔41转动连接,防堆积摆动部44的顶部安装有用于阻挡硅片的挡板。
在本实施例中,承托推动部825为推动板或推杆结构,承托导向部824关于承托连接腔822对称设置,承托保护部826固定安装在承托导向部824内,且承托保护部826为缓冲弹簧或缓冲垫圈结构。实现了对承托推动部825的缓冲保护,同时能够在硅片承托部81上下移动的同时带动硅片承托部81左右摆动,加速硅片的流动,避免了硅片的堆积。
本发明进一步较佳实施例中,如图13所示,所述浸泡腔12内设置有用于搅拌浸泡液的扰流组件3,所述扰流组件3与调节传动部22连接,扰流组件3包括:
扰流连接部31,所述扰流连接部31与调节传动部22之间固定连接;
与扰流连接部31固定连接的扰流转动部32,所述扰流转动部32上安装有转动部铰接件34,转动部铰接件34套设在转动部限位件33上;
与转动部限位件33的一侧连接的连接杆组件,连接杆组件包括两个相互铰接的连接杆,且其中一个所述的连接杆铰接有扰流件35,扰流件35上开设有多个扰流槽。
在本实施例中,扰流组件3的设置不但能够实现对浸泡液的搅拌,同时还能起到延缓浸泡液流动的作用,增加了硅片与浸泡液接触的机会,进而保证了硅片的质量。
如图7所示,本实施例中,扰流连接部31通过螺栓与调节传动部22固定连接,扰流转动部32为圆板结构,转动部铰接件34为铰接块,转动部限位件33为矩形限位槽结构,而连接杆组件中的两个连接杆长度和尺寸不限,扰流件35为矩形板或圆形板结构,扰流槽在扰流件35上呈矩形阵列或圆周阵列分布,扰流槽的内壁设置有多个周向设置的或呈螺旋状的扰流带,扰流带表面抛光处理,避免了浸泡液或残渣的堆积。
本发明进一步较佳实施例中,所述浸泡腔12内还设置有用于对浸泡液过滤的浸泡液过滤机构6,所述浸泡液过滤机构6包括:
浸泡液过滤部61,用于过滤浸泡液,辅助浸泡液的回收;
设置在浸泡液过滤部61两侧的浸泡液缓冲腔,所述浸泡液缓冲腔内设置有过滤套设部62,过滤套设部62套设在过滤导向部上,且过滤套设部62与过滤导向部滑动连接;
设置在过滤导向部上的套设部缓冲件63,所述套设部缓冲件63与过滤套设部62固定连接。
在本实施例中,浸泡液缓冲腔设置有两组,且关于浸泡腔12对称设置,两组所述的浸泡液缓冲腔高度不一致,从而保证了浸泡液过滤部61倾斜设置,本实施例中,浸泡液过滤部61为过滤筛网结构,实现了对浸泡液的过滤处理,套设部缓冲件63为套社在过滤导向部的缓冲弹簧,过滤导向部为导向圆杆结构。
本发明进一步较佳实施例中,如图8-9所示,所述浸泡液过滤机构6的一侧设置有用于刮除浸泡座11侧壁吸附物的残渣刮除机构7,所述残渣刮除机构7与浸泡液过滤机构6连接,残渣刮除机构7包括:
刮除机构安装座71,所述刮除机构安装座71内设置有多个刮除机构安装槽,本实施例中刮除机构安装槽为倾斜设置的圆形槽结构,且靠近浸泡座11的一侧低、远离浸泡座11的一侧高设置,能够有效的避免刮除机构安装槽内吸附物的堆积。
设置在刮除机构安装槽内的残渣刮除组件72,如图10所示,所述残渣刮除组件72包括:
空气循环腔721,所述空气循环腔721安装在刮除机构安装槽内;
设置在空气循环腔721内的残渣刮除部9,所述残渣刮除部9用于吸附物和残渣的刮除;
安装在空气循环腔721内的排气组件10,所述排气组件10与空气循环腔721滑动连接,排气组件10通过刮除连接组件连接。
在本实施例中,空气循环腔721为圆形槽结构,排气组件10与残渣刮除部9配合工作,残渣刮除部9移动能够刮除吸附物或残渣,还能带动空气循环腔721内空气的流通,作用于排气组件10,实现了对空气的排出,进而进一步实现了对浸泡液的扰流。
本发明进一步较佳实施例中,所述残渣刮除部9包括:
刮除件91,刮除件91的一侧固定连接有刮除推动部94;
安装在刮除件91上的清理件92,清理件92至少设置有一组;
与刮除件91滑动连接的刮除限位部93,所述刮除限位部93与空气循环腔721固定连接,用于刮除件91的限位。
本实施例中,刮除件91为圆形板或矩形板结构,刮除推动部94为推杆结构,清理件92为清洁刷,刮除限位部93为圆杆结构,实现了对刮除件91的限位,避免了残渣刮除部9的脱落。
如图11所示,在本发明的一个实施例中,所述排气组件10包括:
排气座101;
安装在排气座101上的排气端102,所述排气端102设置有多组,且排气端102上安装有空气延缓部103,所述空气延缓部103用于空气的扰流,。
在本实施例中,空气延缓部103为弧形凸起或褶皱机构,空气延缓部103上开设有多个降噪槽,还能对空气和浸泡液的扰流。
本发明进一步较佳实施例中,如图12所示,所述刮除连接组件包括:
与所述刮除推动部94固定连接的刮除驱动部722,所述刮除驱动部722内设置有驱动移动件723,所述驱动移动件723与空气循环腔721滑动连接;
设置在空气循环腔721内的驱动从动件724,驱动从动件724与空气驱动腔转动连接,驱动从动件724的侧壁铰接有第一铰接杆725,第一铰接杆725远离驱动从动件724的一端铰接有第二铰接杆726,第二铰接杆726的另一端固定连接有所述排气组件10。
本实施例中,刮除驱动部722为内部中空的矩形框结构,驱动移动件723为齿条,驱动从动件724为齿轮结构,两者啮合传动。
空气循环腔721内还设置有用于保证残渣刮除部9复位的刮除复位组件,所述刮除复位组件包括:
刮除复位部729,所述刮除复位部729套设在复位部导向件727上,且与所述复位部导向件727滑动连接;
与所述刮除复位部729连接的刮除滑动部728,所述刮除滑动部728远离刮除复位部729的一端铰接有刮除推动部94。
在本实施例中,复位部导向件727为圆杆结构,刮除复位部729为复位弹簧结构,刮除复位部729通过螺栓固定连接有刮除滑动部728,刮除滑动部728为滑块,套设在复位部导向件727上,刮除滑动部728通过铰接杆铰接有刮除推动部94。
工作时,浸泡座11内浸泡液受到各个部件的作用在浸泡腔12内流动时,浸泡液作用于浸泡液过滤机构6,浸泡液过滤机构6带动残渣刮除机构7上下移动,刮除机构安装座71带动残渣刮除部9对浸泡座11的侧壁进行刮除,刮除复位部729作用于残渣刮除部9移动,使得残渣刮除部9与侧壁充分接触,还能带动排气组件10移动,方便了气体的排出,进一步对浸泡液起到扰流的作用,保证了硅片的浸没效率。
综上所述,本发明提供了用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,本发明实施例设置了硅片放置机构4和硅片防堆积机构,硅片放置机构4和硅片防堆积机构配合工作,既能够对硅片实现充分浸泡,同时还能避免硅片的堆积,且硅片放置机构4的位置灵活可调,进一步提高了浸泡效率。
需要说明的是,对于前述的各实施例,为了简单描述,故将其都表述为一系列的动作组合,但是本领域技术人员应该知悉,本发明并不受所描述的动作顺序的限制,因为依据本发明,某些步骤可能采用其他顺序或者同时进行。其次,本领域技术人员也应该知悉,说明书中所描述的实施例均属于优选实施例,涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的装置,可通过其他的方式实现。例如,以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如上述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或通信连接可以是通过一些接口,装置或单元之间的间接耦合或通信连接,可以是电信或者其它的形式。
上述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对发明的保护范围进行限制。显然,所描述的实施例仅仅是本发明部分实施例,而不是全部实施例。基于这些实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明所要保护的范围。尽管参照上述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域普通技术人员依然可以在不冲突的情况下,不作出创造性劳动对本发明各实施例中的特征根据情况相互组合、增删或作其他调整,从而得到不同的、本质未脱离本发明的构思的其他技术方案,这些技术方案也同样属于本发明所要保护的范围。

Claims (10)

1.用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,用于光伏玻璃硅片的加工,其特征在于,所述用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备包括:
浸泡部,所述浸泡部用于储存浸泡液,浸泡部包括浸泡座,浸泡座内设置有浸泡腔;
设置在所述浸泡腔内的硅片放置机构,用于放置待浸泡的硅片,硅片放置机构包括硅片承托组件和硅片防堆积机构,硅片承托组件和硅片防堆积机构连接,硅片防堆积机构用于避免硅片的堆积;
与硅片放置机构连接的放置机构调节组件,所述放置机构调节组件用于调节所述硅片放置机构的位置,辅助硅片防堆积机构工作。
2.如权利要求1所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述放置机构调节组件包括:
调节驱动部,所述调节驱动部固定安装在浸泡腔内;
与调节驱动部连接的调节传动部,所述调节传动部设置在浸泡腔内;
套设在调节传动部上的调节套设部,所述调节套设部与硅片放置机构固定连接,用于调节硅片放置机构的位置,避免硅片的堆积;
浸泡腔内还设置有用于与硅片放置机构配合工作的防堆积驱动机构,所述防堆积驱动机构与硅片防堆积机构连接,用于调节硅片防堆积机构的位置,配合所述硅片防堆积机构以及硅片承托组件工作。
3.如权利要求2所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述防堆积驱动机构包括:
至少一组主动挤压件,所述主动挤压件安装在挤压件安装座上,挤压件安装座固定安装在浸泡腔内;
挤压驱动腔,所述挤压驱动腔与调节套设部或硅片放置机构固定连接,挤压驱动腔内安装有与主动挤压件配合工作的从动挤压件,从动挤压件与挤压驱动腔滑动连接,挤压驱动腔内设置有用于保护从动挤压件的挤压缓冲部,挤压缓冲部至少设置有一组;
贯穿挤压驱动腔设置的挤压推动部,所述挤压推动部的一端与从动挤压件固定连接,另一端固定连接有硅片防堆积机构。
4.如权利要求3所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述硅片放置机构还包括硅片放置腔,硅片承托组件和硅片防堆积机构均设置在所述硅片放置腔内,硅片放置腔与所述调节套设部固定连接,所述硅片防堆积机构包括:
防堆积移动部,所述防堆积移动部安装在硅片放置腔内,且与所述硅片放置腔滑动连接,防堆积移动部上设置有多个防堆积限位部,所述防堆积限位部内活动安装有防堆积铰接部;
与所述防堆积铰接部铰接的防堆积摆动部,所述防堆积摆动部的一端与硅片放置腔转动连接,防堆积摆动部的另一端连接有所述硅片承托组件。
5.如权利要求4所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述硅片承托组件包括:
承托安装座,所述承托安装座活动安装在硅片放置腔内;
安装在所述承托安装座上的硅片承托部,硅片承托部与承托安装座滑动连接;
与承托安装座连接的承托连接组件,所述承托连接组件包括:
承托连接腔,所述承托连接腔的一侧固定连接有承托铰接部,承托铰接部与防堆积摆动部铰接;
设置在承托连接腔内的承托连接部,承托连接部的一端转动连接有所述承托安装座,另一端固定连接有承托推动部,所述承托推动部的一侧滑动连接有多个用于对承托推动部限位的承托导向部,所述承托导向部内设置有用于保护所述承托推动部的承托保护部。
6.如权利要求2所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述浸泡腔内设置有用于搅拌浸泡液的扰流组件,所述扰流组件与调节传动部连接,扰流组件包括:
扰流连接部,所述扰流连接部与调节传动部之间固定连接;
与扰流连接部固定连接的扰流转动部,所述扰流转动部上安装有转动部铰接件,转动部铰接件套设在转动部限位件上;
与转动部限位件的一侧连接的连接杆组件,连接杆组件包括两个相互铰接的连接杆,且其中一个所述的连接杆铰接有扰流件,扰流件上开设有多个扰流槽。
7.如权利要求2-6任一所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述浸泡腔内还设置有用于对浸泡液过滤的浸泡液过滤机构,所述浸泡液过滤机构包括:
浸泡液过滤部,用于过滤浸泡液,辅助浸泡液的回收;
设置在浸泡液过滤部两侧的浸泡液缓冲腔,所述浸泡液缓冲腔内设置有过滤套设部,过滤套设部套设在过滤导向部上,且过滤套设部与过滤导向部滑动连接;
设置在过滤导向部上的套设部缓冲件,所述套设部缓冲件与过滤套设部固定连接。
8.如权利要求7所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述浸泡液过滤机构的一侧设置有用于刮除浸泡座侧壁吸附物的残渣刮除机构,所述残渣刮除机构与浸泡液过滤机构连接,残渣刮除机构包括:
刮除机构安装座,所述刮除机构安装座内设置有多个刮除机构安装槽;
设置在刮除机构安装槽内的残渣刮除组件,所述残渣刮除组件包括:
空气循环腔,所述空气循环腔安装在刮除机构安装槽内;
设置在空气循环腔内的残渣刮除部,所述残渣刮除部用于吸附物和残渣的刮除;
安装在空气循环腔内的排气组件,所述排气组件与空气循环腔滑动连接,排气组件通过刮除连接组件连接。
9.如权利要求8所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述残渣刮除部包括:
刮除件,刮除件的一侧固定连接有刮除推动部;
安装在刮除件上的清理件,清理件至少设置有一组;
与刮除件滑动连接的刮除限位部,所述刮除限位部与空气循环腔固定连接,用于刮除件的限位;
所述排气组件包括:
排气座;
安装在排气座上的排气端,所述排气端设置有多组,且排气端上安装有空气延缓部,所述空气延缓部用于空气的扰流。
10.如权利要求9所述的用于太阳能光伏玻璃制作的硅片浸泡设备,其特征在于,所述刮除连接组件包括:
与所述刮除推动部固定连接的刮除驱动部,所述刮除驱动部内设置有驱动移动件,所述驱动移动件与空气循环腔滑动连接;
设置在空气循环腔内的驱动从动件,驱动从动件与空气驱动腔转动连接,驱动从动件的侧壁铰接有第一铰接杆,第一铰接杆远离驱动从动件的一端铰接有第二铰接杆,第二铰接杆的另一端固定连接有所述排气组件;
空气循环腔内还设置有用于保证残渣刮除部复位的刮除复位组件,所述刮除复位组件包括:
刮除复位部,所述刮除复位部套设在复位部导向件上,且与所述复位部导向件滑动连接;
与所述刮除复位部连接的刮除滑动部,所述刮除滑动部远离刮除复位部的一端铰接有刮除推动部。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000021829A (ja) * 1998-07-07 2000-01-21 Memc Kk シリコンウエハの洗浄装置
TWM327751U (en) * 2007-09-10 2008-03-01 Horng Jinq Co Ltd Rotary jig and tube engaging apparatus thereof
CN204074616U (zh) * 2014-09-23 2015-01-07 浙江昊能光电有限公司 一种超声波太阳能硅片清洗机
CN106216314A (zh) * 2016-08-17 2016-12-14 钟文华 一种太阳能电池生产工艺用齿轮齿条式硅片清洗装置
CN206806355U (zh) * 2017-04-25 2017-12-26 江西赣悦光伏玻璃有限公司 一种太阳能光伏玻璃制作生产用硅片浸泡设备
CN108356023A (zh) * 2017-07-10 2018-08-03 信丰县弘业电子有限公司 一种贴片电感超声波清洗机
US20210159067A1 (en) * 2019-11-22 2021-05-27 Dangsheng Ni Method and device for wet processing integrated circuit substrates using a mixture of chemical steam vapors and chemical gases

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000021829A (ja) * 1998-07-07 2000-01-21 Memc Kk シリコンウエハの洗浄装置
TWM327751U (en) * 2007-09-10 2008-03-01 Horng Jinq Co Ltd Rotary jig and tube engaging apparatus thereof
CN204074616U (zh) * 2014-09-23 2015-01-07 浙江昊能光电有限公司 一种超声波太阳能硅片清洗机
CN106216314A (zh) * 2016-08-17 2016-12-14 钟文华 一种太阳能电池生产工艺用齿轮齿条式硅片清洗装置
CN206806355U (zh) * 2017-04-25 2017-12-26 江西赣悦光伏玻璃有限公司 一种太阳能光伏玻璃制作生产用硅片浸泡设备
CN108356023A (zh) * 2017-07-10 2018-08-03 信丰县弘业电子有限公司 一种贴片电感超声波清洗机
US20210159067A1 (en) * 2019-11-22 2021-05-27 Dangsheng Ni Method and device for wet processing integrated circuit substrates using a mixture of chemical steam vapors and chemical gases

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