CN113707366B - 馈通装置 - Google Patents

Abstract

一种馈通装置，包括具有至少一个导线孔洞的一中介板，在此每一个导线孔洞都可以让至少一导线自中介板的一侧贯穿通过其间而抵达中介板的另一侧，也都可以再有一个由绝缘材料所形成弹性垫子位于其中并且隔离开中介板与通过此导线孔洞的至少一导线，并且每一条导线都包含了用以传递电流的导体线以及围绕包覆导体线的绝缘材料层。在每一个导线孔洞的内部，通过其间的一或多导线的绝缘材料层或者位于其间的弹性垫子，会受到压力而发生形变，进而使得导体线与中介板之间并不存在气体可以通过的空隙。

Description

馈通装置

技术领域

本发明有关于一种馈通装置，特别有关于一种适合用来在其相对两侧的真空程度不一样时防止通过其间的导线发生放电现象的馈通装置。

背景技术

馈通装置(Feedthrough Apparatus)已经广泛地被应用在半导体产业、微机电产业、面板产业与存储器产业等等产业，举凡在不同真空程度的两个环境之间，或是在二个真空度明显有差距的硬件之间，或甚至在二个会相对运动(相对移动及/或相对转动都可以)的硬件之间，都可以使用馈通装置做为二者之间的接口，并且让传导电流、电能量及/或电讯号的导线可以自某一者经由馈通装置而到达另一者。举例来说，美国专利公报第6156978号披露了一种电性馈通装置及其形成方法(Electrical Feedthrough and ItsPreparation)、美国专利公报第7706275号披露了一种具有多层馈通孔(Feedthrough)的基底载具(Substrate Support Having Brazed Plates and Resistance heater)、而美国专利公报第6538872号披露了一种可以减少O型环(O-ring)被高温损坏的静电夹具(e-chuck)(Electrostatic Chuck Having Heater and Method)，在此O型环是用来防止馈通孔(Feedthrough)发生泄漏或放电。

举例来说，如图1A和图1B所示，馈通装置100可以被用来连接二个相邻但是相互分离的硬件装置，像是在离子布植机中可以用来让导线140贯穿其中而连接静电吸盘(staticelectric chuck，ESC)191和基座(pedestal)192，又像是在两个反应室193/195之间可以用来通过导线140连接位于其内部不同的真空环境194/196中的不同硬件装置198/199。

一般来说，如图1C到图1D所示，现有普遍使用的商业化馈通装置100的结构，是一个由陶瓷材料所制作的中介板110，并且存在有一或多个导线孔洞120分别自此中介板110的一侧贯通到相对的另一侧。藉此，一或多条用来传输电流、电能量及/或电讯号的导线140可以经由这些导线孔洞120自中介板110的一侧而抵达中介板110的另一侧，从而在不同真空程度的不同空间之间，或者在相互分离的不同硬件之间，传输电流、电能量及/或电讯号。并且，这些导线140与中介板110彼此之间是以异质焊接130(Heterogeneous Welding)的方式相互连接，藉以封闭住导线140与中介板110之间的空隙进而隔离分开中介板110两侧(像是两侧的不同真空环境)。而且，为了避免发生电流短路等问题，也往往是使用绝缘材料所制作的套环150来环绕导线140，至少环绕住位于中介板110某一侧的部分导线140，藉以减少导线140发生放电(discharge)进而伤害到靠近中介板110此一侧的周围硬件或是导线140不能正常传输的风险。

但是，即使异质焊接130可以百分之百的封闭住空隙，以及，即使套环150可以百分之百的环绕住位于异质焊接130之外的导线，现有制造工艺总是难免会在中介板110、异质焊接130与套环150之间出现空隙。亦即，部分的导线140未被覆盖的机率是不可忽略的。因此，当未被覆盖的导线140所接触的空间被抽真空到某些特定压力范围时，这部分导线140总难免会出现放电现象(discharge phenomena)，进而多多少少地损坏中介板110、导线140、套环150及/或位于中介板110附近的其他硬件(像是离子布植机中的静电吸盘191及/或基座192)。放电现象的发生，基本上取决于未被覆盖的部分导线140所在空间的真空程度以及被传导通过这部分导线140的电流与电压。举例来说，当高电压(像是1KV到30KV之间的电压)被传导通过这部分未被覆盖的导线140时，往往会在毫托(mTorr)的真空环境中发生放电现象。

因此，有必要发展新的馈通装置，藉以改善现有商业化馈通装置的缺点。

发明内容

本发明提出一种馈通装置，其基本架构是一个中介板，而且这个中介板具有贯穿通过其中的至少一个导线孔洞，并且每一个导线孔洞都可以让至少一导线自中介板的一侧经由此而抵达中介板的另一侧。特别是，每一条导线都包含了用以传递电流的导体线以及围绕包覆导体线的绝缘材料层，并且每一个导线孔洞也可以有一个由绝缘材料所制作的弹性垫子被放置其中而隔离开中介板以及通过其中的一或多导线。藉此，对于每一个导线孔洞，当相对应的一或多导线被放置通过期间时，此一或多导线各自的绝缘层在导线孔洞内部可以因为受到压力而发生形变，或者，介于中介板与此一或多导线间的弹性垫子也可以因为受到压力而发生形变，因此导体线与中介板之间会被形变的绝缘材料给填满塞实而并并不会存在任何气体可以通过的空隙。

显然地，当中介板两侧的真空程度有所差距时(特别是当中介板两侧的压力差距够大时)，或当中介板与某一导线高度密合(特别是当中介板与某一导线间的机械压力够大时)，不论是这些导线各自的绝缘材料层，又或是这些弹性垫子，都会被这个压力差距给压迫变形，进而将中介板与这些导线各自的导体线间任何空隙都给填满填实。在此，本发明只有要求绝缘材料层与弹性垫子都具有电性绝缘的性质，并且其形状可以在受到压力时发生变化，至于是使用怎样的橡胶(rubber)，或者是哪种的塑料(plastic)，或甚至是使用何种的胶(glue)或硅胶(silica gel)，本发明并不需要多做限制，只要在放电现象发生时不会轻易地被打穿而破裂损耗的绝缘材料就可以。当然，具有高介电系数的绝缘材料是较适合被用来制作绝缘材料层与弹性垫子。

此时，由于绝缘材料层及/或弹性垫子的使用可以有效地阻挡气体自中介板一侧的高压力环境流入到中介板另一侧的低压力环境，即使在中介板另一侧的低压力环境中，导线发生放电现象的机率也可以大幅度地降低，甚至即使有放电现象发生时也可以把放电强度给有效地降低。

当然，在使用弹性垫子时，不论弹性垫子与导线是相互分离的元件进而分别被置放入导线孔洞中，又或者，弹性垫子是整合于导线上(与导线相互结合)，都可以在导线通过导线孔洞时让弹性垫子发生形变，而使得导线孔洞中没有任何空隙可以让气体自中介板的一侧流通到另一侧。

当然，在未使用弹性垫子时，可以通过将每个导线孔洞的横截面面积缩小到相等或略小于商业化导线的横截面面积来达成。因为此时可以在导线通过导线孔洞时让导线的绝缘材料层受到压力发生形变，进而使得导线孔洞中没有任何气体可以流经的空隙。

另外，由于本发明并不需要使用异质焊接来填满各个导线所分别对应到的导线孔洞，也就不需要预防电流直接自导线流到中介板这样会引发副作用的意外。因此，本发明可以使用金属来制作中介板，亦即不论中介板的尺寸、轮廓与结构为何，本发明都可以简化加工制作的难度。虽然，本发明并不排斥使用陶瓷或工程橡胶来制作中介板。

附图说明

图1A～图1B是馈通装置的应用示意图。

图1C～图1D是习知技术的馈通装置的示意图。

图2A～图2E是本发明的馈通装置的示意图。

附图标记

100：馈通装置

110：中介板

120：导线孔洞

130：异质焊接

140：导线

150：套环

191：静电吸盘

192：基座

193：反应室

194：真空环境

195：反应室

196：真空环境

200：馈通装置

201：中介板

2011：第一次中介板

2012：第二次中介板

2013：相邻接表面

2014：相背离表面

202：弹性垫子

2025：中空空隙

203：导线孔洞

204：导线

2041：导体线

2042：绝缘材料层

205：固定物

具体实施方式

本发明的一些实施例有关于一种馈通装置。如图2A所示，如此馈通装置200至少包含一个中介板201与位于有一或多个导线孔洞203，并且这些弹性垫子202被一对一地放置(像是塞入)到这些导线孔洞203。此外，如图2B所示，各个弹性垫子202的轮廓大抵都是有一个可以让导线204通过的中空空隙2025，以及具有一个一端窄另一端宽的形状，其中较窄一端的部分不宽于相对应导线孔洞203的宽度但是较宽一端的部分则宽于相对应孔洞203的宽度。藉此，既可以在弹性垫子202被放置到导线孔洞203时仍然让导线204自中介板201的一端经由中空空隙2025而贯通到其另一侧，也可以用较窄一端的部分填实位于中介板201内部的导线孔洞203，并也可用较宽一端的部分塞满位于中介板201下方的导线孔洞203的开口并且同时让弹性垫子202被确实卡住在导线孔洞203。显然的，在不同实施例中，只需要弹性垫子202在被放置到导线孔洞203时可以塞满填实住导线孔洞203而使得导线孔洞203内部没有可以让气体通过的空隙，亦即可以隔离开中介板201两侧的不同真空程度的环境，至于弹性垫子202的具体轮廓则可以有多种变化，不论是像图2B那样的由大小两个圆柱体所组合而成的轮廓，又或是弹性垫子202的横截面为具有中空孔洞的十字架型等等并未被特别画出的种种变化。

本发明的另外一些实施例也关于一种馈通装置。如图2C所示，如此馈通装置200至少包含一个中介板201与至少一个弹性垫子202，在此中介板201由第一次中介板2011与第二次中介板2012二者组合而成，其中二个次中介板2011/2012彼此通过至少一固定物(如螺丝)205所相互连接，在此中介板201具有一或多个导线孔洞203，其中每一个导线孔洞203在第一次中介板2011与第二中介板2012二者的相邻接表面2013附近的横截面尺寸皆大于其在第一次中介板2011与第二次中介板2012二者的相背离表面2014附近的横截面尺寸，在此这些弹性垫子202被一对一地放置到这至少一导线孔洞203，并且每一个弹性垫子202都被固定在第一次中介板2011与第二次中介板2012之间。换言之，每一个弹性垫子202都至少对应到导线孔洞203位于第一次中介板2011与第二次中介板2012二者的相邻接表面2013附近的部分。此外，参照图2C所示的侧视角度与图2D所示的俯视角度，各个弹性垫子202的横截面轮廓大抵都具有一个可以让导线204通过的中空空隙2025，以及具有一个中间部分较宽而相对二端较窄的轮廓。藉此，既可以在弹性垫子202被放置到导线孔洞203时仍然让导线204自中介板201的一端经由中空空隙2025而贯通到其另一侧，也可以用弹性垫子202横截面面积较大的中间部分来让弹性垫子202被固定在中介板201内部(或说被固定在第一次中介板2011与第二次中介板2012之间)，并且用弹性垫子202横截面面积较小的两端部分来进一步的填满导线孔洞203。显然的，在不同实施例中，只需要弹性垫子202在被放置到导线孔洞203时可以塞满填实导线孔洞203而使得导线孔洞203内部没有可以让气体通过的空隙，亦即可以隔离开中介板201两侧的不同真空程度的环境，至于弹性垫子202的具体轮廓则可以有多种变化，或可像图2D所示般具有中空孔洞的圆形，或是具有中空孔洞的四边形，或也可以是具有中空孔洞的十字架型，甚至也可以是只有图2D中横截面面积较大的中间部分而没有相对二端较窄的部分，又甚至可以是未被特别画出的种种变化变化。

本发明的一些实施例有关于一种馈通装置。如图2E所示，如此馈通装置200至少包含一个中介板201，中介板201具有一或多个自其一第一侧贯穿通过到相对于第一侧的一第二侧的一或多个导线孔洞203，而且任一个导线孔洞203都有至少一导线204自中介板201的一侧贯穿通过而抵达中介板201的另一侧(在此为简化图示，仅绘出每个导线孔洞203只有一条导线204通过的状况)，并且每一条导线203都包含了用以传递电流的导体线2041以及围绕包覆导体线2041的绝缘材料层(也可以视为绝缘外壳)2042。这些实施例的主要特征是在每一个导线孔洞203，导体线2041与中介板201之间并不存在任何空隙可以让气体自中介板201的一侧流经抵达中介板202的另一侧。也就是说，由于绝缘材料在受到压力时会发生形变，这些实施例只有限制到通过任一导线孔洞203的一或多导线204的所有绝缘材料层2042在受到压力发生形变后，可以填满塞实中介板201与此一或多导线204的所有导体线2041之间，而使得气体无法经由此导线孔洞203自中介板201的一侧流通到中介板201的另一侧。附带地，当导线孔洞203内部的绝缘材料层2042受到压力而变形时，部分变形的绝缘材料层2042会外溢到导线孔洞203的两个开口附近(或说是外溢到中介板201的两个相对表面上的导线孔洞203的周围)，而使得在中介板201两个相对表面靠近导线孔洞这一部分的导线204的横截面变得更宽(或说是在导线孔洞203在中介板201得两个开口附近会被较在导线孔洞203内部更多的导体材料层2042给围绕与填满塞实)，进而强化中介板201两侧的相互隔绝。换句话说，这些实施例并不需要特别限制任一导线孔洞203与通过其间的一或多导线204各自的横截面面积与横截面轮廓，也不需要限制每条导线204内部的导体线2041与绝缘材料层2042的相对大小，甚至也不需要限制是否导线孔洞203的横截面面积/横截面轮廓，都与相对应的一或多导线204的总和相类似；或者，只有此一或多导线204通过导线孔洞203的部分的横截面面积/横截面轮廓的总和与此导线孔洞203相类似。也就是说，在这些实施例，可以使用商业化产品来做为导线204，而将中介板201的至少一个导线孔洞203的横截面面积与横截面轮廓调整到导线204受到压力发生形变后便可以填满塞实，藉此便可以简单地使用商业化产品的导线204以及对于中介板201的简单加工，来实现这些实施例。

弹性垫子202的材料可以在受到压力时发生形变，因此当弹性垫子202被放置到相对应的导线孔洞203并且受到压力时，可以将通过其中的导线204与中介板201之间完全填满，而不留下任何气体可以通过的空隙。在此，压力可以是来自导线孔洞203两侧的不同真空程度，也可以是来自第一次中介板2011与第二次中介板2012被固定物205所相互固定时的机械压力，当然也可以是其它未特别描述的压力来源。举例来说，在未被放置到导线孔洞203之前，各个弹性垫子202的横截面(特别是其被放置在导线孔洞203中的部分的横截面)的轮廓与其相对应导线孔洞203的横截面轮廓可以是大致相当，而且其横截面(特别是其被放置在导线孔洞203中的部分的横截面)的面积则可以是略大于其相对应导线孔洞203的横截面面积。藉此，弹性垫子202在受到压力时只需要轻微变形便可以完全填满导线孔洞203而不留下任何气体可以通过的空隙。在此，若所有弹性垫子202都是位于中介板201的同一侧，相对应导线孔洞203的横截面轮廓与横截面面积可以是指相对应导线孔洞203在靠近这些弹性垫子202所在的中介板201这一侧的横截面轮廓与横截面面积。在此，若弹性垫子202位于第一次中介板2011与第二次中介板2012的交界处，相对应导线孔洞203的横截面轮廓与横截面面积可以是指相对应导线孔洞203在这二个次中介板2011/2012交界处的横截面轮廓与横截面面积。

绝缘材料层2042的材料也可以在受到压力时发生形变，因此当某导线孔洞203被放入相对应的一或多导线204并且受到压力时，也可以将此一或多导线204内部的导体线2041与中介板201之间完全填满，而不留下任何气体可以通过的空隙。在此，压力可以是通过此导线孔洞204的一或多导线204相互之间及/或和中介板201之间相互接触的机械压力，当然也可以是其它未特别描述的压力来源。也就是说，对于至少一导线孔洞203横截面轮廓，与其相对应的一或多条导线204在尚未被放置到此导线孔洞203内的横截面轮廓的总和(特别是其被放置到此导线孔洞203中的部分，该部分的横截面轮廓的总和)大致相当。或者，该一或多条导线204其横截面面积的总和(特别是其被放置在导线孔洞203中的部分的横截面面积的总和)，可以略大于此导线孔洞203的横截面面积。藉此，此一或多导线204的所有绝缘材料层2042在受到压力时只需要轻微变形便可以与此一或多导线的所有导线层2041共同地完全填满导线孔洞203而不留下任何气体可以通过的空隙。

另外，本发明还可以让任一个弹性垫子202的厚度不小于中介板201的厚度(因为导线孔洞203贯穿通过中介板201)，或者，虽小于中介板201的厚度但是不小于导线孔洞203位于二个次中介板2011/2012之间具有较宽横截面面积的部分的深度，藉以进一步确保任一导线204与其中介板201之间的整个相对应导线孔洞203都会被弹性垫子202所填满，亦即极小化导线204中用以传输电流/电压/电讯号的导体发生裸露而引发放电现象的机率。也就是说，弹性垫子202的使用便可以让气体无法经由导线孔洞203自中介板201的一侧流通到中介板201的另一侧。

综上讨论，藉由使用弹性垫子202及/或绝缘材料层2042，本发明不同实施例都可以确保任一导线孔洞203中都不存在可以让气体流通的空隙，亦即可以极小化导线204中用以传输的导体线204发生裸露而引发放电现象的机率。亦即，在馈通装置200的相对二侧分别相邻到不同真空程度的二个空间时，藉由中介板201与弹性垫子202二者的组合，及/或藉由中介板201与绝缘材料层2042二者的组合，馈通装置200既可以让导线204自某一个空间贯穿而到达另一个空间，也可以确保两个空间持续具有其各自的真空程度。

如同习知技术的馈通装置100，本发明所提出的馈通装置200可以用来连接具有不同真空环境的二个不同反应室，也可以用来连接会相对运动的二个硬件装置，像是在离子布植机中会相对移动及/或相对转动的位于大气环境中的基座与位于真空环境中的静电吸盘。显然地，由于馈通装置200两侧的真空程度差异，当一或多个弹性垫子202都位于中介板201两侧中气体压力较高的一侧时，中介板201两边的压力差距会将这些弹性垫子202压入导线孔洞203而且压往中介板201两侧中气体压力较低的一侧，而当一或多弹性垫子202位于构成中介板201的两个次中介板2011/2012之间时，中介板201两边的压力差距会导致弹性垫子202形变而且将邻近两个次中介板2011/2012的相邻接表面2013的部分导线孔洞203给完全填满，并且当一或多条导线204位于一个导线孔洞203内部时，除了此一或多条导线204与中介板201之间相互接触挤压的机械压力之外，中介板201两边的压力差距也可以再增强此一或多条导线204的所有绝缘材料层2042的形变，进而确保在此导线孔洞203中此一或多条导线204的所有导体线2041与中介板201之间都会被这些绝缘材料层2042给填好填满。也就是说，即便在馈通装置200的制造过程中，并没有将弹性垫子202完整地放置到导线孔洞203并且填满塞住至少部分的导线孔洞203，及/或并没有放置好通过满导线孔洞203的一或多导线204来填满塞住至少部分的导线孔洞203，本发明所提出的馈通装置200也可以利用中介板201两侧的真空程度差异，自动地让弹性垫子202及/或绝缘材料层2042在导线孔洞203中发生形变及/或位移，进而降低或甚至完全消除导线孔洞203中还存在有可以让气体自馈通装置200一侧流通到馈通装置200另一侧的任何空隙的机率。相对于习知技术的馈通装置100需要主动使用异质焊接130来完全封住导线孔洞120(或说完全封住导线140与中介板110之间的空隙)，并且在异质焊接130若出现瑕疵而存在气体可能通过的空隙时便需要再次主动进行异质焊接来修补，本发明所提出的馈通装置200不只结构较为简单，较易制作，也较可能自行修补而较不需要额外的维修保养。

在不同实施例，弹性垫子202及/或绝缘材料层2042都可以是由不同的绝缘材料所制作的，不论是橡胶、塑料、胶、硅胶或是其任意组合。本发明仅要求绝缘材料必须具有机械弹性，使得弹性垫子202可以因为中介板201两侧的压力差而发生形变进而与中介板201与导线204二者的边缘紧紧地贴合，进而消除任何气体可能通过的空隙。举例来说，邵氏硬度D小于60的聚合物，像是软塑料与橡胶，便适合用来提供需要的形变，特别是适合来做为任一导线204的绝缘材料层2042。当然，取决于不同馈通装置200的具体设计以及应用范围，像是需要的不同形变程度与不同形变范围，邵氏硬度D不小于60的聚合物，像是中等硬度塑料与硬塑，也可以应用在本发明不同实施例的不同弹性垫子202及/或不同绝缘材料层2042。当然，取决于馈通装置200预计使用范围中弹性垫子202所会接触到的真空压力范围，所使用的绝缘材料必须在这样的真空压力范围中不只具有机械弹性而且还不容易破裂损伤。当然，若其他性质都相等时，介电系数较高的绝缘材料比较适合，因为其可以承载较高的电压或较大的电流而还不会破裂损耗。当然，若其他性质都相等时，较容易被机械加工到具有与导线孔洞203相等轮廓相似大小并且具有中空信道让导线通过的绝缘材料，及/或较容易被加工来环绕包覆住导体线2041而形成导线204的绝缘材料，便较为适合。

在不同实施例，中介板201可以是由不同的金属、不同的陶瓷及或不同的工程塑料所制作的。使用金属，像是不锈钢、镀铬的钢铁、或是铜，来制作中介板201的理由至少有二个。第一、由于本发明使用绝缘材料所制作的弹性垫子202及/或绝缘材料层2042来充填导线孔洞203，而不需要如习知技术般使用异质焊接来填满导线孔洞203与导线204之间的空隙，因此本发明并不限于使用陶瓷材料来制作中介板201。第二、金属容易被机械加工，不论中介板201的具体形状、具体尺寸与具体结构为何。举例来说，由金属材料所制作的两个次中介板2011/2012可以轻易地被钻出螺丝孔并且通过将螺丝锁入螺丝孔来将这两个次中介板2011/2012相互密合成为中介板201，甚至可以轻易地通过调整螺丝的锁入程度来调整弹性垫子202被夹住在两个次中介板2011/2012之间的程度(或者说是调整弹性垫子202怎样填满塞住导线孔洞203的程度)。但是，使用陶瓷及/或工程塑料来制作中介板201也有其好处，像是在馈通装置200的应用场合需要较能隔离电场或是较能防止放电损伤中介板201时，又或像是在馈通装置200的应用场合需要较具有机械弹性的中介板201时。

在不同实施例，中介板201的具体轮廓、具体尺寸与具体结构都可以视实际需要调整，导线孔洞203的数量、导线孔洞203的数量、以及导线孔洞203在中介板201垂直于导线孔洞203的横截面上的分布方式也都可以视实际需要调整，本发明并不需要限制这些细节。举例来说，多数个导线孔洞203可以是均匀地分布在中介板201的横截面上，也可以是集中在中介板201的横截面的中间。举例来说，中介板201垂直于导线孔洞203的横截面可以是正方形、长方形、四边形、椭圆形、圆形或是其它形状。举例来说，任一个导线孔洞203的横截面可以是近似于使用商业化产品的导线204的横截面。

在不同实施例，任一条导线204都是用绝缘材料包覆用以传递电流的导体线2041(像是用氧化铝套管来环绕包围可以传递电流的铜线)，藉此避免导体线2041裸露发生放电或是预防导体线2041与中介板201相互接触发生电流短路。另外，进一步降低放电现象发生的机率，像是为了减少导线在真空压力介于一毫托到一大气压之间的环境中引发放电现象的机率，任一条导线或可以是麻花线(twisted line，花线)也或可以是单心线(single-core line)，因为这些可以同时具有较低的泄漏率(leak rate)并且不容易因为受到压力而断裂。

综上所述，相较于习知技术的馈通装置100，本发明所提出的馈通装置200可以更有效地阻绝气体通过，亦即本发明所提出的馈通装置200更可以保持住其任何一侧的真空程度。因此，在真空环境中发生放电现象的机率可以显著地降低，即便发生放电现象时也可以显著地降低其强度。举例来说，在离子布植机中由基座经由导线传输往静电夹具的电流的电压有时会在1～10KV之间，此时若因为气体泄漏而导致静电夹具附近的气体压力约在1托(torr)到1毫托之间，若导线204中传导电流的金属线有任何部分裸露，便容易发生放电现象。但是，由于本发明所提出的馈通装置200可以较习知技术更有效率地防止气体泄漏，只要一开始能够将静电夹具附近空间的真空程度降低到低于1毫托，本发明便可以在离子布植机运作期间有效地防止放电现象的发生。

显然地，依照上面实施例中的描述，本发明可能有许多的修正与差异。因此需在其附加的权利要求书的范围内加以理解，除上述详细描述外，本发明还可以广泛地在其他的实施例中施行。上述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的保护范围；凡其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包括在上述权利要求书内。

Claims (19)

1.一种馈通装置，其特征在于，包括：

一中介板，其具有一第一侧与远离该第一侧的一第二侧，其中，所述中介板的第一侧与第二侧具有不同的真空环境；

至少一导线孔洞，该至少一导线孔洞自该第一侧贯穿通过到该第二侧；以及

至少一个弹性垫子，分别被一对一地放置在该至少一导线孔洞之中，其中：

该至少一弹性垫子皆由弹性材料所制作，

该至少一弹性垫子皆具有一中空空隙藉以让至少一导线可以自中介板一侧经由此而抵达中介板另一侧；

在此，该至少一弹性垫子至少在所述中介板两侧不同真空环境的压力差距的作用下，在所述导线孔洞中发生形变和/或位移，以使得通过其相对应的该至少一导线孔洞的导线与中介板之间不存在气体可以自中介板一侧流通到中介板另一侧的空隙。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该至少一个弹性垫子位于中介板的同一侧。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，该中介板更包含一第一次中介板与一第二次中介板，而且该至少一个弹性垫子位于该第一次中介板与该第二次中介板之间。

4.如权利要求2所述的装置，其特征在于，该至少一个弹性垫子的厚度不小于其相对应的该至少一导线孔洞的深度。

5.如权利要求2所述的装置，其特征在于，该至少一个弹性垫子在未被放置到相对应的该至少一导线孔洞之前，其横截面轮廓与其相对应的该至少一导线孔洞的横截面轮廓大致相当，而且其横截面面积略大于其相对应的该至少一导线孔洞的横截面面积。

6.如权利要求2所述的装置，其特征在于，至少一个弹性垫子在未被放置到相对应的一导线孔洞之前，其被放置在相对应的一线孔洞中的部分的横截面的轮廓与其在此导线孔洞在其所在的中介板这一侧的横截面轮廓大致相当，而且其被放置在相对应一导线孔洞中的部分的横截面的面积略大于此导线孔洞在其所在的中介板这一侧的横截面面积。

7.如权利要求3所述的装置，其特征在于，至少一弹性垫子的厚度小于其相对应的一导线孔洞的深度，但是不小于所对应的一导线孔洞位于二个次中介板之间具有较宽横截面面积的部分的深度。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，更包含至少下列之一：

至少一个弹性垫子的材料皆选自下列之一：橡胶、塑料、胶、硅胶及其任意组合；以及

至少一个弹性垫子的材料为邵氏硬度D小于60的聚合物。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，中介板的材料选自下列之一：金属、陶瓷、工程塑料及其任意组合。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，更包含至少下列之一：

至少一导线为麻花线；以及

至少一导线以绝缘材料包覆用以传递电流的导体线。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，至少一导线为单心线。

12.一种馈通装置，其特征在于，包括：

一中介板，其具有一第一侧与远离该第一侧的一第二侧，其中，所述中介板的第一侧与第二侧具有不同的真空环境；

至少一个导线孔洞，该至少一导线孔洞自该第一侧贯穿通过到该第二侧；

至少一导线，该至少一导线自该中介板的第一侧，贯穿通过该至少一导线孔洞，到达该中介板的第二侧；

其中，该至少一导线皆包含用以传递电流的一导体线及围绕包覆该导体线的一绝缘材料层；以及

在该至少一导线孔洞中，该绝缘材料层至少在受到所述中介板两侧不同真空环境的压力差距的作用后发生形变，填满塞实该至少一导线孔洞与该导体线之间的空隙，以使该导体线与该中介板之间不存在任何空隙可以让气体自该中介板的第一侧流经抵达该中介板的第二侧。

13.如权利要求12所述的装置，其特征在于，使用商业化产品来做为导线，而且中介板的任一个导线孔洞的横截面面积与横截面轮廓皆为通过其中的一或多导线在受到压力发生形变后便可以填满塞实。

14.如权利要求12所述的装置，其特征在于，更包含至少下列之一:

对于至少一导线孔洞，其相对应的一或多条导线在未被放置到此导线孔洞之前，其会被放置到此导线孔洞中的部分的横截面轮廓的总和与此导线孔洞的横截面轮廓是大致相当；以及

对于至少一导线孔洞，其相对应的一或多条导线在未被放置到此导线孔洞之前，其会被放置到此导线孔洞中的部分的横截面面积的总和与此导线孔洞的横截面面积是大致相当。

15.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该绝缘材料层的材料选自下列之一：橡胶、塑料、胶、硅胶及其任意组合。

16.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该绝缘材料层的材料为邵氏硬度D小于60的聚合物。

17.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该中介板的材料选自下列之一：金属、陶瓷、工程塑料及其任意组合。

18.如权利要求12所述的装置，其特征在于，该至少一导线为麻花线。

19.如权利要求12所述的装置，其特征在于，至少一导线为单心线。