CN113695748B - 一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法 - Google Patents

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Abstract

一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，先搭建飞秒激光并行加工光路，再设计多焦点图案的棱形位置分布并确定各子焦点的相对能量强度，进而利用CCD相机反馈的实时光场信息结合GSW方法对相位全息图进行迭代计算，迭代计算出符合要求的相位全息图；最后将相位全息图加载在空间光调制器上，飞秒激光在金属样品表面上汇聚成预设的多焦点图案，进而利用扫描振镜在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构；本发明利用空间光调制器来控制飞秒激光多焦点图案的位置和强度分布，从而在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构。

Description

一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法
技术领域
本发明属于激光加工技术领域，具体涉及一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法。
背景技术
生活在海洋中的鲨鱼能够在水中轻快自如地游动，这得益于鲨鱼表皮的微纳结构。鲨鱼皮表面结构呈现出一种不规则的沟槽排列，其长度和深度并不是固定的；正是这种奇特的表面结构，能够改变周围流场从而有效减小流动阻力，并且还具有防水防污的作用，通过仿生制造这种鲨鱼皮表面结构可以应用于航空和航海领域。目前鲨鱼皮表面结构的仿生制造方法有模具复制法、微塑铸法和纳米压印法等，但这些方法都有精度低和效率低的问题。
相比之下，飞秒激光加工技术在微纳加工领域有着众多加工优势，然而利用飞秒激光单焦点直写加工鲨鱼皮表面结构是难以实现的，主要原因是鲨鱼皮表面结构是由不规则的沟槽排列而成，在鲨鱼皮表面结构单元内分布着不同长度和深度的沟槽，飞秒激光单焦点直写加工难以在金属样品表面烧蚀出由不规则沟槽排列组成的鲨鱼皮表面结构。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供了一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，实现鲨鱼皮表面结构的快速制备。
为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，利用空间光调制器来控制飞秒激光多焦点图案的位置和强度分布，从而在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构；
飞秒激光多焦点图案的位置整体呈现棱形分布，且焦点强度由图案中间向两端表现为梯度分布；呈现棱形位置分布的多焦点图案在指定加工路径上移动相邻垂直分布的两个子焦点间的距离；
呈现棱形位置分布的多焦点图案内部的子焦点在垂直方向上的间距相同，且为鲨鱼皮表面结构单元的加工距离；
鲨鱼皮表面结构单元整体呈现棱形，具体由不同深度和宽度的沟槽组成。
一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，包括以下步骤：
1)搭建飞秒激光并行加工光路，飞秒激光并行加工光路包括飞秒激光器1，飞秒激光器1的出射能量先经半波片2和偏振分束镜3，偏振分束镜3将高斯光束的偏振态调制为水平方向；再利用扩束镜4对高斯光束进行扩束准直，然后利用反射镜5调整高斯光束与空间光调制器6的入射角度，空间光调制器6反射出的高斯光束经过由第一透镜7和第二透镜9组成的一个4F系统，并且在第一透镜7的后焦平面上放置一个光阑8；在第二透镜9的后面安装一个分束镜10，一路分束高斯光束经过扫描振镜11照射在三轴精密移动平台12上的金属样品表面；
另一路分束高斯光束经第三透镜13形成的多焦点图案再经衰减片14汇聚于CCD相机15上，CCD相机15所捕获的实际多焦点图案信息用于反馈至计算机16；
飞秒激光器1、空间光调制器6、扫描振镜11和计算机16连接；
2)设计多焦点图案的棱形位置分布并确定各子焦点的相对能量强度，进而利用CCD相机反馈的实时光场信息结合GSW方法对相位全息图进行迭代计算，迭代计算出符合要求的相位全息图；
3)将相位全息图加载在空间光调制器6上，飞秒激光在金属样品表面上汇聚成预设的多焦点图案，进而利用扫描振镜在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构。
所述的步骤1)中扩束镜4的扩束倍数应保证扩束后高斯光束直径接近空间光调制器6的液晶面板短轴长度，以保证相位全息图对入射光束的调制效率。
所述的步骤1)中空间光调制器6的高斯光束入射角度应小于10°，同时保证经空间光调制器6反射出的高斯光束与飞秒激光器1出射的高斯光束保持平行。
所述的步骤1)中空间光调制器6处于第一透镜7的前焦平面。
所述的步骤1)中光阑8的位置应保证相位全息图在叠加闪耀光栅相位图后仅让多焦点图案通过，而遮挡住零级光斑。
所述的扫描振镜11中场镜和第二透镜9的距离分别为两者焦距之和，第三透镜13和第二透镜9的距离分别为两者焦距之和。
所述的三轴精密移动台12置于扫描振镜11的正下方，保证经扫描振镜11的多焦点图案恰好汇聚于金属样品表面。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明在飞秒激光直写加工的基础上，利用空间光调制器来控制多焦点图案的位置和强度分布，实现在金属样品表面直接烧蚀出的沟槽的长度和深度，进而在金属样品表面烧蚀出鲨鱼皮表面结构单元，并结合扫描振镜可在金属样品表面上快速覆盖鲨鱼皮表面结构；本发明充分继承了飞秒激光直写加工的加工精度高和加工对象广等优势，实现了对鲨鱼皮表面结构内不同长度和深度的沟槽的快速制备，为航空和航海领域内的关键部件表面仿生出鲨鱼皮表面结构提供了有力指导。
附图说明
图1为实施例飞秒激光并行加工光路的结构示意图。
图2为实施例用于制备鲨鱼皮表面结构的多焦点图案的位置和强度分布，以及鲨鱼皮表面结构单元的加工方向与距离要求示意图。
图3为实施例制备的鲨鱼皮表面结构截面轮廓示意图。
图4为实施例利用扫描振镜结合多焦点图案用于金属样品表面上快速覆盖上鲨鱼皮表面结构的示意图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明进一步地详细说明。
一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，包括以下步骤：
1)搭建飞秒激光并行加工光路，参照图1，飞秒激光并行加工光路包括飞秒激光器1，飞秒激光器1的出射能量先利用由半波片2和偏振分束镜3组合能量调节系统进行控制，同时偏振分束镜3将高斯光束的偏振态调制为水平方向；再利用扩束镜4对高斯光束进行扩束准直，扩束倍数应保证扩束后高斯光束直径接近空间光调制器6的液晶面板短轴长度，以保证相位全息图对入射光束的调制效率；然后利用反射镜5调整高斯光束与空间光调制器6的入射角度，入射角度应小于10°，同时保证经空间光调制器6反射出的高斯光束与飞秒激光器1出射的高斯光束保持平行；空间光调制器6反射出的高斯光束经过由第一透镜7和第二透镜9组成的一个4F系统，保证空间光调制器6处于第一透镜7的前焦平面，并且在第一透镜7的后焦平面上放置一个光阑8，光阑8的位置应保证相位全息图在叠加闪耀光栅相位图后仅让多焦点图案通过，而遮挡住零级光斑；在第二透镜9的后面安装一个分束镜10，一路分束高斯光束经过扫描振镜11照射在三轴精密移动平台12上的金属样品表面，三轴精密移动台12置于扫描振镜11的正下方，其用于保证经扫描振镜11的多焦点图案恰好汇聚于金属样品表面；
另一路分束高斯光束经第三透镜13形成的多焦点图案再经衰减片14汇聚于CCD相机15上，扫描振镜11中场镜和第二透镜9的距离分别为两者焦距之和，第三透镜13和第二透镜9的距离分别为两者焦距之和；CCD相机15所捕获的实际多焦点图案信息用于反馈至计算机16，并结合GSW算法用于计算出高质量的相位全息图；
飞秒激光器1、空间光调制器6、扫描振镜11和计算机16连接；
2)设计多焦点图案的棱形位置分布并确定各子焦点的相对能量强度，进而利用CCD相机反馈的实时光场信息结合GSW方法对相位全息图进行迭代计算，迭代计算出符合要求的相位全息图；
参照图2，实施例中多焦点图案整体呈现菱形分布，焦点的直径大小不同用于区分其强度大小；利用CCD相机反馈的实时光场信息结合GSW方法对相位全息图进行迭代计算，迭代计算出符合要求的相位全息图；从图2中可以看出多焦点图案向图中所指的方向加工距离为L时，存在一个子焦点的加工路径上能够在金属样品表面烧蚀出长度为L的沟槽，同理其他加工路径可烧蚀出长度为2L和3L的沟槽；同时又因为各加工路径上的子焦点强度不同，子焦点强度越高，其烧蚀出的沟槽的深度和宽度也相应的更大；因此，在金属样品表面上加工出一个鲨鱼皮表面结构单元时需要结合扫描振镜控制该多焦点图案按指定方向移动距离L，进而再利用扫描振镜在整个金属样品表面覆盖上该鲨鱼皮表面结构；
3)将计算好的相位全息图加载在空间光调制器6上，飞秒激光在金属样品表面上汇聚成预设的多焦点图案，参照图3，从图3中可以看出多焦点图案中强度越大的子焦点烧蚀出的沟槽深度和宽度越大，因此可根据实际激光能量大小和金属样品属性来确定焦点能量的相对强度分布，从而烧蚀出这种由长度和深度不同的沟槽组成的鲨鱼皮表面结构单元；
进而利用扫描振镜在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构，参照图4，从图4中可以看出扫描振镜的快速移动优势，可将利用多焦点图案烧蚀出的鲨鱼皮表面结构单元快速覆盖整个金属样品表面。

Claims (8)

1.一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：利用空间光调制器来控制飞秒激光多焦点图案的位置和强度分布，从而在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构；
飞秒激光多焦点图案的位置整体呈现棱形分布，且焦点强度由图案中间向两端表现为梯度分布；呈现棱形位置分布的多焦点图案在指定加工路径上移动相邻垂直分布的两个子焦点间的距离；
呈现棱形位置分布的多焦点图案内部的子焦点在垂直方向上的间距相同，且为鲨鱼皮表面结构单元的加工距离；
鲨鱼皮表面结构单元整体呈现棱形，具体由不同深度和宽度的沟槽组成。
2.根据权利要求1所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
1）搭建飞秒激光并行加工光路，飞秒激光并行加工光路包括飞秒激光器（1），飞秒激光器（1）的出射能量先经半波片（2）和偏振分束镜（3），偏振分束镜（3）将高斯光束的偏振态调制为水平方向；再利用扩束镜（4）对高斯光束进行扩束准直，然后利用反射镜（5）调整高斯光束与空间光调制器（6）的入射角度，空间光调制器（6）反射出的高斯光束经过由第一透镜（7）和第二透镜（9）组成的一个4F系统，并且在第一透镜（7）的后焦平面上放置一个光阑（8）；在第二透镜（9）的后面安装一个分束镜（10），一路分束高斯光束经过扫描振镜（11）照射在三轴精密移动平台（12）上的金属样品表面；
另一路分束高斯光束经第三透镜（13）形成的多焦点图案再经衰减片（14）汇聚于CCD相机（15）上，CCD相机（15）所捕获的实际多焦点图案信息用于反馈至计算机（16）；
飞秒激光器（1）、空间光调制器（6）、扫描振镜（11）和计算机（16）连接；
2）设计多焦点图案的棱形位置分布并确定各子焦点的相对能量强度，进而利用CCD相机反馈的实时光场信息结合GSW方法对相位全息图进行迭代计算，迭代计算出符合要求的相位全息图；
3）将相位全息图加载在空间光调制器（6）上，飞秒激光在金属样品表面上汇聚成预设的多焦点图案，进而利用扫描振镜在金属样品表面快速烧蚀出鲨鱼皮表面结构。
3.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的步骤1）中扩束镜（4）的扩束倍数应保证扩束后高斯光束直径接近空间光调制器（6）的液晶面板短轴长度，以保证相位全息图对入射光束的调制效率。
4.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的步骤1）中空间光调制器（6）的高斯光束入射角度应小于10°，同时保证经空间光调制器（6）反射出的高斯光束与飞秒激光器（1）出射的高斯光束保持平行。
5.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的步骤1）中空间光调制器（6）处于第一透镜（7）的前焦平面。
6.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的步骤1）中光阑（8）的位置应保证相位全息图在叠加闪耀光栅相位图后仅让多焦点图案通过，而遮挡住零级光斑。
7.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的扫描振镜（11）中场镜和第二透镜（9）的距离分别为两者焦距之和，第三透镜（13）和第二透镜（9）的距离分别为两者焦距之和。
8.根据权利要求2所述的一种基于空间光调制器的鲨鱼皮表面结构快速制备方法，其特征在于：所述的三轴精密移动台（12）置于扫描振镜（11）的正下方，保证经扫描振镜（11）的多焦点图案恰好汇聚于金属样品表面。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114393311B (zh) * 2021-12-30 2022-10-04 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 图案彩绘加工装置与加工方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016019393A1 (en) * 2014-08-01 2016-02-04 Gpb Scientific, Llc Methods and systems for processing particles
CN109270606A (zh) * 2018-10-08 2019-01-25 桂林电子科技大学 一种基于介质和石墨烯构造动态多焦点超透镜的方法
CN109570753A (zh) * 2018-11-30 2019-04-05 河南理工大学 一种仿生微织构车刀激光加工用制备装置
CN110303243A (zh) * 2019-08-15 2019-10-08 北京理工大学 一种光场动态可调的多激光焦点切割脆性材料装置及方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1230272C (zh) * 2003-07-29 2005-12-07 吉林大学 一种提高机械部件耐磨性能的方法
JP5548143B2 (ja) * 2011-01-25 2014-07-16 三星ダイヤモンド工業株式会社 Ｌｅｄチップの製造方法
CN107207316A (zh) * 2014-11-19 2017-09-26 康宁股份有限公司 对玻璃制品进行刻痕的设备和方法
CN107442942B (zh) * 2017-07-16 2019-02-26 北京工业大学 激光划线扫描材料制备点阵式表面织构的方法
WO2020217349A1 (ja) * 2019-04-24 2020-10-29 株式会社ニコン 加工方法及び加工装置
CN111014947A (zh) * 2019-11-19 2020-04-17 中国科学技术大学 基于空间光调制器和扫描振镜的高速激光加工装置和方法
CN112388158A (zh) * 2020-10-29 2021-02-23 青岛理工大学 用于球面微结构的全息飞秒激光分层并行加工方法及系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016019393A1 (en) * 2014-08-01 2016-02-04 Gpb Scientific, Llc Methods and systems for processing particles
CN109270606A (zh) * 2018-10-08 2019-01-25 桂林电子科技大学 一种基于介质和石墨烯构造动态多焦点超透镜的方法
CN109570753A (zh) * 2018-11-30 2019-04-05 河南理工大学 一种仿生微织构车刀激光加工用制备装置
CN110303243A (zh) * 2019-08-15 2019-10-08 北京理工大学 一种光场动态可调的多激光焦点切割脆性材料装置及方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
基于空间光调制器的飞秒激光时空干涉在不锈钢表面高效率制备超疏水功能的仿生结构;石惠等;《光子学报》;20210630;全文 *

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SE01 Entry into force of request for substantive examination
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GR01 Patent grant
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