CN113686522B - 多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，包括设置在内筒锻件管内部的固定环和安装在视镜下法兰端部的盖板，固定环相对的两侧壁上对称开设有凹槽，凹槽内部套设有用于与内筒锻件管内壁紧密贴合的密封圈，固定环相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈进行限位的压盖，压盖端部与盖板侧壁相连接，本发明结构合理，漏气检测快捷有效，保证视镜焊缝质量，密封效果好，安装拆卸便捷。

Description

多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法

技术领域

本发明是多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，属于视镜漏气检测用密封装置技术领域。

背景技术

多晶硅生产过程中，通过还原炉底盘的电极对炉内的阻性负载制备硅棒，硅棒的生长情况需要通过钟罩筒体上的视镜进行观察，视镜处焊缝质量严重影响设备安全，特别是视镜下法兰的两处焊缝，该处焊缝无法进行射线检测，因此为保证视镜焊缝质量需要在压力试验的基础上进行更严格的氦检漏试验，在对视镜下法兰的两处焊缝进行漏气检测时，需要用到视镜漏气检测用密封装置。

现有技术中，视镜漏气检测用密封装置在使用时，不能够快捷有效的对视镜下法兰的两处焊缝进行漏气检测，从而无法保证视镜焊缝的质量，且因内筒体锻件管上存在贯通的吹扫孔，无法使视镜下法兰与内筒锻件管连接处形成独立的密封腔体，密封效果不好，从而无法对焊缝处进行漏气检测，以及在漏气检测过程中不便于对密封装置进行安装拆卸，增加劳动成本，现在急需多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置来解决上述出现的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题，本发明结构合理，漏气检测快捷有效，保证视镜焊缝质量，密封效果好，安装拆卸便捷。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，包括设置在内筒锻件管内部的固定环和安装在视镜下法兰端部的盖板，所述固定环相对的两侧壁上对称开设有凹槽，所述凹槽内部套设有用于与内筒锻件管内壁紧密贴合的密封圈，所述固定环相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈进行限位的压盖，所述压盖端部与盖板侧壁相连接。

进一步地，所述密封圈远离固定环的一侧为唇形结构，内筒锻件管内壁设置有一对衔接槽，所述衔接槽与密封圈的唇形侧壁相贴合。

进一步地，所述固定环、密封圈、压盖分别与内筒锻件管内壁之间留有间隙。

进一步地，视镜下法兰远离内筒锻件管的一侧安装有贯穿盖板的螺纹柱，所述盖板上安装有依次贯穿压盖、固定环的螺栓，所述螺栓和螺纹柱上均安装有螺母。

进一步地，视镜下法兰与盖板之间形成第一气室，视镜下法兰与内筒锻件管之间形成第二气室，所述盖板远离内筒锻件管的一端开设有与第一气室相连通的检漏孔，所述内筒锻件管上开设有连通第二气室和密封圈的吹扫孔，所述吹扫孔置于相邻的衔接槽之间。

进一步地，视镜下法兰侧壁上开设有与第二气室相连通的进气孔，所述进气孔内部安装有管接头。

进一步地，视镜下法兰分别与内筒锻件管、管接头连接处设置有焊缝。

多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的使用方法，包括以下步骤：

步骤（A）.对视镜下法兰与内筒锻件管连接处进行密封；

步骤（B）.对视镜下法兰与内筒锻件管连接处进行气密性检测。

进一步地，步骤（A）具体包括如下

（A1）.将密封圈套设在固定环的凹槽内部，使压盖与固定环相对的两端相连接，将螺栓依次插入盖板、压盖、固定环内部，将螺母套在在螺栓上；

（A2）.将盖板插入视镜下法兰的螺纹柱内部，将螺母套在在螺纹柱上，密封圈的唇形侧壁与内筒锻件管内壁的衔接槽相贴合；

步骤（B）具体包括如下

（B1）.对管接头通入检测气体，气体顺着进气孔进入第二气室，触摸与第一气室连通的检漏孔是否出气，用于检测视镜下法兰端部与内筒锻件管连接处是否漏气，对视镜下法兰与内筒锻件管侧壁的焊缝进行触摸，用于检测视镜下法兰与内筒锻件管侧壁的连接处是否漏气；

（B2）.第一气室的气体沿着吹扫孔进入固定环、密封圈、压盖分别与内筒锻件管内壁之间留有的间隙内部，气体压力及压盖对密封圈进行挤压，密封圈受到压力变形，使密封圈的唇形侧壁与内筒锻件管内壁的衔接槽紧密贴合，使视镜下法兰与内筒锻件管连接处形成独立的密封腔体。

本发明的有益效果：本发明的多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置在使用时：

1.通过通入检测气体，气体压力及压盖对密封圈的挤压，密封圈受到压力变形，使密封圈的唇形侧壁与内筒锻件管内壁的衔接槽紧密贴合，使视镜下法兰与内筒锻件管连接处形成独立的密封腔体，防止连接处漏气，增强密封效果，从而可以对焊缝处进行漏气检测；

2.通过将密封圈套设在固定环的凹槽内部，使压盖与固定环相对的两端相连接，将螺栓依次插入盖板、压盖、固定环内部，将螺母套在在螺栓上，将盖板插入视镜下法兰的螺纹柱内部，将螺母套在在螺纹柱上，密封圈的唇形侧壁与内筒锻件管内壁的衔接槽相贴合，通过螺母分别与螺栓、螺纹柱进行螺纹连接，起到便于拆卸和安装的作用；

3.通过气体顺着进气孔进入第二气室，触摸与第一气室连通的检漏孔是否出气，用于检测视镜下法兰端部与内筒锻件管连接处是否漏气，对视镜下法兰与内筒锻件管侧壁的焊缝进行触摸，用于检测视镜下法兰与内筒锻件管侧壁的连接处是否漏气，起到快捷有效对视镜下法兰的两处焊缝进行漏气检测的作用，从而保证视镜焊缝质量。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的正视剖视图；

图2为本发明多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置中A的放大图；

图3为本发明图2中B的放大图；

图中：1-内筒锻件管、2-视镜下法兰、3-螺纹柱、4-螺母、5-盖板、6-压盖、7-管接头、71-进气孔、8-固定环、81-凹槽、9-密封圈、10-螺栓、11-检漏孔、12-第一气室、13-第二气室、14-焊缝、15-衔接槽、16-吹扫孔。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

请参阅图1-图3，本发明提供一种技术方案：多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，包括设置在内筒锻件管1内部的固定环8和安装在视镜下法兰2端部的盖板5，固定环8相对的两侧壁上对称开设有凹槽81，凹槽81内部套设有用于与内筒锻件管1内壁紧密贴合的密封圈9，固定环8相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈9进行限位的压盖6，压盖6端部与盖板5侧壁相连接，视镜下法兰2置于内筒锻件管1的端部。

密封圈9远离固定环8的一侧为唇形结构，内筒锻件管1内壁设置有一对衔接槽15，衔接槽15与密封圈9的唇形侧壁相贴合，该设计便于密封圈9与衔接槽15进行连接，提高了连接处的密封性，气体压力及压盖6对密封圈9的挤压，密封圈9受到压力变形，使密封圈9的唇形侧壁与内筒锻件管1内壁的衔接槽15紧密贴合，使视镜下法兰2与内筒锻件管1连接处形成独立的密封腔体，防止连接处漏气，增强密封效果，从而可以对焊缝14处进行漏气检测，固定环8、密封圈9、压盖6分别与内筒锻件管1内壁之间留有间隙，该设计便于气体进入缝隙内部对密封圈9进行挤压，视镜下法兰2远离内筒锻件管1的一侧安装有贯穿盖板5的螺纹柱3，盖板5上安装有依次贯穿压盖6、固定环8的螺栓10，螺栓10和螺纹柱3上均安装有螺母4，该设计通过螺母4分别与螺栓10、螺纹柱3进行螺纹连接，起到便于拆卸和安装的作用。

视镜下法兰2与盖板5之间形成第一气室12，视镜下法兰2与内筒锻件管1之间形成第二气室13，盖板5远离内筒锻件管1的一端开设有与第一气室12相连通的检漏孔11，内筒锻件管1上开设有连通第二气室13和密封圈9的吹扫孔16，吹扫孔16置于相邻的衔接槽15之间，该设计便于气体顺着进气孔71进入第二气室13，触摸与第一气室12连通的检漏孔11是否出气，用于检测视镜下法兰2端部与内筒锻件管1连接处是否漏气，对视镜下法兰2与内筒锻件管1侧壁的焊缝14进行触摸，用于检测视镜下法兰2与内筒锻件管1侧壁的连接处是否漏气，起到快捷有效对视镜下法兰2的两处焊缝14进行漏气检测的作用，从而保证视镜焊缝14质量，视镜下法兰2侧壁上开设有与第二气室13相连通的进气孔71，进气孔71内部安装有管接头7，提高了该设计的合理性，视镜下法兰2分别与内筒锻件管1、管接头7连接处设置有焊缝14。

多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的使用方法，包括以下步骤：

步骤（A）.对视镜下法兰2与内筒锻件管1连接处进行密封；

步骤（B）.对视镜下法兰2与内筒锻件管1连接处进行气密性检测。

步骤（A）具体包括如下

（A1）.将密封圈9套设在固定环8的凹槽81内部，使压盖6与固定环8相对的两端相连接，将螺栓10依次插入盖板5、压盖6、固定环8内部，将螺母4套在在螺栓10上；

（A2）.将盖板5插入视镜下法兰2的螺纹柱3内部，将螺母4套在在螺纹柱3上，密封圈9的唇形侧壁与内筒锻件管1内壁的衔接槽15相贴合，通过密封圈9的唇形侧壁与内筒锻件管1内壁的衔接槽15相贴合，提高了连接处的密封性，通过螺母4分别与螺栓10、螺纹柱3进行螺纹连接，起到便于拆卸和安装的作用；

步骤（B）具体包括如下

（B1）.对管接头7通入检测气体，气体顺着进气孔71进入第二气室13，触摸与第一气室12连通的检漏孔11是否出气，用于检测视镜下法兰2端部与内筒锻件管1连接处是否漏气，对视镜下法兰2与内筒锻件管1侧壁的焊缝14进行触摸，用于检测视镜下法兰2与内筒锻件管1侧壁的连接处是否漏气；

（B2）.第一气室12的气体沿着吹扫孔16进入固定环8、密封圈9、压盖6分别与内筒锻件管1内壁之间留有的间隙内部，气体压力及压盖6对密封圈9进行挤压，密封圈9受到压力变形，使密封圈9的唇形侧壁与内筒锻件管1内壁的衔接槽15紧密贴合，使视镜下法兰2与内筒锻件管1连接处形成独立的密封腔体，防止连接处漏气，增强密封效果，从而对焊缝14处进行漏气检测。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (3)

1.多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，其特征在于：包括设置在内筒锻件管（1）内部的固定环（8）和安装在视镜下法兰（2）端部的盖板（5），所述固定环（8）相对的两侧壁上对称开设有凹槽（81），所述凹槽（81）内部套设有用于与内筒锻件管（1）内壁紧密贴合的密封圈（9），所述固定环（8）相对的两侧壁上对称设置有用于对密封圈（9）进行限位的压盖（6），所述压盖（6）端部与盖板（5）侧壁相连接；

所述密封圈（9）远离固定环（8）的一侧为唇形结构，内筒锻件管（1）内壁设置有一对衔接槽（15），所述衔接槽（15）与密封圈（9）的唇形侧壁相贴合；

所述固定环（8）、密封圈（9）、压盖（6）分别与内筒锻件管（1）内壁之间留有间隙；

视镜下法兰（2）远离内筒锻件管（1）的一侧安装有贯穿盖板（5）的螺纹柱（3），所述盖板（5）上安装有依次贯穿压盖（6）、固定环（8）的螺栓（10），所述螺栓（10）和螺纹柱（3）上均安装有螺母（4）；

视镜下法兰（2）与盖板（5）之间形成第一气室（12），视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）之间形成第二气室（13），所述盖板（5）远离内筒锻件管（1）的一端开设有与第一气室（12）相连通的检漏孔（11），内筒锻件管（1）上开设有连通第二气室（13）和密封圈（9）的吹扫孔（16），所述吹扫孔（16）置于相邻的衔接槽（15）之间；

视镜下法兰（2）侧壁上开设有与第二气室（13）相连通的进气孔（71），所述进气孔（71）内部安装有管接头（7）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置，其特征在于：视镜下法兰（2）分别与内筒锻件管（1）、管接头（7）连接处设置有焊缝（14）。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅生产设备的视镜漏气检测用密封装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤（A）.对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处进行密封；

步骤（B）.对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处进行气密性检测；

其中：

步骤（A）具体包括如下

（A1）.将密封圈（9）套设在固定环（8）的凹槽（81）内部，使压盖（6）与固定环（8）相对的两端相连接，将螺栓（10）依次插入盖板（5）、压盖（6）、固定环（8）内部，将螺母（4）套在在螺栓（10）上；

（A2）.将盖板（5）插入视镜下法兰（2）的螺纹柱（3）内部，将螺母（4）套在在螺纹柱（3）上，密封圈（9）的唇形侧壁与内筒锻件管（1）内壁的衔接槽（15）相贴合；

步骤（B）具体包括如下

（B1）.对管接头（7）通入检测气体，气体顺着进气孔（71）进入第二气室（13），触摸与第一气室（12）连通的检漏孔（11）是否出气，用于检测视镜下法兰（2）端部与内筒锻件管（1）连接处是否漏气，对视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）侧壁的焊缝（14）进行触摸，用于检测视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）侧壁的连接处是否漏气；

（B2）.第一气室（12）的气体沿着吹扫孔（16）进入固定环（8）、密封圈（9）、压盖（6）分别与内筒锻件管（1）内壁之间留有的间隙内部，气体压力及压盖（6）对密封圈（9）进行挤压，密封圈（9）受到压力变形，使密封圈（9）的唇形侧壁与内筒锻件管（1）内壁的衔接槽（15）紧密贴合，使视镜下法兰（2）与内筒锻件管（1）连接处形成独立的密封腔体。

Images