CN113637532A - 一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐、加热组件和冷却组件，加热组件包括第一电热网、中空导热管、加热管、导风板、液压缸、风机和第二电热网，第一电热网通电产生热量，中空导热管将热量传递给制备罐侧壁加热原料，第一电热网和中空导热管的设置，增加与制备罐的接触面积，使制备罐侧壁受热均匀，液压缸将导风板下移，使加热管插入原料内，风机和第二电热网通电，使加热管往原料内吹入热风，使制备罐中部的原料受热均匀，解决传统清洗液生产设备通过加热块加热，受热不均匀，局部温度过高影响清洗液质量的问题。

Description

一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备

技术领域

本发明涉及清洗液生产技术领域，尤其涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备。

背景技术

晶圆片一般指硅晶片，在生产过程中机械设备润滑的油脂、金刚砂或工作液中的金属离子以及硅片与空气接触后形成的氧化物层等均可对硅片造成不同程度的污染，需要使用清洗液清洗。

清洗液的生产是一个复杂的过程，传统清洗液生产设备通过加热块加热，部分原料温度过高，部分原料温度不变受热不均匀，并且原料局部温度过高会影响清洗液质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备，旨在解决传统清洗液生产设备通过加热块加热，受热不均匀，局部温度过高影响清洗液质量的问题。

为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种晶圆片加工清洗液，包括氨基三甲叉膦酸65%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐5%、氢氟酸4%、AEO-9 2%、乙二胺四乙酸钠3%和纯水21%，所述氨基三甲叉膦酸，其磷氧官能团对硅原子有更强的选择性，对于硅片上的固定胶和粉尘具有优异的清洗效果，所述磺化琥珀酸二辛酯钠盐具有优异的渗透性，可加速固定胶和粉尘的清除，所述乙二胺四乙酸钠络合金属离子、所述氢氟酸清除氧化物层和所述AEO-9乳化油污协同作用，可一次性清洗去除硅片表面的固定胶、金属杂质、氧化物和粉尘及油污等各种污染物，大大提高生产效率，降低了生产成本。

第二方面，本发明提供了一种晶圆片加工清洗液生产设备，包括制备罐、加热组件和冷却组件，所述加热组件包括第一电热网、中空导热管、加热管、导风板、液压缸、风机和第二电热网，所述第一电热网与所述制备罐固定连接，且位于所述制备罐内，所述中空导热管与所述第一电热网固定连接，且位于所述第一电热网一侧，所述液压缸与所述制备罐固定连接，且位于所述制备罐顶部，所述导风板与所述液压缸固定连接，且位于所述液压缸靠近所述制备罐一侧，所述加热管与所述导风板固定连接，且位于所述导风板远离所述液压缸一侧，所述加热管具有通孔，所述通孔位于所述加热管四周，所述风机与所述导风板固定连接，且位于所述导风板一侧，所述第二电热网与所述导风板固定连接，且位于所述导风板内所述制备罐制备清洗液，所述加热组件加热所述制备罐内的原料，所述冷却组件冷却加热制备后的原料。

其中，所述风机包括外壳、第二电机和叶片，所述外壳与所述导风板固定连接，且位于所述导风板一侧，所述第二电机与所述外壳固定连接，且位于所述外壳内，所述叶片与所述第二电机固定连接，且位于所述第二电机一侧，所述外壳对所述第二电机和所述叶片提供安装条件，并保护其不被损坏，所述第二电机转动使所述叶片转动往所述导风板吹风。

其中，所述加热组件还包括导热硅胶片，所述导热硅胶片与所述中空导热管固定连接，且位于所述中空导热管远离所述第一电热网一侧，所述导热硅胶片减少所述中空导热管和所述制备罐的接触面积，提高热传递效率。

其中，所述制备罐包括罐体和支撑架，所述支撑架与所述液压缸固定连接，且位于所述液压缸一侧，所述罐体与所述支撑架固定连接，且位于所述支撑架一侧，所述罐体存放原料制备清洗液，所述支撑架对所述罐体提供支撑。

其中，所述制备罐还包括第一电机和搅拌杆，所述第一电机与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，所述搅拌杆与所述第一电机固定连接，且位于所述罐体内，所述第一电机通电转动，带动所述搅拌杆转动搅拌所述罐体内的原料，使原料相互混合。

其中，所述冷却组件包括液泵、冷却箱和导管，所述导管与所述中空导热管固定连接，且位于所述中空导热管一侧，所述冷却箱与所述导管固定连接，且位于所述导管远离所述中空导热管一侧，所述液泵与所述冷却箱固定连接，并与所述导管固定连接，且位于所述导管和所述冷却箱之间，所述液泵通电运作将所述冷却箱内的冷却液抽取并导入所述导管内，所述导管将冷却液导入所述中空导热管内，通过冷却液吸收所述制备罐内原料的热量。

其中，所述制备罐还包括进料管和出料管，所述进料管与所述罐体固定连接，且位于所述罐体顶部，所述出料管与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，所述进料管导入原料，所述出料管将制备好的清洗液导出所述罐体保存。

其中，所述冷却组件还包括散热板和散热翅片，所述散热板与所述冷却箱固定连接，且位于所述冷却箱一侧，所述散热翅片与所述散热板固定连接，且位于所述散热板一侧，所述冷却液吸收热量后导回所述冷却箱，所述散热板对导回的冷却液散热冷却，所述散热翅片增加所述散热板与空气的接触面积，加强所述散热板的散热效果。

第三方面，本发明提供一种晶圆片加工清洗液生产方法，包括以下步骤：

按所占配比取用原料，并将原料导入制备罐内；

加热组件通电加热制备罐内的原料，第一电机驱动搅拌杆搅拌原料；

液泵通电抽取冷却液导入中空导热管，冷却液吸收制备罐内清洗液热量，冷却清洗液。

本发明的一种晶圆片加工清洗液生产设备，通过所述制备罐制备清洗液，所述加热组件加热所述制备罐内的原料，所述冷却组件对加热制备后的原料进行冷却，所述第一电热网和所述第二电热网由电阻丝制成，所述中空导热管由铜制成，导热效果良好，所述制备罐生产清洗液时，所述第一电热网通电发热产生热量，所述中空导热管将第一电热网的热量吸收，并传递给所述制备罐的侧壁加热原料，所述第一电热网和所述中空导热管的设置，较传统的加热块而言，增加了与所述制备罐的接触面积，使所述制备罐侧壁受热更加均匀，所述液压缸输出端伸长将所述导风板下移，所述导风板下移带动所述加热管下移，所述加热管下移插入所述制备罐内的原料中，所述风机运作往所述导风板内吹风，所述第二电热网通电将风加热，热风通过所述加热管吹入所述制备罐内，使所述制备罐中部的原料受热均匀，所述加热管上的所述通孔，加强所述加热管的加热效果，提高加热效率，通过侧壁和中部同时加热原料，防止所述制备罐内原料受热不均匀，出现局部过热现象，解决传统清洗液生产设备通过加热块加热，受热不均匀，局部温度过高影响清洗液质量的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产设备的结构示意图；

图2是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产设备的后视图；

图3是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产设备的正视图；

图4是图3沿A-A面的剖视图；

图5是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产方法流程图。

图中：1-制备罐、2-加热组件、3-冷却组件、11-罐体、12-支撑架、13-第一电机、14-搅拌杆、15-进料管、16-出料管、21-第一电热网、22-中空导热管、23-加热管、24-通孔、25-导风板、26-液压缸、27-风机、28-第二电热网、29-导热硅胶片、31-液泵、32-冷却箱、33-导管、34-散热板、35-散热翅片、271-外壳、272-第二电机、273-叶片。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

第一方面，本发明提供一种晶圆片加工清洗液，包括氨基三甲叉膦酸65%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐5%、氢氟酸4%、AEO-9 2%、乙二胺四乙酸钠3%和纯水21%。

在本实施方式中，所述氨基三甲叉膦酸，其磷氧官能团对硅原子有更强的选择性，对于硅片上的固定胶和粉尘具有优异的清洗效果，所述磺化琥珀酸二辛酯钠盐具有优异的渗透性，可加速固定胶和粉尘的清除，所述乙二胺四乙酸钠络合金属离子、所述氢氟酸清除氧化物层和所述AEO-9乳化油污协同作用，可一次性清洗去除硅片表面的固定胶、金属杂质、氧化物和粉尘及油污等各种污染物，大大提高生产效率，降低了生产成本。

请参阅图1至图5，第二方面，本发明提供一种晶圆片加工清洗液生产设备，包括制备罐1、加热组件2和冷却组件3，所述加热组件2包括第一电热网21、中空导热管22、加热管23、导风板25、液压缸26、风机27和第二电热网28，所述第一电热网21与所述制备罐1固定连接，且位于所述制备罐1内，所述中空导热管22与所述第一电热网21固定连接，且位于所述第一电热网21一侧，所述液压缸26与所述制备罐1固定连接，且位于所述制备罐1顶部，所述导风板25与所述液压缸26固定连接，且位于所述液压缸26靠近所述制备罐1一侧，所述加热管23与所述导风板25固定连接，且位于所述导风板25远离所述液压缸26一侧，所述加热管23具有通孔24，所述通孔24位于所述加热管23四周，所述风机27与所述导风板25固定连接，且位于所述导风板25一侧，所述第二电热网28与所述导风板25固定连接，且位于所述导风板25内。

在本实施方式中，通过所述制备罐1制备清洗液，所述加热组件2加热所述制备罐1内的原料，所述冷却组件3对加热制备后的原料进行冷却，所述第一电热网21和所述第二电热网28由电阻丝制成，所述中空导热管22由铜制成，导热效果良好，所述制备罐1生产清洗液时，所述第一电热网21通电发热产生热量，所述中空导热管22将第一电热网21的热量吸收，并传递给所述制备罐1的侧壁加热原料，所述第一电热网21和所述中空导热管22的设置，较传统的加热块而言，增加加热模块与所述制备罐1的接触面积，使所述制备罐1侧壁受热更加均匀，所述液压缸26输出端伸长将所述导风板25下移，所述导风板25下移带动所述加热管23下移，所述加热管23下移插入所述制备罐1内的原料中，所述风机27运作往所述导风板25内吹风，所述第二电热网28通电将风加热，热风通过所述加热管23吹入所述制备罐1内，使所述制备罐1中部的原料受热均匀，所述加热管23上的所述通孔24，加强所述加热管23的加热效果，提高加热效率，通过侧壁和中部同时加热原料，防止所述制备罐1内原料受热不均匀，出现局部过热现象，解决传统清洗液生产设备通过加热块加热，受热不均匀，局部温度过高影响清洗液质量的问题。

进一步的，所述加热组件2还包括导热硅胶片29，所述导热硅胶片29与所述中空导热管22固定连接，且位于所述中空导热管22远离所述第一电热网21一侧，所述风机27包括外壳271、第二电机272和叶片273，所述外壳271与所述导风板25固定连接，且位于所述导风板25一侧，所述第二电机272与所述外壳271固定连接，且位于所述外壳271内，所述叶片273与所述第二电机272固定连接，且位于所述第二电机272一侧。

在本实施方式中，所述导热硅胶片29减少所述中空导热管22和所述制备罐1的接触面积，提高热传递效率，所述外壳271对所述第二电机272和所述叶片273提供安装条件，并保护其不被损坏，所述第二电机272转动使所述叶片273转动往所述导风板25吹风。

进一步的，所述制备罐1包括罐体11、支撑架12、第一电机13、搅拌杆14、进料管15和出料管16，所述支撑架12与所述液压缸26固定连接，且位于所述液压缸26一侧，所述罐体11与所述支撑架12固定连接，且位于所述支撑架12一侧，所述第一电机13与所述罐体11固定连接，且位于所述罐体11底部，所述搅拌杆14与所述第一电机13固定连接，且位于所述罐体11内，所述进料管15与所述罐体11固定连接，且位于所述罐体11顶部，所述出料管16与所述罐体11固定连接，且位于所述罐体11底部。

在本实施方式中，通过所述罐体11存放原料制备清洗液，所述支撑架12对所述罐体11提供支撑，所述第一电机13通电转动，带动所述搅拌杆14转动搅拌所述罐体11内的原料，使原料相互混合，所述进料管15往所述罐体11内导入原料，所述出料管16将制备好的清洗液导出所述罐体11保存。

进一步的，所述冷却组件3包括液泵31、冷却箱32、导管33、散热板34和散热翅片35，所述导管33与所述中空导热管22固定连接，且位于所述中空导热管22一侧，所述冷却箱32与所述导管33固定连接，且位于所述导管33远离所述中空导热管22一侧，所述液泵31与所述冷却箱32固定连接，并与所述导管33固定连接，且位于所述导管33和所述冷却箱32之间，所述散热板34与所述冷却箱32固定连接，且位于所述冷却箱32一侧，所述散热翅片35与所述散热板34固定连接，且位于所述散热板34一侧。

在本实施方式中，所述液泵31通电运作将所述冷却箱32内的冷却液抽取并导入所述导管33内，所述导管33将冷却液导入所述中空导热管22内，通过冷却液吸收所述制备罐1内原料的热量，冷却液吸收热量后通过所述导管33导回所述冷却箱32，所述冷却箱32通过所述散热板34进行散热，对导回的冷却液冷却，所述散热翅片35增加所述散热板34与空气的接触面积，加强了所述散热板34的散热效果，所述冷却组件3通过冷却液循环吸收所述制备罐1内清洗液的热量，使清洗液冷却。

第三方面，一种晶圆片加工清洗液生产方法包括以下步骤，

S101按所占配比取用原料，并将原料导入制备罐1内；

工人按照原料的含量进行配料，配料后将原料导入所述进料管15，通过所述进料管15将原料导入所述柜体内。

S102加热组件2通电加热制备罐1内的原料，第一电机13驱动搅拌杆14搅拌原料；

所述第一电机13通电转动，带动所述搅拌杆14转动搅拌所述罐体11内的原料，使原料相互混合，同时所述第一电热网21通电发热产生热量，所述中空导热管22将第一电热网21的热量吸收，并传递给所述导热硅胶片29，通过所述导热硅胶片29将热量传递给所述制备罐1的侧壁加热原料，所述液压缸26输出端伸长将所述导风板25下移，所述导风板25下移带动所述加热管23下移，所述加热管23下移插入所述制备罐1内的原料中，所述风机27的所述第二电机272运作，使所述叶片273转动往所述导风板25内吹风，所述第二电热网28通电将风加热，热风通过所述加热管23吹入所述制备罐1内，加热所述制备罐1中部的原料所述加热管23上的所述通孔24，加强所述加热管23的加热效果，提高加热效率。

S103液泵31通电抽取冷却液导入中空导热管22，冷却液吸收制备罐1内清洗液热量，冷却清洗液。

搅拌加热制备清洗液后，所述液泵31通电运作将所述冷却箱32内的冷却液抽取并导入所述导管33内，所述导管33将冷却液导入所述中空导热管22内，通过冷却液吸收所述制备罐1内原料的热量，冷却液吸收热量后通过所述导管33导回所述冷却箱32，所述冷却箱32通过所述散热板34进行散热，对导回的冷却液冷却，所述散热翅片35增加所述散热板34与空气的接触面积，加强了所述散热板34的散热效果，待清洗液冷却后通过所述出料管16导出所述罐体11保存，制得清洗液。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种晶圆片加工清洗液，其特征在于，

所述清洗液的组分按重量计包括氨基三甲叉膦酸65%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐5%、氢氟酸4%、AEO-9 2%、乙二胺四乙酸钠3%和纯水21%。

2.一种晶圆片加工清洗液生产设备，用于制造如权利要求 1所述的一种晶圆片加工清洗液，其特征在于，

包括制备罐、加热组件和冷却组件，所述加热组件包括第一电热网、中空导热管、加热管、导风板、液压缸、风机和第二电热网，所述第一电热网与所述制备罐固定连接，且位于所述制备罐内，所述中空导热管与所述第一电热网固定连接，且位于所述第一电热网一侧，所述液压缸与所述制备罐固定连接，且位于所述制备罐顶部，所述导风板与所述液压缸固定连接，且位于所述液压缸靠近所述制备罐一侧，所述加热管与所述导风板固定连接，且位于所述导风板远离所述液压缸一侧，所述加热管具有通孔，所述通孔位于所述加热管四周，所述风机与所述导风板固定连接，且位于所述导风板一侧，所述第二电热网与所述导风板固定连接，且位于所述导风板内。

3.如权利要求 2所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述风机包括外壳、第二电机和叶片，所述外壳与所述导风板固定连接，且位于所述导风板一侧，所述第二电机与所述外壳固定连接，且位于所述外壳内，所述叶片与所述第二电机固定连接，且位于所述第二电机一侧。

4.如权利要求2 所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述加热组件还包括导热硅胶片，所述导热硅胶片与所述中空导热管固定连接，且位于所述中空导热管远离所述第一电热网一侧。

5.如权利要求 2所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述制备罐包括罐体和支撑架，所述支撑架与所述液压缸固定连接，且位于所述液压缸一侧，所述罐体与所述支撑架固定连接，且位于所述支撑架一侧。

6.如权利要求 5所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述制备罐还包括第一电机和搅拌杆，所述第一电机与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，所述搅拌杆与所述第一电机固定连接，且位于所述罐体内。

7.如权利要求2 所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，其特征在于，

所述冷却组件包括液泵、冷却箱和导管，所述导管与所述中空导热管固定连接，且位于所述中空导热管一侧，所述冷却箱与所述导管固定连接，且位于所述导管远离所述中空导热管一侧，所述液泵与所述冷却箱固定连接，并与所述导管固定连接，且位于所述导管和所述冷却箱之间。

8.一种晶圆片加工清洗液生产方法，应用于如权利要求2-7所述的一种晶圆片加工清洗液生产设备，包括以下步骤，

按所占配比取用原料，并将原料导入制备罐内；

加热组件通电加热制备罐内的原料，第一电机驱动搅拌杆搅拌原料；

液泵通电抽取冷却液导入中空导热管，冷却液吸收制备罐内清洗液热量，冷却清洗液。

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