CN113594012A - 一种等离子蚀刻阳极板 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种等离子蚀刻阳极板，其中，所述等离子蚀刻阳极板包括设置有若干安装位的阳极板本体，以及可拆卸安装在所述安装位上的通孔个体。本发明将通孔个体制备成可拆卸的单独产品，而在所述阳极板本体上预留安装这些通孔个体的安装位，这样可实现通孔个体在阳极板本体上的可拆卸安装。采用本发明提供的等离子蚀刻阳极板，每次蚀刻生产结束后可直接检查通孔个体磨损情况，对有磨损的通孔个体进行更换即可，不必更换整块阳极板，从而可避免浪费、节约成本，又可以节约拆卸阳极板的时间，进而提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉石等离子蚀刻技术领域，尤其涉及一种等离子蚀刻阳极板。
背景技术
等离子蚀刻是半导体加工制造过程中非常重要的一道工序，包括蚀刻电路，表面杂质清洗，切割等等都需要使用这种工序。
等离子蚀刻的一个大概流程是：将等离子体至于强电场中加速，对被蚀刻表面进行轰击，从而达到蚀刻的目的。如图1所示，在刻蚀过程中，阳极板为一块蓝宝石结构的氧化铝板，在氧化铝板子根据蚀刻的需要，打出孔径大小不等的通孔。让一部分等离子体穿过孔去蚀刻被蚀刻物体。而其余大部分等离子体则直接轰击在阳极板上。通过被蚀刻物体的平面运动，从而蚀刻出想要的图形或者线路。一般根据蚀刻的线体的粗细决定阳极板上通孔的大小。
但是由于有大量的等离子体穿过阳极板的通孔，因此通孔边缘也会被撞击在通孔上的等离子体蚀刻，久而久之会使通孔变形，进而影响蚀刻精度。一般在生产过程中，为保证产品的精度和产品性能的稳定，每蚀刻一片产品，就需要更换一块阳极板，这导致阳极板浪费较大，蚀刻成本较高。
因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种等离子蚀刻阳极板，旨在解决现有等离子蚀刻阳极板通孔边缘易被蚀刻，导致阳极板浪费较大、蚀刻成本较高的问题。
本发明的技术方案如下：
一种等离子蚀刻阳极板，其中，包括设置有若干安装位的阳极板本体，以及可拆卸安装在所述安装位上的通孔个体。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述安装位包括第一通孔以及位于所述第一通孔周边的凸槽。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述通孔个体包括与所述第一通孔尺寸适配的板体，以及设置在所述板体中间的第二通孔。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述板体的四周设置有与所述凸槽适配的凹槽。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述阳极板本体上设置有至少两个安装位，且不同安装位中的方形通孔尺寸相同或不同。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述阳极板本体为氧化铝板。
所述的等离子蚀刻阳极板，其中，所述通孔个体由金属材料制成，且所述通孔个体的表面形成有石墨烯膜。
有益效果：相比现有技术，本发明提供了一种可拆卸分离的等离子蚀刻阳极板，通过将通孔个体和阳极板本体分离，即将通孔个体制备成可拆卸的单独产品，而在所述阳极板本体上预留安装这些通孔个体的安装位。这样，每次生产结束后直接检查通孔个体磨损情况，对有磨损的通孔个体进行更换即可，不必更换整块阳极板，从而可避免浪费、节约成本，又可以节约拆卸阳极板的时间，进而提高生产效率。
附图说明
图1为现有技术中等离子蚀刻过程的示意图。
图2为等离子蚀刻阳极板在蚀刻前后的对比图。
图3为本发明一种阳极板本体的结构示意图。
图4为本发明通孔个体的结构示意图。
图5为本发明一种等离子蚀刻阳极板的结构示意图。
具体实施方式
本发明提供一种等离子蚀刻阳极板，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1所示，在刻蚀过程中，阳极板为一块蓝宝石结构的氧化铝板，在氧化铝板子根据蚀刻的需要，打出孔径大小不等的通孔。让一部分等离子体穿过孔去蚀刻被蚀刻物体。而其余大部分等离子体则直接轰击在阳极板上。通过被蚀刻物体的平面运动，从而蚀刻出想要的图形或者线路。一般根据蚀刻的线体的粗细决定阳极板上通孔的大小。
然而，由于有大量的等离子体穿过阳极板的通孔，因此通孔也会被撞击在通孔上的等离子体蚀刻，久而久之会使通孔变形，如图2所示，进而影响蚀刻精度。一般在生产过程中，为保证产品的精度和产品性能的稳定，每蚀刻一片产品，就需要更换一块阳极板。
基于此，本发明提供了一种等离子蚀刻阳极板，如图3-图4所示，其包括设置有若干安装位11的阳极板本体10，以及可拆卸安装在所述安装位11上的通孔个体20。
本实施例将通孔个体制备成可拆卸的单独产品，而在所述阳极板本体上预留安装这些通孔个体的安装位，这样可实现通孔个体在阳极板本体上的可拆卸安装。采用本实施例提供的等离子蚀刻阳极板，每次蚀刻生产结束后可直接检查通孔个体磨损情况，对有磨损的通孔个体进行更换即可，不必更换整块阳极板，从而节约成本，又可以节约拆卸阳极板的时间，进而提高生产速度。
由于半导体生产要求极高，考虑到有些产品蚀刻的时间很长，因此在蚀刻机器中的阳极板一般都用高纯度氧化铝(蓝宝石结构)制成，因此成本很高。通过本实施例方案可把每次更换一整块高纯度氧化铝(蓝宝石结构)变成只更换其中的一小部分，则可以节约大量的资金成本。
在一些实施方式中，所述安装位包括第一通孔以及位于所述第一通孔周边的凸槽；所述通孔个体包括与所述第一通孔尺寸适配的板体，以及设置在所述板体中间的第二通孔。在本实施例中，所述第一通孔可以为方形、三角形、圆形或任意多边形中的一种，但不限于此。所述板体与所述第一通孔的形状和尺寸相适配，便于通孔个体与所述安装位的无缝连接。
在一些实施方式中，如图3所示，以所述第一通孔为方形通孔为例，则所述安装位11包括方形通孔12以及位于所述方形通孔12周边的凸槽13。对应地，如图4所示，所述通孔个体20包括与所述方形通孔12尺寸适配的方形板体21，以及设置在所述方形板体21中间的第二通孔22，所述方形板体的四周设置有与所述凸槽13适配的凹槽，所述第二通孔22为圆形。
在本实施例中，所述通孔个体20的方形板体21与所述安装位的方形通孔在形状和尺寸上适配，所述通孔个体20与所述安装位11可通过所述凹槽与凸槽的配合实现安装。
在一些实施方式中，如图5所示，所述第一通孔的形状为圆形通孔，则所述通孔个体的板体形状也为圆形，且所述圆形板体的尺寸与所述圆形通孔的尺寸相适配。
在一些实施方式中，所述阳极板本体上设置有至少两个安装位，且不同安装位中的方形通孔尺寸相同或不同。具体来讲，所述阳极板本体上设置的安装位数量可根据实际需要来设定，且所述不同安装位中的方形通孔尺寸也可根据需要来设定。
在一些实施方式中，不同安装位中的方形通孔尺寸可相同或不同，如图3所示，所述阳极板本体上设置有两个安装位，且所述两个安装位中的方形通孔尺寸不同。
在一些实施方式中，所述阳极板本体为氧化铝板，但不限于此。
在一些实施方式中，所述通孔个体由金属材料制成，且所述通孔个体的表面形成有石墨烯膜。具体来讲，由于所述通孔个体需要具有耐磨性和坚固性，本实施例考虑在金属材料制成的通孔个体表面生成石墨烯膜，以增强其耐磨性和坚固性，提升其使用寿命。本实施例可采用气相沉积法在通孔个体上生成石墨烯膜，具体地，以铜板作为通孔个体为例，在1200度高温真空腔体内放入甲烷和铜板，甲烷会分裂成碳原子和氢原子，再逐渐降温的时候氢原子会组合成氢分子，而碳原子则会在高温时钻入铜板内部，温度降低的时候再从铜内部析出进而在铜表面形成石墨烯膜。由于石墨烯的机械强度非常高，可以对抗等离子的摩擦，减小通孔变形。
综上所述，本发明提供了一种可拆卸分离的等离子蚀刻阳极板，通过将通孔个体和阳极板本体分离，即将通孔个体制备成可拆卸的单独产品，而在所述阳极板本体上预留安装这些通孔个体的安装位。这样，每次生产结束后直接检查通孔个体磨损情况，对有磨损的通孔个体进行更换即可，不必更换整块阳极板，从而可避免浪费、节约成本，又可以节约拆卸阳极板的时间，进而提高生产效率。
应当理解的是，本发明的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种等离子蚀刻阳极板，其特征在于，包括设置有若干安装位的阳极板本体，以及可拆卸安装在所述安装位上的通孔个体。
2.根据权利要求1所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述安装位包括第一通孔以及位于所述第一通孔周边的凸槽。
3.根据权利要求2所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述通孔个体包括与所述第一通孔尺寸适配的板体，以及设置在所述板体中间的第二通孔。
4.根据权利要求3所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述板体的四周设置有与所述凸槽适配的凹槽。
5.根据权利要求2所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述阳极板本体上设置有至少两个安装位，且不同安装位中的方形通孔尺寸相同或不同。
6.根据权利要求1所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述阳极板本体为氧化铝板。
7.根据权利要求1所述的等离子蚀刻阳极板，其特征在于，所述通孔个体由金属材料制成，且所述通孔个体的表面形成有石墨烯膜。
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