CN113574345A - 用于光学测量的测量系统 - Google Patents
用于光学测量的测量系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113574345A CN113574345A CN202080018998.1A CN202080018998A CN113574345A CN 113574345 A CN113574345 A CN 113574345A CN 202080018998 A CN202080018998 A CN 202080018998A CN 113574345 A CN113574345 A CN 113574345A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- coordinate system
- measuring
- measuring system
- mechanical
- assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 11
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 2
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 claims description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/46—Indirect determination of position data
- G01S17/48—Active triangulation systems, i.e. using the transmission and reflection of electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/06—Systems determining position data of a target
- G01S17/42—Simultaneous measurement of distance and other co-ordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
- G01S7/4813—Housing arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
一种用于光学测量，特别是用于测量距离和/或位置和/或速度和/或颜色的测量系统，定义了至少一个外部固定点以及至少一个内部固定点，该外部固定点定义了外部坐标系或位于其中，该内部固定点定义了内部坐标系或位于其中。这两个坐标系相对彼此具有明确的位置，这意味着系统的调整或校准。
Description
本发明涉及一种用于光学测量，尤其涉及用于测量距离和/或位置和/或速度和/或颜色的测量系统。
这里讨论的该类型的测量系统从实践中是充分已知的。一般来说，这里讨论的是光学计量学，它具有几乎无限的应用可能性。合适的测量系统从参考面无接触地确定测量对象的相应测得参数。用于确定测得参数的光传输轴的必要照明斑点(点、线、任何图案，诸如条纹光等)始终位于受公差影响的截锥(位置(x/y/z)和角度(α))中，该截锥明确分配给参考面。
关于根据本发明的教导的现有技术和优选设计示例，参考以下附图。结合基于附图对本发明优选设计示例的讨论，同样讨论了所要求保护的教导的一般优选配置和进一步发展。在图中，附图示出了：
图1以示意图示出了根据现有技术，使用点三角测量的示例，测量系统的实际传输轴与理想传输轴的偏差，
图2以示意图示出了也使用了点三角测量的示例，测量应用的目标区域连同照明斑点的位置偏差，
图3以示意图示出了根据本发明的外部机械参考坐标系与测量应用的坐标系的对准，
图4以示意图示出了外部和内部坐标系之间的关系连同传送光学器件，以及
图5以示意图示出了内部和外部坐标系的融合，特别是外壳部分和外壳的内部中的光机载体的融合。
关于现有技术，参考图1，其使用点三角测量的示例示出了真实传输轴与理想传输轴之间的偏差。图1具体示出了测量系统1和2以及测量面通过MBA(测量范围的开始)、MBM(测量范围的中间)和MBE(测量范围的结束)的真实传输轴的偏差。该图示出了受公差影响的截锥，其显示在相应测量面中测量时的困难。测量对象上的测量所需的照明斑点位置随距离和/或用相同类型的传感器替代传感器时而变化，并且如图2中所示，使用点三角测量的示例，通常导致在测量期间离开测量应用所需的目标区域。图2示出了测量应用的目标区域和照明斑点的位置偏差。
到目前为止，现有技术中出现的问题只能针对每个测量系统个体地解决，即如下：
原则上，进入到目标区域内的光学对准是可能的，即借助于测量系统的机械和/或机电调整。测量系统始终移动、倾斜或旋转。这可能导致系统距离误差，即如果测量系统在与原始校准期间不同的设置下运行。
测量系统也可以在已知的坐标系中被校准，例如在坐标测量机中，根据该坐标系，通过校正相应测量系统的位置来命中或到达目标区域。例如，可以使用标准(例如使用球体)或借助于光学测量进行此类校准。
实践中已知的测量系统相对于上述问题是不利的，因为为了避免测量误差，始终需要执行耗时的校准/调整，特别是在原始装配期间的调整之外的校准/调整。特别是，如果存在即使非常轻微的错位，相应的传输光束会导致测量中出现问题，因为无法明确定义该光束的出口点。
因此，本发明的基本目的是以如下方式优化用于光学测量的测量系统：使得用户无需进行额外的对准和/或调整和/或校准。
根据本发明的测量系统旨在仅在其外部机械参考坐标系上与测量应用的坐标系对准。其目的是以使得光轴和/或光学坐标系与外部机械参考坐标系具有明确关系的方式来构建测量系统。由于两个坐标系之间的这种明确关系，在大多数测量应用中，根据关于图1和图2的说明，受公差影响的截锥可被相当大地减小，至少至不需要额外对准和/或调整和/或校准的程度。图3示出了外部机械参考坐标系与测量应用的坐标系的对准。
本发明的基本目标通过权利要求1的特征实现。以下术语的定义对于更好地理解本发明是有利的：
1.外部机械参考坐标系是测量系统的坐标系。以下也被称为外部坐标系。
它是从外部定义传感器的坐标系，并且其(诸)参考点位于传感器的外壳上。它表示客户用于精确定位和对准传感器的坐标系。在简单配置的框架内，传感器上的螺钉点、紧固孔或紧固孔眼、参考边缘或参考表面被用于此目的。
2.传送光学器件坐标系为光学坐标系。这是最初定义光束的位置的虚拟坐标系。它主要取决于光机组件(与光源相关，例如激光器，与成像光学器件相关，例如透镜、镜子、晶格等，以及与机械相关，例如孔径、支架、连接元件等)。
3.接收光学器件坐标系最初同样是定义检测器的位置的虚拟坐标系。它主要取决于光机组件(与接收器相关，例如CCD线、CCD矩阵，与成像光学器件相关，例如透镜、镜子、晶格等，以及与机械相关，例如孔径、支架、连接元件等)。
4.内部坐标系是测量系统内部的用作光轴的参考的机械坐标系。
5.测量应用坐标系是客户的坐标系，测量应用的目标区域位于其中。
根据本发明的教导，用于光学测量，特别是用于测量距离和/或位置和/或速度和/或颜色的测量系统设置有至少一个外部固定点，该外部固定点定义外部坐标系或至少位于其中。还提供了至少一个内部固定点，其定义内部坐标系或至少位于其中。这两个坐标系相对彼此具有明确的位置，这意味着系统的调整或校准。因此，根据本发明的教导的关键要素是两个坐标系之间的明确分配。两个坐标系之间的这种明确关系使得前面讨论的受公差影响的截锥大大地被减小，至少以系统的额外对准和/或调整和/或校准是不必要的方式。在这方面，再次参考图3。
这两个坐标系尤其有利地相同或一致。
还可以设想，两个坐标系可以借助于平移和/或旋转和/或镜像相互转换。
内部坐标系定义光学组件和/或成像组件和/或图像记录组件的位置。
外部坐标系应被理解为机械参考坐标系，其必须与相应测量应用的坐标系对准。这两个坐标系相对彼此具有明确的位置。
图4示出了外部坐标系、内部坐标系和传送光学器件之间的关系。两个坐标系相对于彼此的明确位置是根据本发明的系统的基石。
成像组件包括作为传送光学器件的至少一个光机光源。图像记录组件包括至少一个作为接收光学器件的至少一个光机传感器元件。光机组件或传送光学器件相对于内部坐标系的位置可被设置为预定值。
所述外部和内部固定点被分配给优选的单片结构元件，单块。
如果测量系统是用于激光三角测量的系统，如果传送光学器件和接收光学器件被布置在根据固定点调整的单片结构元件上，则是有利的。因此，单片结构元件承载传送光学器件和接收光学器件，传送光学器件和接收光学器件以预定关系彼此对准或调整。
此外，还提供了将光机组件布置在外壳中，即测量系统的基本组件位于外壳中。在这种情况下，单片结构元件具有双重功能。一方面，单片结构元件作为光机组件的载体。另一方面，单片结构元件可以是外壳的一部分。这有利于坐标系彼此之间的明确位置，并简化测量系统的结构。
单片结构元件可以用金属精确铣削或铸造，如有必要，还可以返工。还可以构想，单片结构元件使用注射成型工艺由塑料制成，例如纤维增强塑料。单片结构元件也可以使用附加工艺生产，例如借助于3D打印。
外部坐标系以及因此传感器定位或设置可以使用机械手段对准。定位套筒、定心销、桥台边缘等适用于此目的。这些是用于定位的简单手段。
调整设备可被提供或用于将传送光学器件的坐标系参照到外部坐标系。这种调整设备为外部坐标系的设置提供照明斑点(x、y、z)的位置的绝对参考。
替换地，在测量照明斑点(x、y、z)在不同且绝对可定义的距离上的位置后，可以机械精确地再现传感器或外部坐标系的设置。
图5示意性地示出了两个坐标系，即内部和外部坐标系的融合。这实际上是外壳部分和外壳的内部的光机载体的融合。在这种情况下，关键因素是传感器设置或外部坐标系可以以绝对精度再现。这是例如使用定位套筒、定心销、桥台边缘等实现的。
根据本发明的先前讨论的测量系统具有巨大的优势，即在大多数应用中，它不需要任何安装位置调整。这减少了所需的维护量并使系统用户友好。
关于根据本发明的教导的进一步有利配置，参考说明书的一般部分和所附权利要求，以便避免重复。
最后，必须明确地注意，根据本发明的上述教导的设计示例仅用于解释所要求的教导，而不将所述教导限制于这些设计示例。
Claims (16)
1.一种用于光学测量，特别是用于测量距离和/或位置和/或速度和/或颜色的测量系统，其具有至少一个外部固定点以及至少一个内部固定点，所述至少一个外部固定点定义外部坐标系或位于其中，所述至少一个内部固定点定义内部坐标系或位于其中，其中所述两个坐标系相对彼此具有明确可再现的位置，这意味着所述系统的调整或校准。
2.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述两个坐标系是相同的。
3.如权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述两个坐标系借助于平移和/或旋转和/或镜像相互转换。
4.如权利要求1-3中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述内部坐标系定义光学组件和/或成像组件和/或图像记录组件的位置，尤其是相对于位置和方向的光轴。
5.如权利要求1-4中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述外部坐标系是机械参考坐标系，其必须与相应的测量应用的坐标系对准。
6.如权利要求1-5中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述成像组件包括作为传送光学器件的至少一个光机光源。
7.如权利要求1-6中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述光学记录组件包括作为接收光学器件的至少一个光机传感器元件。
8.如权利要求1-7中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述光机组件或所述传送光学器件相对于所述内部坐标系的位置能被设为预定值。
9.如权利要求1-8中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述外部和所述内部固定点被分配给优选的单片结构元件。
10.一种包括根据权利要求1-9中任一项所述的传送光学器件和接收光学器件、优选地用于激光三角测量的测量系统，其特征在于，所述传送光学器件和所述接收光学器件被设置在根据所述固定点调整的所述单片结构元件上。
11.如权利要求10所述的测量系统，其特征在于，所述光机组件被设置在外壳中，其特征在于，所述单片结构组件具有用于所述光机组件的载体的功能和外壳部分的功能。
12.如权利要求9-11中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述单片结构元件用金属精确铣削或铸造，如有必要，能返工。
13.如权利要求9-11中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述单片结构元件使用注射成型工艺由塑料制成，如有必要，由纤维增强塑料制成。
14.如权利要求1-13中任一项所述的测量系统，其特征在于，所述外部坐标系，并且因此传感器定位或设置使用机械手段，例如使用定位套筒、定心销、桥台边缘等，以高精度对准。
15.如权利要求1-14中任一项所述的测量系统，其特征在于，提供了为所述外部坐标系的设置提供照明斑点(x、y、z)的位置的绝对参考的调整设备，用于将所述传送光学器件的坐标系参照到所述外部坐标系。
16.如权利要求1-14中任一项所述的测量系统，其特征在于，在测量照明斑点(x、y、z)在不同且绝对可定义的距离上的位置后，机械精确地再现传感器或外部坐标系的设置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102019204613.4 | 2019-04-01 | ||
| DE102019204613.4A DE102019204613A1 (de) | 2019-04-01 | 2019-04-01 | Messsystem zur optischen Messung |
| PCT/DE2020/200011 WO2020200372A1 (de) | 2019-04-01 | 2020-01-31 | Messsystem zur optischen messung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113574345A true CN113574345A (zh) | 2021-10-29 |
| CN113574345B CN113574345B (zh) | 2024-07-05 |
Family
ID=69740081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202080018998.1A Active CN113574345B (zh) | 2019-04-01 | 2020-01-31 | 用于光学测量的测量系统 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220155445A1 (zh) |
| EP (1) | EP3775768A1 (zh) |
| JP (1) | JP7391986B2 (zh) |
| CN (1) | CN113574345B (zh) |
| DE (1) | DE102019204613A1 (zh) |
| WO (1) | WO2020200372A1 (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102353359A (zh) * | 2003-12-16 | 2012-02-15 | 特里伯耶拿有限公司 | 探测仪器的校准 |
| CN103477185A (zh) * | 2011-04-14 | 2013-12-25 | 赫克斯冈技术中心 | 用于确定对象表面的3d坐标的测量系统 |
| CN103697824A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-02 | 北京信息科技大学 | 用于坐标测量机的测头的系统标定方法 |
| CN104101334A (zh) * | 2013-04-05 | 2014-10-15 | 莱卡地球系统公开股份有限公司 | 点云的大地测量参照 |
| US20150015700A1 (en) * | 2013-07-03 | 2015-01-15 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that cooperates with a remote camera bar and coordinate measurement device |
| CN104567812A (zh) * | 2013-10-12 | 2015-04-29 | 北京航天计量测试技术研究所 | 空间位置测量方法及装置 |
| US20150317780A1 (en) * | 2012-12-14 | 2015-11-05 | Bp Corporation North America, Inc. | Apparatus and method for three dimensional surface measurement |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4214283A1 (de) * | 1992-04-30 | 1993-11-04 | Schneider Co Optische Werke | Messkamera |
| US5561526A (en) * | 1994-05-26 | 1996-10-01 | Lockheed Missiles & Space Company, Inc. | Three-dimensional measurement device and system |
| GB0008303D0 (en) * | 2000-04-06 | 2000-05-24 | British Aerospace | Measurement system and method |
| JP2004045039A (ja) | 2002-05-24 | 2004-02-12 | Sony Precision Technology Inc | 検査装置 |
| EP1524494A1 (en) * | 2003-10-17 | 2005-04-20 | inos Automationssoftware GmbH | Method for calibrating a camera-laser-unit in respect to a calibration-object |
| DE102004021892B4 (de) * | 2004-05-04 | 2010-02-04 | Amatec Robotics Gmbh | Robotergeführte optische Messanordnung sowie Verfahren und Hilfsvorrichtung zum Einmessen dieser Messanordnung |
| DE102006016913B4 (de) | 2006-04-11 | 2008-10-09 | Leuze Electronic Gmbh & Co Kg | Optischer Sensor |
| JP2010204482A (ja) | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Fujifilm Corp | 光学ユニット及び光学ユニットの光軸調整検査方法 |
| US9671221B2 (en) * | 2014-09-10 | 2017-06-06 | Faro Technologies, Inc. | Portable device for optically measuring three-dimensional coordinates |
| DE102015122843B3 (de) * | 2015-12-27 | 2017-01-19 | Faro Technologies, Inc. | 3D-Messvorrichtung mit Zubehörschnittstelle |
-
2019
- 2019-04-01 DE DE102019204613.4A patent/DE102019204613A1/de active Pending
-
2020
- 2020-01-31 CN CN202080018998.1A patent/CN113574345B/zh active Active
- 2020-01-31 JP JP2021556978A patent/JP7391986B2/ja active Active
- 2020-01-31 WO PCT/DE2020/200011 patent/WO2020200372A1/de unknown
- 2020-01-31 EP EP20708425.2A patent/EP3775768A1/de active Pending
- 2020-01-31 US US17/435,598 patent/US20220155445A1/en active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102353359A (zh) * | 2003-12-16 | 2012-02-15 | 特里伯耶拿有限公司 | 探测仪器的校准 |
| CN103477185A (zh) * | 2011-04-14 | 2013-12-25 | 赫克斯冈技术中心 | 用于确定对象表面的3d坐标的测量系统 |
| US20150317780A1 (en) * | 2012-12-14 | 2015-11-05 | Bp Corporation North America, Inc. | Apparatus and method for three dimensional surface measurement |
| CN104101334A (zh) * | 2013-04-05 | 2014-10-15 | 莱卡地球系统公开股份有限公司 | 点云的大地测量参照 |
| US20150015700A1 (en) * | 2013-07-03 | 2015-01-15 | Faro Technologies, Inc. | Laser tracker that cooperates with a remote camera bar and coordinate measurement device |
| CN104567812A (zh) * | 2013-10-12 | 2015-04-29 | 北京航天计量测试技术研究所 | 空间位置测量方法及装置 |
| CN103697824A (zh) * | 2013-12-26 | 2014-04-02 | 北京信息科技大学 | 用于坐标测量机的测头的系统标定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2022526320A (ja) | 2022-05-24 |
| DE102019204613A1 (de) | 2020-10-01 |
| CN113574345B (zh) | 2024-07-05 |
| WO2020200372A1 (de) | 2020-10-08 |
| JP7391986B2 (ja) | 2023-12-05 |
| EP3775768A1 (de) | 2021-02-17 |
| US20220155445A1 (en) | 2022-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2831539B1 (en) | Improved optical scanning probe | |
| JP5554459B2 (ja) | 予配置型且つ可換型の光学ベンチを有するジンバル式装置 | |
| US8520219B2 (en) | Non-contact sensor having improved laser spot | |
| US7430070B2 (en) | Method and system for correcting angular drift of laser radar systems | |
| CN105474037A (zh) | 用于校准测量设备的方法 | |
| US10821911B2 (en) | Method and system of camera focus for advanced driver assistance system (ADAS) | |
| US20130308139A1 (en) | Method and device for measuring surfaces in a highly precise manner | |
| US11490068B2 (en) | Adaptive 3D-scanner with variable measuring range | |
| JP2013050352A (ja) | ステレオカメラの取り付け調整方法及びステレオカメラ | |
| TW202128001A (zh) | 感應器裝置 | |
| US11754934B2 (en) | Projection exposure apparatus for semiconductor lithography having an optical element with sensor reference and method for aligning the sensor reference | |
| US20210285766A1 (en) | Optical surveying instrument with movable mirror | |
| CN113574345A (zh) | 用于光学测量的测量系统 | |
| US9804250B2 (en) | Systems, methods, and apparatus for optical bore sight error measurement and correction | |
| US20060275017A1 (en) | Apparatus and method for optically detecting an object | |
| CN102449502A (zh) | 光学瞄准具 | |
| US7826070B2 (en) | Scanning optical system adjusting device and scanning optical system adjusting method | |
| JP2018072375A (ja) | 光学部品保持枠の偏心量測定方法 | |
| Zhao et al. | Study of the measurement method of zero position variation in a high-precision optical sight | |
| JP2004053426A (ja) | 被測定対象物の角度測定方法及びその装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant |