CN113549885A - 一种溅镀镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及镀膜技术领域,具体的说是一种溅镀镀膜装置,包括壳体和伺服电机,该镀膜装置还包括靶材放置机构、转动机构、从动机构、真空泵和氮气输送口,所述伺服电机固定连接在壳体腔内底部,靶材放置机构、转动机构和从动机构均置于壳体腔内,真空泵固定设于壳体顶部一侧,氮气输送口固定设于壳体远离真空泵一侧,壳体腔内下部固定连接有内齿环,壳体腔内顶部固定连接有外齿环,壳体侧壁设有壳体门,壳体门通过铰链与壳体侧壁铰接,行星齿轮固定连接在空心转动柱的下端,行星齿轮与内齿环啮合设置,空心转动柱的另一端贯穿阳极支撑板,该镀膜装置可以同时对多个基材进行溅镀作业,且通过旋转使镀膜均匀,大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域,具体的说是一种溅镀镀膜装置。
背景技术
溅镀,通常指的是磁控溅镀,属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10- 3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气,并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电,由于辉光放电产生的电子激发惰性气体,产生等离子体,等离子体将金属靶材的原子轰出,沉积在塑胶基材上。
随着溅镀技术的成熟,溅镀应用越来也广泛,多数笔记本电脑和手机的外壳都会溅镀一层金属,可以加强外壳的强度,防止从高处摔落时损伤,同时起到防划痕的作用,现在记本电脑和手机需求量增大,然而溅镀过程由于采用单一挂式镀膜,且被吊挂的基材无法发生相对运动,导致出现镀膜不均匀的现象,影响产品质量,同时镀膜装置镀膜速度慢,镀膜效率低,严重影响生产效率。
发明内容
针对现有技术中的问题,本发明提供了一种溅镀镀膜装置,该镀膜装置可以同时对多个基材进行溅镀作业,且使镀膜均匀,生产效率得到有效提高。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种溅镀镀膜装置,包括壳体和伺服电机,该镀膜装置还包括靶材放置机构、转动机构、从动机构、真空泵和氮气输送口,所述伺服电机固定连接在壳体腔内底部,靶材放置机构、转动机构和从动机构均置于壳体腔内,真空泵固定设于壳体顶部一侧,氮气输送口固定设于壳体远离真空泵一侧,壳体腔内下部固定连接有内齿环,壳体腔内顶部固定连接有外齿环,壳体侧壁设有壳体门,壳体门通过铰链与壳体侧壁铰接;
所述转动机构包括行星齿轮、阳极支撑板、空心转动柱、放置架,行星齿轮固定连接在空心转动柱的下端,行星齿轮与内齿环啮合设置,空心转动柱的另一端贯穿阳极支撑板,且空心转动柱与贯穿阳极支撑板转动连接,三个空心转动柱沿阳极支撑板圆周方向均匀分布,多个放置架均匀分布安装在空心转动柱的外壁。
具体的,所述放置架包括支撑块、滑动板、支撑板、固定柱、第一锥齿轮和弹簧,所述支撑块一侧中部设有滑槽,滑动板底部置于滑槽内,且滑动板与支撑块滑动连接,两个滑动板之间通过弹簧连接,弹簧两端分别与两个滑动板固定连接,两个滑动板向背侧均固定连接有支撑板,支撑块远离滑槽一侧与固定柱的一端固定连接,固定柱的另一端贯穿空心转动柱的侧壁,且固定柱与空心转动柱转动连接,第一锥齿轮置于空心转动柱腔体内,固定柱远离支撑块的一端与第一锥齿轮固定连接。
具体的,所述从动机构包括第一转动柱、直齿轮、第二锥齿轮和转轴,第一转动柱置于空心转动柱腔体内部,第一转动柱底部固定连接有转轴,空心转动柱腔内底部设有与转轴相适配的转动槽,转轴置于转动槽内,且转轴通过转动槽与空心转动柱转动连接,多个第二锥齿轮沿第一转动柱轴向均匀套设在第一转动柱的外壁,第二锥齿轮与第一转动柱固定连接,第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合设置,第一转动柱顶部与直齿轮固定连接,直齿轮与外齿环啮合设置。
具体的,所述靶材放置机构包括阴极放置板、支撑柱、连接柱、固定板和外齿轮,外齿轮与伺服电机输出端固定连接,外齿轮与内齿环同心设置,行星齿轮同时与外齿轮和内齿环啮合,外齿轮上表面固定连接阴极放置板,阴极放置板上表面与支撑柱下端固定连接,支撑柱上端贯穿壳体的顶部,且支撑柱与壳体转动连接,支撑柱为空心设置,支撑柱内设有磁铁,磁铁与支撑柱转动连接。
具体的,所述壳体的顶部中心位置固定设有水槽,支撑柱的空腔与水槽贯通设置,支撑柱顶部与壳体顶部接触位置设有密封环,磁铁顶部与连接柱底端固定连接,连接柱顶部固定连接在固定板中部,固定板固定连接在水槽顶部。
本发明的有益效果:
(1)本发明所述的一种溅镀镀膜装置,通过壳体为溅镀提供密封真空环境,伺服电机在溅镀过程中为靶材放置机构、转动机构和从动机构提供动力,通过真空泵将壳体内的空气抽空,通过氮气输送口向壳体内充入氮气,由于行星齿轮与内齿环啮合设置,行星齿轮沿内齿环内圆方向做圆周运动,同时进行自转,由于行星齿轮与空心转动柱固定连接,空心转动柱转动方向与行星齿轮转动方向一致,空心转动柱在沿内齿环内圆方向做圆周运动,同时带动阳极支撑板做圆周运动,通过设置放置架可以对基材进行固定,在溅镀过程中避免基材出现晃动脱落等现象,使溅镀镀膜均匀,每个空心转动柱上安装有多个放置架,使在一次溅镀过程中可以同时溅镀多个基材,大大提高视力生产效率。
(2)本发明所述的一种溅镀镀膜装置,通过设置支撑块对滑动板和支撑板起到支撑作用,滑动板可在支撑块一侧中部设有的滑槽内滑动,带动支撑板运动,弹簧置于两块滑动板互相远离,滑动板带动两个支撑板互相远离,手机后壳和电脑外壳呈凹状结构,将支撑板放入凹状结构内,通过两支撑板进行支撑固定,进一步的在溅镀过程中避免基材出现晃动脱落等现象,使溅镀镀膜均匀。
(3)本发明所述的一种溅镀镀膜装置,空心转动柱在沿内齿环内圆方向做圆周运动做圆周运动过程中带动其内部的第一转动柱转动,第一转动柱顶部固定连接直齿轮,且直齿轮与外齿环啮合,直齿轮沿外齿环外圆方向做圆周运动,直齿轮转动过程中带动第一转动柱转动,第一转动柱通过转轴与空心转动柱转动连接,第二锥齿轮套设在第一转动柱的外壁,第一转动柱在转动过程中带动第二锥齿轮转动,由于第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合设置,在第二锥齿轮转动过程中带动第一锥齿轮转动,第一锥齿轮转动在转动过程中带动固定柱转动,固定柱转动同时带动支撑块、滑动板和支撑板同时转动,从而带动基材转动,进一步使得基材溅镀镀膜均匀。
(4)本发明所述的一种溅镀镀膜装置,通过伺服电机转动过程中,带动外齿轮转动,外齿轮同时带动阴极放置板转动,靶材固定放置在阴极放置板的周围,阴极放置板在转动过程中有利于靶材的充分利用和均匀消耗减少了靶材的浪费。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明提供的一种溅镀镀膜装置的剖视图。
图2为本发明提供的底部剖视图。
图3为本发明提供的一种溅镀镀膜装置的立体图。
图4为本发明提供的转动机构的立体图。
图5为本发明提供的放置架的立体图。
图6为本发明提供的第一转动柱的立体图。
图7为本发明提供的第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合连接立体图。
图8为本发明提供的空心转动柱的剖视平面图。
图中:1、壳体;11、外齿环;12、内齿环;13、壳体门;2、伺服电机;3、靶材放置机构;31、阴极放置板;32、支撑柱;321、磁铁;33、水槽;34、连接柱;35、固定板;36、外齿轮;4、转动机构;41、行星齿轮;42、阳极支撑板;43、空心转动柱;44、放置架;441、支撑块;442、滑动板;443、支撑板;444、固定柱;445、第一锥齿轮;446、弹簧;5、从动机构;51、第一转动柱;52、直齿轮;53、第二锥齿轮;54、转轴;6、真空泵;7、氮气输送口。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
如图1-图8所示,本发明所述的一种溅镀镀膜装置,包括壳体1和伺服电机2,该镀膜装置还包括靶材放置机构3、转动机构4、从动机构5、真空泵6和氮气输送口7,所述伺服电机2固定连接在壳体1腔内底部,靶材放置机构3、转动机构4和从动机构5均置于壳体1腔内,真空泵6固定设于壳体1顶部一侧,氮气输送口7固定设于壳体1远离真空泵6一侧,壳体1腔内下部固定连接有内齿环12,壳体1腔内顶部固定连接有外齿环11,壳体1侧壁设有壳体门13,壳体门13通过铰链与壳体1侧壁铰接;
所述转动机构4包括行星齿轮41、阳极支撑板42、空心转动柱43、放置架44,行星齿轮41固定连接在空心转动柱43的下端,行星齿轮41与内齿环12啮合设置,空心转动柱43的另一端贯穿阳极支撑板42,且空心转动柱43与贯穿阳极支撑板42转动连接,三个空心转动柱43沿阳极支撑板42圆周方向均匀分布,多个放置架44均匀分布安装在空心转动柱43的外壁,壳体1为溅镀提供密封真空环境,伺服电机2在溅镀过程中同时为靶材放置机构3、转动机构4和从动机构5提供动力,通过真空泵6将壳体1内的空气抽空,通过氮气输送口7向壳体1内充入氮气,由于行星齿轮41与内齿环12啮合设置,行星齿轮41沿内齿环12内圆方向做圆周运动,同时进行自转,由于行星齿轮41与空心转动柱43固定连接,空心转动柱43转动方向与行星齿轮41转动方向一致,空心转动柱43在沿内齿环12内圆方向做圆周运动,同时带动阳极支撑板42做圆周运动,阳极支撑板42在工作过程中与电源正极连接,通过设置放置架44可以对基材进行固定,在溅镀过程中避免基材出现晃动脱落等现象,使溅镀镀膜均匀,每个空心转动柱43上安装有多个放置架44,使在一次溅镀过程中可以同时溅镀多个基材,有效提高了生产效率。
所述放置架44包括支撑块441、滑动板442、支撑板443、固定柱444、第一锥齿轮445和弹簧446,所述支撑块441一侧中部设有滑槽,滑动板442底部置于滑槽内,且滑动板442与支撑块441滑动连接,两个滑动板442之间通过弹簧446连接,弹簧446两端分别与两个滑动板442固定连接,两个滑动板442向背侧均固定连接有支撑板443,支撑块441远离滑槽一侧与固定柱444的一端固定连接,固定柱444的另一端贯穿空心转动柱43的侧壁,且固定柱444与空心转动柱43转动连接,第一锥齿轮445置于空心转动柱43腔体内,固定柱444远离支撑块441的一端与第一锥齿轮445固定连接,通过设置支撑块441对滑动板442和支撑板443起到支撑作用,滑动板442可在支撑块441一侧中部设有的滑槽内滑动,带动支撑板443运动,弹簧446置于两块滑动板442互相远离,滑动板442带动两个支撑板443互相远离,手机后壳和电脑外壳呈凹状结构,将支撑板443放入凹状结构内,通过两支撑板443进行支撑固定,进一步的在溅镀过程中避免基材出现晃动脱落等现象,使溅镀镀膜均匀。
所述从动机构5包括第一转动柱51、直齿轮52、第二锥齿轮53和转轴54,第一转动柱51置于空心转动柱43腔体内部,第一转动柱51底部固定连接有转轴54,空心转动柱43腔内底部设有与转轴54相适配的转动槽,转轴54置于转动槽内,且转轴54通过转动槽与空心转动柱43转动连接,多个第二锥齿轮53沿第一转动柱51轴向均匀套设在第一转动柱51的外壁,第二锥齿轮53与第一转动柱51固定连接,第二锥齿轮53与第一锥齿轮445啮合设置,第一转动柱51顶部与直齿轮52固定连接,直齿轮52与外齿环11啮合设置,空心转动柱43在沿内齿环12内圆方向做圆周运动做圆周运动过程中带动其内部的第一转动柱51转动,第一转动柱51顶部固定连接直齿轮52,且直齿轮52与外齿环11啮合,直齿轮52沿外齿环11外圆方向做圆周运动,直齿轮52转动过程中带动第一转动柱51转动,第一转动柱51通过转轴54与空心转动柱43转动连接,第二锥齿轮53套设在第一转动柱51的外壁,第一转动柱51在转动过程中带动第二锥齿轮53转动,由于第二锥齿轮53与第一锥齿轮445啮合设置,在第二锥齿轮53转动过程中带动第一锥齿轮445转动,第一锥齿轮445转动在转动过程中带动固定柱444转动,固定柱444转动同时带动支撑块441、滑动板442和支撑板443同时转动,从而带动基材转动,进一步使得基材溅镀镀膜均匀。
所述靶材放置机构3包括阴极放置板31、支撑柱32、连接柱34、固定板35和外齿轮36,外齿轮36与伺服电机2输出端固定连接,外齿轮36与内齿环12同心设置,行星齿轮41同时与外齿轮36和内齿环12啮合,外齿轮36上表面固定连接阴极放置板31,阴极放置板31上表面与支撑柱32下端固定连接,支撑柱32上端贯穿壳体1的顶部,且支撑柱32与壳体1转动连接,支撑柱32为空心设置,支撑柱32内设有磁铁321,磁铁321与支撑柱32转动连接,通过伺服电机2转动过程中,带动外齿轮36转动,外齿轮36同时带动阴极放置板31转动,靶材沿圆周方向固定放置在阴极放置板31的周围,阴极放置板31在转动过程中有利于靶材的充分利用和均匀消耗,减少了靶材的浪费,阴极放置板31在工作过程中连接电源负极,支撑柱32为非金属密封材料制造而成,支撑柱32与磁铁321可相对转动,通过磁铁321形成正交磁场。
所述壳体1的顶部中心位置固定设有水槽33,支撑柱32的空腔与水槽33贯通设置,支撑柱32顶部与壳体1顶部接触位置设有密封环,磁铁321顶部与连接柱34底端固定连接,连接柱34顶部固定连接在固定板35中部,固定板35固定连接在水槽33顶部,阴极放置板31在转动过程中带动支撑柱32转动,通过支撑柱32顶部与壳体1顶部接触位置设有密封环保证在工作过程中溅镀装置的密封性,支撑柱32内部设置磁铁321,在工作过程中可以产生正交磁场,由于磁铁321顶部与连接柱34底端固定连接连接柱34顶部固定连接在固定板35中部,固定板35固定连接在水槽33顶部,在支撑柱32转动过程中磁铁321不会发生转动,由于支撑柱32顶部置于水槽33底部,且支撑柱32的空腔与水槽33贯通设置,支撑柱32内部存有冷却水,在镀膜装置工作过程中通过冷却水进行散热,使镀膜装置加速冷却,同时支撑柱32转动过程中磁铁321对支撑柱32内部的水进行搅拌,加快了水的散热,进一步促进镀膜装置的冷却,大大提高了工作效率。
在使用时,在溅镀前通过打开壳体门13将基材固定到放置架44上,每个空心转动柱43上安装有多个放置架44,使在一次溅镀过程中可以同时溅镀多个基材,大大提高视力生产效率,支撑块441对滑动板442和支撑板443起到支撑作用,滑动板442可在支撑块441一侧中部设有的滑槽内滑动,带动支撑板443运动,弹簧446置于两块滑动板442互相远离,滑动板442带动两个支撑板443互相远离,手机后壳和电脑外壳呈凹状结构,将支撑板443放入凹状结构内,通过两支撑板443进行支撑固定,进一步的在溅镀过程中避免基材出现晃动脱落等现象,使溅镀镀膜均匀,其次将壳体门13关闭,通过真空泵6将壳体1内部空气排出,直到抽至真空状态,然后通过氮气输送口7向壳体1内充入适量的氮气;
给镀膜装置通电并开启伺服电机2,当启伺服电机2顺时针转动时,带动外齿轮36顺时针转动,由于外齿轮36与行星齿轮41啮合,行星齿轮41逆时针自转,同时行星齿轮41沿内齿环12内环圆顺时针公转,行星齿轮41在转动带动空心转动柱43逆时针自转,同时也带动空心转动柱43沿内齿环12内环圆顺时针公转,空心转动柱43带动阳极支撑板42顺时针做圆周运动,空心转动柱43转动过程时,带动放置架44逆时针转动,空心转动柱43公转同时带动其内部的第一转动柱51顺时针公转,第一转动柱51顶部连接有直齿轮52,直齿轮52沿外齿环11外圆方向顺时针公转,由于直齿轮52与外齿环11啮合设置,在直齿轮52沿外齿环11外圆方向顺时针公转过程中,直齿轮52顺时针自转,直齿轮52带动第一转动柱51逆时针自转,第一转动柱51至于空心转动柱43内部且与空心转动柱43自转方向相反,由于第二锥齿轮53与第一锥齿轮445啮合设置,在第二锥齿轮53转动过程中带动第一锥齿轮445转动,第一锥齿轮445转动在转动过程中带动固定柱444转动,固定柱444转动同时带动支撑块441、滑动板442和支撑板443同时转动,从而带动基材转动,进一步使得基材溅镀镀膜均匀;伺服电机2逆时针转动时,带动外齿轮36逆时针转动,由于外齿轮36与行星齿轮41啮合,行星齿轮41顺时针自转,同时行星齿轮41沿内齿环12内环圆逆时针公转,行星齿轮41在转动带动空心转动柱43顺时针自转,同时也带动空心转动柱43沿内齿环12内环圆逆时针公转,空心转动柱43带动阳极支撑板42逆时针做圆周运动,空心转动柱43转动过程时,带动放置架44顺时针转动,空心转动柱43公转,同时带动其内部的第一转动柱51逆时针公转,第一转动柱51顶部连接有直齿轮52,直齿轮52沿外齿环11外圆方向逆时针公转,由于直齿轮52与外齿环11啮合设置,在直齿轮52沿外齿环11外圆方向逆时针公转过程中,直齿轮52逆时针自转,直齿轮52带动第一转动柱51顺时针自转,第一转动柱51至于空心转动柱43内部且与空心转动柱43自转方向相反,由于第二锥齿轮53与第一锥齿轮445啮合设置,在第二锥齿轮53转动过程中带动第一锥齿轮445转动,第一锥齿轮445转动在转动过程中带动固定柱444转动,固定柱444转动同时带动支撑块441、滑动板442和支撑板443同时转动,从而带动基材转动,进一步使得基材溅镀镀膜均匀;外齿轮36同时带动阴极放置板31转动,靶材固定放置在阴极放置板31的周围,阴极放置板31在转动过程中有利于靶材的充分利用和均匀消耗减少了靶材的浪费,阴极放置板31在转动过程中带动支撑柱32转动,支撑柱32内部设置磁铁321,在工作过程中可以产生正交磁场,由于磁铁321顶部与连接柱34底端固定连接连接柱34顶部固定连接在固定板35中部,固定板35固定连接在水槽33顶部,在支撑柱32转动过程中磁铁321不会发生转动,由于支撑柱32顶部置于水槽33底部,且支撑柱32的空腔与水槽33贯通设置,支撑柱32内部存有冷却水,在镀膜装置工作过程中通过冷却水进行散热,使镀膜装置加速冷却,同时支撑柱32转动过程中磁铁321对支撑柱32内部的水进行搅拌,加快了水的散热,进一步促进镀膜装置的冷却,大大提高了工作效率。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (5)
1.一种溅镀镀膜装置,包括壳体(1)和伺服电机(2),其特征在于:该镀膜装置还包括靶材放置机构(3)、转动机构(4)、从动机构(5)、真空泵(6)和氮气输送口(7),所述伺服电机(2)固定连接在壳体(1)腔内底部,靶材放置机构(3)、转动机构(4)和从动机构(5)均置于壳体(1)腔内,真空泵(6)固定设于壳体(1)顶部一侧,氮气输送口(7)固定设于壳体(1)远离真空泵(6)一侧,壳体(1)腔内下部固定连接有内齿环(12),壳体(1)腔内顶部固定连接有外齿环(11),壳体(1)侧壁设有壳体门(13),壳体门(13)通过铰链与壳体(1)侧壁铰接;
所述转动机构(4)包括行星齿轮(41)、阳极支撑板(42)、空心转动柱(43)、放置架(44),行星齿轮(41)固定连接在空心转动柱(43)的下端,行星齿轮(41)与内齿环(12)啮合设置,空心转动柱(43)的另一端贯穿阳极支撑板(42),且空心转动柱(43)与贯穿阳极支撑板(42)转动连接,三个空心转动柱(43)沿阳极支撑板(42)圆周方向均匀分布,多个放置架(44)均匀分布安装在空心转动柱(43)的外壁。
2.根据权利要求1所述的一种溅镀镀膜装置,其特征在于:所述放置架(44)包括支撑块(441)、滑动板(442)、支撑板(443)、固定柱(444)、第一锥齿轮(445)和弹簧(446),所述支撑块(441)一侧中部设有滑槽,滑动板(442)底部置于滑槽内,且滑动板(442)与支撑块(441)滑动连接,两个滑动板(442)之间通过弹簧(446)连接,弹簧(446)两端分别与两个滑动板(442)固定连接,两个滑动板(442)向背侧均固定连接有支撑板(443),支撑块(441)远离滑槽一侧与固定柱(444)的一端固定连接,固定柱(444)的另一端贯穿空心转动柱(43)的侧壁,且固定柱(444)与空心转动柱(43)转动连接,第一锥齿轮(445)置于空心转动柱(43)腔体内,固定柱(444)远离支撑块(441)的一端与第一锥齿轮(445)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种溅镀镀膜装置,其特征在于:所述从动机构(5)包括第一转动柱(51)、直齿轮(52)、第二锥齿轮(53)和转轴(54),第一转动柱(51)置于空心转动柱(43)腔体内部,第一转动柱(51)底部固定连接有转轴(54),空心转动柱(43)腔内底部设有与转轴(54)相适配的转动槽,转轴(54)置于转动槽内,且转轴(54)通过转动槽与空心转动柱(43)转动连接,多个第二锥齿轮(53)沿第一转动柱(51)轴向均匀套设在第一转动柱(51)的外壁,且第二锥齿轮(53)与第一转动柱(51)固定连接,第二锥齿轮(53)与第一锥齿轮(445)啮合设置,第一转动柱(51)顶部与直齿轮(52)固定连接,直齿轮(52)与外齿环(11)啮合设置。
4.根据权利要求3所述的一种溅镀镀膜装置,其特征在于:所述靶材放置机构(3)包括阴极放置板(31)、支撑柱(32)、连接柱(34)、固定板(35)和外齿轮(36),外齿轮(36)与伺服电机(2)输出端固定连接,外齿轮(36)与内齿环(12)同心设置,行星齿轮(41)同时与外齿轮(36)和内齿环(12)啮合,外齿轮(36)上表面固定连接阴极放置板(31),阴极放置板(31)上表面与支撑柱(32)下端固定连接,支撑柱(32)上端贯穿壳体(1)的顶部,且支撑柱(32)与壳体(1)转动连接,支撑柱(32)为空心设置,支撑柱(32)内设有磁铁(321),磁铁(321)与支撑柱(32)转动连接。
5.根据权利要求4所述的一种溅镀镀膜装置,其特征在于:所述壳体(1)的顶部中心位置固定设有水槽(33),支撑柱(32)的空腔与水槽(33)贯通设置,支撑柱(32)顶部与壳体(1)顶部接触位置设有密封环,磁铁(321)顶部与连接柱(34)底端固定连接,连接柱(34)顶部固定连接在固定板(35)中部,固定板(35)固定连接在水槽(33)顶部。
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