CN113543001A - 电容式传感器、麦克风以及电子设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种电容式传感器、麦克风以及电子设备。其中，电容式传感器包括衬底、振膜以及调节机构；衬底设有第一电极；振膜活动连接于衬底；振膜上设有第二电极，第二电极与第一电极均呈梳齿状排布，第二电极与第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；调节机构用于调节第一电极与第二电极之间的间距。本发明技术方案电容式传感器中调节机构能够在麦克风进行灵敏度校准测试时缩小第一电极与第二电极之间的间距，增大电容量，相比于两个极板的间距不变仅施加校准电压达到预期灵敏度的情况下，明显降低了校准电压的需求，从而实现了仅需较低的校准电压便能够达到电容式传感器预期的灵敏度，保证了麦克风灵敏度校准的准确性。
Description
技术领域
本发明涉及麦克风技术领域，特别涉及一种电容式传感器、麦克风以及电子设备。
背景技术
随着科技的发展，微电机技术已经逐渐融入至麦克风的生产领域中，实现了各种传感器的微型化和低成本化，并且在智能终端设备中已经广泛使用。而麦克风作为一种将声音信号转换为电信号的装置，微电机技术传感器的电容式传感器被广泛应用于麦克风中。
相关技术中，采用梳齿电极的电容式传感器中，在进行校准检测时，需要施加很大的电压值才能够实现校准，但是现有的电容式传感器中无法承受或者提供足够大的校准电压值，从而导致麦克风校准失败的问题。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种电容式传感器，旨在采用较低的校准电压便能够实现电容式传感器的校准检测功能，提升电容式麦克风的灵敏度。
为实现上述目的，本发明提出的电容式传感器，包括：
衬底，所述衬底设有第一电极；
振膜，所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；以及
调节机构，所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距。
在本发明一实施例中，所述调节机构包括连接所述第一电极与所述衬底的伸缩件，所述伸缩件能够在外力作用下伸缩运动，以调节所述第一电极与所述第二电极相对的间隙。
在本发明一实施例中，所述伸缩件的伸缩方向与所述振膜的振动方向垂直。
在本发明一实施例中，在所述伸缩件的伸缩方向上，所述伸缩件的一端与所述衬底固定连接，相对的另一端悬空设置；
在所述伸缩件远离所述衬底的一端设有安装座，所述第一电极设于所述安装座朝向所述第二电极的一侧。
在本发明一实施例中，所述安装座连接所述伸缩件的侧表面与所述衬底连接所述伸缩件的侧表面平行设置。
在本发明一实施例中，所述伸缩件包括至少两个子伸缩件，至少两个所述子伸缩件延所述第一电极的梳齿排布方向间隔均匀设置。
在本发明一实施例中，所述伸缩件为弹性件或者折叠件。
在本发明一实施例中，定义所述第一电极与所述第二电极相对的侧面为第一侧面，所述第二电极与所述第一电极相对的侧面为第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面平行设置，所述第一侧面的延伸方向与所述第二电极的对插方向呈夹角设置；
所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极的对插深度。
在本发明一实施例中，所述衬底包括多个侧边，所述多个侧边围合形成一腔体，所述振膜悬置于所述腔体内；
所述振膜对应每个所述侧边均设有第二电极，每个所述侧边对应设有所述第一电极，所述第一电极与所述第二电极对插设置。
在本发明一实施例中，所述电容式传感器还包括弹性悬臂梁，所述弹性悬臂梁一端与所述衬底固定连接，另一端与所述振膜固定连接。
为实现上述目的，本发明还提供一种麦克风，包括上述的电容式传感器。电容式传感器包括衬底、振膜以及调节机构；所述衬底设有第一电极；所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距。
为实现上述目的，本发明还提供一种电子设备，其特征在于，包括上述的麦克风。麦克风包括上述的电容式传感器。电容式传感器包括衬底、振膜以及调节机构；所述衬底设有第一电极；所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距。
本发明技术方案电容式传感器中，衬底设有呈梳齿状排布的第一电极，振膜设有呈梳齿状排布的第二电极，第一电极与第二电极间隔对插设置形成了电容结构，从而使得当振膜受到空气振动时，能够带动第二电极相对于第一电极运动，产生电容的变化，实现了麦克风将声音信号转化为电信号的功能。本实施例中还设有用于调节第一电极与第二电极之间间距的调节机构，该调节机构能够在麦克风进行灵敏度校准测试时缩小第一电极与第二电极之间的间距，增大电容量，相比于两个极板的间距不变仅施加校准电压达到预期灵敏度的情况下，明显降低了校准电压的需求，从而实现了仅需较低的校准电压便能够达到电容式传感器预期的灵敏度，保证了麦克风灵敏度校准的准确性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明电容式传感器一实施例的结构示意图；
图2为图1中A-A处的剖视图；
图3为本发明实施例中第一电极与第二电极装配的结构示意图。
附图标号说明：
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提出一种电容式传感器，旨在通过在梳齿电极的电容式传感器中设置可以调节两个电极之间相对间隙的机构，以在校准检测过程中，只需采用较低的校准电压便能够实现，达到提升电容式麦克风灵敏度的效果。需要说明的是，本发明中的电容式传感器可适用的麦克风以及电子设备不限定为某一特定种类，只要是具备梳齿电极的麦克风以及具有该麦克风的电子设备均可以。
可以理解的，电子设备可以是但并不限于手机、笔记本电脑、平板电脑、个人数字助理(Personal Digital Assistant，PDA)、电子书阅读器、MP3(动态影像专家压缩标准音频层面3，Moving Picture Experts Group Audio Layer III)播放器、MP4(动态影像专家压缩标准音频层面4，Moving Picture Experts Group Audio Layer IV)播放器、可穿戴设备、导航仪、掌上游戏机、虚拟与现实设备、增强现实设备等。
下面将在具体实施例中对本发明提出的电容式传感器的具体结构进行说明，以电容式传感器水平放置为例进行介绍：
如图1至图3所示，该电容式传感器包括衬底100、振膜300以及调节机构(图未标)。
衬底100设有第一电极200；
振膜300活动连接于所述衬底100；所述振膜300上设有第二电极400，所述第二电极400与所述第一电极200均呈梳齿状排布，所述第二电极400与所述第一电极200间隔对插设置，以形成电容结构；
调节机构用于调节所述第一电极200与所述第二电极400之间的间距。
麦克风是用于接收声音的设备，而声音在传播的过程中是通过振动传播的，当声音传导至振膜300时，空气的振动会带动振膜300振动，进而带动第二电极400相对于第一电极200运动，第一电极200和第二电极400均呈梳齿状排布，并且两者间隔对插设置，从而改变第二电极400与第二电极200的相对面积，进而达到改变电容大小，实现将声信号转变为电信号的效果。
第二电极400与第一电极200均呈梳齿状排布，振膜300振动的方向与第二电极400的运动方向一致，使得振动过程中的空气能够从第二电极400与第一电极200之间的间隙中流通，从而减小了空气阻尼，减小了噪音。
第一电极200和第二电极400间隔对插设置，则其两者相对的两个侧面形成电容结构的两个极板，根据电容量与电极板的相关参数的公式：C＝εS/4πkd(S为电容极板一个面的面积，d为电容极板之间的距离)可知，电容量与两个极板之间的距离成反比。电容式传感器进行灵敏度校准测试时，会在第一电极200与第二电极400之间施加校准电压来达到预期的灵敏度，本实施例中调节机构用于调节第一电极200与第二电极400之间的间距，即可以在灵敏度校准测试时，通过调节机构来缩小第一电极200与第二电极400之间的间距，增大电容量，提升电容结构的灵敏度，相比于两个极板的间距不变仅施加校准电压达到预期灵敏度的情况下，明显降低了校准电压的需求，从而实现了仅需较低的校准电压便能够达到电容式传感器预期的灵敏度，保证了麦克风灵敏度校准的准确性。
可以理解的，调节机构可以仅调节第一电极200横向运动，也可以仅调节第二电极400横向运动，也可以是第一电极200和第二电极400同时调节。调节机构的具体结构形式可根据实际情况而定，如可以是连接在衬底100与第一电极200之间的伸缩结构，可以是连接在振膜300与第二电极400之间的伸缩结构，可以是同时连接在第一电极200与衬底100之间，连接在第二电极400与振膜300之间的结构，可以是连接在第一电极200与第二电极400之间的可调节间距的结构，在连接第一电极200与第二电极400时，该调节机构采用绝缘件，避免两个电极短路。其具体的形状结构在此刻不做一一限制。
需要说明的是，调节机构的作用是为了调节第一电极200和第二电极400之间的相对间隙，其可以是主动调节或者被动调节，当为主动调节时，调节机构中可设置间隙调节的驱动件，可根据仿真实验得到两者的间隙与校准电压的关系，在施加校准电压之前调节好两者的间隙；当为被动调节时，调节机构中可设置在受力作用下会发生形变的结构，当给两个电极施加校准电压时，两者会受到相对的吸引力，此时第一电极200和/或第二电极400在调节机构的形变下能够朝向对方运动，以达到预期灵敏度。
本发明技术方案电容式传感器中，衬底100设有呈梳齿状排布的第一电极200，振膜300设有呈梳齿状排布的第二电极400，第一电极200与第二电极400间隔对插设置形成了电容结构，从而使得当振膜300受到空气振动时，能够带动第二电极400相对于第一电极200运动，产生电容的变化，实现了麦克风将声音信号转化为电信号的功能。本实施例中还设有用于调节第一电极200与第二电极400之间间距的调节机构，该调节机构能够在麦克风进行灵敏度校准测试时缩小第一电极200与第二电极400之间的间距，增大电容量，相比于两个极板的间距不变仅施加校准电压达到预期灵敏度的情况下，明显降低了校准电压的需求，从而实现了仅需较低的校准电压便能够达到电容式传感器预期的灵敏度，保证了麦克风灵敏度校准的准确性。
在本发明一实施例中，参照图1至图3，所述调节机构包括连接所述第一电极200与所述衬底100的伸缩件500，所述伸缩件500能够在外力作用下伸缩运动，以调节所述第一电极200与所述第二电极400的间距。
本实施例中，调节机构设置为伸缩件500，该伸缩件500连接衬底100与第一电极200，能够在外力作用下伸缩运动，以调节第一电极200与衬底100之间的间距，进而达到调节第一电极200和第二电极400相对间隙的目的。
电容式传感器在进行灵敏度校准检测时，对第一电极200和第二电极400施加校准电压，第一电极200和第二电极400之间会产生吸引力，也即第一电极200会受到朝向第二电极400的拉力，而伸缩件500可在衬底100与第一电极200之间伸缩运动，从而能够实现第一电极200朝向第二电极400的运动，进而达到减小第一电极200与第二电极400的相对间隙的目的。在此基础上，第一电极200和第二电极400之间的间隙减小了，则两者形成的电容结构的电容增大，从而降低了达到预设灵敏度的校准电压。
在实际应用过程中，伸缩件500可以是弹性件或者折叠件。
可以理解的，本实施例中，伸缩件500是在第一电极200受到朝向第二电极400的拉力时发生伸缩形变，则该伸缩件500具备在沿第一电极200所受拉力方向的形变量即可，也就是说，伸缩件500的伸缩方向可以是与第一电极200的运动方向一致，也可以是与第一电极200的运动方向倾斜。
为了进一步提升传感器的灵敏度，在本发明一实施例中，所述伸缩件500的伸缩方向与所述振膜300的振动方向垂直。
可以理解的，振膜300的振动方向与第一电极200和第二电极400的对插方向垂直，将伸缩件500的伸缩方向与振膜300的振动方向垂直，使得伸缩件500的形变方向与第一电极200的运动方向一致，从而减小了伸缩件500在其他方向上的运动损耗。
在本发明一实施例中，参照图1至图3，在所述伸缩件500的伸缩方向上，所述伸缩件500的一端与衬底100固定连接，相对的另一端悬空设置；
在伸缩件500远离所述衬底100的一端设有安装座600，所述第一电极200设于所述安装座600朝向所述第二电极400的一侧。
本实施例中，伸缩件500的相对两端分别连接衬底100和安装座600，第一电极200设置在安装座600上，则第一电极200与衬底100分别设置在伸缩件500伸缩伸缩方向上的相对两端，从而使得伸缩件500的伸缩形变能够全部转化为第一电极200相对于第二电极400的运动量，提升了形变能量利用率。
可以理解的，安装座600起到安装支撑第一电极200的作用，保证了第一电极200与伸缩件500的连接结构可靠性。伸缩件500背离衬底100的一端悬空设置，从而使得第一电极200悬空设置，以顺利与第二电极400插设，实现电容结构。本实施例中伸缩件500既具备沿横向伸缩的功能，又具有一定的支撑功能，保证第一电极200悬空设置。
在实际应用过程中，安装座600的形状结构可根据实际情况而定，如可以是板状结构、块状结构或者其他异形结构等。
为了提高第一电极200运动的稳定性，在本发明一实施例中，所述安装座600连接所述伸缩件500的侧表面与所述衬底100连接所述伸缩件500的侧表面平行设置。
可以理解的，伸缩件500的相对两端连接安装座600的侧表面与衬底100的侧表面，将该两者的侧表面设置为平行，使得伸缩件500在伸缩过程中，能够带动安装座600稳定地相对于衬底100运动，避免了安装座600在运动过程中发生偏移，防止第一电极200发生倾斜。
可选地，安装座600可以采用板状结构，第一电极200与伸缩件500分别设置在安装座600的相对两侧的板面，进一步提升第一电极200运动的平衡性，进而保证了第一电极200和第二电极400之间各处的间隙变化的平稳性。
在本发明一实施例中，参照图1至图3，所述伸缩件500包括至少两个子伸缩件510，至少两个所述子伸缩件510延所述第一电极200的梳齿排布方向间隔均匀设置。
可以理解的，伸缩件500连接在第一电极200与衬底100之间，而第一电极200为具有一定实体长度排布的梳齿，则可将伸缩件500设置为沿第一电极200的梳齿排布方向具有一定宽度的结构，增大伸缩件500与第一电极200的连接面积。
本实施例中，伸缩件500包括至少两个子伸缩件510，该至少两个子伸缩件510间隔排布，以使得第一电极200上不同的位置受力均衡，从而保证了第一电极200的运动可靠性。
在实际应用过程中，第一电极200安装在安装座600上，则该至少两个子伸缩件510可以是沿安装座600与衬底100平行的侧面间隔均匀分布。
为了进一步提升麦克风的灵敏度，参照图1至图3，在本发明一实施例中，定义所述第一电极200与所述第二电极400相对的侧面为第一侧面201，所述第二电极400与所述第一电极200相对的侧面为第二侧面401，所述第一侧面201与所述第二侧面401呈等间距相对设置，所述第一侧面201的延伸方向与所述第二电极400的对插方向不平行。
可以理解的，第一侧面201的延伸方向与第二电极400的对插方向不平行时，相比于与对插方向平行的电极板面积，该第一侧面201的面积增大了，即增大了第一电极200与第二电极400相对的面积，从而增大了电容量，进而增大了电容变化率，达到了提高电容式传感器的灵敏度，进一步提高麦克风音质的效果。
第一侧面201与第二侧面401为电容结构的相对的两个电极板面，第二侧面401与第一侧面201之间的距离为等间距设置，从而能够使得第一侧面201与第二侧面401之间各个区域的间距均维持在同样的较小的尺寸范围内，进而保证了电容结构的电容变化率。
在实际应用过程中，第一侧面201和第二侧面401可以是曲面结构或者平面结构。
在一实施例中，所述第一侧面201与所述第二侧面401平行设置，所述第一侧面201的延伸方向与所述第二电极400的对插方向呈夹角设置。
本实施例中，第一侧面201和第二侧面401为平面结构，在此基础上，第一侧面201的延伸方向与第二电极400的对插方向呈夹角，则该第一电极200的梳齿结构的横截面形状为三角形或者梯形，第二电极400的梳齿结构的横截面形状为三角形或者梯形，通过调节机构调节所述第一电极200与所述第二电极400的对插深度，实现调节第一侧面201与第二侧面401的相对间隙，进而增大麦克风的灵敏度。
在本发明一实施例中，参照图1至图3，所述衬底100包括多个侧边110，所述多个侧边110围合形成一腔体，所述振膜300悬置于所述腔体内；
所述振膜300对应每个所述侧边110均设有第二电极400，每个所述侧边110对应设有所述第一电极200，所述第一电极200与所述第二电极400对插设置。
本实施例中，衬底100起到基座支撑的作用，多个侧边110围合形成一腔体，每个侧边110对应设有第一电极200，振膜300悬空至于腔体内，振膜300具有与侧边110相对的侧壁，每个侧壁设有第二电极400，第一电极200与第二电极400对插设置。
可选地，振膜300呈矩形结构，衬底100为四个首尾相连的侧边110组成，振膜300通过弹性悬臂梁700连接在振膜300的顶角和衬底100的顶角之间，使得振膜300的四个顶角均被弹性悬臂梁700固定，从而实现了振膜300的悬空功能。当声音传来时，空气的振动能够带动振膜300沿垂直于振膜300的方向振动，同时由于弹性悬臂梁700具有一定的弹性，振膜300振动也会带动弹性悬臂梁700发生弹性形变，进而使得振膜300的振动幅度增大，带动第二电极400的运动幅度增大，进而使得电容的变化增大，提高了电容式传感器的灵敏度。
本发明还提出一种麦克风，该麦克风包括电容式传感器，该电容式传感器的具体结构参照上述实施例，由于本麦克风采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
本发明还提出一种电子设备，该电子设备包括麦克风，该麦克风的具体结构参照上述实施例，由于本电子设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
电子设备可以是但并不限于手机、笔记本电脑、平板电脑、个人数字助理(Personal Digital Assistant，PDA)、电子书阅读器、MP3(动态影像专家压缩标准音频层面3，Moving Picture Experts Group Audio Layer III)播放器、MP4(动态影像专家压缩标准音频层面4，Moving Picture Experts Group Audio Layer IV)播放器、可穿戴设备、导航仪、掌上游戏机、虚拟与现实设备、增强现实设备等。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (12)
1.一种电容式传感器，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底设有第一电极；
振膜，所述振膜活动连接于所述衬底；所述振膜上设有第二电极，所述第二电极与所述第一电极均呈梳齿状排布，所述第二电极与所述第一电极间隔对插设置，以形成电容结构；以及
调节机构，所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极之间的间距。
2.如权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述调节机构包括连接所述第一电极与所述衬底的伸缩件，所述伸缩件能够在外力作用下伸缩运动，以调节所述第一电极与所述第二电极相对的间隙。
3.如权利要求2所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件的伸缩方向与所述振膜的振动方向垂直。
4.如权利要求3所述的电容式传感器，其特征在于，在所述伸缩件的伸缩方向上，所述伸缩件的一端与所述衬底固定连接，相对的另一端悬空设置；
在所述伸缩件远离所述衬底的一端设有安装座，所述第一电极设于所述安装座朝向所述第二电极的一侧。
5.如权利要求4所述的电容式传感器，其特征在于，所述安装座连接所述伸缩件的侧表面与所述衬底连接所述伸缩件的侧表面平行设置。
6.如权利要求2至5中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件包括至少两个子伸缩件，至少两个所述子伸缩件延所述第一电极的梳齿排布方向间隔均匀设置。
7.如权利要求2至5中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述伸缩件为弹性件或者折叠件。
8.如权利要求1至5中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，定义所述第一电极与所述第二电极相对的侧面为第一侧面，所述第二电极与所述第一电极相对的侧面为第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面平行设置，所述第一侧面的延伸方向与所述第二电极的对插方向呈夹角设置；
所述调节机构用于调节所述第一电极与所述第二电极的对插深度。
9.如权利要求1至5中任意一项所述的电容式传感器，其特征在于，所述衬底包括多个侧边，所述多个侧边围合形成一腔体，所述振膜悬置于所述腔体内；
所述振膜对应每个所述侧边均设有第二电极，每个所述侧边对应设有所述第一电极，所述第一电极与所述第二电极对插设置。
10.如权利要求9所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器还包括弹性悬臂梁，所述弹性悬臂梁一端与所述衬底固定连接，另一端与所述振膜固定连接。
11.一种麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至10中任意一项所述的电容式传感器。
12.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求11所述的麦克风。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115479582A (zh) * | 2022-11-03 | 2022-12-16 | 湖南大学 | 一种用于导航的气压高度计 |
| CN116045922A (zh) * | 2023-03-16 | 2023-05-02 | 湖南大学 | 一种用于深海测量的深度计 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007295516A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Yamaha Corp | コンデンサマイクロホン |
| CN204836579U (zh) * | 2015-08-03 | 2015-12-02 | 上海微联传感科技有限公司 | 一种梳齿结构mems硅麦克风 |
| US20160101975A1 (en) * | 2013-06-19 | 2016-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonance Frequency Adjustment Module |
| CN107356240A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-11-17 | 安徽北方芯动联科微系统技术有限公司 | 具有驱动频率调节结构的mems陀螺仪 |
| CN107690115A (zh) * | 2016-08-04 | 2018-02-13 | 北京卓锐微技术有限公司 | 微机电麦克风及其制造方法 |
| CN109490575A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-03-19 | 杭州电子科技大学 | 一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法 |
| CN212115671U (zh) * | 2020-06-19 | 2020-12-08 | 歌尔微电子有限公司 | 电容式传感器、麦克风以及电子设备 |
-
2021
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007295516A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-11-08 | Yamaha Corp | コンデンサマイクロホン |
| US20160101975A1 (en) * | 2013-06-19 | 2016-04-14 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Resonance Frequency Adjustment Module |
| CN204836579U (zh) * | 2015-08-03 | 2015-12-02 | 上海微联传感科技有限公司 | 一种梳齿结构mems硅麦克风 |
| CN107690115A (zh) * | 2016-08-04 | 2018-02-13 | 北京卓锐微技术有限公司 | 微机电麦克风及其制造方法 |
| CN107356240A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-11-17 | 安徽北方芯动联科微系统技术有限公司 | 具有驱动频率调节结构的mems陀螺仪 |
| CN109490575A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-03-19 | 杭州电子科技大学 | 一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法 |
| CN212115671U (zh) * | 2020-06-19 | 2020-12-08 | 歌尔微电子有限公司 | 电容式传感器、麦克风以及电子设备 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115479582A (zh) * | 2022-11-03 | 2022-12-16 | 湖南大学 | 一种用于导航的气压高度计 |
| CN115479582B (zh) * | 2022-11-03 | 2023-02-14 | 湖南大学 | 一种用于导航的气压高度计 |
| CN116045922A (zh) * | 2023-03-16 | 2023-05-02 | 湖南大学 | 一种用于深海测量的深度计 |
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