CN113535588A - 一种cmp设备模拟测试方法和测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种CMP设备模拟测试方法和测试系统，其中方法包括：初始化硬件模组，并配置硬件模组的硬件信息,硬件信息至少包括信道信息和运行数值，硬件模组与硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性；启动由硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取信道信息中输出点的输出值；根据输出值确定模拟CMP设备的运行状况，输出值存放于模拟共享内存中；在模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个运行数值为异常值，并根据输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况及CMP设备的故障恢复能力。解决了传统CMP模拟软件没有测试监控功能的问题。

Description

一种CMP设备模拟测试方法和测试系统

技术领域

本发明涉及CMP设备制造领域，具体涉及一种CMP设备模拟测试方法和测试系统。

背景技术

制造集成电路和其它电子器件时，可以在半导体晶片上的表面上沉积和去除导体、半导体和介电材料的多个层。随着材料层依次沉积和去除，晶片的最上表面变得不平坦。由于随后的半导体加工(例如金属化)需要晶片具有平坦的表面，因此晶片需要被平坦化。CMP(Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光)技术是目前常用的半导体器件抛光技术，基于该技术生产的CMP设备有着极强的工艺和效率要求。若CMP设备满足工艺和效率的要求，其系统软件的可靠性和稳定性至关重要。因此在CMP设备的研发过程中，使用软件测试其运行情况是不可或缺且至关重要的一个环节。而半导体设备研发的周期需要严格把控，时间紧任务重，在硬件条件具备后留给软件测试的时间往往不够充裕。因此软件系统测试工作需要提前进行，在硬件条件不具备时需要先完成大量的软件测试工作，及早发现问题及时解决。基于这个原因，软件系统的测试工作中，模拟测试是很重要的一个环节，而传统的模拟测试软件，只能在流量、压力等各个参数均设置正常的情况下，模拟测试CMP设备运行过程，对于运行过程中突发的异常情况，只能在CMP硬件设备生产出来之后，测试其监控功能，降低了工作效率。

发明内容

有鉴于此，本发明实施方式提供了一种CMP设备模拟测试方法和测试系统，实现了对CMP设备监控功能的模拟测试。

根据第一方面，一种CMP设备模拟测试方法，所述方法包括：

初始化硬件模组，并配置所述硬件模组的硬件信息；所述硬件信息至少包括信道信息和运行数值，所述硬件模组与所述硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性；

启动由所述硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取所述信道信息中输出点的输出值；

根据所述输出值确定所述模拟CMP设备的运行状况，所述输出值存放于所述模拟共享内存中；

在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。

可选地，在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况，包括：

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果；

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能未在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出检查所述信道信息和所述硬件模组中监控模组的通知。

可选地，所述方法还包括：

在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述硬件模组中的硬件参数，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述修改至少一个所述硬件模组中的硬件参数，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况，包括：

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果；

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能未在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出调整所述信道信息和报警阈值的通知。

可选地，在所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果之后，还包括：

监测在发出所述报警信息的同时是否能够停止模拟，以及能否启动晶圆保护功能。

可选地，工程人员在接收到所述报警信息后恢复故障部分，并在恢复完成后继续运行模拟CMP设备时，包括：

检测当前硬件模组和当前硬件信息是否与停机前正常运行状态下的情况相同，并报告其中不同的部分。

可选地，所述方法还包括：

在所述模拟CMP设备运行状况不正常的情况下，判断所述监控报警功能能否在预设时间内发出报警信息；

在所述模拟CMP设备不能在预设时间内发出报警信息的情况下，发出调整所述硬件模组和所述硬件信息的通知。

根据第二方面，一种CMP设备模拟测试系统，所述系统包括：

设备搭建模块，初始化硬件模组，并配置所述硬件模组的硬件信息；所述硬件信息至少包括信道信息和运行数值，所述硬件模组与所述硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性；

设备状态获取模块，启动由所述硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取所述信道信息中输出点的输出值；

设备状态诊断模块，根据所述输出值确定所述模拟CMP设备的运行状况，所述输出值存放于所述模拟共享内存中；

监控功能测试模块，在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。

根据第三方面，一种电子设备，包括：

存储器和处理器，所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行第一方面，或者第一方面任意一种可选实施方式中所述的方法。

根据第四方面，一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机从而执行第一方面，或者第一方面任意一种可选实施方式中所述的方法。

本发明技术方案，具有如下优点：

本发明提供的一种CMP设备模拟测试方法和测试系统。该方法具体包括：通过硬件模组搭建CMP设备模型，之后配置CMP模型所需的硬件信息，其中硬件信息包括CMP设备运行过程中用于数据传输的信道信息和用于设置温度、压力、流量、转速等条件的运行数值。同时将CMP设备模型的硬件型号、大小等参数以及硬件信息存入到模拟共享内存中，从而利用模拟共享内存保证了硬件信息和硬件模组的参数唯一性，即任何读取和写入操作均对应同一个模拟共享内存，使得模拟共享内存中的信息在各个存储地址中是最新且唯一的，避免了设备模拟过程中出现读取或写入信息错误的情况。之后启动模拟CMP设备程序，实现了模拟CMP设备的正常运转情况的测试。之后通过修改人机界面中的硬件型号、大小等参数，从而实时更新到模拟共享内存中，实现在软件和/或硬件零件出现异常的情况下，监控功能是否及时响应的测试，此外本发明实施提供的测试方法，还提供了监控功能在异常前提下的应急保护措施和异常处理后能否正常复机功能的测试，完善了CMP设备模拟测试的功能模块。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例的一种CMP设备模拟测试方法的步骤示意图；

图2为本发明实施例的一种CMP设备模拟测试方法的流程示意图；

图3为本发明实施例的一种CMP设备模拟测试系统的结构示意图；

图4为本发明实施例的一种电子设备结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

请参阅图1和图2，本发明实施例提供的一种CMP设备模拟测试方法，具体包括如下步骤：

步骤S1：初始化硬件模组，并配置硬件模组的硬件信息；硬件信息至少包括信道信息和运行数值，硬件模组与硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性。

具体地，硬件模组用于模拟搭建CMP设备模型，本发明实施例中，硬件模组为CMP设备制造过程涉及的各个零件和模块组成部分制作计算机环境的模拟config文件，硬件模组文件按照CMP的两大功能区域(polish、cleaner)分别存放在对应的文件夹中，每个功能区域的文件夹还包括设备初始化时的硬件信息和设备正常运行时的硬件信息，通过模拟config文件搭建出计算机环境下的虚拟CMP设备模型，并将模拟config文件存入模拟共享内存中，以便于测试时，调整CMP设备的硬件型号、硬件的数值等，例如电阻或电容的大小。

硬件信息至少包括信道信息和运行数值，具体地，信道信息用于给硬件模组中的硬件分配通信路径，在本发明时实施例中，信道信息包括输出点的Index(索引号)、SN(当前输出点Index下定义的点位编号)，该输出点对应要查询的输入点的MODULE(模组编号)、输入点的Index(索引号)、SN(当前输入点Index下定义的点位编号)，以及串口的串口号。其中运行数值用于初始化模拟程序启动时温度、压力、流量等条件，在本发明实施例中，运行数值VALUE包括但不限于：温度、压力、转速、流量、角度、运行时间、抛光方向、抛光完成度。

其中硬件模组与硬件信息均存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性。具体地，现有技术CMP设备仿真模拟软件通常是利用宏定义的方法，即直接定义正常运行工况下的参数条件，上层软件通过读取IO(输入输出)信号进行比较判断是否超限，直接返回true，即所有硬件状态均正常，从而进行CMP设备正常运行下模拟测试。但是设备的仿真模拟正在运行时，宏定义无法修改，因此设备一旦发生故障，其监控报警功能是否可用，以及报警后的应急保护功能是否可用，通过宏定义的方法均无法实现，即现有CMP测试软件无法针对设备硬件反馈有问题的情况进行测试其异常处理功能，也无法完成后续异常处理后的正常复机功能。因此为实现监控报警等功能的测试，需要对硬件参数和/或运行数值等信息进行修改，以便于测试异常情况下监控报警功能响应情况。本发明实施例中，通过设置模拟共享内存，将硬件软件信息均存入其中，每个独立的信息均有一个独立的共享地址，通过编程实现硬件信息的读取和写入功能，在修改时涉及到的任何读出和写入操作均在其独立地址中进行，保证了信息的唯一性，避免了信息更新不及时、或因为多个的存储空间导致的信息读取错误等情况出现。

步骤S2：启动由硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取信道信息中输出点的输出值。

步骤S3：根据输出值确定模拟CMP设备的运行状况，输出值存放于模拟共享内存中。

具体地，本发明实施例中，在模拟运行之前，首先在步骤S1中根据历史数据配置了正常运行状态下的运行数值，其运行数值的输入值和理论输出值，均是已知的。因此在模拟CMP设备启动后，通过判断监控芯片的监控的各输出点位的输出值是否在理论正常范围即可完成模拟CMP设备运转情况的测试，将输出值保存在模拟共享内存中，当输出值发生更新时，可以确保输出值保持最新且唯一。同时保持目前的正常运行状态，以便于进行后续监控报警功能是否在正常运行状态发生变化的情况下，进行报警。

步骤S4：在模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个运行数值为异常值，并根据输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。具体地，由于CMP设备的精密性，往往设备上安装了各类监控硬件运行状态的监控芯片，以便于在设备出现异常时，及时报警。在上述步骤S2启动模拟程序之后，在确保CMP设备正常运行的情况下，即初始运行数值和硬件模组的配置都没问题，通过手动修改模拟共享内存中的任意一个或多个运行数值，验证模拟的CMP设备其监控报警功能是否正常，测试监控报警功能的响应速度。例如，将共享内存中的流量设定值修改为异常值，此时各个输出点的输出值也随之发生变化，将变化后得到的新输出值替换模拟共享内存中的初始输出值，并将新输出值与预设阈值进行比对判断监控报警功能的好坏。

具体地，在一实施例中，当新输出值大于预设阈值时，监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息(响应符合要求)，则得到监控报警功能正常的测试结果；当新输出值大于预设阈值时，监控报警功能未在预设时间内发出报警信息(响应不符合要求)，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出调整信道信息和硬件模组中的监控模组的通知。即新输出值超过预设阈值时，则说明CMP设备发生了异常，此时通过判断监控报警功能是否及时发出了报警，即完成了一次监控报警功能的测试。若监控报警功能，没有在规定的时间内发出报警，系统指导进行问题的汇总分析，由于设备能够进行正常运转，因此涉及到抛光工作的硬件模组和运行数值初始配置均没问题，考虑导致不报警的原因为模拟监控芯片的监控模组在配置时配置错误，使得监控硬件不能正常运行；以及/或者是用于监控芯片通信的信道信息配置错误，导致报警信号不能正常传递；以及/或者是由于预设阈值设置的太高，以至于系统没有判定当前输出值异常。从而通知工程人员进行CMP硬件设备的检修。具体地的，本发明实施例提供的CMP设备模拟测试方法，还可以通过改变不同部分的运行数值例如：温度、流量、转速等，可以实现多个部分的监控预警功能的测试，完善了CMP设备模拟测试对监控报警功能的测试功能。

具体地，在一实施例中，本发明实施例提供的一种CMP设备模拟测试方法，还包括如下步骤：

步骤S5：在模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个硬件模组中的硬件参数，并根据输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。具体地，在CMP设备中，监控芯片不仅可以监控其软件侧发生的变化，也可以监控硬件零件侧发生的异常，例如，在CMP流量控制电路中的某一个电阻发生了损坏，其电阻值会发生变化，因此导致新输出值异常，从而发出报警。

具体地，当新输出值大于预设阈值时，监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果；当新输出值大于预设阈值时，监控报警功能未在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出调整硬件信息的通知。即新输出值超过预设阈值时，则说明CMP设备发生了异常，此时通过判断监控报警功能是否及时发出了报警，即完成了一次监控报警功能的测试。若监控报警功能，没有在规定的时间内发出报警，考虑到相比正常运行状态，同步骤S4的原因分析，其原因可能在监控模组和/或信道信息和/或预设阈值之中。从而通知工程人员进行硬件信息的检查和调整，进一步完善了CMP设备模拟测试对监控报警功能的测试功能。

具体地，在一实施例中，本发明实施例提供的测试方法，还包括如下步骤：

步骤S6：在模拟CMP设备运行状况不正常的情况下，判断监控报警功能能否在预设时间内发出报警信息。

具体地，当配置好初始硬件模组和硬件信息后，启动CMP模拟设备，根据输出值判断是否能够正常运行，若开机运行其输出值就被发现异常，监控报警功能理应报警，但是在模拟CMP设备不能在预设时间内发出报警信息的情况下，其初始硬件模组和硬件信息的配置可能发生错误，导致监控报警功能工作异常，因此发出调整硬件模组和硬件信息的通知，从而通知测试人员对模拟CMP设备进行检查并重新配置。

具体地，在一实施例中，在上述步骤S4和S5中，在得到监控报警功能正常的测试结果之后，还包括：

步骤S7：监测在发出报警信息的同时是否能够停止模拟，以及能否启动晶圆保护功能。具体地，CMP设备除常用的监控报警功能外，一般还具备报警后的应急防护功能，而传统使用宏定义进行软件测试的方法不能对应急防护功能进行测试，只能通过生产出来的CMP实体设备进行应急防护功能的测试，一旦发生问题再去分析原因，降低了测试效率。因此本发明实施例中添加了对CMP设备应急防护措施的测试功能，由于工程人员不是时刻都站在CMP设备前的，巡检需要一定的时间，所以当报警发生时，需要测试模拟的CMP设备是否立即停机，以阻止异常进一步恶化。之后还需监测CMP设备出现异常时，用于将抛光中的晶圆立即封闭的晶圆保护功能是否启动。若在报警信息发出的同时，CMP设备及时停机，并且晶圆保护功能顺利启动，即认为测试的CMP设备应急防护功能完好。

具体地，在一实施例中，在上述步骤S7之后，还包括：

步骤S8：工程人员在接收到报警信息后恢复故障部分，并在恢复完成后继续运行模拟CMP设备时，检测当前硬件模组和当前硬件信息是否与停机前正常运行状态下的情况相同，并报告其中不同的部分。

具体地，在CMP设备模拟过程中，当工程人员收到报警信息后，从而对事先手动调整的异常部分进行恢复，对应模拟了CMP设备在实际过程中的检修。由于CMP设备在故障检修时候，可能由于工程人员的误操作，导致变更了运行数值使其与正常运行标准不同，例如抛光角度、位置、转向等因素发生了变动，与停机前不一致。从而在复机时出现错误抛光，导致半导体器件作废。为了避免上述情况产生的浪费，在CMP设备重启时，要测试当前硬件模组和当前硬件信息是否与停机前正常运行状态下的情况相同，以免出现错误复机的情况，从而测试故障复机后软件系统的调度是否正常。若不同，需要继续测试CMP设备是否自动纠正硬件模组和硬件信息到停机前的正常状态，以便于正常复机。在测试结果中，当发现当前硬件模组和当前硬件信息与正常状态不同，且CMP设备没有自动纠正时，发送报告信息给工程人员报告其中不同的部分，以便于工程人员进行检修和调试。

通过执行上述各个步骤，本发明实施例提供的一种CMP设备模拟测试方法，包括：通过硬件模组搭建CMP设备模型，之后配置CMP模型所需的硬件信息，其中硬件信息包括CMP设备运行过程中用于数据传输的信道信息和用于设置温度、压力、流量、转速等条件的运行数值。同时将CMP设备模型的硬件型号、大小等参数以及硬件信息存入到模拟共享内存中，从而利用模拟共享内存保证了硬件信息和硬件模组的参数唯一性，即任何读取和写入操作均在模拟共享内存中进行，使得模拟贡献内存中的信息在各个存储地址中是最新且唯一的，避免了设备模拟过程中出现读取或写入信息错误的情况。之后根据上述搭建的模型和初始硬件信息启动模拟程序，实现了模拟CMP设备的正常运转情况的测试。之后通过修改模拟共享内存中的硬件信息和/或硬件模组的硬件型号、大小等参数，实现在软件和/或硬件零件出现异常的情况下，监控功能是否及时响应的测试，此外本发明实施提供的测试方法，还提供了监控功能在正常前提下的应急保护措施和能否正常复机功能的测试，完善了CMP设备模拟测试的功能模块。

如图3所示，本实施例还提供了一种CMP设备模拟测试系统，应用于电子设备，该系统包括：

设备搭建模块101，初始化硬件模组，并配置硬件模组的硬件信息；硬件信息至少包括信道信息和运行数值，硬件模组与硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性。详细内容参见上述方法实施例中步骤S1的相关描述，在此不再进行赘述。

设备状态获取模块102，启动由硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取信道信息中输出点的输出值。详细内容参见上述方法实施例中步骤S2的相关描述，在此不再进行赘述。

设备状态诊断模块103，根据输出值确定模拟CMP设备的运行状况，输出值存放于模拟共享内存中。详细内容参见上述方法实施例中步骤S3的相关描述，在此不再进行赘述。

监控功能测试模块104，在模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个运行数值为异常值，并根据输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。详细内容参见上述方法实施例中步骤S4的相关描述，在此不再进行赘述。本发明实施例提供的一种CMP设备模拟测试系统，用于执行上述实施例提供的一种CMP设备模拟测试方法，其实现方式与原理相同，详细内容参见上述方法实施例的相关描述，不再赘述。

图4示出了本发明实施例的一种电子设备，该设备包括：处理器901和存储器902，可以通过总线或者其他方式连接，图4中以通过总线连接为例。

处理器901可以为中央处理器(Central Processing Unit，CPU)。处理器901还可以为其他通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等芯片，或者上述各类芯片的组合。

存储器902作为一种非暂态计算机可读存储介质，可用于存储非暂态软件程序、非暂态计算机可执行程序以及模块，如上述方法实施例中的方法所对应的程序指令/模块。处理器901通过运行存储在存储器902中的非暂态软件程序、指令以及模块，从而执行处理器的各种功能应用以及数据处理，即实现上述方法实施例中的方法。

存储器902可以包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需要的应用程序；存储数据区可存储处理器901所创建的数据等。此外，存储器902可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非暂态存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非暂态固态存储器件。在一些实施例中，存储器902可选包括相对于处理器901远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至处理器901。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。

一个或者多个模块存储在存储器902中，当被处理器901执行时，执行上述方法实施例中的方法。

上述电子设备具体细节可以对应参阅上述方法实施例中对应的相关描述和效果进行理解，此处不再赘述。

本领域技术人员可以理解，实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，实现的程序可存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，存储介质可为磁碟、光盘、只读存储记忆体(Read-Only Memory，ROM)、随机存储记忆体(Random Access Memory，RAM)、快闪存储器(Flash Memory)、硬盘(Hard Disk Drive，缩写：HDD)或固态硬盘(Solid-State Drive，SSD)等；存储介质还可以包括上述种类的存储器的组合。

虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (10)

1.一种CMP设备模拟测试方法，其特征在于，所述方法包括：

初始化硬件模组，并配置所述硬件模组的硬件信息,所述硬件信息至少包括信道信息和运行数值，所述硬件模组与所述硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性；

启动由所述硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取所述信道信息中输出点的输出值；

根据所述输出值确定所述模拟CMP设备的运行状况，所述输出值存放于所述模拟共享内存中；

在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况，包括：

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果；

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能未在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出检查所述信道信息、预设阈值和所述硬件模组中监控模组的通知。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述硬件模组中的硬件参数，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述修改至少一个所述硬件模组中的硬件参数，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况，包括：

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果；

当所述新输出值大于预设阈值时，所述监控报警功能未在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能故障的测试结果，并发出检查所述信道信息、预设阈值和所述硬件模组中监控模组的通知。

5.根据权利要求2或4所述的方法，其特征在于，在所述监控报警功能可以在预设时间内发出报警信息，则得到监控报警功能正常的测试结果之后，还包括：

监测在发出所述报警信息的同时是否能够停止模拟，以及能否启动晶圆保护功能。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，工程人员在接收到所述报警信息后恢复故障部分，并在恢复完成后继续运行模拟CMP设备时，包括：

检测当前硬件模组和当前硬件信息是否与停机前正常运行状态下的情况相同，并报告其中不同的部分。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述模拟CMP设备运行状况不正常的情况下，判断所述监控报警功能能否在预设时间内发出报警信息；

在所述模拟CMP设备不能在预设时间内发出报警信息的情况下，发出调整所述硬件模组和所述硬件信息的通知。

8.一种CMP设备模拟测试系统，其特征在于，所述系统包括：

设备搭建模块，初始化硬件模组，并配置所述硬件模组的硬件信息；所述硬件信息至少包括信道信息和运行数值，所述硬件模组与所述硬件信息存放于模拟共享内存中以保证信息的唯一性；

设备状态获取模块，启动由所述硬件模组搭建的模拟CMP设备，并获取所述信道信息中输出点的输出值；

设备状态诊断模块，根据所述输出值确定所述模拟CMP设备的运行状况，所述输出值存放于所述模拟共享内存中；

监控功能测试模块，在所述模拟CMP设备运行状况正常的情况下，修改至少一个所述运行数值为异常值，并根据所述输出点的新输出值检测监控报警功能的响应情况。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

存储器和处理器，所述存储器和所述处理器之间互相通信连接，所述存储器中存储有计算机指令，所述处理器通过执行所述计算机指令，从而执行如权利要求1-7任一项所述的方法。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机从而执行如权利要求1-7任一项所述的方法。

Images