CN113494865B - 具有变形网状体结构的热接地平面 - Google Patents

Abstract

本发明主要揭示一种具有变形网状体结构的热接地平面，其包括：一第一壳层以及一第二壳层，且所述第一壳层与所述第二壳层的外缘是彼此相连接。所述热接地平面包括设置于该第一壳层与该第二壳层之间的一工作流体。再者，所述热接地平面亦包括设置于该第一壳层与该第二壳层之间的一可渗透的毛细结构以及设置于该第一壳层与该可渗透的毛细结构之间的一变形网状体。其中，所述变形网状体包括具有多个第一网状部以及多个第二网状部的一网格，且所述第一网状部形成多个蒸汽通道，所述第二网状部形成多个液体通道。

Description

具有变形网状体结构的热接地平面

技术领域

本发明是关于均温板及其结构的技术领域，特别是指一种具有变形网状体 结构的热接地平面。

背景技术

由于电子装置的零件朝高集成度(higher integration)发展以及其高效率的 发展，造成电子装置对于散热效率的需求亦随之提升。同样地，电子装置的小 型化发展亦导致其发热密度的提升。可想而知的是，如何提升朝向小型化及优 化发展的智能手机、电动车与其他电子产品的散热效率日益重要。

有鉴于此，本发明的创作人极力加以研究创作，而终于研发完成本发明的 一种具有变形网状体结构的热接地平面。

发明内容

本发明的具有变形网状体结构的热接地平面包括：一第一壳层以及一第二 壳层，且其外缘是彼此相连接。所述热接地平面包括设置于该第一壳层与该第 二壳层之间的一工作流体。再者，所述热接地平面亦可包括设置于该第一壳层 与该第二壳层之间的一可渗透的毛细结构以及设置于该第一壳层与该可渗透 的毛细结构之间的一变形网状体。其中，所述变形网状体包括具有多个第一网状部的一网格以及具有多个第二网状部，且所述第一网状部形成多个蒸汽通道， 且所述第二网状部形成多个液体通道。

于本案的发明人提供的其一实施例之中，所述第一网状部包括多个互相编 织的纤维体。此外，所述第一网状部包括多层网状层。于本发明的热接地平面 的其一实施例中，所述第一网状部为被压缩的网状部。所述第一网状部包括呈 阵列排列的多个第二网状部。另一方面，所述变形网状体包括具有一第一表面 以及包括多个支柱(pillars)或多个脊部的第二表面的一网状，且所述第一表面 为大致上(substantially)平坦。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，该变形网状体是设置于该 第一壳层与该第二壳层之间且其第二表面是面向该第一壳层。于部分实施例之 中，该变形网状体是设置于该第一壳层与该第二壳层之间且其第二表面是面向 该可渗透的毛细结构。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述热接地平面包括一平 面网状体，是设置于该变形网状体与该可渗透的毛细结构之间。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述可渗透的毛细结构包 括多个支柱。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述变形网状体还包括一 内脉管(internal artery)。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述变形网状体包括具有 一第一孔径(pore size)的一第一网状层(first mesh layer)以及具有不同于该第一 孔径的一第二孔径的一第二网状层。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述可渗透的毛细结构包 括一金属聚合物纤维、金属涂层聚合物纤维、陶瓷涂层聚合物纤维、原子层沉 积(ALD)涂层聚合物纤维、铜涂层钢、铜涂层不锈钢。并且，所述可渗透的毛 细结构由下列任一者所组成：一编织网状、一非编织网状、多个支柱、多个粒子、至少一网状、多个通道、多个微米支柱、多个微米通道。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述热接地平面包括：一 第一壳层以及一第二壳层，且其外缘是彼此相连接。一工作流体设置于该第一 壳层与该第二壳层之间。所述热接地平面可包括设置于该第一壳层与该第二壳 层之间的多个结构体。其中，每一多个结构体之中包括一网状结构体(mesh structure)以及设置于该网状结构体之中的一内脉管。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述结构体(structure)包 括多个网状层(mesh layers)。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述内脉管从一第一壳 (firstcasing)延伸至一第二壳(second casing)。所述内脉管被该网状结构体所包 围。每一内脉管是沿着对应的网状结构体的整体长度所延伸。于部分实施例之 中，所述内脉管(internal artery)包括多个设置于每一该网状结构体的微细内管 (internalarteries)。

于本发明的所述热接地平面的部分实施例之中，所述热接地平面包括设置 于至少二网状结构体(mesh structure)之间的一第二网状体(mesh)，且所述第二 网状体包括具有比所述网状结构体更高的渗透性的一网状体(mesh)。

附图说明

图1是显示本发明的一种热接地平面的第一实施例的示意图；

图2是显示本发明的热接地平面的第二实施例的示意图；

图3A是显示本发明的热接地平面的第三实施例的示意图；

图3B是显示本发明的热接地平面的第四实施例的示意图；

图4A与4B是显示变形网状体(deformed mesh)的变形示意图；

图5A是显示本发明的热接地平面的第五实施例的示意图；

图5B是显示本发明的热接地平面的第六实施例的示意图；

图6A是显示本发明的热接地平面的第七实施例的示意图；

图6B是显示本发明的热接地平面的第五实施例的另一实施态样的示意图；

图7A是显示本发明的热接地平面的第八实施例的示意图；

图7B是显示本发明的热接地平面的第九实施例的示意图；

图8A是显示本发明的热接地平面的第十实施例的侧视图；

图8B是显示蒸汽结构(vapor structure)的制程示意图；

图9A是显示本发明的热接地平面的第十一实施例的侧视图；

图9B是显示本发明的热接地平面的第十一实施例的俯视图；

图10A、图10B与10C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程示意图；

图11A是显示本发明的热接地平面的第十二实施例的侧视图；

图11B是显示本发明的热接地平面的第十三实施例的侧视图；

图12A是显示本发明的热接地平面的第十三实施例的另一实施态样的侧 视图；

图12B是显示本发明的热接地平面的第十四实施例的侧视图；

图13A、图13B与13C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程示意图；

图14是显示本发明的热接地平面的第十五实施例的侧视图；

图15A至15E是显示吸液芯(liquid wick)的制程示意图；

图16A是显示本发明的热接地平面的第十六实施例的侧视图；

图16B是显示本发明的热接地平面的第十六实施例的立体图；

图17A、图17B与17C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程示意图；

图18A是显示本发明的热接地平面的第十七实施例的侧视图；

图18B与18C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程示意图；

图19A是显示本发明的热接地平面的第十八实施例的侧视图；

图19B与19C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程示意图；

图20A是显示本发明的热接地平面的第十九实施例的侧视图；

图20B是显示本发明的热接地平面的第十九实施例的俯视图；

图20C是显示本发明的热接地平面的第十九实施例的另一实施态样的侧 视图；

图21A是显示本发明的热接地平面的第二十实施例的侧视图；

图21B是显示本发明的热接地平面的第二十实施例的俯视图；

图22A与图22B是显示本发明的热接地平面的第二十一实施例的侧视图 与俯视图；

图23A与图23B是显示本发明的热接地平面的第二十二实施例的侧视图 与俯视图；

图24A与图24B是显示本发明的热接地平面的第二十二实施例的另一实 施态样的侧视图与俯视图；

图25是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例的俯视图；

图26A是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着A线的侧视图；

图26B是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着B线的侧视图；

图26C是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着C线的侧视图；

图27A是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着A线的侧视图；

图27B是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着B线的侧视图；

图27C是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着C线的侧视图；

图28A是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着A线的侧视图；

图28B是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着B线的侧视图；

图28C是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着C线的侧视图；

图29A是显示本发明的热接地平面的第二十六实施例的侧视图；

图29B是显示本发明的热接地平面的第二十六实施例的另一实施态样的 侧视图；

图30是显示本发明的热接地平面的第二十七实施例的俯视图；

图31是显示本发明的热接地平面的第二十七实施例的另一实施态样的侧 视图；

图32A是显示本发明的热接地平面的第二十八实施例的侧视图；

图32B是显示本发明的热接地平面的第二十九实施例的侧视图；

图33A、33B、33C是显示本发明的热接地平面的第二十九实施例的制程 示意图；

图34A、34B、34C是显示本发明的热接地平面的第三十实施例的侧视图；

图35A是显示本发明的热接地平面具有高渗透与低渗透区域的俯视图；

图35B是显示本发明的热接地平面具有高渗透与低渗透区域的侧视图；

图36A与图36B是显示本发明的热接地平面的第三十一实施例的侧视图；

图37A与图37B是显示本发明的热接地平面的第三十二与第三十三实施 例的侧视图；以及

图38是显示本发明的热接地平面的第三十四实施例的侧视图。

【符号说明】

100、200、300、350、500、550、600、700、800:热接地平面

900、1100、1150、1200、1250、1400、1600、1800:热接地平面

2000、2050、2100、2200、2300、2400、2500、2700:热接地平面

2730、2760、2800、2830、2860、2900、2950:热接地平面

3000、3100、3200、3250、3600、3650、3700、3800:热接地平面

110:第一壳层

115:第二壳层

120、2005、3265:液体结构体

125、3255:蒸汽结构体

130:蒸发区

135:冷凝区(condensation region)

140:密封部(sealant)

210、1110、1415:平面网状体(planar mesh)

305、902、1205、1605、2910、3210、3805、3810:变形网状体

310、505、820、1115、1310:支柱

315:粒子状材料

405、860、1005、1305:上压合单元

410、865、1010、1310:下压合单元

510、1105、1505:网状体

515:粒子结构

520:网状部

525、3215:粒子

610:纹理化表面

705:固态壁

805:折叠网格

810:折叠处

905、1205:第一网状部

910:第二网状部

915、1215、1225、2010、2915:蒸汽通道

920:可渗透的毛细结构

1015、1315:未变形网格

1120:壁

1210、1220:液体通道

1405:第一变形网状体

1410:第二变形网状体

1610、1620:网格状柱体

1615、1625:间隔

1635:小变形体

190、1805、1905:底层

1810、1910:锯齿部

1915:软质件

2005、2015:网状结构体

2215:蒸气支撑柱

2115:网状支撑柱

2310:间隔

2335:箭头

2605:底部网状层

2705、2805、2840:封盖网

2820:底部网状体

2810:障壁部

2905、2905A、2905B、3110:内脉管

2910A、2910B:变形网状结构体

3005:网状部

3205:蒸汽芯

3260、3270:结构体

3305:模板

3400:吸液芯结构体

3410:低渗透区域

3415:高渗透区域

3420:气泡

3605、3610:烧结颗粒结构

3660:微米柱

3705:防渗透墙

3710:渗透网状体

具体实施方式

为了能够更清楚地描述本发明所提出的一种具有变形网状体结构的热接 地平面，以下将配合附图，详尽说明本发明的较佳实施例。

本发明揭示一种热接地平面，且其包括一第一壳层(例如：第一壳层)、一 第二壳层(例如：底层)、液体结构体(liquid structures)、以及蒸汽结构体(vapor structures)。所述液体结构体及/或所述蒸汽结构体包括一变形结构体(deformed structure)。

继续地说明本案的技术特征，所述热接地平面为一种均温板(vapor chamber)，且其第一壳层与第二壳层形成一密封垫(hermetic seal)。其中，其密 封区域为吸收液体的吸液芯结构(wick)。所述液体其气相饱和且达到热平衡，且所述蒸汽可渗透至被一些蒸汽结构所支撑的一腔体(cavity)。当热量产生于任 何一处，所述液体蒸发且部分的蒸汽(vapor)温度被提升。提升温度的结果带来 同区域的压力增加，造成蒸汽的流体流离高压区域，进而通过对流(convection) 现象将热量带走。当蒸汽冷凝时所述热量被带离蒸汽核心处且被带至温度较低 处，且冷凝的蒸汽通过吸液芯结构的毛细作用力被拉回至较热区域。对流现象 的应用令本发明的热接地平面(Thermal ground plane)系统达到高热量的传递于低温度的渐变，进而具有高效率的热导率(Thermal conductivity)。所述于吸液 芯结构的毛细作用力(capillary forces)的值是足够高以克服所述吸液芯结构之 中的任何该阻力(drag force)，所述阻力是存在于汽相之中，且其压降与相变转 换及流体静力的重力有关。并且，所述阻力受液体的热物质特性、吸液芯结构 的有效渗透率以及蒸汽核心结构影响。

于本发明的部分实施例之中，所述热接地平面可包括一工作流体(workingfluid)。且所述工作流体在一大气压力之下，且设置于所述第一壳与所述第二 壳之间可能产生于一汽液相变(gas-liquid phase change)。举例来说，所述工作 流体可包括：水、酒精、碳氟化合物(fluorocarbon)的替代物或其相似成分。所 述碳氟化合物的替代物是遵守美国国家环境保护署(Environmental Protection Agency,EPA)所公布的清单。于部分实施例之中，所述工作流体为水性化合物或水。请参阅图1，图1是显示本发明的一种热接地平面的第一实施例的示意 图。于此实施例之中，热接地平面(Thermal ground plane,TGP)100包括一第一壳层110、一第二壳层115、一液体结构体120及/或一蒸汽结构体125。举例来说，所述热接地平面100可以与水或其他冷却介质的蒸发、蒸汽传输、冷凝 且/或液体回流以于蒸发区130以及冷凝区135之间进行热传递。所述第一壳 层110可包含下列任一者：铜、聚酰亚胺、涂覆聚合物的铜、包铜的聚醚亚胺 等等。所述第二壳层115可包含下列任一者：铜、聚酰亚胺、涂覆聚合物的铜、包铜的聚醚亚胺等等。于部分实施例之中，该热接地平面100的所述第一壳层 110与所述第二壳层115是透过焊接、激光焊接，超声波焊接，静电焊接或热 压压缩或密封部140被密封起来。于部分实施例之中，该热接地平面100的所 述第一壳层110以及所述第二壳层115包含相同或不同的材料。

承上述，所述蒸发区130与所述冷凝区135可设置于同一层。所述第一壳 层110设置于该第二壳层115之上。又或者是，所述蒸发区130与所述冷凝区 135是分别被设置于不同层的所述第一壳层110以及所述第二壳层115。

承上述，于部分实施例之中，所述蒸汽结构体125及/或所述液体结构体 120可成形于一初始结构体(例如，一网状体)，且所述初始结构体被变形于多 样几何形状以增加热传导、液体渗透率、吸液芯结构的孔径、热传导效率、有 效蒸发的热传导系数且/或有效冷凝的热传导系数。于部分实施例之中，所述 初始结构体可包括多个层网状体(mesh)。

承上述，于部分实施例之中，所述第一壳层110的外缘与所述第二壳层 115的外缘是互相密封(例如；气密密封)。

图2是显示本发明的热接地平面的第二实施例的示意图。图2是为一热接 地平面200，包括一蒸汽结构体125、一液体结构体120、以及设置于该蒸汽 结构体125以及该液体结构体120之间的一平面网状体(planar mesh)210。于部 分实施例之中，所述平面网状体210可提升毛细效果(capillary effect)、渗透效 果或液气之间相变的热传导。

承上述，所述平面网状体210可包括一编织网状体或一非编织网状体。所 述平面网状体210可包括金属聚合物、具金属涂层的聚合物、具陶瓷涂层的聚 合物、原子层沉积镀膜的聚合物、镀铜钢、镀铜不锈钢等等。所述非编织网状体可包括一网状体其纤维为随机分布于其上。所述非编织网状体包括一薄片 (sheet)，且所述薄片蚀刻有依序/非依序的多个孔洞阵列。所述薄片为金属或聚 合物。所述编织网状体(woven mesh)包括多个依序分布的纤维体。

承上述，所述液体结构体120可包括一多孔结构(porous structure)。于部 分实施例之中，所述液体结构体120产生毛细压力，使液体流过所述液体结构 体120。

承上述，所述平面网状体210区隔开所述蒸汽结构体125以及所述液体结 构体120。所述平面网状体210可提升毛细效果(capillary effect)、渗透效果或 液汽之间相变的热传导。

承上述，一网状体(mesh)可包括一编织网状体或一非编织网状体。一网状 体可包括金属聚合物、具金属涂层的聚合物、具陶瓷涂层的聚合物、原子层沉 积镀膜的聚合物、镀铜钢、镀铜不锈钢等等。一非编织网状体可包括一网状体 其纤维为随机分布于其上。一非编织网状体亦可包括一薄片(sheet)，且所述薄 片蚀刻有依序/非依序的多个孔洞阵列。所述薄片为金属或聚合物。所述编织网状体(woven mesh)包括多个依序分布的纤维体。

图3A是显示本发明的热接地平面的第三实施例的示意图。图3A是为一 热接地平面300。所述蒸汽结构体125包括一变形网状体305(deformed mesh)。 所述变形网状体305包括被变形以形成多个支柱(pillar)310的一平板件。所述 多个支柱310可包含多个波纹状支柱。大部分或每一个支柱是自该第一壳层 110延伸至所述平面网状体210。于部分实施例之中，蒸汽(vapor)流动于该多 个支柱310之间。于部分实施例之中，所述变形网状体305包括可变形成一形 状且可支撑蒸汽腔(vapor cavity)的任何一材质。于部分实施例之中，所述变形 网状体305包括下列任一者：铜、钢、镀铜钢、其他金属、具铜涂层的聚合物、 具陶瓷涂层的聚合物、具陶瓷涂层的金属。于部分实施例之中，所述变形网状 体305被铜所封装。

承上述，于部分实施例之中，所述变形网状体305为一固体。于部分实施 例之中，所述变形网状体305呈多孔状。如此一来，蒸汽可流动于所述第一壳 层110与所述变形网状体305之间的腔体。

承上述，请参阅图3B，是显示本发明的热接地平面的第三实施例的示意 图。所述支柱310被粒子状材料315支撑于上方、下方或上下两方。如图3B 所示，所述粒子状材料315设置于形成所述支柱310的变形处。

承上述，于部分实施例之中，所述支柱310透过按压成柱状的样子以形成 所述变形网状体305。所述变形网状体305可经历非弹性或塑形变形(plastic deformation)。请参阅图4A与图4B，是显示变形网状体的变形示意图。如图 4A与图4B所示，于变形之前，所述变形网状体305为一平板状且放置于一 上压合板405以及一下压合板410之间。该上压合板405包括多个凸出延伸部， 且所述下压合板410包括对应的多个凹槽。如图4B所示，所述上压合板405 与所述下压合板410被互相压合以形成所述变形网状体305。

图5A是显示本发明的热接地平面的第五实施例的示意图。如图5A所示 的热接地平面500包括有液体结构体120、一网状体510以及一可渗透的毛细 结构。于部分实施例之中，所述网状体510包括具有多个孔洞的材料。所述多 个孔洞具有小于40微米的一直径。所述网状体510透过电镀法、超音波热压 接合、热压接合被粘合于所述可渗透的毛细结构。于部分实施例之中，展平的 一编织网状体可透过电镀法或蚀刻平面构件形成而成所述网状体510。于部分 实施例之中，所述网状体510包括下列任一者：铜、聚酰亚胺、聚酯、聚碳酸酯、玻璃、其他金属、其他聚合物、或其他陶瓷。于部分实施例之中，所述网 状体510呈大致上平坦状。

承上述，于部分实施例之中，所述可渗透的毛细结构包括设置于该第二壳 层115上的多个支柱505。举例来说，该多个支柱505为多个微米柱，且该多 个支柱505是透过机械划线(mechanical scribing)、铣削、化学蚀刻、光刻、蚀 刻且/或电镀所形成的。

承上述，所述热接地平面500包括一蒸汽结构体125，且所述蒸汽结构体 125包括多个粒子结构515。其中，每一粒子结构515包括多个粒子，且该多 个粒子可包含多个烧结粒子。

图5B是显示本发明的热接地平面的第六实施例的示意图。如图5B所示， 该热接地平面550还包括一液体结构体120、一网状体510以及一可渗透的毛 细结构。所述可渗透的毛细结构包括多个粒子525，且所述粒子包括铜、玻璃、 金属、其他陶瓷、或复合材料。

图6A是显示本发明的热接地平面的第七实施例的示意图。如图6A所示， 该热接地平面600包括一液体结构体120、一网状体510以及一可渗透的毛细 结构。所述可渗透的毛细结构包括至少一网状部520(meshes)。

图6B是显示本发明的热接地平面的第五实施例的另一实施态样的示意图。 如图6B所示，该热接地平面650包括一液体结构体120、一网状体510以及 一可渗透的毛细结构。虽然图6B显示所述可渗透的毛细结构为多个支柱505， 但本案不应以此为限。举例来说，所述可渗透的毛细结构可为多个粒子结构 515以及至少一网状部520。所述网状体510可包括一纹理化表面610。于部 分实施例之中，所述网状体510的那侧纹理化表面610被纹理化处理且面向所 述蒸汽结构体125。所述纹理化表面610可透过纹理化表面的毛细作用力帮助将液体拉入至带纹理的区域，以增加热蒸发的面积。

承上述，当液体于一热接地平面(TGP)蒸发时，热量将流经汽-液界面。通 过延伸此汽-液界面的区域，蒸发热阻(thermal resistance of evaporation)将被降 低，于部分实施例之中，所述网状体510可在蒸汽侧处被纹理化处理一纹理化 表面610，进而透过纹理化的毛细作用力将液体从孔洞中拉至纹理化区域，以 增加此区域的热蒸发。于部分实施例之中，所述纹理化表面610可透过化学蚀 刻而形成，且所述网状体510透过不均匀蚀刻处理而形成。于部分实施例之中， 所述纹理化表面610可透过激光或机械划线所形成，另外，透过烧结粒子至平面网状体的表面或透过光刻，将平面网状体的图案画成非平面的特征。

图7A是显示本发明的热接地平面的第八实施例的示意图。如图7A所示， 该热接地平面700包括一外缘与一固态壁(solid wall)相结合的一网状体510。 举例来说，所述汽-液界面受限网状体510的网孔之中而无法沿着外缘形成。 所述汽-液界面的毛细作用力可防止蒸汽撞击于液体结构体120之中。于部分 实施例之中，所述固态壁705可包括多孔材质且其孔径相似于所述网状体510 的毛细管孔径。于部分实施例之中，所述固态壁705包括泡棉、烧结粒子、微 米柱、网状体等等。

图7B是显示本发明的热接地平面的第九实施例的示意图。如图7B所示， 该热接地平面700的网状体510的外缘是粘合于该第二壳层115。所述网状体 510包括至少一弯曲处，其弯曲处位于该网状体510的外缘用以连接该网状体 510与该第二壳层115。

图8A是显示本发明的热接地平面的第十实施例的侧视图。如图8A所示， 该热接地平面800使用一蒸汽结构体125，且包括网状体510的外缘是粘合于 该第二壳层115。所述网状体510包括一折叠网格805。于部分实施例之中， 所述折叠网格805以不均匀的方式被压缩或折叠成多个折叠处810，使得每一层材料皆具有不同的尺寸。于部分实施例之中，所述折叠网格805可包括任一 多孔材料或任一固体材料，且所述固体材料可于折叠前或折叠后被制成多孔状。 于部分实施例之中，所述折叠网格805被制成多层的网格。于部分实施例之中， 所述折叠处810于蒸汽结构体125之中形成多个肋条，且所述肋条沿着y轴方 向(即垂直于附图的方向)延伸。

承上述，图8B是显示蒸汽结构(vapor structure)的制程示意图。如图8B所 示，所述肋条透过沿着y轴方向间隔地压缩该折叠网格805被形成于所述支柱 820之中。透过一上压合单元860与一下压合单元865折叠或挤压所述折叠网 格805以形成所述支柱820。

图9A是显示本发明的热接地平面的第十一实施例的侧视图。如图9A所 示，该热接地平面900使用一变形网状体902，所述变形网状体902包括多个 第一网状部905以及多个第二网状部910。于部分实施例之中，所述第一网状 部905形成于模板(pattern)之中。

承上述，所述第一网状部905形成位于第二网状部910之间的多个蒸汽通 道915。所述变形网状体902设置于所述热接地平面900的一可渗透的毛细结 构920之中。所述变形网状体902包括编织与非编织网格。所述蒸汽通道915 可发生于所述第二网状部910与该第一壳层110之间的多个间隔之间。所述第 一网状部905且/或蒸汽通道可被制造于任何变形处理之中，其中，如图10A、 图10B与图10C所示的变形处理。

承上述，于部分实施例之中，所述变形网状体902包括多个层同类型的网 状体(例如，同织物密度或同孔径尺寸)彼此互相叠合而成或是多层不同类型的 网状体(例如，不同织物密度或不同孔径尺寸)彼此互相叠合而成。于部分实施 例之中，所述变形网状体902包括位于不同类型网状体的多个层间隔层。

承上述，于部分实施例之中，所述第二网状部910(例如，液体通道)包括 任一不同的结构，例如由图9B所示的多个支柱、细长通道(具有长方形截面)、 或突出物。于部分实施例之中，所述第二网状部910(例如，液体通道)的高度 是大于第一网状部905与可渗透的毛细结构920所加起来的厚度。于部分实施 例之中，该变形网状体902包括一平坦网状部，所述平坦网状部延伸至所述第 一网状部905的之间且/或每一所述第二网状部910之间。

图9B是显示本发明的热接地平面的第十一实施例的俯视图。所述第二网 状部910是以网格体之中未变形的部分呈一阵列所示。所述第二网状部910(例如，液体通道)包括宽度小于10、5、2、1或0.5毫米、且其中心相距小于10、 5、2、1或0.5毫米且/或其高度小于2、1、0.5、0.2或0.1毫米。所述第二网 状部910(例如，液体通道)包括方形、三角形、圆形、椭圆型或星形的横截面。

承上述，于部分实施例之中，所述第一网状部905透过上下压合单元压缩 多层网状体而形成。举例来说，如图10A、10B、10C所示的上下压合单元， 且所述上下压合单元是由铜、钢、其他金属、其他陶瓷物或聚合物所制成。

承上述，于部分实施例之中，所述第一网状部905被粘合至所述可渗透的 毛细结构920。于部分实施例之中，所述可渗透的毛细结构920为编织或非编 织网状层，如图11A所示可选择性搭配平面网状层。于部分实施例之中，所 述可渗透的毛细结构920包括多个支柱、多个粒子、至少一网状体、多个通道、 多个微米柱、多个微米通道等。

承上述，于部分实施例之中，所述第一网状部905被如图10A、10B、10C 所示的变形处理而制造、成形、或压缩。一上压合单元1005以及一下压合单 元1010压合至少一未变形网状体1015以制造出所述变形网状体902。

图11A是显示本发明的热接地平面的第十二实施例的侧视图。如图11A 所示，热接地平面1100使用一变形网状体902。该热接地平面1100包括一第 一网状部905、一平面网状体1110且/或一可渗透的毛细结构。所述平面网状 体1110可以确保第二网状部910的网格效果，以保持高毛细性能。于部分实施例之中，所述平面网状体1110的多个孔洞是小于包含第一网状部905的网 状体的孔洞。所述可渗透的毛细结构包括一网状体1105，其为编织网状体或 非编织网状体。

图11B是显示本发明的热接地平面的第十三实施例的侧视图。如图11B 所示，热接地平面1150使用一变形网状体902。该热接地平面1150包括一第 一网状部905、一平面网状体1110且/或包括设置于第二壳层115上的多个支 柱1115和多个壁1120的一可渗透的毛细结构。于部分实施例之中，所述壁 1120包括同形状、材质、尺寸等等的多个支柱，举例来说，所述壁1120可透 过热压纹所制成。所述壁1120可结合至多个支柱1115或部分的可渗透的毛细结构。所述壁1120可以确保高毛细压力可防止蒸汽(vapor)进入所述多个支柱 1115之中。

承上述，于部分实施例之中，所述第一网状部905可选择性地粘合至所述 第一壳层110。于部分实施例之中，所述第一网状部905可选择性地粘合至所 述第二壳层115。于部分实施例之中，上述粘合可以包括热压粘合、超音波热 压粘合、或电镀法等等。

图12A是显示本发明的热接地平面的第十三实施例的另一实施态样的侧 视图。如图12A所示，所述第一网状部905是相对于图11B所示的第一网状 部905的方向做翻转。所述第一网状部905的挤压部可放置或粘合至该第一壳 层110之上。所述第二网状部910(例如，液体通道)从该第一壳层110朝向平面网状体1110处且/或多个支柱115处延伸。所述第二网状部910(例如，液体 通道)的末端是耦合所述平面网状体1110。

图12B是显示本发明的热接地平面的第十四实施例的侧视图。如图12B 所示，热接地平面1220包括具有上方变形体与下方变形体的一变形网状体 1205。举例来说，所述上方变形体包括呈网状柱体的多个液体通道1210以及 位于网状柱体之间的空隙的一蒸汽通道1215。所述下方变形体包括呈网状柱 体的多个液体通道1210以及位于网状柱体之间的空隙的一蒸汽通道1215。

承上述，于部分实施例之中，所述变形网状体1205的多个层可包括具有 不同网状织法类型、编织密度、线材直径、或网状材料。于部分实施例之中， 下方变形体可与选择性压缩的上方变形体有相同或不同的方式去压缩。

承上述，图13A、13B、与13C是显示变形网状体(deformed mesh)的制程 示意图。所述变形网状体1205被如图13A、13B、与13C的变形处理所制成。 一上压合单元1305以及一下压合单元1310压合多个未变形网状体1315以制 成变形网状体1205。

图14是显示本发明的热接地平面的第十五实施例的侧视图。如图14所示， 热接地平面1400包括形成一蒸汽结构体的一第一变形网状体1405。所述第一 变形网状体1405是呈多层状。所述热接地平面1400包括形成一液体结构体一 第二变形网状体1410。所述第二变形网状体1410是呈多层状。一平面网状体 1415设置于该第一变形网状体1405与所述第二变形网状体1410之间。所述 平面网状体1415可以确保未压缩区域的网格效果以保持高毛细性能。

承上述，于部分实施例之中，所述第一变形网状体1405的变形体之间的 距离是大于所述第二变形网状体1410的变形体之间的距离。于部分实施例之 中，所述第一变形网状体1405的变形体的高度是大于所述第二变形网状体1410的变形体的高度。于部分实施例之中，所述第一变形网状体1405的变形 体的数量是小于所述第二变形网状体1410的变形体的数量。于部分实施例之 中，所述第一变形网状体1405包括一第一平坦网状部、多个第一网状部以及 多个第二网状部，所述多个第二网状部从该第一平坦网状部延伸向该第二壳层 115延伸。所述第二变形网状体1410包括一第二平坦网状部相对于该第一平 坦网状部设置、一第三网状部以及一第四网状部，所述第四网状部是从该第二 平坦网状部向该第一壳层110延伸至形成于该第一平坦网状部与该第一壳层 100之间的一间隔中。

图15A至15E是显示吸液芯(liquid wick)的制程示意图。如图15A所示， 制程开始于一网状体1505，且所述网状体1505呈平板状。所述网状体1505 如图15B之中被弄平。此外地，平面网状体透过光蚀刻、蚀刻或电镀，通过 模板蚀刻以选择性分解(例如，选择性腐蚀(de-alloying))等等。所述网状体 1505包含多个编织或非编织纤维。

承上述，所述网状体1505通过如图15C所示的上下侧冲压夹具被形成具 有多个支柱的样式。如图15D与图15E所示，所述网状体1505耦接于该第二 壳层115(或基板)。

图16A是显示本发明的热接地平面的第十六实施例的侧视图。如图16A 所示，热接地平面1600包括一变形网状体1605且其相似于具有上方变形体与 下方变形体的所述变形网状体1405。该上方变形体包括呈网格柱状的多个液 体通道1210以及位于网格状柱体之间的空隙的一蒸汽通道1215。所述下方变形体包括呈网格状柱体1610的多个液体通道以及位于所述网格状柱体1610 之间的空隙1615的一蒸汽通道。所述下方变形体包括呈网格状柱体1620的多 个液体通道以及位于所述网格状柱体1610之间的空隙1625的一蒸汽通道。

承上述，所述变形网状体1605包括由压缩所述变型网状体1605的压缩部 的小变形体1635。所述小变形体1635可延伸出相对于该变型网状体1605的 压缩部的平面。于部分实施例之中，所述变形网状体1605透过压缩、折叠、 蚀刻、电镀、粘贴等等的变形方式被图案化。

承上述，请参阅图17A、图17B与17C，是显示变形网状体的制程示意图。 所述变形网状体1605透过如图17A、17B、17C所示的压合方式而成形。请参 阅图18A，是显示本发明的热接地平面的第十七实施例的侧视图。如图18A 所示，热接地平面1800包括形成于一底层1805的一可渗透的毛细结构。所述 可渗透的毛细结构包括多个锯齿部1810，且所述锯齿部1810透过冷压合或热 压合所形成的，其形状如图18B与图18C所示。于部分实施例之中，所述底 层1805包括铜、聚合物、包铜聚合物、或其他弹性材料。一平面网状体210 设置于变形的该底层1805上。

承上述，请参阅图19A，是显示本发明的热接地平面的第十八实施例的侧 视图。如图19A所示，所述热接地平面1800还包括形成于一软质件1915的 一可渗透的毛细结构，且所述软质件1915设置于该底层190之上。所述可渗 透的毛细结构包括形成多个微米通道的多个锯齿部1910。于部分实施例之中，所述软质件1915包括氢退火铜(hydrogenannealing)、聚合物、热塑性聚酰亚胺、 聚砜聚合物、聚萘二甲酸乙二醇酯、覆铜聚合物或其他弹性材料。请参阅图 19B与19C，是显示变形网状体的制程示意图。如图19B与19C所示，所述 锯齿部1910透过冷压合或热压合将所述软质件1915压合成一形状所形成的。

承上述，请参阅图20A，是显示本发明的热接地平面的第十九实施例的侧 视图。热接地平面2000包括一网状结构体2005，且所述网状结构体2005是 来自变形网状体的未变形部分。多个蒸汽通道2010是透过变形网状体的未变形部以及一网状结构体2005所形成而成。所述网状结构体2005可延伸至该第 一壳层110

透过气相传输的物理学可以得知，蒸汽通道2010其蒸汽的压降与通道高 度的立方成比例。其为非线性现象，举例来说，当其蒸汽通道2010的高度是于部分区域被增加且平行气流的区域的高度被减少，则会造成一种净效益。而 所述蒸汽通道2010内的多个内脉管可符合此条件。所述网状结构体2005包括 彼此相互叠合的多个网状层。图20B是显示本发明的热接地平面的第十九实 施例的俯视图。

承上述，于部分实施例之中，所述蒸汽通道2010被限制于所述第一壳层 110、一网状层、以及至少一网状结构体2005的侧面。部分蒸汽通道2010也 受限制于所述导热板2000的边缘。

请参阅图21A与图21B，是显示本发明的热接地平面的第二十实施例的 侧视图与俯视图。所述液体结构体2005包括一网状支撑柱2115，且所述网状 支撑柱从液体结构体2005的顶面延伸至该第一壳层110。请参阅图22A与图 22B，是显示本发明的热接地平面的第二十一实施例的侧视图与俯视图。所述 液体结构体2005包括一网状支撑柱2115，且所述网状支撑柱从液体结构体 2005的顶面延伸至该第一壳层110。所述蒸汽通道2010包括一蒸气支撑柱 2215，且所述蒸汽支撑柱2215从所述蒸汽通道2010延伸至该第一壳层110。

请参阅图23A与图23B，是显示本发明的热接地平面的第二十二实施例 的侧视图与俯视图。热接地平面2300包括多个液体结构体2005，所述液体结 构体2005的部分延伸至该第一壳层110，且其另一部分未延伸至该第一壳层 110而具有多个间隔。如箭头2335所示，蒸汽沿着受限于液体结构2005的所 述蒸汽结构2010之中的内脉管流动。蒸汽亦可通过液体结构体2005之间的间 隔2310在所述蒸汽通道2010之中的内脉管流动。因此，液体流动于液体结构 体2005，且蒸汽透过所述间隔流过所述液体结构体2005。所述液体结构体2005的多个间隔2310非彼此对齐。于本实施例之中的热接地平面2400之中，所述 液体结构体2005之中的所述间隔2310非相当地彼此对齐。

请参阅图24A与图24B，是显示本发明的热接地平面的第二十二实施例 的另一实施态样的侧视图与俯视图。于本实施例之中，所述液体结构体2005 的所述间隔2310是彼此对齐。

请参阅图25，是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例的俯视图。 热接地平面2500包括多个不同排列的内脉管、液体结构体且/或蒸汽结构体。请参阅图26A，是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着A线的侧 视图。所述A线部分为所述蒸汽结构体2010包括一底部网状层以及所述液体结构体2005，且所述液体结构体2005延伸至该第一壳层110，或是延伸至靠 近该第一壳层110。举例来说，所述液体结构体2005包括多个网状支撑柱。 于部分实施例之中，所述蒸汽结构体2010受限于该第一壳层110、该底部网 状层2605以及至少一液体结构体2005的侧面。部分蒸汽通道2010也受限于 热接地平面2500的边缘。

请参阅图26B，是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着B线的 侧视图。沿着B线的此部分热接地平面2500包括设置于该第二壳层115之上 的一底部网状层2605。

请参阅图26C，是显示本发明的热接地平面的第二十三实施例沿着C线的 侧视图。沿着C线的此部分热接地平面2500无包括设置于第二壳层115之上 的底部网状层，且是包括该蒸汽通道2010以及该网状结构体2005。于部分实 施例之中，该底部网状层2605可包括多个烧结粒子、微米柱、与微米通道等 等。

承上述，于部分实施例之中，如图26A与图26B所示，一蒸发区(例如， 蒸发区130)设置于该热接地平面2500的一部分，或邻近于该热接地平面2500 的一部分。

请参阅图27A，是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着A线 的侧视图。本实施例的热接地平面2700是近似于图26A所示的热接地平面 2500，且其包括设置于该底部网状层2605之上的一封盖网2705。所述封盖网 2705的孔径是近似于该底部网状层2605的孔径且/或近似于包括该网状结构 体2005的网状体(mesh)的孔径。

请参阅图27B，是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着B线的 侧视图。本实施例的热接地平面2730是近似于图26B所示的热接地平面2500。 所述热接地平面2730包括设置于该底部网状层2605之上的一封盖网2705。 所述封盖网2705的孔径是小于该底部网状层2605的孔径。

请参阅图27C，是显示本发明的热接地平面的第二十四实施例沿着C线的 侧视图。本实施例的热接地平面2760是近似于图26C所示的热接地平面2500。 所述热接地平面2760包括设置一网状体之上的一封盖网2705，所述网状体包 括网状结构体2005。所述封盖网2705的孔径是小于包括该网状结构体2005 的网状体的孔径。

请参阅图28A，是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着A线 的侧视图。所述热接地平面2800包括设置于至少一底部网状体2820之上的一 封盖网2805。所述封盖网2805包括一个或多个障壁部2810。所述障壁部2810 围绕延伸至底部网状体2820的周围且/或网状结构体2005。于部分实施例之 中，所述障壁部2810由一固态材料或一具有小孔径尺寸(例如，孔径小于该封 盖网2805或底部网状体2820或所述网状结构体的任一网状体)的材料所制成， 如此所述封盖网2805的毛细作用力以及障壁部2810可一起预防或限制蒸汽 进入所述网状结构体2005之中。于部分实施例之中，所述障壁部2810可以是 一个简单互相连接的几何图形或是根据内脉管的设计具有许多切除区域。于部 分实施例之中，所述封盖网2805可提升贯穿面板方向的毛细作用力。

请参阅图28B，是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着B线的 侧视图。本实施例的热接地平面2830是近似于上述的热接地平面2760。所述 热接地平面2830包括设置于至少一底部网状体2820之上的一封盖网2840， 所述底部网状体2820包括该网状结构体2005的至少一部分。所述封盖网2840 亦耦接于所述第二壳层115。

请参阅图28C，是显示本发明的热接地平面的第二十五实施例沿着B线的 侧视图。本实施例的热接地平面2860是近似于上述的热接地平面2760。所述 热接地平面2830包括设置于至少一底部网状体2820之上的一封盖网2840， 所述底部网状体2820包括该网状结构体2005或整个液体结构体。所述封盖网2840耦接于该第二壳层115。于部分实施例之中，毛细作用力的值可能为一低 值，且/或特征之间的间隔(例如，网状结构体2005之间的孔洞间隔)为例如75、 100、150、200微米等等的大小。所述封盖网2840具有小特征尺寸，例如1、5、10、25、50微米等等，以制造较高的毛细压力。举例来说，所述网状结构体2005具有大约250微米的孔径尺寸，且所述封盖网2840具有大约50微米 的孔径尺寸。另一方面，所述网状结构体2005具有大约50微米的孔径尺寸， 而所述封盖网2840具有大约5至10微米的孔径尺寸。

请参阅图29A，是显示本发明的热接地平面的第二十六实施例的侧视图。 本实施例的热接地平面2900使用变形网状体2910以及多个内脉管2905。所 述变形网状体2910包括多个内脉管2905，且所述内脉管2905可允许流体的 高渗透性。所述内脉管2905被包括变形网状体2910的网状体所围绕。所述内 脉管2905亦可被多孔液体结构体所围绕；上述多孔液体结构体例如为烧结粒 子或微米柱等等。于部分实施例之中，所述内脉管2905的长度是沿着整体的 长度，或是沿着变形结构体2910的一大部分。

请参阅图29B，是显示本发明的热接地平面的第二十六实施例的另一实施 态样的侧视图。本实施例的热接地平面2950包括变形网状体2910以及多个内脉管2905。所述变形网状体包括从该第一壳层110延伸至该第二壳层115(或 延伸至一可渗透的毛细结构或一平面网状体)的所述内脉管2905。因此，所述 内脉管2905受限制所述液体结构体的一网状体所包围，所述第一壳层110、 所述第二壳层115且/或该液体结构体可以为烧结粒子、微米柱等等。

于部分实施例之中，所述内脉管2905可以提升热接地平面(TGP)的热阻 (thermalresistance)至两倍。

承上述，所述变形网状体2910以及所述内脉管2905可设置于一可渗透的 毛细结构的上方或下方。再者，一平面网状体设置于所述变形网状体2910与 该可渗透的毛细结构之间。

所述蒸汽通道2915可形成于多个变形网状体2910之间。请参阅图30， 是显示本发明的热接地平面的第二十七实施例的俯视图。本实施例的热接地平 面3000具有两个不同样式的变形网状结构体2910A、2910B。所述变形网状 结构体2910A可包括多个内脉管2905A，且所述内脉管2905A沿着所述变形 网状结构体2910A的长度所延伸。

所述变形网状结构体2910B可包括多个内脉管2905B非沿着变形网状结 构体2910B的整体长度所延伸。该多个内脉管之间有多个网状部3005。如此 设置，当蒸汽进入液体流动的开放区域之一时，可防止蒸汽沿着整个所述内脉 管而扩散。

请参阅图31，是显示本发明的热接地平面的第二十七实施例的另一实施 态样的侧视图。本实施例的热接地平面(TGP)3100使用所述变形网状体2910以及所述内脉管2905。于部分实施例之中，所述变形网状体2910包括多个内 脉管3110。该多个内脉管3110包括一吸液芯结构体3400，且所述吸液芯结 构体3400其孔隙率(porosity)高于其周围包括变形网状体2910的网状体的孔隙 率，例如支柱、粗网状、粒子等。所述内脉管3110从该第一壳层110延伸至 该第二壳层115。另一方面，所述内脉管3110也可以不从该第一壳层110延 伸至该第二壳层115。

请参阅图32A，是显示本发明的热接地平面的第二十八实施例的侧视图。 本实施例的热接地平面(TGP)3200使用一蒸汽芯3205，且所述蒸汽芯3205是 由一变形网状体3210的其中一层所形成的。另一方面，所述变形网状体3210 可包括单层。再者，所述变形网状体3210可包括一粗糙网状层(例如，一网状 层具有例如0.5、1.0、1.5、2.0、2.5毫米的孔径)。当蒸汽流通过多孔介质(例 如，一网状层)，其阻力且/或压降与流的水力半径(hydraulicradius)的平方成反比。如此一来，所述具有二小孔的变形网状层的阻力是高于仅具有一大孔的 变形网状层。除此之外，所述变形网状体3210可支撑所述蒸汽芯。

另一方面，所述变形网状体3210可以延伸至跨越所述第一壳层110与所 述平面网状体210之间的对角线，从而将流体分成两个区域，如此可增加流动 阻力。其中，所述变形网状体3210的一对角可以变形以让大部分流体流通具 有大孔的一蒸汽芯3205。另一方面，包含所述变形网状体3210的网状体的多 条丝线可再次变形已增加流动区域。于部分实施例之中，上述变形可促进流体流向单一方向，同时保持垂直方向上较高的流体阻力(flowresistance)。其中， 热接地平面的蒸汽芯可包括具有不同变形网状体3210的多个不同区域，以提 升蒸汽流于每一区域内沿不同方向流动。

于部分实施例之中，多个粒子3215设置于该变形网状体3210与该第一壳 层110之间。

请参阅图32B，是显示本发明的热接地平面的第二十九实施例的侧视图。 本实施例的热接地平面3250使用一蒸汽结构体3255以及由多个微米粒子且/ 或多个纳米粒子所形成的一液体结构体3265。所述液体结构体3265由多个 支柱或多个结构体3270所形成的，且其设置于该第二壳层115之上。其中， 所述结构体3270由多个微米粒子且/或多个纳米柱所形成。所述蒸汽结构体 3255由多个支柱或所述结构体3260所形成，且设置于该第一壳层110之上； 其中，所述结构体3260由多个微米粒子且/或多个纳米柱所形成。所述蒸汽结 构体3255的多个支柱或其结构体的宽度且/或高度皆/其一大于所述液体结构 体3265的结构体或多个支柱的宽度且/或高度。举例来说，所述结构体3260 或多个支柱由具有大约0.3至1.0毫米的宽度且/或具有约0.1至0.2毫米的高 度的多个粒子所组成(例如，烧结的纳/微米粒子)。所述支柱或该结构体3270 由具有大约0.075至0.2毫米的宽度的多个粒子所组成(例如，烧结的纳/微米粒 子)。另一方面，所述支柱或该结构体3270由具有大约0.02至0.075毫米的宽度的多个粒子所组成(例如，烧结的纳/微米粒子)。

于部分实施例之中，所述微米粒子且/或多个纳米粒子被一起烧结成多个 支柱。于部分实施例之中，所述微米粒子且/或多个纳米粒子可包含铜、玻璃、 其他金属或其他陶瓷。于部分实施例之中，所述支柱包括多个微米粒子且/或 多个具有不同半径的纳米粒子。于部分实施例之中，部分的所述粒子可烧结以 粘贴剩余的微米粒子且/或多个纳米粒子以形成一固态支柱；举例来说，烧结 多个铜纳米粒子以密封多个铜微米例子。

请参阅图33A、33B、33C，是分别显示本发明的热接地平面的第二十九 实施例的制程示意图。图33A、33B、33C是显示使用多个微米粒子且/或多个 纳米粒子的一热接地平面的制程步骤示意图。于部分实施例之中，网状印刷制 程(screen printing process)是如图33A所示使用一模板3305于该第二壳层115 之上。

如图33B所示，多个微米粒子且/或多个纳米粒子设置于该模板之中。于 部分实施例之中，所述微米粒子且/或所述纳米粒子被放置为形成包含所述微 米粒子且/或所述纳米粒子的一糊体上以视为一溶剂且/或一粘合剂。于部分实施例之中，所述溶剂包括丙酮、异丙醇、水、其他有机溶剂、或其他无机溶剂。 于部分实施例之中，所述粘合剂为下列任一者：聚乙烯醇，硬脂酸或其他粘合 剂。

于部分实施例之中，所述微米粒子且/或所述纳米粒子放置于该第二壳层 115上之前，可使用酸性蒸汽，液态酸，含氢气体或含氢的等离子体清除氧化 物。

于部分实施例之中，所述微米粒子且/或所述纳米粒子于高温下被烧结。 于部分实施例之中，所述微米粒子且/或所述纳米粒子烧结于一网状层之上以 形成所述吸液芯结构体或蒸汽结构体。于部分实施例之中，可在真空环境，充满惰性气体的环境中或充满还原性气体的环境中，烧结所述微米粒子且/或所 述纳米粒子。于部分实施例之中，所述支柱透过于高温环境下的烧结以粘合至一网状层上且/或进而于低温环境下粘合至一包覆层。

图33C是显示移除或蚀刻掉所述模板3305之后的所述微米粒子且/或所述 纳米粒子。

请参阅图34A、34B、34C，是显示本发明的热接地平面的第三十实施例 的侧视图。更详细地说明，图34A、34B、34C是显示热接地平面的一吸液芯 结构体3400(或可渗透的毛细结构)的侧视图。所述吸液芯结构体为热接地平面的一部分，且包括多种的毛细芯(wick)、网状体、壳层等。举例来说，所述毛 细结构体3400包括多个高渗透区域3415以及多个低渗透区域3410。于部分 实施例之中，所述吸液芯结构体3400包括一平面网状体210。驱动液态流体 的毛细管的物理性质要求多个吸液芯结构体3400有高渗透率(例如，高渗透区域3415)以及局部的高毛细管半径；有着低毛细管半径的结构体(例如，低渗透 区域3410)则具有低渗透率。毛细管压力是由汽-液界面之中的毛细管半径所决 定，而不是由渗透满液体的毛细芯的区域的毛细管半径决定。具有高渗透性的 区域可能被具有低渗透性以及高毛细管压力的区域所包围；于此情况之中，流 动的液体将面临高渗透区域的低流体阻力以及低渗透区域的高毛细管压力。如 图34B与34C所示的可能出现的状况为，假如一气泡3420成形于一高渗透区 域3415之中，而所述气泡3420可扩张并同时造成吸液芯结构体3400的区域 变干。举例来说，该气泡3420可能成形于高渗透区域3415的气泡核(nucleatebubbles)，或成形于低渗透区域3410之中的缺陷(defect)。

具有高渗透性的一区域由于上述机制(mechanism)而变干时，透过多个高 渗透区域连接于具有低毛细管半径的区域，使得蒸汽可被容置于其中进而令整 个毛细芯(wick)不会变干。接着，假如一高渗透区域变干时，该汽-液界面将被 局限于低毛细管半径的区域，如此将不会蔓延至相邻的高渗透区域。由于低毛 细管半径的区域是多孔的，因此液体将流动于相邻的高渗透区域之间。此结构是类似于使用植物于其木质结构传输液体的方法与构造，同时防止空蚀现象 (cavitation)，所以此设计的毛细芯可称为“人工木质部”。于部分实施例之中， 高渗透区域的成形是可透过切割或变形一网状体；如图35A与35B所示，是显示当低毛细管半径的区域透过未变形的网状体成形，且液体流动于相同平面 上相邻的高渗透区域。

部分热接地平面包括其他吸液芯结构体(例如，可渗透的毛细结构)可允许 低毛细管半径区域与高渗透区域于同一平面。请参阅图36A与图36B，是显 示本发明的热接地平面的第三十一实施例的侧视图。更详细地说明，图36A 与图36B为具有不同吸液芯结构体的热接地平面3600的至少一部分的侧视图。 所述热接地平面3600包括具有不同密度的多个烧结颗粒结构3605、3610。另 一方面，如图36B所示，一热接地平面3650所使用的多个微米柱3660或微 米通道彼此具有不同的密度；或为多个海绵结构体，且所述海绵结构体可为反蛋白石结构(inverse opals)、选择性腐蚀(dealloyed)结构或孔洞随机分布的一块体。

请参阅图37A与图37B，是显示本发明的热接地平面的第三十二与第三 十三实施例的侧视图。更详细地说明，图37A与37B是为具有多个高渗透区 域的热接地平面3700的至少一部分，所述高渗透区域可被多个低渗透区域所 隔开。所述热接地平面3700包括于同一平面上的多个防渗透墙3705，且所述防渗透墙3705可透过一渗透网状体3710被于垂直方向(through-plane)上相连 接；如此，将允许液体以垂直方向流动于相邻的高渗透区域之间。于部分实施 例之中，所述防渗透墙且/或微米柱可透过光刻且/或电镀或蚀刻处理所形成。于部分实施例之中，其网状体是透过电镀法、超音波热压接合法或热压接合法 被粘合于多个支柱。并且，如图37B所示，多个微米柱和多个壁的第二层是 透过电镀于第一网状层上生长。

于部分实施例之中，如图38所示，高渗透区域具有的长宽比且/或角度将 允许同一层中的区域连接至到上层或下层之中的三个或更多个区域。另一方面， 多于两层以上的层体是彼此垂直地叠层。

于部分实施例之中，所述渗透网状体3710包括纳米尺寸的多孔特征，且 其最大孔洞尺寸为10、50、100、200纳米等。于部分实施例之中，纳米孔洞 网状体是透过蚀刻径迹(track etching)、脱合金玻璃(dealloying glass)或金属 合金、纳米多孔阳极氧化、选择性刻蚀自组装胶束(self-assembled micelles)或 烧结纳米颗粒的方式所形成。

图38是显示本发明的热接地平面的第三十四实施例的侧视图。更具体地 说明，图38为热接地平面3800的一液体结构体的侧视图。所述热接地平面 3800包括一具有一变形网状体3810的该液体结构体，且所述变形网状体3810 包括任意数目的网状层。虽然图38已显示该变形网状体3810，但与本案所示 或现有的任何形式的变形网状层皆可使用于此处的液体结构体。该热接地平面 3800也可包括具有一变形网状体3805的蒸汽结构体，所述变形网状体3805 是从单一网状层所变形而成。另一方面，一平面网状体210设置于该多个变形网状体3810之间。

“可渗透的毛细结构(permeable wick)”一词是为包括一个或多个一编织 网、一非编织网以及多个支柱(pillars)、多个粒子、一个或多个网、多个通道、 多个微米柱、多个微米通道等等。一可渗透的毛细结构也可海绵且/或一反蛋 白石结构(inverse opalstructure)。

“网状体(mesh)”一词是为包括多个编织纤维(例如，编织网(woven mesh)) 或多个非编织网(例如，非编织网)。一网状体可包括金属聚合物纤维、金属涂 层聚合物纤维、陶瓷涂层聚合物纤维、原子层沉积(ALD)涂层聚合物纤维、铜 涂层钢纤维、铜涂层不锈钢纤维、金属纤维、聚合物纤维、铜纤维、不锈钢纤 维、铜涂层不锈钢等。一非编织网可包括具有随机分布的纤维的网。另一方面， 非编织网包括具有透过蚀刻成形依序或非依序阵列排列的孔洞的一薄片，且所 述薄片可为金属或聚合物。一编织网包括依序分布的纤维。另一方面，一非编 织网可包括以附加方式形成的一平面薄片，所述附加方式可为下列任一种：烧结微米粒子且/或纳米粒子、电镀模版、快速电镀以产生气泡、于模板或上沉 积金属/聚合物/陶瓷或阳极处理等。

除非另有说明，否则“大致上(substantially)”一词是在于5％或10％之 内的值或一制造公差值之内。除非另有说明，否则“约(about)”一词同时包 含表示在所提及的值的5％或10％之内或在制造公差之内。

连接词“或”为包含性的。

“第一”、“第二”、“第三”等等的词用于区分各个元件或块或步骤， 且除非另有说明或明确的描述或使用顺序，则并非用以表示这些元件的特定顺 序。

阐述了许多具体细节是提供对于前述所欲保护的主要内容提供一个全面 的了解。然而，本领域技术人员可以在没有这些具体细节的情况下实践本案所欲保护的主要内容。在其他，本领域技术人员将理解，可以在没有这些具体细 节的情况下实践所要求保护的主题。为免模糊所要保护的主要内容，在没有 其他实例下，没有详细描述的方法、装置或系统是为本领域普通技术人员所已 知的方法。

可在此等计算装置的操作中执行本文所揭示的方法的实施例。以上实例中 所呈现的方块的次序可有所变化，例如，可对方块重新排序、组合及/或分裂 成子方块。可平行执行某些方块或制程。行。

本文“经调适以”或“经配置以”的用法意谓开放及包括性语言，并非排 除经调适或经配置以执行额外任务或步骤的装置。另外，“基于(based on)” 的用法意谓开放及包括性的，从而“基于(based on)”一或更多个所列举的条 件或值的制程、步骤、计算或其他动作可实际上基于超过彼等所列举的额外条 件或值。本文所包括的标题、列表及编号仅便于说明且并不以此为限。

尽管关于本发明的具体实施例已详细描述本标的，将了解与熟悉此项技术 者在获得上述的理解后可易于产生此类实施例的变更、变化及等效者。因此， 应理解的是，呈现本揭示案的目的在于实例而非限制，且本揭示案并不排除包 括这些对本标的的修改、变化及/或附加，此举对一般技术者将显而易见。

Claims (20)

1.一种热接地平面，其特征在于，包括：

一第一壳层；

一第二壳层，其一外缘是连接于该第一壳层的一外缘：

一工作流体，设置于该第一壳层与该第二壳层之间；

一可渗透的毛细结构，设置于该第一壳层与该第二壳层之间；以及

一变形网状体，设置于该第一壳层与该可渗透的毛细结构之间；其中，所述变形网状体包括具有多个第一网状部以及多个第二网状部的一网格；其中，所述第一网状部形成多个蒸汽通道，且所述第二网状部形成多个液体通道。

2.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括多个互相编织的纤维体。

3.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括多个网状层。

4.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，每一所述第一网状部且/或每一所述第二网状部为一被压缩的网状部。

5.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括呈阵列状的多个未变形网状部。

6.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，该变形网状体包括一平坦网状部，所述平坦网状部延伸至所述第一网状部的之间且/或每一所述第二网状部之间。

7.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，该多个第一网状部包括多个脊部且/或多个支柱，且该多个第二网状部包括多个脊部且/或多个支柱。

8.根据权利要求6的热接地平面，其特征在于，该变形网状体是设置于该第一壳层与该第二壳层之间，且所述第二网状部向该可渗透的毛细结构的方向延伸。

9.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，包括：一平面网状体设置于该变形网状体与该可渗透的毛细结构之间。

10.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，介于该多个第一网状部的变形网状体的多个网状部被压缩成所述多个第一网状部。

11.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体还包括一内脉管。

12.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括具有一第一孔径的一第一网状层以及具有不同于该第一孔径的一第二孔径的一第二网状层。

13.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括下列任一者：金属聚合物、具金属涂层的聚合物、具陶瓷涂层的聚合物、原子层沉积镀膜的聚合物、镀铜钢、镀铜不锈钢。

14.根据权利要求1的热接地平面，其特征在于，所述变形网状体包括多个蒸汽通道和多个液体通道，且该多个蒸汽通道是平行于该多个液体通道。

15.一种热接地平面，其特征在于，包括：

一第一壳层；

一第二壳层，其一外缘是连接于该第一壳层的一外缘：

一第一变形网状体，设置于该第一壳层与该第二壳层之间；其中，所述第一变形网状体包括一第一平坦网状部、多个第一网状部以及多个第二网状部，所述多个第二网状部从该第一平坦网状部延伸向该第二壳层延伸；

一间隔，形成于该第一平坦网状部与该第一壳层之间。

16.根据权利要求15的热接地平面，其特征在于，还包括于该间隔中排成一列的多个支柱。

17.根据权利要求15的热接地平面，其特征在于，还包括一第二变形网状体，所述第二变形网状体包括一第二平坦网状部相对于该第一平坦网状部设置、一第三网状部以及一第四网状部，所述第四网状部是从该第二平坦网状部向该第一壳层延伸至该间隔中。

18.根据权利要求15的热接地平面，其特征在于，该第一变形网状体包括多个第三网状部，所述第三网状部向该第一壳层延伸至该间隔之中。

19.根据权利要求15的热接地平面，其特征在于，还包括一可渗透的毛细层，是设置相对于该第一平坦网状部。

20.根据权利要求15的热接地平面，其特征在于，该第一变形网状体包括多个蒸汽通道以及多个液体通道，且该多个蒸汽通道是平行于该多个液体通道。