CN113492134A - 一种具有循环机构的石英舟清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构。本发明利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性，利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。

Description

一种具有循环机构的石英舟清洗装置

技术领域

本发明涉及石英舟清洗领域，特别是涉及一种具有循环机构的石英舟清洗装置。

背景技术

硅片扩散工艺，是将硅片插在石英舟上，然后将石英舟连同硅片一起放入石英管，并一起放入高温扩散炉中，之后在炉管的尾部通入一定量含有扩散源的气体，在高温条件下，通过扩散源气体与硅片发生化学反应，完成扩散工艺。

由于每次扩散工艺后，石英舟表面都会残存一定量扩散后的微粒，而石英舟又直接与硅片接触，因此，石英舟表面的清洁度直接影响到整个扩散工艺的质量。

现有的技术中，大多采用人工将清洗液倒入清洗槽中，然后将石英舟放入清洗槽内，通过浸泡的方式对石英舟清洗。然而，由于整个清洗工艺过程中石英舟始终处于静止状态，且与清洗液之间没有相对运动，使石英舟因不能得到全面的清洗而使得清洗效果不佳，从而易造成扩散工艺过程的污染，且清洗液无法得到处理，只能洗一次更换一次，工作效率不高。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有循环机构的石英舟清洗装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的：

一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构；

所述循环机构包括中心主轴、旋转盘、连接座、摇臂，所述中心主轴上连接有所述旋转盘，所述旋转盘内侧设置有所述连接座，所述连接座两端均连接有所述摇臂，所述摇臂一端连接有伸缩臂，所述伸缩臂连接在所述过滤筒内侧，所述过滤筒上端通过出液筒连接所述清洗机构，所述伸缩臂另一端连接推板，所述推板位于所述过滤筒内部，且所述推板远离所述伸缩臂一侧设置有固定板，所述固定板一侧设置有滤芯，所述滤芯上端连接滤芯密封板，所述推板和所述固定板上均设置有单向阀；

所述清洗机构包括清洗箱、第一密封罩、喷淋管、进水管，所述清洗箱上端安装有所述第一密封罩，所述第一密封罩内侧顶部设置有所述喷淋管，所述喷淋管进水端连接有所述进水管，所述进水管下端连接所述过滤筒出水端，所述清洗箱内侧设置有超声波清洗箱；

所述烘干机构包括烘干箱、第二密封罩、热烘干回收管、热风机，所述烘干箱上端安装有所述第二密封罩，所述第二密封罩内侧安装有所述热烘干回收管，所述热烘干回收管伸出所述第二密封罩前端连接冷凝器，所述第二密封罩后端安装有所述热风机，所述冷凝器出料端设置有回收箱，所述烘干箱内部安装有废液回收箱，所述废液回收箱出水端通过底部回收管连接所述回收箱；

所述旋转机构包括顶部旋转盘、旋转中心轴、被动齿轮、主动齿轮，卡位架连接在所述传输机构之间，所述卡位架上端设置有横移架，所述横移架内侧设置有所述被动齿轮，所述被动齿轮上端连接有所述旋转中心轴，所述旋转中心轴上端连接有所述顶部旋转盘，所述被动齿轮前端连接有所述主动齿轮；

所述传输机构包括链轮、链条、背部限位条、配合齿条，所述链轮通过轴连接所述清洗机构、所述烘干机构，所述链轮外部设置有所述链条，所述链条上侧位于所述第一密封罩内侧后端设置有所述背部限位条，所述背部限位条前侧设置有所述配合齿条，所述链轮动力端通过链条连接电动机。

优选的：所述联动机构包括联动链轮、链轮链条，所述中心主轴动力输出端、所述电动机动力输出端均安装有所述联动链轮，两个所述联动链轮之间通过所述链轮链条连接。

如此设置，当需要使用所述电动机带动中心主轴时，启动所述电动机即可利用所述联动链轮和所述链轮链条使所述中心主轴旋转。

优选的：所述联动机构包括第一锥齿轮、第二锥齿轮、连杆，所述中心主轴动力输出端、所述电动机动力输出端均安装有所述第一锥齿轮，所述第一锥齿轮上端连接有所述第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之前通过所述连杆连接。

如此设置，当需要使用所述电动机带动中心主轴时，启动所述电动机即可利用所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮配合同时利用所述连杆传输动力使所述中心主轴旋转。

优选的：所述旋转盘通过销轴连接所述连接座，所述摇臂通过销轴连接所述连接座、所述伸缩臂，所述伸缩臂通过螺纹连接所述推板。

如此设置，使用所述旋转盘配合所述连接座带动两个所述摇臂进行摇摆。

优选的：所述滤芯通过卡扣连接所述滤芯密封板，所述滤芯密封板通过锁扣连接所述过滤筒。

如此设置，所述滤芯用于过滤废水，所述滤芯密封板用于密封。

优选的：所述背部限位条、所述配合齿条均通过螺栓连接所述清洗箱，所述背部限位条为光滑面，所述配合齿条为齿面，且所述配合齿条和所述主动齿轮啮合。

如此设置，所述背部限位条和所述配合齿条均对所述横移架进行限位，同时所述配合齿条配合所述主动齿轮，使得所述主动齿轮旋转。

优选的：所述主动齿轮和所述被动齿轮啮合，所述旋转中心轴键连接所述被动齿轮、所述顶部旋转盘，所述横移架下侧面有和所述链条啮合的齿。

如此设置，所述主动齿轮旋转后，从而带动所述被动齿轮和所述旋转中心轴，使得顶部旋转盘带动石英舟旋转，从而提高清洗效果。

优选的：所述进水管通过螺纹连接所述喷淋管、所述过滤筒，所述出液筒通过法兰连接所述超声波清洗箱。

如此设置，通过螺纹连接保证了密封性。

优选的：所述热烘干回收管通过螺栓连接所述第二密封罩，所述热烘干回收管通过法兰连接所述冷凝器，所述底部回收管通过法兰连接所述废液回收箱。

如此设置，所述热烘干回收管用于回收清洗液热蒸汽，从而通过所述冷凝器液化后回收。

优选的：所述过滤筒设置有两个，且两个所述伸缩臂往复挤压所述推板。

如此设置，两个所述过滤筒交替过滤，从而保证过滤效果。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性；

2、利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的第一结构示意图；

图2是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的第二结构示意图；

图3是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的内部结构示意图；

图4是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的循环机构结构示意图；

图5是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的循环机构内部结构示意图；

图6是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的旋转机构结构示意图；

图7是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的被动齿轮结构示意图；

图8是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的横移架内部结构示意图；

图9是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的联动链轮结构示意图；

图10是本发明所述一种具有循环机构的石英舟清洗装置的第一锥齿轮结构示意图。

附图标记说明如下：

1、循环机构；2、清洗机构；3、烘干机构；4、旋转机构；5、传输机构；6、联动机构；11、中心主轴；12、旋转盘；13、连接座；14、摇臂；15、过滤筒；16、出液筒；17、滤芯密封板；18、伸缩臂；19、推板；110、固定板；111、滤芯；21、清洗箱；22、第一密封罩；23、喷淋管；24、进水管；25、超声波清洗箱；31、烘干箱；32、第二密封罩；33、热烘干回收管；34、热风机；35、冷凝器；36、回收箱；37、底部回收管；38、废液回收箱；41、顶部旋转盘；42、旋转中心轴；43、被动齿轮；44、主动齿轮；45、横移架；46、卡位架；51、链轮；52、链条；53、背部限位条；54、配合齿条；55、电动机；61、联动链轮；62、链轮链条；611、第一锥齿轮；612、第二锥齿轮；613、连杆。

具体实施方式

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图对本发明作进一步说明：

实施例1

如图1-图9所示，一种具有循环流动功能的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构1和用于对石英舟进行清洗的清洗机构2以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构3，循环机构1安装在清洗机构2内侧底部，烘干机构3安装在清洗机构2的出料端，清洗机构2、烘干机构3内侧均连接有传输机构5，传输机构5上连接有旋转机构4，循环机构1通过联动机构6连接传输机构5；

循环机构1包括中心主轴11、旋转盘12、连接座13、摇臂14，中心主轴11上连接有旋转盘12，旋转盘12内侧设置有连接座13，连接座13两端均连接有摇臂14，摇臂14一端连接有伸缩臂18，伸缩臂18连接在过滤筒15内侧，过滤筒15上端通过出液筒16连接清洗机构2，伸缩臂18另一端连接推板19，推板19位于过滤筒15内部，且推板19远离伸缩臂18一侧设置有固定板110，固定板110一侧设置有滤芯111，滤芯111上端连接滤芯密封板17，推板19和固定板110上均设置有单向阀；

清洗机构2包括清洗箱21、第一密封罩22、喷淋管23、进水管24，清洗箱21上端安装有第一密封罩22，第一密封罩22内侧顶部设置有喷淋管23，喷淋管23进水端连接有进水管24，进水管24下端连接过滤筒15出水端，清洗箱21内侧设置有超声波清洗箱25；

烘干机构3包括烘干箱31、第二密封罩32、热烘干回收管33、热风机34，烘干箱31上端安装有第二密封罩32，第二密封罩32内侧安装有热烘干回收管33，热烘干回收管33伸出第二密封罩32前端连接冷凝器35，第二密封罩32后端安装有热风机34，冷凝器35出料端设置有回收箱36，烘干箱31内部安装有废液回收箱38，废液回收箱38出水端通过底部回收管37连接回收箱36；

旋转机构4包括顶部旋转盘41、旋转中心轴42、被动齿轮43、主动齿轮44，卡位架46连接在传输机构5之间，卡位架46上端设置有横移架45，横移架45内侧设置有被动齿轮43，被动齿轮43上端连接有旋转中心轴42，旋转中心轴42上端连接有顶部旋转盘41，被动齿轮43前端连接有主动齿轮44；

传输机构5包括链轮51、链条52、背部限位条53、配合齿条54，链轮51通过轴连接清洗机构2、烘干机构3，链轮51外部设置有链条52，链条52上侧位于第一密封罩22内侧后端设置有背部限位条53，背部限位条53前侧设置有配合齿条54，链轮51动力端通过链条连接电动机55。

优选的：联动机构6包括联动链轮61、链轮链条62，中心主轴11动力输出端、电动机55动力输出端均安装有联动链轮61，两个联动链轮61之间通过链轮链条62连接，当需要使用电动机55带动中心主轴11时，启动电动机55即可利用联动链轮61和链轮链条62使中心主轴11旋转；旋转盘12通过销轴连接连接座13，摇臂14通过销轴连接连接座13、伸缩臂18，伸缩臂18通过螺纹连接推板19，使用旋转盘12配合连接座13带动两个摇臂14进行摇摆；滤芯111通过卡扣连接滤芯密封板17，滤芯密封板17通过锁扣连接过滤筒15，滤芯111用于过滤废水，滤芯密封板17用于密封；背部限位条53、配合齿条54均通过螺栓连接清洗箱21，背部限位条53为光滑面，配合齿条54为齿面，且配合齿条54和主动齿轮44啮合，背部限位条53和配合齿条54均对横移架45进行限位，同时配合齿条54配合主动齿轮44，使得主动齿轮44旋转；主动齿轮44和被动齿轮43啮合，旋转中心轴42键连接被动齿轮43、顶部旋转盘41，横移架45下侧面有和链条52啮合的齿，主动齿轮44旋转后，从而带动被动齿轮43和旋转中心轴42，使得顶部旋转盘41带动石英舟旋转，从而提高清洗效果；进水管24通过螺纹连接喷淋管23、过滤筒15，出液筒16通过法兰连接超声波清洗箱25，通过螺纹连接保证了密封性；热烘干回收管33通过螺栓连接第二密封罩32，热烘干回收管33通过法兰连接冷凝器35，底部回收管37通过法兰连接废液回收箱38，热烘干回收管33用于回收清洗液热蒸汽，从而通过冷凝器35液化后回收；过滤筒15设置有两个，且两个伸缩臂18往复挤压推板19，两个过滤筒15交替过滤，从而保证过滤效果。

实施例2

如图10，本实施例与实施例1的区别在于：

联动机构6包括第一锥齿轮611、第二锥齿轮612、连杆613，中心主轴11动力输出端、电动机55动力输出端均安装有第一锥齿轮611，第一锥齿轮611上端连接有第二锥齿轮612，两个第二锥齿轮612之前通过连杆613连接，当需要使用电动机55带动中心主轴11时，启动电动机55即可利用第一锥齿轮611和第二锥齿轮612配合同时利用连杆613传输动力使中心主轴11旋转。

工作原理：将石英舟固定在顶部旋转盘41上端后(根据石英舟的大小和形状由专门的治具固定)，将横移架45卡在链条52上端，启动电动机55，带动链轮51和中心主轴11旋转，此时链条52带动横移架45移动，当横移架45移动到第一密封罩22内侧后的超声波清洗箱25后，利用超声波清洗石英舟，清洗液通过出液筒16流动到过滤筒15内侧，此时中心主轴11带动旋转盘12，旋转盘12带动两个摇臂14摇摆，摇臂14带动伸缩臂18挤压过滤筒15内部的清洗液废液，废液通过滤芯111的过滤后，继而通过进水管24传输到喷淋管23，喷淋管23继而将过滤后的清洗液冲刷以及回流到超声波清洗箱25内，经过喷淋管23的清洗后，横移架45到达第二密封罩32内部，经过热风机34的热风烘干后，清洗液热蒸汽通过热烘干回收管33流入到冷凝器35内部冷凝后到达回收箱36内部收集，底部的清洗液液体通过底部回收管37流入到回收箱36进行收集。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。

Claims (10)

1.一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：包括用于废液处理的循环机构(1)和用于对石英舟进行清洗的清洗机构(2)以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构(3)，所述循环机构(1)安装在所述清洗机构(2)内侧底部，所述烘干机构(3)安装在所述清洗机构(2)的出料端，所述清洗机构(2)、所述烘干机构(3)内侧均连接有传输机构(5)，所述传输机构(5)上连接有旋转机构(4)，所述循环机构(1)通过联动机构(6)连接所述传输机构(5)；

所述循环机构(1)包括中心主轴(11)、旋转盘(12)、连接座(13)、摇臂(14)，所述中心主轴(11)上连接有所述旋转盘(12)，所述旋转盘(12)内侧设置有所述连接座(13)，所述连接座(13)两端均连接有所述摇臂(14)，所述摇臂(14)一端连接有伸缩臂(18)，所述伸缩臂(18)连接在所述过滤筒(15)内侧，所述过滤筒(15)上端通过出液筒(16)连接所述清洗机构(2)，所述伸缩臂(18)另一端连接推板(19)，所述推板(19)位于所述过滤筒(15)内部，且所述推板(19)远离所述伸缩臂(18)一侧设置有固定板(110)，所述固定板(110)一侧设置有滤芯(111)，所述滤芯(111)上端连接滤芯密封板(17)，所述推板(19)和所述固定板(110)上均设置有单向阀；

所述清洗机构(2)包括清洗箱(21)、第一密封罩(22)、喷淋管(23)、进水管(24)，所述清洗箱(21)上端安装有所述第一密封罩(22)，所述第一密封罩(22)内侧顶部设置有所述喷淋管(23)，所述喷淋管(23)进水端连接有所述进水管(24)，所述进水管(24)下端连接所述过滤筒(15)出水端，所述清洗箱(21)内侧设置有超声波清洗箱(25)；

所述烘干机构(3)包括烘干箱(31)、第二密封罩(32)、热烘干回收管(33)、热风机(34)，所述烘干箱(31)上端安装有所述第二密封罩(32)，所述第二密封罩(32)内侧安装有所述热烘干回收管(33)，所述热烘干回收管(33)伸出所述第二密封罩(32)前端连接冷凝器(35)，所述第二密封罩(32)后端安装有所述热风机(34)，所述冷凝器(35)出料端设置有回收箱(36)，所述烘干箱(31)内部安装有废液回收箱(38)，所述废液回收箱(38)出水端通过底部回收管(37)连接所述回收箱(36)；

所述旋转机构(4)包括顶部旋转盘(41)、旋转中心轴(42)、被动齿轮(43)、主动齿轮(44)，卡位架(46)连接在所述传输机构(5)之间，所述卡位架(46)上端设置有横移架(45)，所述横移架(45)内侧设置有所述被动齿轮(43)，所述被动齿轮(43)上端连接有所述旋转中心轴(42)，所述旋转中心轴(42)上端连接有所述顶部旋转盘(41)，所述被动齿轮(43)前端连接有所述主动齿轮(44)；

所述传输机构(5)包括链轮(51)、链条(52)、背部限位条(53)、配合齿条(54)，所述链轮(51)通过轴连接所述清洗机构(2)、所述烘干机构(3)，所述链轮(51)外部设置有所述链条(52)，所述链条(52)上侧位于所述第一密封罩(22)内侧后端设置有所述背部限位条(53)，所述背部限位条(53)前侧设置有所述配合齿条(54)，所述链轮(51)动力端通过链条连接电动机(55)。

2.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述联动机构(6)包括联动链轮(61)、链轮链条(62)，所述中心主轴(11)动力输出端、所述电动机(55)动力输出端均安装有所述联动链轮(61)，两个所述联动链轮(61)之间通过所述链轮链条(62)连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述联动机构(6)包括第一锥齿轮(611)、第二锥齿轮(612)、连杆(613)，所述中心主轴(11)动力输出端、所述电动机(55)动力输出端均安装有所述第一锥齿轮(611)，所述第一锥齿轮(611)上端连接有所述第二锥齿轮(612)，两个所述第二锥齿轮(612)之前通过所述连杆(613)连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述旋转盘(12)通过销轴连接所述连接座(13)，所述摇臂(14)通过销轴连接所述连接座(13)、所述伸缩臂(18)，所述伸缩臂(18)通过螺纹连接所述推板(19)。

5.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述滤芯(111)通过卡扣连接所述滤芯密封板(17)，所述滤芯密封板(17)通过锁扣连接所述过滤筒(15)。

6.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述背部限位条(53)、所述配合齿条(54)均通过螺栓连接所述清洗箱(21)，所述背部限位条(53)为光滑面，所述配合齿条(54)为齿面，且所述配合齿条(54)和所述主动齿轮(44)啮合。

7.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述主动齿轮(44)和所述被动齿轮(43)啮合，所述旋转中心轴(42)键连接所述被动齿轮(43)、所述顶部旋转盘(41)，所述横移架(45)下侧面有和所述链条(52)啮合的齿。

8.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述进水管(24)通过螺纹连接所述喷淋管(23)、所述过滤筒(15)，所述出液筒(16)通过法兰连接所述超声波清洗箱(25)。

9.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述热烘干回收管(33)通过螺栓连接所述第二密封罩(32)，所述热烘干回收管(33)通过法兰连接所述冷凝器(35)，所述底部回收管(37)通过法兰连接所述废液回收箱(38)。

10.根据权利要求1所述的一种具有循环机构的石英舟清洗装置，其特征在于：所述过滤筒(15)设置有两个，且两个所述伸缩臂(18)往复挤压所述推板(19)。

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