CN113484127A - 一种瞬时超高温真空平台装置 - Google Patents
一种瞬时超高温真空平台装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113484127A CN113484127A CN202110677728.8A CN202110677728A CN113484127A CN 113484127 A CN113484127 A CN 113484127A CN 202110677728 A CN202110677728 A CN 202110677728A CN 113484127 A CN113484127 A CN 113484127A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- electrode
- contact electrode
- high temperature
- direct current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 10
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 carbons Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- QRJOYPHTNNOAOJ-UHFFFAOYSA-N copper gold Chemical compound [Cu].[Au] QRJOYPHTNNOAOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/44—Sample treatment involving radiation, e.g. heat
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/42—Low-temperature sample treatment, e.g. cryofixation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
本发明涉及一种瞬时超高温真空平台装置，包括真空腔体、控制机柜，所述真空腔体中开设有绝缘底座、接触电极、合金制样品台、探头支架，探头通过螺纹固定的方式连接在在支架上、开设有真空电极并通过法兰卡箍固定、开设有气阀导入管路及阀门，开设有制造真空抽气管路及阀门，开设有观察窗口和顶盖、顶盖开设有排气管路及阀门，所述真空电极两端连接电缆并通过法兰卡箍固定，分别引入大电流直流电正负极，并通过接触电极与样品台形成回路，产生高温，接触电极凸台可插入氮化硼基座槽内以保证稳固，也可以在在接触电极上直接接入导体材料。有益效果：本发明能够快速进行升温以及冷却、反应效果好、方便试验以及保证装置的正常工作。
Description
技术领域
本发明温度试验装置平台技术领域，具体涉及一种瞬时超高温真空平台装置。
背景技术
在试验过程中，真空装置的主要作用是：抽取不凝性气体，保持浓缩锅始终处在真空状态、使料液在低温下沸腾浓缩，以提高产品的质量。不凝结性气体主要是来自：冷却水中溶解的空气、料液加热后分解出来的气体和设备密封性不好进来的空气。
目前科研行业较为关注材料在快速升温并快速冷却下的物性变化，比如合金类、碳类、陶瓷类等，现在需要一种设备为此种研究提供实验环境，能够对反应物质进行快速的升温或者冷却需要，以此来面对试验的技术需要。
发明内容
本发明目的是提供一种能够快速进行升温以及冷却、反应效果好、方便试验以及保证装置的正常工作的瞬时超高温真空平台装置，是通过如下方案实现的。
为了实现以上目的，本发明采用的技术方案为：一种瞬时超高温真空平台装置，包括真空腔体、控制机柜，所述真空腔体中开设有绝缘底座、接触电极、合金制样品台、探头支架，探头通过螺纹固定的方式连接在在支架上、开设有真空电极并通过法兰卡箍固定、开设有气阀导入管路及阀门，开设有制造真空抽气管路及阀门，开设有观察窗口和顶盖、顶盖开设有排气管路及阀门，所述真空电极两端连接电缆并通过法兰卡箍固定，分别引入大电流直流电正负极，并通过接触电极与样品台形成回路，产生高温，接触电极凸台可插入氮化硼基座槽内以保证稳固，也可以在在接触电极上直接接入导体材料，利用其焦耳效应自身产生高温，所述控制机柜开设有钣金以安装各配件，开设有交流接触器并通过启动/停止两个自复位按钮完成整机上电功能，其供电于可调直流电源模块与直流开关电源，直流开关电源供电于触摸屏HMI、PLC，触摸屏HMI开设有适配软件集成控制可调直流电源模块的输出电压、输出电流，并通过采集显示测温探头测量样品台之温度，通过触摸屏HMI设定至PLC温度上限，比对控制可调直流电源模块输出与否。
进一步的，所述真空腔体、腔体顶盖、窗口顶盖、探头支架制作材料均为316L不锈钢，接触电极制作材料为紫铜镀金，窗口制作材料为石英，绝缘底座制作材料为氮化硼。
进一步的，所述接触电极与绝缘底座长度方向上设有滑槽，接触电极上设有螺孔以螺丝固定真空电极及样品台以保证紧密接触。
进一步的，通过大电流直流通过样品台或样品，以自身焦耳效应在极短时间内产生极高温度，并可通过调节其电流大小以调节升温速率及高温顶点，并可限定温度或时间输出。
本发明的技术效果在于：交流电转换为直流电，直流供电样品台/导电样品，提供较大电流，通过焦耳效应，短时间内放出大量热量，由于样品台和样品的自身比热容极小，温度快速升至最高3000℃，搭配真空腔对样品及样品台进行保护，该设备设计有电气环境调节，可通过调节电流电压对样品台功率进行调整，以达到不通的期望温度；可定时定温输出，这样的瞬时超高温真空平台装置提高了装置的使用性能，能够快速进行升温以及冷却、反应效果好、方便试验以及保证装置的正常工作。
附图说明
图1为本发明真空腔的正视图；
图2为本发明真空腔的俯视图；
图3为本发明的正视图。
附图标记：1-真空腔体；2-控制机柜；3-样品台；4-探头支架；5-真空电极；6-抽气管路；7-观察窗口；8-顶盖；9-接触电极；10-触摸屏HMI。
具体实施方式
参照附图1-3，一种瞬时超高温真空平台装置，包括真空腔体1、控制机柜2，所述真空腔体1开设有绝缘底座，开设有高温钨/钼/钽/镍铬合金制样品台3，开设有探头支架4，探头通过M20*1螺纹固定在支架上，开设有真空电极5通入KF25法兰卡箍固定，开设有信号通入KF25法兰卡箍固定真空航插，开设有气氛导入管路及阀门，开设有制造真空抽气管路6及阀门，开设有观察窗口7，开设有顶盖8，顶盖8开设有排气管路及阀门，顶盖8开设有真空表检测。所述真空电极5两端连接电缆，通过KF25法兰卡箍固定，分别引入大电流直流电正负极，并通过接触电极9与样品台形成回路，产生高温，接触电极9凸台可插入氮化硼基座槽内以保证稳固，也可在接触电极9上直接接入导体材料，利用其焦耳效应自身产生高温；所述控制机柜2开设有钣金以安装各配件，开设有交流接触器并通过启动/停止两个自复位按钮完成整机上电功能，其供电于可调直流电源模块与直流开关电源，直流开关电源供电于触摸屏HMI10、PLC，触摸屏HMI开设有适配软件集成控制可调直流电源模块的输出电压、输出电流，并通过采集显示测温探头测量样品台之温度，通过触摸屏HMI设定至PLC温度上限，比对控制可调直流电源模块输出与否。
本方案的具体实施例为，所述真空腔体1、腔体顶盖、窗口顶盖、探头支架4制作材料为316L不锈钢，接触电极9制作材料为紫铜镀金，窗口制作材料为石英，绝缘底座制作材料为氮化硼。
本方案的具体实施例为，所述接触电极9与绝缘底座长度方向上设有滑槽，接触电极上设有螺孔以螺丝固定真空电极及样品台以保证紧密接触。
本方案的具体实施例为，通过大电流直流通过样品台或样品，以自身焦耳效应在极短时间内产生极高温度，并可通过调节其电流大小以调节升温速率及高温顶点，并可限定温度/时间输出。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (4)
1.一种瞬时超高温真空平台装置，其特征在于，包括真空腔体、控制机柜，所述真空腔体中开设有绝缘底座、接触电极、合金制样品台、探头支架，探头通过螺纹固定的方式连接在在支架上、开设有真空电极并通过法兰卡箍固定、开设有气阀导入管路及阀门，开设有制造真空抽气管路及阀门，开设有观察窗口和顶盖、顶盖开设有排气管路及阀门，所述真空电极两端连接电缆并通过法兰卡箍固定，分别引入大电流直流电正负极，并通过接触电极与样品台形成回路，产生高温，接触电极凸台可插入氮化硼基座槽内以保证稳固，也可以在在接触电极上直接接入导体材料，利用其焦耳效应自身产生高温，所述控制机柜开设有钣金以安装各配件，开设有交流接触器并通过启动/停止两个自复位按钮完成整机上电功能，其供电于可调直流电源模块与直流开关电源，直流开关电源供电于触摸屏HMI、PLC，触摸屏HMI开设有适配软件集成控制可调直流电源模块的输出电压、输出电流，并通过采集显示测温探头测量样品台之温度，通过触摸屏HMI设定至PLC温度上限，比对控制可调直流电源模块输出与否。
2.根据权利要求1所述的一种瞬时超高温真空平台装置，其特征在于，所述真空腔体、腔体顶盖、窗口顶盖、探头支架制作材料均为316L不锈钢，接触电极制作材料为紫铜镀金，窗口制作材料为石英，绝缘底座制作材料为氮化硼。
3.根据权利要求1所述的一种瞬时超高温真空平台装置，其特征在于，所述接触电极与绝缘底座长度方向上设有滑槽，接触电极上设有螺孔以螺丝固定真空电极及样品台以保证紧密接触。
4.根据权利要求1所述的一种瞬时超高温真空平台装置，其特征在于，通过大电流直流通过样品台或样品，以自身焦耳效应在极短时间内产生极高温度，并可通过调节其电流大小以调节升温速率及高温顶点，并可限定温度或时间输出。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110677728.8A CN113484127A (zh) | 2021-06-18 | 2021-06-18 | 一种瞬时超高温真空平台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110677728.8A CN113484127A (zh) | 2021-06-18 | 2021-06-18 | 一种瞬时超高温真空平台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113484127A true CN113484127A (zh) | 2021-10-08 |
Family
ID=77934008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110677728.8A Pending CN113484127A (zh) | 2021-06-18 | 2021-06-18 | 一种瞬时超高温真空平台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113484127A (zh) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005293945A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Tama Tlo Kk | プラズマ加熱装置およびノズル付き電極 |
| KR20050109084A (ko) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | 학교법인 포항공과대학교 | 4전극 분리형 시료 홀더 |
| CN1865457A (zh) * | 2006-06-13 | 2006-11-22 | 中国科学院电工研究所 | 一种铁基二硼化镁超导线带材的热处理方法 |
| CN105043572A (zh) * | 2015-08-10 | 2015-11-11 | 北京工业大学 | 一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置 |
| CN105750426A (zh) * | 2014-12-18 | 2016-07-13 | 北京有色金属研究总院 | 镁合金型材高温预拉伸快速加热系统 |
| CN106238732A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-21 | 浙江晨华科技有限公司 | 一种放电等离子烧结系统 |
| CN110285677A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-09-27 | 江苏大学 | 一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具 |
| CN111843088A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 中原内配集团鼎锐科技有限公司 | 高速真空钎焊炉 |
| CN112094995A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-12-18 | 共慧冶金设备科技(苏州)有限公司 | 一种金属材料真空快速热处理设备 |
-
2021
- 2021-06-18 CN CN202110677728.8A patent/CN113484127A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005293945A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Tama Tlo Kk | プラズマ加熱装置およびノズル付き電極 |
| KR20050109084A (ko) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | 학교법인 포항공과대학교 | 4전극 분리형 시료 홀더 |
| CN1865457A (zh) * | 2006-06-13 | 2006-11-22 | 中国科学院电工研究所 | 一种铁基二硼化镁超导线带材的热处理方法 |
| CN105750426A (zh) * | 2014-12-18 | 2016-07-13 | 北京有色金属研究总院 | 镁合金型材高温预拉伸快速加热系统 |
| CN105043572A (zh) * | 2015-08-10 | 2015-11-11 | 北京工业大学 | 一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置 |
| CN106238732A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-21 | 浙江晨华科技有限公司 | 一种放电等离子烧结系统 |
| CN110285677A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-09-27 | 江苏大学 | 一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具 |
| CN111843088A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 中原内配集团鼎锐科技有限公司 | 高速真空钎焊炉 |
| CN112094995A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-12-18 | 共慧冶金设备科技(苏州)有限公司 | 一种金属材料真空快速热处理设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3219788A (en) | Apparatus for the production of high-purity semiconductor materials | |
| KR860009604A (ko) | 플라즈마 처리장치 | |
| CN209460190U (zh) | 一种三电极体系电化学测试装置 | |
| CN100495017C (zh) | 半导体材料的高温霍尔测量装置 | |
| CN113484127A (zh) | 一种瞬时超高温真空平台装置 | |
| US20090188906A1 (en) | High-temperature tube furnace for pyrolysis | |
| FR2487519B1 (zh) | ||
| CN216208719U (zh) | 一种热处理模拟实验装置 | |
| CN109373761A (zh) | 一种多场耦合材料处理系统 | |
| CN219475672U (zh) | 一种焦耳热平板反应架 | |
| CN209181522U (zh) | 一种多场耦合材料处理系统 | |
| JPS60193026A (ja) | 電流密度の制御装置 | |
| ES8300355A1 (es) | Perfeccionamientos en los aparatos para la oxidacion anodicapor electrolisis al tampon | |
| CN203422340U (zh) | 高温高压反应釜电极 | |
| CN116732502B (zh) | 一种带有偏压引线的样品台组件及mpcvd系统 | |
| CN110736356A (zh) | 一种箱式电炉 | |
| KR101145642B1 (ko) | 실리콘 생산장치 및 그 방법 | |
| CN216144531U (zh) | 一种高温炉能效测试系统 | |
| CN105382371B (zh) | 一种电烙铁 | |
| JP4060050B2 (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置用プラズマコーン及び誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| CN213966465U (zh) | 一种碳粉通电制备石墨烯的真空反应器 | |
| CN209167199U (zh) | 一种金属材料金相电解腐蚀装置 | |
| CN213280184U (zh) | 三针式交流等离子体发生器装置 | |
| GB857860A (en) | Improvements in or relating to methods of preparing semiconductor devices | |
| CN215640720U (zh) | 一种柔性板生产用碳浆粘度检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20211008 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |