CN113472433A - 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法 - Google Patents

一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113472433A
CN113472433A CN202110714790.XA CN202110714790A CN113472433A CN 113472433 A CN113472433 A CN 113472433A CN 202110714790 A CN202110714790 A CN 202110714790A CN 113472433 A CN113472433 A CN 113472433A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
optical
beacon
laser communication
light spot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110714790.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN113472433B (zh
Inventor
贾蕴
吴世臣
丰大强
王健隆
郑晓明
王桢
颜琦琦
孟昊博
徐勤健
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong Institute of Space Electronic Technology
Original Assignee
Shandong Institute of Space Electronic Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong Institute of Space Electronic Technology filed Critical Shandong Institute of Space Electronic Technology
Priority to CN202110714790.XA priority Critical patent/CN113472433B/zh
Priority claimed from CN202110714790.XA external-priority patent/CN113472433B/zh
Publication of CN113472433A publication Critical patent/CN113472433A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113472433B publication Critical patent/CN113472433B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04B—TRANSMISSION
    • H04B10/00—Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/07—Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems
    • H04B10/075—Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems using an in-service signal
    • H04B10/079—Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems using an in-service signal using measurements of the data signal
    • H04B10/0795—Performance monitoring; Measurement of transmission parameters
    • H04B10/07953—Monitoring or measuring OSNR, BER or Q

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Abstract

本发明属于光电探测技术领域，具体涉及一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法。包括：步骤1、构建非独立信标光激光通信光学系统；步骤2、构建理想光斑，计量系统标定的基准值
Figure DDA0003134457720000011
步骤3、构建系统真实运行环境，确定光路不变，确定温度、湿度不变；步骤4、采用光斑中心计算方法一，驱动验电陶瓷偏转镜，计量
Figure DDA0003134457720000012
步骤5、多次测量计算
Figure DDA0003134457720000013
采用非独立信标光激光通信光学天线子系统作为测量设备，使评判标准与实际使用环境耦合度更高，结果更具备参考性；采用信号光接收支路的信噪比SNR作为评判依据，所获得的系统标定基准值更客观、且有实际意义；本发明可作为通用的光斑中心计算方法误差及性能优劣的评判标准。

Description

一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法
技术领域
本发明属于光电探测技术领域，具体涉及一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法。
背景技术
空间激光通信设备采用信标光来标识各自的位置，能够快速捕获信标光是建立和维持激光通信链路的前提条件，其中，光学传感器需要能够实时、精确的计算光斑图像的中心位置。空间激光通信终端通常采用CCD、CMOS、SWIR等成像探测器来作为光电探测元器件，但是由于元器件本身的非线性、背景暗电平、读出噪声、随机光子起伏、以及光学元器件的加工和装调误差等，均会造成成像光斑分布极不规则乃至光斑破碎。上述现象会造成不同的光斑检测算法输出的光斑坐标有较大的偏差，不同的光斑坐标值会导致激光通信终端接收到的信号光强度偏差很大，进而影响激光通信链路的可靠性。
传统的光斑中心计算方法仅依赖图像本身，并且与实际应用环境的耦合度较低，缺少客观的评价标准。常用的光斑中心计算误差判定方法是：首先采用同一位置的同一光斑多次拍摄采样图片计算求取均值的方法来近似测量真实光斑中心位置，然后以此位置坐标与不同光斑中心算法的结果之间的差值来评判不同算法的误差情况及性能的优劣。
发明内容
为解决现有技术存在的不足，本发明提供了一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法。
本发明涉及的信标光中心坐标计算的性能评价方法是通过构建一种基于非独立信标光的空间激光通信光学天线子系统，在相同的条件下，采用不同的光斑中心计算方法获得光斑中心坐标，并评测误差情况，具体步骤如下。
一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于，包括：
步骤1、构建非独立信标光激光通信光学系统；
步骤2、构建理想光斑，计量系统标定的基准值
Figure RE-GDA0003214347460000023
步骤3、构建系统真实运行环境，确定光路不变，确定温度、湿度不变；
步骤4、采用光斑中心计算方法一，驱动验电陶瓷偏转镜，计量
Figure RE-GDA0003214347460000022
Figure RE-GDA0003214347460000024
步骤5、多次测量计算
Figure RE-GDA0003214347460000021
进一步的，步骤1中所述非独立信标光激光通信光学系统包括主望远镜、信号光接收支路和信标光接收支路，光路由压电陶瓷偏转镜反射；
信号接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到光纤耦合支路镜头到接收光纤；信号接收支路接收的信号光聚焦接收，其接收光束可认为是平行光，接收系统需要计算耦合效率和系统的信噪比SNR；
信标接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到探测接收支路镜头，到光斑成像中心计算模块。信标接收支路接收的信标光聚焦在光电转换成像探测器靶面上，其接收光束也可认为是平行光，最终光斑的形状需要覆盖大于4*4个像元尺寸，来保证算法细分精度。
进一步的，步骤3.1、用不同光斑中心算法进行计算。记录测量当前环境的温度和湿度，根据成像探测器感光波段选用对应的激光光源，选用滤光片，减少杂光，并保证光路与“步骤2”中描述情况一致，微调镜头焦距，使光斑能够清晰成像于成像探测器靶面；
步骤3.2、驱动压电陶瓷偏转镜，参照“步骤2”调整光斑运行轨迹，并记录选取最大的SNR值
Figure RE-GDA0003214347460000031
以及对应的坐标值
Figure RE-GDA0003214347460000032
Figure RE-GDA0003214347460000033
步骤3.3、变换光斑中心计算方法，在相同的温度和湿度条件下，重复上述过程并记录
Figure RE-GDA0003214347460000034
进一步的，步骤4中为排除误差变化规律出现的偶然性，需多次测量取平均并进行比较；此外，改变激光光源的入射角度，使光斑在成像探测器靶面上的位置偏移，再次重复“步骤2、步骤3”过程。
进一步的，步骤5中将多次测量值
Figure RE-GDA0003214347460000035
与标定的基准值
Figure RE-GDA0003214347460000036
计算标准差，标准差的大小即为误差σ，由贝塞耳公式，多次测量光斑质心的标准差为：
Figure RE-GDA0003214347460000037
Figure RE-GDA0003214347460000038
Figure RE-GDA0003214347460000041
σ的数值大小表征光斑中心计算方法性能的优劣，σ的数值越小，算法的性能越好。
本发明所达到的有益效果为：
1、采用非独立信标光激光通信光学天线子系统作为测量设备，使评判标准与实际使用环境耦合度更高，结果更具备参考性。
2、采用信号光接收支路的信噪比SNR作为评判依据，所获得的系统标定基准值更客观、且有实际意义。
3、本发明可作为通用的光斑中心计算方法误差及性能优劣的评判标准。
附图说明
图1是本发明的光学天线原理示意图；
图2是本发明的光斑螺旋曲线行程图；
图3是本发明的工作流程图。
具体实施方式
为便于本领域的技术人员理解本发明，下面结合附图说明本发明的具体实施方式。
本发明涉及的信标光中心坐标计算的性能评价方法是通过构建一种基于非独立信标光的空间激光通信光学天线子系统，并通过与激光通信信号光紧密耦合来评价信标光中心计算方法的误差性能。
本发明详述实例结合经典的质心法、形心法等进行说明，具体步骤如下：
步骤一、构建一套基于非独立信标光的空间激光通信光学天线子系统，光学系统的整体布局及功能需求如图1所示。该部分主要由3 部分组成：主望远镜、信号光接收支路、信标光接收支路(含图像探测器)，其中支路由精跟踪镜反射。信标光支路与信号光支路分光比为1:9。
信号接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到光纤耦合支路镜头到接收光纤；信号接收支路接收的信号光聚焦接收，其接收光束可认为是平行光，接收系统需要计算耦合效率和系统的信噪比SNR；
信标接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到探测接收支路镜头，到光斑成像中心计算模块。信标接收支路接收的信标光聚焦在光电转换成像探测器靶面上，其接收光束也可认为是平行光，最终光斑的形状需要覆盖大于4*4个像元尺寸，来保证算法细分精度。
步骤二、构建不同算法的误差评价基准依据。采用1550nm激光器作为光源，InGaAs焦平面探测器(SWIR)作为成像探测器。在暗场环境下，调整激光器光源强度，使成像探测器能清晰成像，输出的光斑图像为近似理想的圆形光斑、服从高斯分布。在该条件下，不同光斑中心计算方法获得的中心坐标之间的差值小于0.01个像元，该误差对激光通信系统的误差可以忽略不计。可将该坐标值标记为 (x,y)。
驱动压电陶瓷偏转镜，使光斑在成像探测器靶面上以螺旋曲线方式运动，每次运动角度为θ＝180×rad/π，则在成像探测器靶面上，光斑坐标应该平移距离为Δl1＝f×tanθ，f为光学系统焦距。观测信号光支路系统的SNR，待SNR值稳定后，记录该值SNR1并读取该点坐标值(x1，y1)。光斑依照图2行程进行移动，并依次记录SNRi与(xi，yi)。
取所记录的数据中，系统信噪比最大值
Figure RE-GDA0003214347460000061
以及相对应的坐标值
Figure RE-GDA0003214347460000062
该组记录值为系统标定的基准值。
步骤三、构建信标光系统真实运行环境，首先采用质心法进行计算。记录测量当前环境的温度和湿度，根据成像探测器感光波段选用对应的激光光源，选用滤光片，减少杂光，并保证光路与“步骤二”中描述情况一致。微调镜头焦距，使光斑能够清晰成像于探测器靶面。
驱动压电陶瓷偏转镜，参照“步骤二”中图2调整光斑运行轨迹，并记录选取最大的SNR值
Figure RE-GDA0003214347460000063
以及对应的坐标值
Figure RE-GDA0003214347460000064
将光斑中心计算方法改为形心法，在相同的温度和湿度条件下，重复上述过程并记录
Figure RE-GDA0003214347460000065
步骤四、为排除误差变化规律出现的偶然性，需多次测量取平均并进行比较；此外，改变激光光源的入射角度，使光斑在成像探测器靶面上的位置偏移，再次重复“步骤二、步骤三”过程。
将多次测量值
Figure RE-GDA0003214347460000066
与标定的基准值
Figure RE-GDA0003214347460000067
Figure RE-GDA0003214347460000068
计算标准差，标准差的大小即为误差σ。由贝塞耳公式，多次测量光斑质心的标准差为：
Figure RE-GDA0003214347460000071
Figure RE-GDA0003214347460000072
Figure RE-GDA0003214347460000073
σ的数值大小表征光斑中心计算方法性能的优劣，σ的数值越小，算法的性能越好。
以上所述的本发明实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的权利要求保护范围之内。

Claims (6)

1.一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于，包括：
步骤1、构建非独立信标光激光通信光学系统；
步骤2、构建理想光斑，计量系统标定的基准值
Figure RE-FDA0003214347450000011
步骤3、构建系统真实运行环境，确定光路不变，确定温度、湿度不变；
步骤4、采用光斑中心计算方法一，驱动验电陶瓷偏转镜，计量
Figure RE-FDA0003214347450000012
Figure RE-FDA0003214347450000013
步骤5、多次测量计算
Figure RE-FDA0003214347450000014
2.根据权利要求1所述的一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于：步骤1中所述非独立信标光激光通信光学系统包括主望远镜、信号光接收支路和信标光接收支路；
信号接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到光纤耦合支路镜头到接收光纤；
信标接收支路：光线由光学天线进入，经过压电陶瓷偏转镜偏转，经过两个滤光片，经分束片进入到探测接收支路镜头，到光斑成像中心计算模块。
3.根据权利要求1所述的一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于：
步骤2.1、中调整激光器光源强度，使成像探测器能清晰成像，输出的光斑图像为圆形光斑、服从高斯分布，坐标值标记为(x,y)；
步骤2.2、驱动压电陶瓷偏转镜，使光斑在成像探测器靶面上以螺旋曲线方式运动，每次运动角度为θ＝180×rad/π，则在成像探测器靶面上，光斑坐标应该平移距离为Δl1＝f×tanθ，f为光学系统焦距。观测信号光支路系统的SNR，待SNR值稳定后，记录该值SNR1并读取该点坐标值(x1，y1)，并依次记录SNRi与(xi，yi)；
步骤2.3、取所记录的数据中，系统信噪比最大值
Figure RE-FDA0003214347450000021
以及相对应的坐标值
Figure RE-FDA0003214347450000022
该组记录值为系统标定的基准值。
4.根据权利要求3所述的一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于：
步骤3.1、用不同光斑中心算法进行计算，记录测量当前环境的温度和湿度，根据成像探测器感光波段选用对应的激光光源，选用滤光片，减少杂光，并保证光路与“步骤2”中描述情况一致，微调镜头焦距，使光斑能够清晰成像于成像探测器靶面；
步骤3.2、驱动压电陶瓷偏转镜，参照“步骤2”调整光斑运行轨迹，并记录选取最大的SNR值
Figure RE-FDA0003214347450000023
以及对应的坐标值
Figure RE-FDA0003214347450000024
Figure RE-FDA0003214347450000025
步骤3.3、变换光斑中心计算方法，在相同的温度和湿度条件下，重复上述过程并记录
Figure RE-FDA0003214347450000026
5.根据权利要求4所述的一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于：步骤4中为排除误差变化规律出现的偶然性，需多次测量取平均并进行比较；此外，改变激光光源的入射角度，使光斑在成像探测器靶面上的位置偏移，再次重复“步骤2、步骤3”过程。
6.根据权利要求4所述的一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法，其特征在于：步骤5中将多次测量值
Figure RE-FDA0003214347450000027
Figure RE-FDA0003214347450000028
与标定的基准值
Figure RE-FDA0003214347450000029
计算标准差，标准差的大小即为误差σ，由贝塞耳公式，多次测量光斑质心的标准差为：
Figure RE-FDA00032143474500000210
Figure RE-FDA00032143474500000211
Figure RE-FDA0003214347450000031
σ的数值大小表征光斑中心计算方法性能的优劣，σ的数值越小，算法的性能越好。
CN202110714790.XA 2021-06-25 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法 Active CN113472433B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110714790.XA CN113472433B (zh) 2021-06-25 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110714790.XA CN113472433B (zh) 2021-06-25 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113472433A true CN113472433A (zh) 2021-10-01
CN113472433B CN113472433B (zh) 2024-05-31

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115717859A (zh) * 2022-11-16 2023-02-28 南京博视医疗科技有限公司 一种点扫描光学系统激光标定方法及其装置

Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101223436A (zh) * 2005-05-12 2008-07-16 霍尼韦尔国际公司 用于纤维取向测量的方法和装置
CN102063615A (zh) * 2010-12-29 2011-05-18 哈尔滨工业大学 一种基于点噪声分布拓扑特性的信标光优化识别降噪方法
CN102857294A (zh) * 2011-06-29 2013-01-02 重庆邮电大学 地面到geo卫星激光通信中信号衰落的抑制方法及装置
US20130026942A1 (en) * 2011-07-26 2013-01-31 ByteLight, Inc. Device for dimming a beacon light source used in a light based positioning system
US20140139826A1 (en) * 2012-11-19 2014-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Method and device of measuring wavefront aberration, method of manufacturing optical system, and recording medium
JP2014165895A (ja) * 2013-02-28 2014-09-08 Nec Corp 光受信機、ｏｓｎｒ演算方法及びプログラム
CN104467960A (zh) * 2014-12-25 2015-03-25 湖北工程学院 无线光通信中信标光光斑稳定定位系统及其实现方法
CN106788043A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 华北电力大学（保定） Mees 中永磁同步电机反推自适应直接转矩控制方法
CN108760650A (zh) * 2018-05-25 2018-11-06 北京海光仪器有限公司 一种多灯位旋转灯塔对光系统
CN108847889A (zh) * 2018-08-03 2018-11-20 航天恒星科技有限公司 一种基于光梳探测的高可靠空间光网络通信终端及方法
CN108844463A (zh) * 2018-06-12 2018-11-20 南京理工大学 基于激光光斑位置的地下管道空间方位测量系统及方法
CN109001911A (zh) * 2018-07-03 2018-12-14 山东航天电子技术研究所 一种激光传能光学系统及其建立方法
CN109581294A (zh) * 2018-11-29 2019-04-05 中国船舶工业系统工程研究院 一种基于脉冲激光的定位装置及方法
CN109631787A (zh) * 2018-12-27 2019-04-16 长安大学 透射式靶标图像的光斑中心检测方法及桥梁挠度图像式检测装置
CN110672304A (zh) * 2019-08-16 2020-01-10 中国科学院西安光学精密机械研究所 激光通信终端中继光路性能测试系统、方法及校准方法
CN112713935A (zh) * 2020-12-29 2021-04-27 网络通信与安全紫金山实验室 自由空间光通信扫描跟踪方法、系统、设备及介质

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101223436A (zh) * 2005-05-12 2008-07-16 霍尼韦尔国际公司 用于纤维取向测量的方法和装置
CN102063615A (zh) * 2010-12-29 2011-05-18 哈尔滨工业大学 一种基于点噪声分布拓扑特性的信标光优化识别降噪方法
CN102857294A (zh) * 2011-06-29 2013-01-02 重庆邮电大学 地面到geo卫星激光通信中信号衰落的抑制方法及装置
US20130026942A1 (en) * 2011-07-26 2013-01-31 ByteLight, Inc. Device for dimming a beacon light source used in a light based positioning system
US20140139826A1 (en) * 2012-11-19 2014-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Method and device of measuring wavefront aberration, method of manufacturing optical system, and recording medium
JP2014165895A (ja) * 2013-02-28 2014-09-08 Nec Corp 光受信機、ｏｓｎｒ演算方法及びプログラム
CN104467960A (zh) * 2014-12-25 2015-03-25 湖北工程学院 无线光通信中信标光光斑稳定定位系统及其实现方法
CN106788043A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 华北电力大学（保定） Mees 中永磁同步电机反推自适应直接转矩控制方法
CN108760650A (zh) * 2018-05-25 2018-11-06 北京海光仪器有限公司 一种多灯位旋转灯塔对光系统
CN108844463A (zh) * 2018-06-12 2018-11-20 南京理工大学 基于激光光斑位置的地下管道空间方位测量系统及方法
CN109001911A (zh) * 2018-07-03 2018-12-14 山东航天电子技术研究所 一种激光传能光学系统及其建立方法
CN108847889A (zh) * 2018-08-03 2018-11-20 航天恒星科技有限公司 一种基于光梳探测的高可靠空间光网络通信终端及方法
CN109581294A (zh) * 2018-11-29 2019-04-05 中国船舶工业系统工程研究院 一种基于脉冲激光的定位装置及方法
CN109631787A (zh) * 2018-12-27 2019-04-16 长安大学 透射式靶标图像的光斑中心检测方法及桥梁挠度图像式检测装置
CN110672304A (zh) * 2019-08-16 2020-01-10 中国科学院西安光学精密机械研究所 激光通信终端中继光路性能测试系统、方法及校准方法
CN112713935A (zh) * 2020-12-29 2021-04-27 网络通信与安全紫金山实验室 自由空间光通信扫描跟踪方法、系统、设备及介质

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PAVEL RAZZHIVALOV; VIKTOR KALUGIN; NATALIA KOROBOVA: "Complex Modeling of Thermal Calculation for Device Determining the Star Coordinates", 2019 IEEE CONFERENCE OF RUSSIAN YOUNG RESEARCHERS IN ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING (EICONRUS), no. 03 *
于方磊, 赵硕, 程坤, 徐新瑞, 孟祥翔, 吴世臣: "基于单光子探测的LiDAR三维点云数据处理方法设计", 国外电子测量技术, no. 02 *
应家驹;王永仲;何永强;周中亮;周冰;: "成像激光告警的光斑定位误差分析", 红外与激光工程, no. 03 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115717859A (zh) * 2022-11-16 2023-02-28 南京博视医疗科技有限公司 一种点扫描光学系统激光标定方法及其装置
CN115717859B (zh) * 2022-11-16 2023-09-29 南京博视医疗科技有限公司 一种点扫描光学系统激光标定方法及其装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108332708B (zh) 激光水平仪自动检测系统及检测方法
US6184974B1 (en) Apparatus and method for evaluating a target larger than a measuring aperture of a sensor
US9116136B2 (en) Inspection method and system
US20120013760A1 (en) Characterization of image sensors
US9207189B2 (en) Sample support apparatus
TWI776085B (zh) 用於監測束輪廓及功率的方法及設備
JP2002048699A (ja) レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置
CN110836634B (zh) 可适应多种光束的四象限探测器标定方法
CN115826214A (zh) 一种基于共焦光路像素差分的焦面检测方法及装置
WO2020001633A1 (zh) 一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
CN113472433A (zh) 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法
CN115380194A (zh) 高灵敏度的基于影像的反射测量
CN115427754A (zh) 高灵敏度的基于影像的反射测量
CN113472433B (zh) 一种适用于激光通信的信标光中心坐标计算误差评价方法
CN115790373A (zh) 色散共焦测量系统及其测量方法
CN109883343B (zh) 双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法
CN109883342B (zh) 横向相减差动共焦镜组间隙测量方法
TW201721087A (zh) 增加用於檢測和度量之高度感測器之動態範圍
JP4106836B2 (ja) 検査装置
CN112504631A (zh) 一种探测器像素内响应变化测量方法及系统
CN114777933B (zh) 一种无网格大动态范围哈特曼波前测量装置及测量方法
CN105547154B (zh) 一种无透镜宽束平行光发射接收系统
CN117538333A (zh) 镜头阵列和晶圆检测设备
JP2010074112A (ja) 高さ測定方法、荷電粒子ビーム描画方法および荷電粒子ビーム描画装置
JPWO2009066599A1 (ja) 収差測定方法及びその装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant