CN113471809B - 一种可调谐猫眼激光器及调节方法 - Google Patents

一种可调谐猫眼激光器及调节方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113471809B
CN113471809B CN202110599702.6A CN202110599702A CN113471809B CN 113471809 B CN113471809 B CN 113471809B CN 202110599702 A CN202110599702 A CN 202110599702A CN 113471809 B CN113471809 B CN 113471809B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
mounting seat
base
piezoelectric ceramic
adjusting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110599702.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113471809A (zh
Inventor
杨仕锋
范阳
齐向晖
陈徐宗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunshan Ramsey Optoelectronic Technology Co ltd
Original Assignee
Beijing Uni Quanta Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Uni Quanta Technology Co ltd filed Critical Beijing Uni Quanta Technology Co ltd
Priority to CN202110599702.6A priority Critical patent/CN113471809B/zh
Publication of CN113471809A publication Critical patent/CN113471809A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113471809B publication Critical patent/CN113471809B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • H01S5/02326Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02255Out-coupling of light using beam deflecting elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02315Support members, e.g. bases or carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/024Arrangements for thermal management
    • H01S5/02407Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling
    • H01S5/02415Active cooling, e.g. the laser temperature is controlled by a thermo-electric cooler or water cooling by using a thermo-electric cooler [TEC], e.g. Peltier element

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种可调谐猫眼激光器及调节方法。本发明的可调谐猫眼激光器,其特征在于,底座(6)上设有窄带滤光片安装座(9),窄带滤光片安装座(9)上安装窄带滤光片(10);窄带滤光片(10)后依次设有偏振分光棱镜(18)、长焦距透镜、1/4波片组件(16)和反射镜(15),其中反射镜(15)位于所述长焦距透镜的焦平面;窄带滤光片安装座(9)可绕轴旋转;底座(6)上设有压电陶瓷安装孔(611)用于安装压电陶瓷安装座(13);压电陶瓷(14)一端与压电陶瓷安装座(13)连接,压电陶瓷(14)另一端与反射镜(15)相连;通过旋转压电陶瓷安装座(13)使反射镜(15)位于所述长焦距透镜的焦平面。

Description

一种可调谐猫眼激光器及调节方法
技术领域
本发明属于激光技术领域,涉及一种可调谐猫眼激光器及调节方法。
背景技术
外腔半导体激光器具有可调谐范围宽、线宽窄、波长覆盖范围大等优点,广泛应用于原子物理、激光光谱、量子精密测量等领域。外腔激光器将谐振腔延申至激光管外部,利用光学反馈元件实现外部光振荡,腔长得到极大增加,这有效的压窄了激光线宽。同时,腔长的稳定性也是影响激光线宽的重要因素。猫眼系统具有对光路偏移不敏感、机械与热稳定性好的特点,将猫眼系统应用于外腔半导体激光器可增强腔长的稳定性,得到更高质量的窄线宽激光。
刘金玉提出了一种852nm窄带滤光片外腔反馈半导体激光器的优化,其主要通过调整架调节角度,调整架具有调节精度高,调节简便等优点,但是其具有热稳定性差、抗震性差、存在漂移等缺点,在使用过程中需不断校正,不适用于激光器产品。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题,本发明的目的在于提供一种可调谐猫眼激光器及调节方法。
本发明的技术方案为:
一种可调谐猫眼激光器,包括用于安装窄带滤光片10、反射镜15的底座6,其特征在于,所述底座6上设有窄带滤光片安装座9,该窄带滤光片安装座9上安装所述窄带滤光片10;所述窄带滤光片10后依次设有偏振分光棱镜18、长焦距透镜、1/4波片组件16和所述反射镜15,其中所述反射镜15位于所述长焦距透镜的焦平面;所述窄带滤光片安装座9可绕轴旋转,用于调节所述窄带滤光片10与激光之间的夹角;
所述底座6上设有压电陶瓷安装孔611用于安装压电陶瓷安装座13;压电陶瓷14一端与所述压电陶瓷安装座13连接,压电陶瓷14另一端与反射镜15相连;通过旋转所述压电陶瓷安装座13改变反射镜15与所述长焦距透镜之间的距离,使所述反射镜15位于所述长焦距透镜的焦平面。
进一步的,所述窄带滤光片安装座9两端设计为圆形,其中一端为小端,另一端外侧设有调节结构,称为大端;所述调节结构上设有垂直于所述底座上表面的螺纹孔902以及垂于所述底座6侧面的若干个通孔901,所述底座6上表面设有沉孔601和螺纹孔604,所述底座6上设定固定槽610和调节槽607,所述调节槽607设有与所述固定槽610同轴的孔,用于将所述窄带滤光片安装座9插入所述底座6;所述小端安装在固定槽610中且可转动,所述大端安装在调节槽607中,螺钉穿过通孔901与所述调节槽607中的螺纹孔608配合,将所述窄带滤光片安装座9安装在底座6上;螺钉穿过沉孔601与螺纹孔902配合为所述窄带滤光片安装座9提供一个向上的拉力,螺纹孔604安装有顶丝,用于为所述窄带滤光片安装座9提供一个向下的压力,通过调整穿过沉孔601的螺钉或所述顶丝实现对所述窄带滤光片安装座9的旋转调节。
进一步的,所述底座6上设有激光管安装槽606用于安装激光管12,所述激光管12输出的光束经非球面透镜后整形为平行光后入射到所述窄带滤光片10滤波,所述可调谐猫眼激光器的外壳上设有光窗口7,用于输出激光。
进一步的,所述底座6上设有非球面透镜安装孔602;所述非球面透镜安装孔602具有内螺纹,用于安装带有外螺纹的非球面透镜;所述底座6上设有顶丝孔603用于安装顶丝,固定调节完成的所述非球面透镜。
进一步的,所述激光管12通过激光二极管压块19固定在激光管安装座11上;所述激光管安装座11左右两侧各有一个螺纹孔1101,螺钉穿过所述底座6上的沉孔605与螺纹孔1101配合,将激光管安装座11与底座6安装在一起;通过调节两侧螺钉的松紧程度,实现激光管12的左右平移调节。
进一步的,所述窄带滤光片10粘接在所述窄带滤光片安装座9上。
进一步的,所述底座6上设有螺纹孔613,用于固定偏振分光棱镜座17与1/4波片组件16。
进一步的,所述底座6上设有透镜安装孔612,用于安装所述长焦距透镜。
进一步的,还包括由底板1、侧盖板2、上盖板3、后盖板4组成的激光器外壳,出光窗口7位于上盖板3;后盖板4装有电路接口8,发光管12、半导体制冷器5、热敏电阻与压电陶瓷14通过电路接口8与控制机箱相连,实现对激光器波长与功率的控制。
一种可调谐猫眼激光器的调节方法,其步骤包括:
1)在底座6上安装激光管12和非球面透镜;调节非球面透镜与激光管12之间距离,根据激光的平行性,将激光管12的发光点调节至非球面透镜焦平面上;调节激光管安装座11两端螺钉,根据光斑的对称性,将激光管12的发光点调节至非球面透镜焦点;
2)旋转调节压电陶瓷安装座13,使反射镜15处于长焦距透镜焦平面处;
3)调节1/4波片角度,使得输出激光光功率达到最大;旋转窄带滤光片安装座9,调节激光波长至目标波长附近;调整压电陶瓷14,扫描激光器腔长,调谐激光器频率。
与现有技术相比,本发明的积极效果为:
各部件均采用相同的紫铜材料制造,各部分膨胀系数相同,具有良好的热稳定性。
在调节完成,固定螺钉后,激光系统为全固态系统,系统具有良好的抗环境干扰能力。
滤光片粘接在滤光片安装座上随其一起调节,滤光片安装座嵌入在底座中,只能一维绕轴转动。转动由螺钉与顶丝的拉和顶实现,调节精度高。在调节完成后,滤光片安装座与底座紧固在一起,固化了滤光片与激光管的相对位置,提高了系统的稳定性。
反射镜通过压电陶瓷间接粘接在压电陶瓷安装座上,压电陶瓷安装座与底座之间为螺纹连接,其转动转化为前后进动带动反射镜前后调节。调节完成后,顶丝将压电陶瓷安装座固定,增加稳定性。
附图说明
图1为本发明整体结构图;
图2为本发明光路示意图;
图3为激光管安装图;
图4为窄带滤光片安装图;
图5为底座结构示意图。
具体实施方式
下面对本发明的详细方法流程作进一步地描述:
如图1所示,整个系统包括底板1、侧盖板2、上盖板3、后盖板4、半导体制冷器5、底座6、出光窗口7、电路接口8、窄带滤光片安装座9、窄带滤光片10、激光管安装座11、激光管12、压电陶瓷安装座13、压电陶瓷14、反射镜15、1/4波片组件16、偏振分光棱镜座17、偏振分光棱镜18等组成。
底板1、侧盖板2、上盖板3、后盖板4通过螺钉连接,组成激光器的外壳,减小外界空气扰动与灰尘对激光器的损伤。出光窗口7位于上盖板3,需根据激光器的波段合理选用窗片。后盖板4装有电路接口8,发光管12、半导体制冷器5、热敏电阻与压电陶瓷14通过电路接口8与控制机箱相连,实现对激光器波长与功率的控制。
如图2所示,激光管12发出发散光,经非球面透镜后整形为平行光,平行光经窄带滤光片10滤波后透过偏振分光棱镜18,在长焦距透镜的作用下开始会聚,会聚中穿过1/4波片组件16,经处于长焦距透镜焦距处的反射镜15反射,光线原路返回,再次穿过1/4波片组件16,光线两次穿过1/4波片,线偏振方向发生改变,光线经偏振分光棱镜反射,最后经出光窗口7形成激光器的输出激光。经反射镜反射原路返回的激光少部分会透过偏振分光棱镜18回到激光管12,形成共振,激光管到反射镜之间形成激光器的共振腔,如此极大的增加了腔长,能有效压窄激光线宽。同时,通过调节1/4波片的角度,可以控制光反馈的强度,得到最佳反馈光强。
如图3所示,为激光管的安装示意图。激光管12通过激光二极管压块19固定在激光管安装座11上。激光管安装座11左右两侧各有一个螺纹孔1101,螺钉穿过图5中底座6上的沉孔605与螺纹孔1101配合,如此激光管安装座11与底座6安装在一起。通过调节两侧螺钉的松紧程度,可实现激光管12的左右平移调节。
图4为滤光片安装示意图,方形窄带滤光片10粘接在窄带滤光片安装座9上。窄带滤光片安装座9两端设计为圆形,小端部分安装在图5固定槽610中,大端安装在调节槽607中,如此窄带滤光片安装座9可绕轴旋转,调节方形窄带滤光片10与激光之间的夹角。
图5为底座示意图,激光管安装槽606用于安装激光管12。非球面透镜安装孔602具有内螺纹,用于安装带有外螺纹的透镜。非球面透镜将激光管发出的发散光准直为平行光。顶丝孔603用于安装顶丝,进一步固定调节完成的透镜。固定槽610与调节槽607用于安装窄带滤光片安装座9。螺钉穿过通孔901与螺纹孔608配合,将窄带滤光片安装座9安装在底座6上。螺钉穿过沉孔601与螺纹孔902配合为窄带滤光片安装座9提供一个向上的拉力,螺纹孔604安装有顶丝,为窄带滤光片安装座9提供一个向下的压力,如此实现窄带滤光片安装座9的旋转调节。螺纹孔613用于固定偏振分光棱镜座17与1/4波片组件16。
透镜安装孔612用于安装长焦距透镜,压电陶瓷安装孔611用于安装压电陶瓷安装座13。压电陶瓷14与压电陶瓷安装座13通过粘接相连,压电陶瓷14另一端与反射镜15通过粘接相连。旋转压电陶瓷安装座13可改变反射镜15与透镜之间的距离,当反射镜15位于透镜焦平面处时,反射镜与透镜组成猫眼结构,此结构具有较强的抗环境扰动性能,可保证光线总是原路返回。
本发明的调节方法流程为:
1)按图3所示,完成激光管12的安装;按图4所示,完成窄带滤光片10的安装;按图1中所示,完成压电陶瓷安装座13、压电陶瓷14、反射镜15的安装。
2)将底座6、半导体制冷器5与底板1安装在一起。
3)将激光管安装座11安装在底座6上,安装非球面透镜,旋转非球面透镜,调节非球面透镜与激光管12之间距离,根据激光的平行性,将激光管12的发光点调节至非球面透镜焦平面上;调节激光管安装座11两端螺钉,根据光斑的对称性,将激光管12的发光点调节至非球面透镜焦点。
4)将窄带滤光片安装座9安装至底座6上。
5)将长焦距透镜安装在透镜安装孔612,将偏振分光棱镜18与1/4波片组件16安装在底座6上。将粘接了压电陶瓷14与反射镜15的压电陶瓷安装座13安装在压电陶瓷安装孔611,旋转调节压电陶瓷安装座13,使反射镜15处于长焦距透镜焦平面处。
6)调节1/4波片角度,使得输出激光光功率达到最大,激光管得到最佳光反馈功率。旋转窄带滤光片安装座9,调节激光波长至目标波长附近。扫描压电陶瓷14,即在扫描激光器腔长,调谐激光器频率。
通过以上步骤完成了可调谐猫眼激光器的调试,使激光器工作在目标频率。
需要注意的是,公布实施例的目的在于帮助进一步理解本发明,但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本发明及所附权利要求的精神和范围内,各种替换和修改都是可能的。因此,本发明不应局限于实施例所公开的内容,本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。

Claims (7)

1.一种可调谐猫眼激光器,包括用于安装窄带滤光片(10)、反射镜(15)的底座(6),其特征在于,所述底座(6)上设有窄带滤光片安装座(9),该窄带滤光片安装座(9)上安装所述窄带滤光片(10);所述窄带滤光片(10)后依次设有偏振分光棱镜(18)、长焦距透镜、1/4波片组件(16)和所述反射镜(15),其中所述反射镜(15)位于所述长焦距透镜的焦平面;所述窄带滤光片安装座(9)可绕轴旋转,用于调节所述窄带滤光片(10)与激光之间的夹角;
所述底座(6)上设有压电陶瓷安装孔(611)用于安装压电陶瓷安装座(13);压电陶瓷(14)一端与所述压电陶瓷安装座(13)连接,压电陶瓷(14)另一端与反射镜(15)相连;通过旋转所述压电陶瓷安装座(13)改变反射镜(15)与所述长焦距透镜之间的距离,使所述反射镜(15)位于所述长焦距透镜的焦平面;
所述底座(6)上设有激光管安装槽(606)用于安装激光管(12),所述激光管(12)输出的光束经非球面透镜后整形为平行光后入射到所述窄带滤光片(10)滤波,所述可调谐猫眼激光器的外壳上设有出光窗口(7),用于输出激光;所述底座(6)上设有非球面透镜安装孔(602);所述非球面透镜安装孔(602)具有内螺纹,用于安装带有外螺纹的非球面透镜;所述底座(6)上设有顶丝孔(603)用于安装顶丝,固定调节完成的所述非球面透镜;
所述窄带滤光片安装座(9)两端设计为圆形,其中一端为小端,另一端外侧设有调节结构,称为大端;所述调节结构上设有垂直于所述底座上表面的第一螺纹孔(902)以及垂于所述底座(6)侧面的若干个通孔(901),所述底座(6)上表面设有沉孔(601)和第二螺纹孔(604),所述底座(6)上设定固定槽(610)和调节槽(607),所述调节槽(607)设有与所述固定槽(610)同轴的孔,用于将所述窄带滤光片安装座(9)插入所述底座(6);所述小端安装在固定槽(610)中且可转动,所述大端安装在调节槽(607)中,螺钉穿过通孔(901)与所述调节槽(607)中的第三螺纹孔(608)配合,将所述窄带滤光片安装座(9)安装在底座(6)上;螺钉穿过沉孔(601)与第一螺纹孔(902)配合为所述窄带滤光片安装座(9)提供一个向上的拉力,第二螺纹孔(604)安装有顶丝,用于为所述窄带滤光片安装座(9)提供一个向下的压力,通过调整穿过沉孔(601)的螺钉或第二螺纹孔(604)中的所述顶丝实现对所述窄带滤光片安装座(9)的旋转调节。
2.如权利要求1所述的可调谐猫眼激光器,其特征在于,所述激光管(12)通过激光二极管压块(19)固定在激光管安装座(11)上;所述激光管安装座(11)左右两侧各有一个第四螺纹孔(1101),螺钉穿过所述底座(6)上的沉孔(605)与第四螺纹孔(1101)配合,将激光管安装座(11)与底座(6)安装在一起;通过调节两侧螺钉的松紧程度,实现激光管(12)的左右平移调节。
3.如权利要求1所述的可调谐猫眼激光器,其特征在于,所述窄带滤光片(10)粘接在所述窄带滤光片安装座(9)上。
4.如权利要求1所述的可调谐猫眼激光器,其特征在于,所述底座(6)上设有第五螺纹孔(613),用于固定偏振分光棱镜座(17)与1/4波片组件(16)。
5.如权利要求1所述的可调谐猫眼激光器,其特征在于,所述底座(6)上设有透镜安装孔(612),用于安装所述长焦距透镜。
6.如权利要求1所述的可调谐猫眼激光器,其特征在于,还包括由底板(1)、侧盖板(2)、上盖板(3)、后盖板(4)组成的激光器外壳,出光窗口(7)位于上盖板(3);后盖板(4)装有电路接口(8),激光管(12)、半导体制冷器(5)、热敏电阻与压电陶瓷(14)通过电路接口(8)与控制机箱相连,实现对激光器波长与功率的控制。
7.一种如权利要求1所述可调谐猫眼激光器的调节方法,其步骤包括:
在底座(6)上安装激光管(12)和非球面透镜;调节非球面透镜与激光管(12)之间距离,根据激光的平行性,将激光管(12)的发光点调节至非球面透镜焦平面上;调节激光管安装座(11)两端螺钉,根据光斑的对称性,将激光管(12)的发光点调节至非球面透镜焦点;
旋转调节压电陶瓷安装座(13),使反射镜(15)处于长焦距透镜焦平面处;
调节1/4波片角度,使得输出激光光功率达到最大;旋转窄带滤光片安装座(9),调节激光波长至目标波长附近;调整压电陶瓷(14),扫描激光器腔长,调谐激光器频率。
CN202110599702.6A 2021-05-31 2021-05-31 一种可调谐猫眼激光器及调节方法 Active CN113471809B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110599702.6A CN113471809B (zh) 2021-05-31 2021-05-31 一种可调谐猫眼激光器及调节方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110599702.6A CN113471809B (zh) 2021-05-31 2021-05-31 一种可调谐猫眼激光器及调节方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113471809A CN113471809A (zh) 2021-10-01
CN113471809B true CN113471809B (zh) 2022-04-12

Family

ID=77871903

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110599702.6A Active CN113471809B (zh) 2021-05-31 2021-05-31 一种可调谐猫眼激光器及调节方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113471809B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114759430B (zh) * 2022-04-02 2024-08-06 中国科学院国家授时中心 一种猫眼外腔半导体激光器
CN116799616B (zh) * 2023-06-27 2024-01-09 中国人民大学 频率连续可调的单片式柔性结构猫眼外腔半导体激光器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106374334A (zh) * 2016-11-30 2017-02-01 中国科学院国家授时中心 窄线宽可调谐抗振外腔半导体激光器
CN111786255A (zh) * 2020-08-04 2020-10-16 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器
CN111799650A (zh) * 2020-06-02 2020-10-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 带有猫眼反射器的饱和吸收光谱稳频光学系统
CN112018597A (zh) * 2020-09-09 2020-12-01 成都天奥电子股份有限公司 外腔半导体激光器
CN112751259A (zh) * 2021-01-05 2021-05-04 中国人民解放军国防科技大学 一种基于柔性机械结构的类同步调谐外腔半导体激光器

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7636376B2 (en) * 2008-03-21 2009-12-22 Ondax, Inc. Method and apparatus for wavelength tuning laser diodes

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106374334A (zh) * 2016-11-30 2017-02-01 中国科学院国家授时中心 窄线宽可调谐抗振外腔半导体激光器
CN111799650A (zh) * 2020-06-02 2020-10-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 带有猫眼反射器的饱和吸收光谱稳频光学系统
CN111786255A (zh) * 2020-08-04 2020-10-16 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器
CN112018597A (zh) * 2020-09-09 2020-12-01 成都天奥电子股份有限公司 外腔半导体激光器
CN112751259A (zh) * 2021-01-05 2021-05-04 中国人民解放军国防科技大学 一种基于柔性机械结构的类同步调谐外腔半导体激光器

Also Published As

Publication number Publication date
CN113471809A (zh) 2021-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN113471809B (zh) 一种可调谐猫眼激光器及调节方法
US5341388A (en) Laser light beam generating apparatus
US5050179A (en) External cavity semiconductor laser
US5172390A (en) Pre-aligned diode laser for external cavity operation
KR100272193B1 (ko) 반도체 레이저 여기 고체레이저 장치
CN101582561B (zh) 光栅掠衍射外腔半导体激光器
CN111786255B (zh) 一种稳频和稳光强双压电陶瓷调谐外腔半导体激光器
CN1524324A (zh) 根据增益介质两端的电压对激光器损耗的估计和调节
US5170409A (en) Laser resonator assembly
CA3167740A1 (en) Amplitude-modulated laser
US5245618A (en) Laser beam generating apparatus
US20130223470A1 (en) Apparatus for femtosecond laser optically pumped by laser diode pumping module
CN108400520B (zh) 波长连续可调谐单纵模半导体激光器
CN112751259A (zh) 一种基于柔性机械结构的类同步调谐外腔半导体激光器
CN105932541A (zh) 一种Littman结构可调谐外腔半导体激光器
CN117039604A (zh) 双干涉滤光片特殊角度复合的反馈量可调半导体激光器
US5365534A (en) Injection laser and photosensor assembly
KR100274416B1 (ko) 레이저광빔 발생장치
CN113161852A (zh) 一种可调谐外腔半导体激光器及调节方法
JPH03504786A (ja) 光を発生させるための装置
CN102035136A (zh) 一种外腔半导体激光器
CN101521352B (zh) 半导体激光器
CN208433632U (zh) 单频连续光环形腔倍频系统
CN114258619A (zh) 外腔激光设备、对应的系统和方法
US20120327371A1 (en) Laser light source apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20230714

Address after: 215347 Floor 2, Building A, No. 99, Yudai West Road, Yushan Town, Kunshan, Suzhou, Jiangsu Province

Patentee after: Kunshan Ramsey Optoelectronic Technology Co.,Ltd.

Address before: Room 338, building 5, No. 5 Huayuan Road, Haidian District, Beijing 100088

Patentee before: Beijing Uni-Quanta Technology Co.,Ltd.