CN113454446A - 用于无间隙地一维测量x射线辐射的测量系统 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 234
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 40
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 10
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 82
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 238000006959 Williamson synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/50—Detectors
- G01N2223/501—Detectors array
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/62—Specific applications or type of materials powders
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明概括地提出构造具有多个探测器模块(1、1a‑1g)的X射线探测器(21)，探测器模块分别包括没有X射线敏感性的死区(6)和具有在测量方向(MR)上空间分辨的X射线敏感性的作用区(3、3a‑3c)，各探测器模块(1、1a‑1g)沿测量方向(MR)依次相继且重叠地构造，使得在重叠区域(23a‑23e)中一个探测器模块(1、1a‑1g)的死区(6)被另一个探测器模块(1、1a‑1g)的作用区(3、3a‑3c)桥接。重叠的探测器模块(1、1a‑1g)在重叠区域(23a‑23e)中在横向方向(QR)上并排布置，横向方向(QR)横向于局部测量方向(MR)且横向于至样本位置(91)的局部连接方向(VR)延伸。利用X射线探测器(21)能简单获得在样本位置(91)处的测量样本(96)的无间隙的一维测量信息、尤其是X射线衍射信息。
Description
背景技术
本发明涉及一种用于X射线辐射的测量系统，包括：
-能用X射线照射的样本位置，和
-用于探测从样本位置发出的X射线辐射的X射线探测器，该X射线探测器包括多个探测器模块，
各探测器模块分别具有至少一个作用区和包围所述至少一个作用区的死区，在作用区中能探测到X射线辐射，在死区中不能探测到X射线辐射，
各探测器模块关于测量方向单个地和/或成组地依次相继布置，
各探测器模块的作用区分别构造用于在测量方向上空间分辨地探测X射线辐射，
并且所述X射线探测器的所有探测器模块的作用区的整体在测量方向上具有伸展长度AM并且在横向方向上具有伸展长度AQ，其中，AM≥5*AQ，其中，所述横向方向局部地横向于测量方向并且局部地横向于至样本位置的连接方向延伸。
这种测量系统已由B.Schmitt等，Nuclear Instruments and Methods inPhysics Research A 501(2003),第267-272页″Mythen detector system”已知。
X射线辐射可以用于无损检查待测样本的晶体结构。X射线辐射在此在样本中的晶体的晶格面上或所属的原子上衍射。由所衍射的X射线辐射的空间分布可以推断出待检查样本的晶体结构或特性。
为了探测X射线使用不同类型的X射线探测器。零维X射线探测器能实现在仅非常小的空间角度范围内探测X射线；因此在测量期间X射线探测器典型地在所关注的空间角度范围内进行扫描，例如利用测角器进行扫描。一维探测器能实现沿一个空间方向(“测量方向”)空间分辨地探测X射线辐射。二维探测器甚至能实现沿两个空间方向的空间分辨的探测，但是相对昂贵。
一种重要类型的X射线衍射测量是用X射线检查粉末样本，其中，在衍射图像中出现所谓的德拜环。各德拜环分别代表晶体中的特定晶格间距。基于粉末样本中的各个晶粒相对于入射的X射线的随机取向，每个晶粒使X射线通过相应的晶格面衍射到所属的德拜环的预定部位上，并且德拜环通过衍射的粉末晶粒的整体基本上均匀地被照射。相应地，关于粉末样本的信息已经存在于德拜环的小的圆周部分中。
因此，对于分析粉末样本的衍射图像(“粉末衍射图”)而言足够的是，空间分辨地分析沿一个任意的径向方向经过德拜环的衍射图像的。为此可以使用一维X射线探测器。
要注意的是，即使在其它类型的X射线测量中，一维的测量信息也能足以获得关于样本的期望信息。
用于典型的一维X射线探测器的探测器模块包括一个作用区和一个包围该作用区的死区。如果X射线量子碰撞到作用区上，则将探测到该X射线量子。如果X射线量子碰撞到死区上，则将探测不到该X射线量子。死区在实践中是必要的，以便设置作用区的结构。探测器模块的作用区大多沿测量方向比横向于该方向更长地构造，作用区在所述测量方向上能实现空间分辨。
用于一维X射线探测器的典型的探测器模块可以被构造为半导体探测器模块，在所述半导体探测器模块中作用区被划分为(通常带形的)传感器元件，利用所述传感器元件实现空间分辨，例如参见G.Lutz，“Semiconductor Radiation Detector-DevicePhysics”，柏林施普林格出版社，2007年第二版，第109-111页和第229-233页。
其它典型的用于一维X射线探测器的探测器模块可以被构造为气体探测器(也称为气体填充的比例探测器)，在所述气体探测器中X射线量子触发电荷脉冲，所述电荷脉冲朝向作用区的相对置的边缘移动，从而由运行时间差可以推断出在气体探测器上的碰撞位置，例如参见G.F.Knoll，“Radiation Detection and Measurement”，约翰·威利父子公司，纽约，1989年第二版，第190页，亦或F.H.W.Heuck,E.Macherauch，“Forschung mit
Bilanz eines Jahrhunderts(1895-1995)”，柏林施普林格出版社，第359-360页。例如也在L.Spieβ等，“Moderne
für Materialwissenschaftler,Physiker undChemiker”，B.G.Teubner出版社/GWV专业出版社有限公司，威斯巴登2005年，图片2.43(第126页)中已知弧形的气体探测器。相应的X射线衍射仪例如通过赛默飞世尔科技公司的ARLEQUINOX100台式X射线衍射仪(参见公司手册“Thermo Scientific ARL EQUINOX100X-raydiffractometers”，11/2008)亦或通过FCT-ACTech Continuous On Stream MineralAnalyser COSMA(参见于2019年2月8日下载的http://www.fct-actech.com/site/pages/equipment.php)已知；所述X射线衍射仪可以装备有弯曲的空间分辨的探测器，如其由美国新罕布什尔州斯塔森市INEL公司提供(参见于2019年2月8日下载的http://www.inel.us/index.php/accessories-xrd-inel-company/detector-curved-inel-company)。然而，气体探测器受限于整体的计数速率(通常为1Mcps)并且与基于半导体的探测器模块相比具有较差的空间分辨率和能量分辨率并且此外具有受限的耐久性。
为了覆盖比单个探测器模块的作用区更长的测量范围，可以在测量期间移动探测器模块。然而，这在仪器方面是耗时的并且延长了测量持续时间。
由B.Schmitt等人的测量系统“Mythen detector system”已知，将十二个扁平的基于半导体的探测器模块相继地布置在一个圆弧上，使得各探测器模块总体上可以同时测量为单个探测器模块大约12倍大的角度范围。
然而，在这种布置结构中，沿圆弧测量衍射图像在死区的区域中具有间隙，所述死区分别包围探测器模块的作用区。相应地必须放弃来自间隙区域的衍射信息，亦或探测器模块必须沿圆弧错开并且然后重复测量，以便获得完整的衍射信息。
通过imXPAD公司与法国法兰西岛的Synchrotron SOLEIL公司合作的弧形探测器CirPAD已知一种X射线探测器，在该X射线探测器中各探测器模块沿一个圆弧布置，其中，该布置结构应当能够实现减小的模块间距(参见于2019年2月7日下载的https://www.synchrotron-soleil.fr/en/news/new-detector-diffabs-fast-measurements-x-ray-diffraction-images)。CirPAD探测器还在演示文稿“Résolution de structuresàpartir de diagrammes de diffraction de poudres”，Erik Elkaim，Ecole deCristallographie，2016年10月17-21日，那里的页面12中提到。
由Ch.Broennimann等人，J.Synchrotron Rad.(2006).13,120–130，“The PILA-TUS 1M Detector”同样已知一种X射线探测器，其中设置探测器模块的部分重叠，其方式为探测器模块关于朝向样本位置的局部连接方向相继地(以线性增加的偏移)布置。然而，由于X射线量子在相应前方的传感器中的吸收，保留了没有探测的区域。
其它具有基于半导体的探测器模块的X射线探测器由Rigaku公司的HyPix-Arc150°(参见于2019年2月8日下载的https://www.rigaku.com/en/arc)或Stresstech公司的X射线衍射仪(例如参见于2019年2月8日下载的公司手册“Xstress 3000G3/G3R”，德国伦讷罗德Stresstech有限公司，未注明日期)或Rigaku公司的SmartSite RS便携式应力分析仪(参见于2019年2月8日下载的https://www.rigaku.com/en/products/xrd/smartsite-rs)亦或通过US2017/0097309A1已知。
在过去，X射线衍射图像也已经在相纸(膜)(包括弯曲相纸)上制造(参见“International Tables for Crystallography”的图2.3.4.1)。
发明任务
本发明的任务是提供一种测量系统，利用该测量系统能够以简单且快速的方式获得关于测量样本的无间隙的一维测量信息。
发明内容
根据本发明，所述任务通过开头所述类型的测量系统来解决，该测量系统的特征在于，
关于测量方向依次相继的探测器模块中的至少一部分探测器模块构成重叠区域，在各所述重叠区域中分别有至少两个探测器模块在测量方向上重叠并且在横向方向上并排地布置，
在重叠区域中的探测器模块的作用区在测量方向上直接彼此邻接或者在测量方向上重叠，使得探测器模块的作用区的整体能够实现在测量方向上无间隙地测量从样本位置发出的X射线辐射。
根据本发明的测量系统用于简单且无间隙地确定关于测量样本的一维测量数据或测量信息。探测器模块或其作用区可以分别提供在测量方向上分辨的测量数据(以在测量方向上的位置的函数形式的强度)。经由探测器模块的整体，可以通过所设置的重叠区域经过在测量方向上依次相继的探测器模块提供无间隙的总测量数据集(以在测量方向上的位置的函数形式的强度)。尤其是，各个探测器模块的不可避免的死区(尤其是参考测量方向在端部上)在整个数据集中不产生间隙。典型地，根据本发明的X射线探测器的所有探测器模块与其在测量方向上最紧邻的所有探测器模块构成重叠区域。
通过根据本发明的重叠区域实现：一个探测器模块的死区(只要该死区不与该探测器模块本身的至少一个作用区在测量方向上重叠)由至少一个另外的探测器模块的作用区在测量方向上重叠。所述另外的探测器模块在横向方向上至少部分地布置在所述一个探测器模块的旁边，这在结构上是简单的并且避免所述一个探测器模块和所述另外的探测器模块或至少其作用区关于至样本位置的连接方向相互遮挡。所述一个探测器模块和所述另外的探测器模块相应地典型地在连接方向上布置在相同的位置上并且关于连接方向不彼此重叠，并且尤其是所述一个探测器模块关于连接方向不位于所述另外的探测器模块的作用区上方并且反之亦然。
在典型的粉末衍射法测量的情况下，沿一个德拜环到处包含关于样本的相同的衍射信息，使得在所述一个探测器模块的死区的位置处沿德拜环并且因此基本上横向于测量方向并且横向于至样本的连接方向选择(Ausweichen)所述另外的探测器模块的作用区不影响测量结果。相反地，通过这种方式更确切地说能够使一维衍射信息完整。即使德拜环应具有与圆形不同的形状，例如由机械应力决定的椭圆形状，但是德拜环的半径和必要时宽度(清晰度)也至少局部地几乎是恒定的，尤其是当由于借助所述另外的探测器模块的选择而在德拜环处的圆周角的变化为10°或更小、优选为5°或更小时。
所述测量系统尤其是可以利用X射线探测器静止地(并且也与静止的X射线源或静止的照射样本位置的X射线辐射)使用或者仅利用横向于测量方向(即仅一个旋转轴线)的运动分量使用，这能够实现紧凑的构造和快速的测量。
根据本发明，X射线探测器具有所有探测器模块的作用区的整体的大高宽比，大多数情况下甚至适用AM≥8*AQ或AM≥10*AQ。在典型的根据本发明的结构形式中进一步适用AM≥200mm并且AQ≤40mm。利用这些结构形式能够方便地并且在紧凑且成本有利的结构的情况下实现一维的测量信息。
典型地，整个测量系统或X射线探测器具有大量在测量方向上依次相继的探测器模块，例如至少10个或至少20个。而在横向方向上通常仅有少数探测器模块并排地放置，例如仅最多3个或最多2个，或者探测器模块甚至仅布置在沿测量方向延伸的一排中。
要注意的是，所述横向方向典型地基本上垂直于并且优选恰好垂直于至样本位置的(局部)连接方向和(局部)测量方向的延伸；但是小的偏差(大约直至10°或大约直至5°)大多是没有问题的(例如在测量信息的空间分辨率方面)。所述测量方向同样典型地基本上垂直于并且优选恰好垂直于至样本位置的(局部的)连接方向延伸；但是小的偏差(大约直至10°或者大约直至5°)大多也是没有问题的(例如在视差效应方面)，并且尤其是在直线延伸的测量方向的情况下也可以出现较大的偏差。
根据本发明的测量系统或X射线探测器基本上是用于X射线辐射的一维探测器。在最简单的情况下，该测量系统(除了探测器模块关于横向方向的用于桥接死区的可能并排布置方案之外)在横向方向上没有空间分辨率。如果各个探测器模块的作用区在横向方向上也具有空间分辨率，则该空间分辨率通常不被用于表征测量样本。
优选实施方式
根据本发明的测量系统的一种优选的实施方式规定，
所述探测器模块包括第一探测器模块和第二探测器模块，
其中，所述第一探测器模块在测量方向上依次相继地布置在第一排中，并且所述第二探测器模块在测量方向上依次相继地布置在至少一个第二排中，
所述第一排和所述至少一个第二排关于所述横向方向并排地布置，
并且第一探测器模块相对于第二探测器模块在测量方向上彼此错开地布置，使得第二探测器模块的作用区与第一探测器模块的在测量方向上不由第一探测器模块的作用区重叠的死区在测量方向上重叠。第一和第二探测器模块在第一排和至少一个第二排中的布置方案在结构上是特别简单的。要注意的是，这些排可以沿(平行的)直线或者也可以沿(平行的)圆弧延伸。典型地，第一和第二探测器模块在横向方向上不重叠。
特别优选的是所述实施方式的如下进一步改进方案，在该进一步改进方案中，对于在测量方向上的第一长度L1和在测量方向上的第二长度L2，相应地适用L2≥0.2*L1、优选L2≥0.4*L1，一个第一探测器模块的一个或多个作用区在所述第一长度上延伸，所述第二长度位于在所述至少一个第二排中在测量方向上依次相继的第二探测器模块的作用区之间，这两个第二探测器模块与所述一个第一探测器模块构成一个重叠区域。进一步特别优选地也适用L2≥0.6*L1或L2≥0.8*L1，亦或L1＝L2。在测量方向上覆盖第一探测器模块的一个或多个作用区的区域中，原则上不需要与第二探测器模块的作用区重叠。相应地，在第二排中可保留无作用区的区域，这将测量系统的结构耗费和因此制造成本保持得低。
同样优选的是如下进一步改进方案，其规定，所述第一排和所述至少一个第二排包括至少一个具有间距的排，在该具有间距的排中在测量方向上依次相继的探测器模块关于测量方向以间距AB彼此间隔开地布置，尤其是适用AB≥0.3*LM，其中，LM为在具有间距的排中的探测器模块在测量方向上的长度。优选地也适用AB≥0.5*LM。在测量方向上覆盖第一探测器模块的一个或多个作用区的区域中，原则上不需要与第二探测器模块的作用区重叠。相应地，在第二排中的区域可保持空的(没有探测器模块)，这又将测量系统的结构耗费和因此制造成本保持得低。
在一种优选的实施方式中，所述探测器模块在测量方向上依次相继地布置在仅一排中，其中，在重叠区域中探测器模块也在横向方向上重叠。由此能够实现特别窄的(在横向方向上紧凑的)结构，从而能够实施位置精确的和少散射的测量。
优选地在一种实施方式中规定，所述探测器模块在重叠区域中基本上楔形地和/或啮合地构造。由此能够以简单的方式设置作用区在重叠区域中的重叠或接合，尤其是也在仅一排探测器模块内。借助楔形构造的探测器模块也能够实现特别简单的相互定位(或调准)。
如下实施方式也是优选的，在该实施方式中，在重叠区域中重叠的探测器模块的作用区在测量方向上在双重测量区域中重叠。通过设置双重测量区域可以允许更大的装配公差，而不必担心在测量方向上产生间隙。此外，在双重测量区域中通常可以实现更高的计数速率以改善测量数据的统计上的关联性；然而因此必须进行校准，以便使得在双重测量区域中的强度与在各双重测量区域之间的强度可比。
在所述实施方式的一种优选的进一步改进方案中，所述探测器模块的作用区在双重测量区域中相比于在双重测量区域之外关于横向方向缩短地构造。由此能够实现在沿测量方向的相应位置上调节在横向方向上的总有效传感器长度，尤其是到处相同的总有效传感器长度，以便避免校准。
在另一种有利的实施方式中规定，在所述重叠区域中，重叠的探测器模块的作用区在测量方向上不重叠。在这种情况下，在测量方向上一个探测器模块的死区仅与另一个探测器模块的作用区重叠；但是，探测器模块的作用区直接彼此邻接。不需要将在沿测量方向的特定位置上的不同探测器模块的计数速率相加以便确定对于该位置的强度，这使得对传感器数据的分析特别简单。
如下实施方式也是优选的，在该实施方式中，各个探测器模块的所述至少一个作用区具有多个在测量方向上依次相继的传感器带，所述传感器带至少基本上在横向方向上延伸。所述传感器带能够实现在测量方向上的空间分辨率；每个条在测量方向上(或沿测量方向)设置一个(测量)位置。一个传感器带最简单地构成一个统一的传感器区域，该传感器区域作为整体被测量(即仅一个传感器元件)。替代地，传感器带也可以由多个测量像素(多个传感器元件)构造，所述多个测量像素在横向方向上依次相继地布置。传感器带典型地基本上矩形地构造。依次相继的传感器带在测量方向上典型地直接彼此邻接，从而它们构成封闭的作用区。一个探测器模块的各传感器带典型地彼此平行地布置。具有传感器带的探测器模块典型地被设置成半导体模块。要注意的是，替代于传感器带，探测器模块还可以以其它方式设置在测量方向上的空间分辨率，例如通过电荷脉冲的运行时间差(例如在基于气体探测器的探测器模块中)。
所述实施方式的如下进一步改进方案是优选的，其中，在沿所述测量方向的所有位置上，在相应位置上构成一个传感器带的所有探测器模块的传感器带在横向方向上的合计的有效带长度是相同的。由此能够通过简单地将在沿测量方向的相应位置上的传感器带的计数速率相加来确定沿测量方向的强度分布；不需要在不同位置之间的校准。
还优选的是如下进一步改进方案，在该方案中，至少一部分所述传感器带、优选每个传感器带具有至少一个传感器元件，所述传感器元件具有传感器元件高宽比SEAV≥3，其中，SEAV＝SEB/SEH，并且SEB为传感器元件在横向方向上的宽度，以及SHE为传感器元件在测量方向上的高度。利用这样在横向方向上伸展的传感器元件能够提高计数速率并且改善测量数据的统计质量。典型的测量样本沿横向方向的衍射信息至少局部不改变，使得通过该集成(Integration)不丢失样本信息。
还优选的是如下进一步改进方案，在该方案中，所述传感器带基本上矩形地构造，其中，传感器带的纵向侧在横向方向上延伸，并且各个作用区的在测量方向上依次相继的传感器带以其纵向侧相互贴靠。相应的探测器模块能够简单地制造并且能够简单地安装、尤其是简单地调准。
在一种有利的实施方式中，所述测量方向直线地延伸。这在结构上特别简单且灵活(尤其是在样本位置与X射线探测器之间的间距在需要时能够容易地改变)，但是对于测量区域更长地伸展或与样本位置的间距短的情况可能导致测量误差、尤其是导致所谓的视差效应。
在一种替代的、特别优选的实施方式中，所述测量方向弯曲地延伸，尤其是该测量方向以圆弧的形式延伸，所述样本位置布置在所述圆弧的中心点上。由此能够实施特别精确的衍射测量，其中仅具有小的由于视差效应引起的测量误差。测量方向在此可以(基本上)垂直于至样本的局部连接方向延伸；要注意的是，在实践中，测量方向的总体上弯曲的走向大多局部地逐段地通过直线走向(各个探测器模块的直线基座)和转弯部(在基座过渡部处)逼近。
在所述实施方式的一种优选的进一步改进方案中，所述探测器模块分别布置在平坦的基座上，该基座垂直于至样本位置的局部连接方向。这使得探测器模块的简单实用的、成本有利的结构与小的测量误相关联。
优选的是如下实施方式，在该实施方式中，所述探测器模块被构造为半导体探测器模块。半导体探测器模块是相对成本有利的，能够提供高的空间分辨率(例如50μm或更好)并且(相比于气体探测器)也适合于较大的总计数速率并且几乎不需要维修。替代地，例如也可以使用基于气体探测器的探测器模块；利用它们能够非常精确地模拟测量方向的弯曲走向。
在一种优选的实施方式中，在所述探测器模块之前布置有掩模，该掩模相对于所述样本位置至少遮挡探测器模块的作用区的至少一部分作用区的部分面，并且由此作用区的整体在横向方向上的可用宽度相对于在没有遮挡的情况下作用区的整体的全宽度减小。通过所述掩模能够限制在横向方向上的探测宽度，以便对于在横向方向上的扫描获得高的空间分辨率。此外，信号背景比能够明显得以改善，因为活动面积(所使用的作用区)能够通过掩模集中到具有最大量有效信号的那些X射线辐射上。当作用区不仅构造用于在测量方向上的空间分辨的探测，而且构造用于在横向方向上的空间分辨的探测时，所述作用区域的不希望的部分也可以在测量或分析时被忽略(“虚拟掩模”)。
根据本发明的上述的测量系统在对测量样本进行测量中的应用也落入本发明的范围内，
其中，用X射线照射所述测量样本并且将该测量样本布置在所述样本位置上或者利用X射线光学系统将该测量样本成像到所述样本位置上，
并且将各探测器模块的同时测量得到的测量数据整合成一维的、关于沿测量方向的位置无间隙的总测量数据集，
其中，在沿测量方向的如下位置——在这些位置中在至少两个探测器模块的重叠区域中仅存在重叠的探测器模块中的至少一个探测器模块的死区——上使用所述重叠的探测器模块中的至少一个另外的探测器模块的测量数据，所述另外的探测器模块在该位置上具有用于确定连续的总测量数据集的作用区。利用该方式能够以简单且快速的方式以低的设备耗费实现测量样本的一维测量(尤其是X射线衍射测量)。在唯一的短的曝光间隔中同时拍摄所有被探测器模块整体所覆盖的衍射环。典型地，这样照射测量样本以及布置X射线探测器，使得在横向方向上(至少经过AQ)到达X射线探测器的X射线辐射例如由于激发测量样本的X射线的宽度而包含冗余的信息。
从说明书和附图中得出本发明的其它优点。同样，前文所述的以及还将进一步描述的特征根据本发明也可以自身单独地或者多个任意组合地应用。所示出的和所描述的实施方式不应理解为穷尽列举，而是更确切地说具有用于描述本发明的示例性特征。
附图说明
图1以示意性斜视图示出用于根据本发明的测量系统的探测器模块，其被构造为具有传感器带的半导体探测器模块；
图2以示意性俯视图示出图1的探测器模块，包括所属的测量通道的示意图；
图3以示意性俯视图示出用于根据本发明的测量系统的另一个探测器模块，其被构造为气体探测器-探测器模块，包括所属的测量通道的示意图；
图4示出根据第一种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有两排探测器模块；
图5示出根据第二种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有三排探测器模块；
图6示出根据第三种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有三排探测器模块，其具有在横向方向上空间分辨的作用区；
图7示出根据第四种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有一排啮合的探测器模块，其分别具有两个作用区；
图8示出根据第五种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有一排交替布置的楔形的探测器模块，其分别具有三个作用区；
图9示出根据第六种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有一排交替布置的楔形的探测器模块，其分别具有一个作用区；
图10示出根据第七种实施方式的根据本发明的测量系统的示意性俯视图，该测量系统具有一排同向布置的楔形的探测器模块，其分别具有一个作用区；
图11以示意性俯视图示意性地示出根据图4的测量系统的一部分，其中布置有掩模；
图12示意性示出第一测量结构，其包括类似于图9的根据本发明的测量系统，第一测量结构具有圆弧形地延伸的测量方向，沿该测量方向布置探测器模块；
图13示意性示出第二测量结构，其包括类似于图4的根据本发明的测量系统，第二测量结构具有圆弧形延伸的测量方向，沿该测量方向布置探测器模块，并且具有用于测量样本的输送装置；
图14示意性示出第三测量结构，其包括类似于图4的根据本发明的测量系统，第三测量结构具有直线地延伸的测量方向，沿该测量方向布置探测器模块。
具体实施方式
图1以示意性斜视图示出用于根据本发明的测量系统的探测器模块1。
探测器模块1在此被构造为具有扁平的(平坦的)基座2的半导体探测器模块。该探测器模块具有作用区3，该作用区在此被构造成具有多个传感器带；在此，示例性地用附图符号标记两个传感器带4a、4b并且示出总共六个传感器带；在实践中，一个探测器模块1大多具有明显更多的传感器带，例如至少64个传感器带或甚至至少96个传感器带(未详细示出)。传感器带4a、4b在此实施为矩形的并且以其长边5彼此贴靠。在此，传感器带4a、4b沿(预定的)测量方向MR排列并且分别沿横向方向QR延伸，并且在此分别仅具有一个连续的传感器元件30。在所示的实施例中，传感器元件30在横向方向QR上的宽度SEB是传感器元件30在测量方向MR上的高度SEH的大约5倍大，使得传感器元件高宽比SEAV＝SEB/SEH＝5。
X射线量子(具有在1keV至250keV之间的能量的光子)可以在作用区3内被探测到，其中，在其中能探测到X射线量子的传感器带4a、4b显示沿测量方向MR的记录位置。相应地，通过传感器带4a、4b实现关于测量方向MR的空间分辨。在所示的实施例中，各个传感器带4a、4b在横向方向QR上被构造在仅一个连续的传感器元件30中，从而在此不能实现在传感器带4a、4b内获得在横向方向QR上的空间分辨。
作用区3被所谓的死区6包围，其中，死区6在此构成围绕作用区3的矩形框架。在死区6中遇到探测器模块1的X射线量子不被记录。死区6在探测器模块1中原则上出于结构原因是不可避免的。
图2再次详细地示出类似于图1中所示的探测器模块1的电气连接。探测器模块1的作用区3的每个传感器带4a、4b配设有分析电子装置9的一个测量通道7a、7b。遇到特定传感器带4a、4b的X射线量子产生电荷脉冲8a、8b，该电荷脉冲在所属的测量通道7a、7b中被记录。在图2中，在此针对每个传感器带4a、4b示出一个电荷脉冲8a、8b；要注意的是，每个X射线量子通常仅触发一个电荷脉冲8a、8b，其在测量通道7a、7b的仅一个测量通道中被记录。
图3示出用于根据本发明的测量系统的探测器模块1的一种替代的结构形式。探测器模块1在此被构造为具有气体探测器。探测器模块1的作用区3在此由气体室的窗口10构成。进入到作用区3中的X射线量子触发气体室中的气体的局部电离并且所产生的正电荷和负电荷朝向在气体室的边缘处的第一(在此为下方的)电极11a和第二(在此为上方的)电极11b漂移。电极11a、11b分别与分析电子装置9的测量通道12a、12b连接。在测量通道12a、12b处测量相应的电荷脉冲8a、8b的碰撞时刻。由电荷脉冲8a、8b的碰撞时刻的差值可以推断出X射线量子在气体室中或在作用区3中的关于测量方向MR的碰撞位置。
图4示出用于X射线辐射的根据本发明的测量系统20的第一种实施方式。测量系统20具有多个探测器模块1，该探测器模块在此类似于在图1中所示地被构造为具有连续的传感器带的半导体探测器模块，用于沿传感器带的顺序方向的空间分辨。探测器模块1形成测量系统20的X射线探测器21的主要部件。探测器模块1被构造用于探测从样本位置发出的X射线辐射；为了简化，在此没有详细示出样本位置(但是对此参见图12-14)。
所有探测器模块1在此关于(预定)测量方向MR单个地依次相继地布置，即，每个探测器模块1关于测量方向MR布置在不同的位置处(探测器模块1的位置例如可以分别通过该探测器模块1的中心22来定义)。在图4中从上往下，探测器模块1关于测量方向MR以顺序1a、1b、1c、1d、1e、1f等排列。
所有探测器模块1在此被构造成结构相同的，分别具有一个在测量方向MR上具有长度L1的作用区3并且具有一个框架状地包围该作用区3的死区6。探测器模块1在测量方向MR上分别具有长度LM。作用区3分别包含多个同样宽的传感器带，各传感器带分别包含仅一个连续的传感器元件并且横向于测量方向MR定向。
在所示的实施方式中，探测器模块1、1a-1f在此构成第一排R1和第二排R2。在第一排R1内，探测器模块1b、1d、1f等(“第一探测器模块”E)在测量方向MR上依次相继地布置并且关于横向方向QR分别布置在相同的位置上。在第二排R2内，探测器模块1a、1c、1e等(“第二探测器模块”Z)在测量方向MR上依次相继地布置并且关于横向方向QR分别布置在相同的位置上。这两排R1、R2关于横向方向QR彼此并排放置。
在所示的实施方式中，分别依次相继的探测器模块(例如探测器模块1a、1b)在重叠区域(例如重叠区域23a)中关于测量方向MR重叠。换句话说，在重叠区域23a中，在关于测量方向MR的所有位置上既存在探测器模块1a的一部分，也存在探测器模块1b的一部分。其它重叠区域23b、23c、23d和23e由探测器模块对1b/1c、1c/1d、1d/1e和1e/1f构成。在此，在所示的实施方式中，每个重叠区域23a-23e的探测器模块1的作用区3关于测量方向MR不重叠，而是所述作用区3关于测量方向MR直接彼此邻接(即使与排R1、R2在横向方向QR上的不同位置相应地，彼此邻接的作用区3沿横向方向QR布置在不同的位置上)。
在一个重叠区域、例如重叠区域23a中在测量方向MR上重叠的探测器模块、例如探测器模块1a和1b在横向方向上不重叠，即，在沿横向方向的每个位置上仅出现探测器模块1a或探测器模块1b，但不同时出现这两者。
在所示的实施方式中，两个排R1、R2被构造为具有间距的排，在该具有间距的排中，在测量方向MR上依次相继的探测器模块、例如第二排R2中的探测器模块1a、1c关于测量方向MR具有间距AB。在此，对于间距AB适用大约AB＝0.42*LM。
在各排R1、R2中依次相继的探测器模块1的作用区3在测量方向MR上分别具有间距L2。当前，对于间距L2在此适用L2＝L1，因为作用区3在测量方向MR上在重叠区域23a-23e中彼此邻接。
X射线探测器21的所有探测器模块1的作用区3的整体在测量方向MR上具有伸展长度AM，并且在横向方向上具有伸展长度AQ。在所示的实施方案中适用大约AM＝6.7*AQ。利用该高宽比，测量系统20良好地适合于一维X射线测量，例如测量样本的粉末衍射法。
在X射线测量期间，X射线辐射从在样本位置(未示出)处的测量样本出发入射到X射线探测器21上。在此，包含测量样本的相同信息的X射线辐射典型地同样程度地照射X射线探测器的整个伸展长度AQ。因此，在沿测量方向MR的特定(测量)位置处的测量信息(或X射线强度)是通过第一排R1的探测器模块1b、1d、1f等还是通过第二排R2的探测器模块1a、1c、1e来测量并不重要。通过探测器模块1的沿测量方向MR具有直接彼此邻接的作用区3的顺序能够在X射线探测器21的整个伸展长度AM上获得在测量方向上无间隙的测量信息。在沿测量方向MR的一些位置上(在第一排R1中那里的探测器模块1b、1d、1f的死区6或者在探测器模块1b、1d、1f之间的间隙位于这些位置上)可以借助第二排R2的探测器模块1a、1c、1e的作用区3获得测量信息，并且反之亦然。
图5示出根据本发明的测量系统20的第二种实施方式；仅阐述与图4的实施方式的主要区别。
在图5中所示的实施方式中，探测器模块1布置成三排，即，中间的第一排R1(具有探测器模块1a、1d、1g等，“第一探测器模块”E)和两个第二排R2a、R2b(具有探测器模块1b、1E和1c、1f，“第二探测器模块”Z)。探测器模块1在此以第一排R1的单个探测器模块1和第二排R2a、R2b中的两组探测器模块1交替的序列关于测量方向MR依次相继地布置。在图5中从上往下，探测器模块1关于测量方向MR以单个探测器模块1a、探测器模块1b、1c组、单个探测器模块1d、探测器模块1e、1f组、单个探测器模块1g等等的顺序排列。第一排的探测器模块1a、1d、1g(“第一探测器模块”E)在此被构造成大于第二排R2a、R2b的探测器模块1b、1c、1e、1f(“第二探测器模块”Z)。
第一排R1在此并不构造为具有间距的排，因为第一排R1的探测器模块1a、1d、1g在此直接彼此邻接。而第二排R2a、R2b是具有间距的排，其中，在探测器模块1b、1e的依次相继的作用区3之间在测量方向MR上具有间距L2，并且在依次相继的探测器模块1b、1e之间在测量方向MR上具有间距AB。
因为第一排R1的探测器模块1a、1d、1g的作用区3和第二排R2a、R2b中的探测器模块组1b/1c和1e/1f的作用区3在测量方向MR上直接彼此邻接(即使在横向方向QR上位置错开)，所以又适用L2＝L1，其中L1为第一排R1的探测器模块1a、1d、1g的作用区3的长度。此外，这里适用约AB＝0.41*LM，其中LM为第一排R1的探测器模块1a、1d、1g在测量方向MR上的长度。
在该实施方式中，第二排R2a、R2b的探测器模块组1b/1c和1e/1f的作用区3桥接各个在第一排R1中依次相继的探测器模块1a、1d、1g的死区6。而第一排R1的探测器模块1a、1d、1g的作用区3桥接第二排R2a、R2b的探测器模块1b、1e和1c、1f的死区6以及探测器模块1b、1e和1c、1f之间在测量方向MR上的间隙。相应地，例如在第二排R2a、R2b的探测器模块组1b/1c处构造有重叠区域23a(相对于排R1的探测器模块1a)和23b(相对于排R1的探测器模块1d)，在这些重叠区域中探测器模块1b/1c与探测器模块1a(重叠区域23a)并且探测器模块1b/1c与探测器模块1d(在重叠区域23b中)在测量方向MR上重叠；但重叠区域(例如23a)的探测器模块(例如1a、1b、1c)在横向方向QR上又不存在重叠。
第二排R2a、R2b中的探测器模块1b、1e、1c、1f的传感器带4c、4d所具有的宽度(在横向方向QR上)分别是第一排中的探测器模块1a、1d的传感器带4a的宽度的一半。因为在第二排R2a、R2b中的进行桥接的探测器模块组1b、1c和1e、1f中分别有两个传感器带4c、4d同时读取沿测量方向MR的相同位置，但是在第一排R1的探测器模块1a、1d、1g中分别仅一个传感器带4a进行读取，所以在这两种情况下分别得到相同的总有效传感器长度SL并且因此得到对于X射线辐射的集成面积
相应地，为了X射线的作为时间函数的强度确定，对于沿测量方向MR的每个位置仅必须考虑直接的计数速率(来自排R1)和合计的计数速率(来自排R2a、R2b的)，并且尤其是不需要进行校准。
图6示出与图5所示的测量系统类似的测量系统20的第三种实施方式。再次仅阐述主要区别。
在该实施方式中，探测器模块1的传感器带4a、4c、4d(这些传感器带分别在横向方向QR上延伸)分别再次在横向方向QR上被划分为像素形的传感器元件30。由此，不仅可以沿测量方向MR而且也可以沿横向方向QR实现X射线辐射的空间分辨的强度确定。然而，在横向方向QR上空间分辨的区域相对较小，参见伸展长度AM和AQ，其中在此约AM＝5.8*AQ。典型地，在横向方向QR上的划分被用于缩小作用区3(在这些作用区内所探测到的X射线辐射被分析)的整体在横向方向QR上的有效宽度(“虚拟掩模”)，以便降低散射的影响亦或以便能够以更大的位置清晰度实施X射线探测器21沿横向方向QR的扫描。
图7示出根据本发明的测量系统20的第四种实施方式，类似于在图4中所示的测量系统。再次阐述主要区别。
在该实施方式中，探测器模块1在仅一排R中在测量方向MR上依次相继地布置；所有探测器模块1相同地构造并且(在排R中)相同地定向。
为了设置重叠区域23a，各探测器模块1啮合地布置，即相应一个探测器模块1的(关于测量方向MR的)突出部43、44嵌入相应另一个探测器模块1的(关于测量方向MR的)凹进部45、46，并且反之亦然(参见探测器模块1a、1b)。探测器模块1为此构造成S形的。在重叠区域23a中，在测量方向MR上依次相继的探测器模块1的突出部43、44分别在横向方向QR上并排地放置。
每个探测器模块1在此包括两个作用区3a、3b，所述两个作用区在此在测量方向MR上在中间区域40中重叠。在测量方向MR上依次相继的探测器模块1a、1b分别构成重叠区域23a，在该重叠区域中探测器模块1a、1b在测量方向MR上重叠。在此，不同的探测器模块1a、1b的作用区(探测器模块1a的作用区3b和探测器模块1b的作用区3a)也在测量方向上重叠，使得在重叠区域23a中构成双重测量区域41。
要注意的是，重叠区域23a的重叠的探测器模块1a、1b在此也在横向方向QR上重叠，即，在沿横向方向QR的特定位置处不仅存在探测器模块1a、而且存在探测器模块1b(即使这些探测器模块中的相应一个探测器模块参考在横向方向QR上的特定位置在重叠区域23a之外)。
关于其中双重地确定X射线强度的双重测量区域41和中间区域40，需要相对于在过渡区域42中单一测量的位置进行校准，以便获得不失真的、关于测量方向MR空间分辨的X射线强度测量。
在图8中所示的根据本发明的测量系统的第五种实施方式中，该测量系统又类似于图7的实施方式，从而仅阐述最重要的区别。
在该结构形式中，探测器模块1全部实施成结构相同的，分别具有一个大的作用区3a(主作用区)和两个小的作用区(副作用区，副作用区的宽度是传感器带在横向方向QR上的宽度的一半，而副作用区的长度与传感器带在测量方向MR上的长度相同)3b、3c，其中，一个探测器模块1的作用区3a、3b、3c在测量方向MR上彼此邻接，但是关于横向方向QR彼此错开。探测器模块1基本上梯形地构造。各个探测器模块1的位置例如可以分别通过大的作用区3a的中心22来描述。探测器模块1在测量方向MR上依次相继地布置，分别以依次相继的探测器模块1的中心22彼此上下布置，从而探测器模块1与此相应地在唯一的排R中相继地布置；然而，探测器模块1的定向在依次相继的探测器模块1a、1b之间交替变化，使得小的作用区3b、3c分别朝向不同的侧(在图8中左侧或右侧)定位。依次相继的探测器模块1a、1b以楔形边缘50、51朝向彼此(要注意的是，在探测器模块1的位置的其它定义中，例如分别在相应的探测器模块的面重心处，在图8中示出的实施方式也可以理解为包括两排)。
依次相继的探测器模块1a、1b在测量方向MR上的错位这样确定，使得在相应的重叠区域23a中(上面的探测器模块1a的)作用区3c和(下面的探测器模块1b的)作用区3b在测量方向上精确地重叠。由此实现，在沿测量方向MR的每个位置上总体上提供在横向方向上或在传感器面上的相同的总有效带长度SL。
对于X射线探测器21的所有探测器模块1的整体在测量方向MR上的伸展长度(参见伸展长度AM)以及在横向方向QR上的伸展长度(参见AQ)，在此适用大约AM＝8.3*AQ。
要注意的是，重叠区域23a的重叠的探测器模块1a、1b在此也再次在横向方向QR上重叠，即，在沿横向方向QR的特定位置处不仅存在探测器模块1a、而且存在探测器模块1b(参考在横向方向QR上的特定位置，在重叠区域23a中部分地具有两个探测器模块1a、1b)。在重叠区域23a中，重叠的探测器模块1a、1b的下部和上部分别在横向方向QR上并排地放置。
根据本发明的测量系统20的在图9中所示的第六种实施方式类似于图8的实施方式构造，从而仅阐述主要的区别。
基本上梯形的探测器模块1又依次相继布置在一排R中，其中，探测器模块1的定向在依次相继的探测器模块1a、1b之间交替变化。每个探测器模块1具有带有传感器带4a、4b的作用区域3，其中，传感器带4a在中间区域60中具有统一的传感器元件宽度SEB；传感器带4a、4b分别包含仅一个连续的传感器元件30。探测器模块1的位置可以经由相应的中间区域60的中心22(在此在忽略在上边缘和下边缘处沿横向方向已经略微错开的传感器带4a的情况下)定义。(要注意的是，在探测器模块1的位置的其它定义中，例如分别在相应的探测器模块的面重心处，在图9中示出的实施方式也可以理解为包括两排)。
各个依次相继的探测器模块1a、1b在测量方向MR上在重叠区域23a中重叠，其中，作用区3在双重测量区域41中也重叠。然而，在双重测量区域41中，作用区3的传感器带4b的局部的传感器元件宽度被缩短，其中，在沿测量方向MR的相应位置处，以探测器模块1a、1b的两个作用区3的传感器带4b的传感器元件宽度之和相应得出在横向方向QR上的合计的有效带长度SL，其中，SL等于各个传感器带4a在中间区域60中的统一的传感器元件宽度SEB。
在图10中示出根据本发明的测量系统20的第七种实施方式。仅阐述与图9的实施方式的主要区别。
各探测器模块1在此又依次相继地布置成一排。在楔形边缘50、51的区域中设置相应相邻的探测模块1a、1b的重叠区域23a。在此，探测器模块1a、1b的作用区3也再次在双重测量区域41中重叠。在双重测量区域41中传感器带4b又被缩短地构造，其中，合计的有效带长度SL在横向方向QR上到处相等。
在该实施方式中，所有探测器模块1相同地构造并且以探测器模块1的顺序在排R中相同地定向。各探测器模块1分别构造成平行四边形的。
图11示出如图4所示的根据本发明的测量系统20的一部分，该测量系统被掩模70遮盖。在左侧单独示出测量系统20，而在右侧示出前方放置有掩模70的测量系统20。掩模70由不利于X射线辐射穿透的材料、例如铅制成。
两排R1、R2中的探测器模块1的作用区域3的整体在横向方向QR上具有全宽度VB。通过将掩模70布置在X射线探测器21的前面，作用区域3整体的全宽度VB在横向方向QR上被限于较小的、然后还可利用的宽度NB。在所示的实施例中，仅保留在横向方向QR上的相应传感器元件宽度SEB(或带长度)的约1/4未被遮挡。掩模70被这样定位，使得在两排R1、R2(或在重叠区域中关于测量方向MR重叠的探测器模块1)中作用区3的相同程度的部分保持为未被遮挡，因此也能够利用掩模70实现关于测量方向MR无间隙的X射线测量。
通过掩模70能够在需要时实现位置较精确的关于横向方向QR的X射线衍射测量，例如当X射线探测器21在测量期间枢转/旋转(例如以便确定测量样本中的机械应力或优选方向/结构)时。
图12示出用于本发明的测量结构90，其包括类似于图9所示的根据本发明的测量系统20。
X射线95从X射线源94指向样本位置91，在该样本位置上布置有测量样本96。测量样本96与X射线辐射相互作用，尤其是通过在测量样本96的材料中的栅格结构处的衍射。测量样本96例如是粉末状的，从而从测量样本衍射的辐射以所谓的德拜锥发出，其具有对应于X射线95的传播方向的德拜锥轴线。用点表示围绕球(该球围绕样本位置91并且在此具有相应于圆弧92的半径)的德拜锥的可能的剖面环(“德拜环”)。
X射线探测器21的探测器模块1布置在围绕样本位置91的圆弧92上。探测器模块1沿同时定义在每个探测器模块1处的(局部的)测量方向MR的圆弧92重叠地布置(如上面所描述的)。各个探测器模块1分别构造在平坦的基座2上，该基座垂直于至样本位置91的局部的连接方向VR(示例性地针对探测器模块1a标出)定向。所述局部的连接方向VR从样本位置91朝向相应的基座2或朝向探测器模块1(或其中心)延伸。在各个探测器模块1处，测量方向MR、横向方向QR和连接方向VR基本上彼此垂直。
如果产生具有线聚焦的X射线95，该X射线的长边方向应当与横向方向QR平行，而短边方向应当与横向方向垂直(即在竖直方向上)，以便设置沿横向方向的测量信息的对于伸展的X射线包含的冗余。
图13示出测量系统90的一种可能的应用，类似于在图12中所示的那样。
在输送带100上，不同的测量样本96沿输送方向101朝向样本位置91移动；在此，测量样本96也正好到达样本位置91。X射线95在短时间内(根据输送带100的速度)照射在样本位置91处的测量样本96，并在测量装置20的X射线探测器21处记录属于测量样本96的衍射的X射线。例如，在探测器模块1f处测量德拜锥102的衍射的X射线辐射。
在圆弧92的由在测量方向MR上重叠的探测器模块1覆盖的整个区段上获得测量样本96的无间隙的一维衍射信息；所有的探测器模块1在此同时进行测量。尤其是，不需要为了获得无间隙的衍射信息而移动X射线探测器21。
由此所述测量足够快，以便也提供经过的测量样本96的连续的质量控制(“在线质量控制”)。例如，经由衍射信息能够以简单且快速的方式识别出在测量样本96中的结晶杂质，例如以便在存在杂质时将该测量样本从生产过程中分选出。
在图13所示的测量结构90中，X射线源94和X射线探测器21(包括样本位置91)位置固定地布置，这能够特别简单地设置。替代地，也可以将X射线探测器21设置成能围绕垂直于X射线95的辐射方向延伸的旋转轴线DA1枢转，以便获得附加的衍射信息。同样替代地，可以将X射线探测器21设置成能围绕沿X射线辐射95的辐射方向延伸的旋转轴线DA2枢转，以便获得附加的衍射信息。尤其是，可以通过围绕旋转轴线DA1或DA2的可枢转性实现对测量样本96的应力测量亦或结构测量。当X射线探测器21在测量期间旋转时，具有点聚焦的X射线95是优选的，必要时也可以使用掩模。
图14以示意性侧视图示出用于本发明的第三测量结构90，其包括类似于在图4中所示的根据本发明的测量系统20。测量系统20在此包括带有多个探测器模块1的X射线探测器21，所述多个探测器模块关于测量方向MR重叠地布置成两排(如上所述)；第一排的探测器模块1a在此用虚线示出，而第二排的探测器模块1b在此用点示出。第一和第二排在此关于横向方向(其在此垂直于图平面延伸)依次相继地放置。探测器模块1记录由在样本位置91处的测量样本96衍射的X射线辐射，该样本位置被来自X射线源94的X射线95照射。
测量方向MR在此沿在所示的结构形式中竖直定向的直线延伸，探测器模块1沿所述测量方向依次相继地布置并且X射线探测器沿所述测量方向提供空间分辨率。该结构形式特别简单并且能实现灵活地改变在样本位置91或测量样本96与X射线探测器21之间的间距110(在此沿X射线95的传播方向测量)。要注意的是，虽然横向方向(垂直于图平面延伸)在每个探测器模块1上垂直于局部的测量方向MR并且垂直于至样本位置的局部的连接方向延伸；然而，局部的测量方向MR以部分明显偏离于相对于至样本位置91的局部连接方向的90°角的方式延伸。
一般(在直线的测量方向亦或弯曲的/圆弧形的测量方向的情况下)适用的是，在样本位置96与X射线探测器21之间的典型的间距110为150至300mm。作用区的整体在横向方向上的典型的伸展长度AQ为5至20mm。所使用的X射线辐射的能量通常为4至30keV，对于特定的应用也可以为高达60keV或者甚至高达150keV。在本发明的范围内，探测器模块在测量方向上依次相继地并且在横向方向上并排地布置，并且尤其是不关于至样本位置的连接方向依次相继地布置。
概括地，本发明提出构造一种具有多个探测器模块(1、1a-1g)的X射线探测器(21)，各所述探测器模块分别包括没有X射线敏感性的死区(6)和具有在测量方向(MR)上空间分辨的X射线敏感性的作用区(3、3a-3c)，其中，探测器模块(1、1a-1g)沿测量方向(MR)依次相继地并且重叠地构造，使得在重叠区域(23a-23e)中一个探测器模块(1、1a-1g)的死区(6)被另一个探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)桥接。重叠的探测器模块(1、1a-1g)在重叠区域(23a-23e)中在横向方向(QR)上并排地布置，其中，所述横向方向(QR)横向于局部的测量方向(MR)并且横向于至样本位置(91)的局部的连接方向(VR)延伸。利用所述X射线探测器(21)能够以简单的方式获得在样本位置(91)处的测量样本(96)的无间隙的一维测量信息、尤其是X射线衍射信息。
附图标记列表
1 探测器模块
1a-1g 探测器模块
2 基座
3 作用区
3a-3c 作用区
4a-4d 传感器带
5 (传感器带的)纵向侧
6 死区
7a-7b 测量通道
8a-8b 电荷脉冲
9 分析电子装置
10 窗口
11a-11b 电极
12a-12b 测量通道
20 测量系统
21 X射线探测器
22 中心
23a-23e 重叠区域
30 传感器元件
40 中间区域
41 双重测量区域
42 过渡区域
43 突出部
44 突出部
45 凹进部
46 凹进部
50 楔形边缘
51 楔形边缘
60 中间区域
70 掩模
71 缝隙
90 测量结构
91 样本位置
92 围绕样本位置的圆弧
94 X射线源
95 X射线
96 测量样本
100 输送带
101 输送方向
102 德拜锥
110 样本位置至X射线探测器的间距
AB 依次相继的探测器模块的间距
AM 所有探测器模块的作用区的整体在测量方向上的伸展长度
AQ 所有探测器模块的作用区的整体在横向方向上的伸展长度
Ba、Bb、Bc 在横向方向上的缝隙宽度
E 第一探测器模块
LM 第一排的一个探测器模块的长度
L1 第一排的一个探测器模块的作用区的长度
L2 第二排的依次相继的探测器模块的作用区的间距
MR 测量方向
NB 可用宽度
QR 横向方向
R (唯一的)排
R1 第一排
R2 第二排
R2a、R2b 第二排
SEB 一个传感器元件在横向方向上的宽度
SEH 一个传感器元件在测量方向上的高度
SL 在横向方向上的带长度
VB 全宽度
VR 至样本位置的连接方向
Z 第二探测器模块
Claims (18)
1.一种用于X射线辐射的测量系统(20)，该测量系统包括：
-能用X射线(95)照射的样本位置(91)，和
-用于探测从所述样本位置(91)发出的X射线辐射的X射线探测器(21)，所述X射线探测器包括多个探测器模块(1、1a-1g)，
各所述探测器模块(1、1a-1g)分别具有至少一个作用区(3、3a-3c)和包围所述至少一个作用区(3、3a-3c)的死区(6)，在所述作用区中能探测到X射线辐射，而在所述死区中不能探测到X射线辐射，
各所述探测器模块(1、1a-1g)关于测量方向(MR)单个地和/或成组地依次相继地布置，
各所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)分别构造用于在测量方向(MR)上空间分辨地探测X射线辐射，
所述X射线探测器(21)的所有探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)的整体在测量方向(MR)上具有伸展长度AM并且在横向方向(QR)上具有伸展长度AQ，其中AM≥5*AQ，所述横向方向(QR)局部地横向于测量方向(MR)并且局部地横向于至样本位置(91)的连接方向(VR)延伸，
关于测量方向(MR)依次相继的探测器模块(1、1a-1g)中的至少一部分探测器模块构成重叠区域(23a-23e)，在各所述重叠区域中分别有至少两个探测器模块(1、1a-1g)在测量方向(MR)上重叠并且在横向方向(QR)上并排地布置，
在所述重叠区域(23a-23e)中的探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在测量方向(MR)上直接彼此邻接或者在测量方向(MR)上重叠，使得所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)的整体能够实现在测量方向(MR)上无间隙地测量从所述样本位置(91)发出的X射线辐射，
并且所述测量方向(MR)弯曲地延伸，并且各所述探测器模块(1、1a-1g)分别布置在平坦的基座(2)上，该基座垂直于至所述样本位置(96)的局部的连接方向(VR)。
2.根据权利要求1所述的测量系统(20)，其特征在于，
所述探测器模块(1、1a-1g)包括第一探测器模块(E)和第二探测器模块(Z)，
所述第一探测器模块(E)在测量方向(MR)上依次相继地布置在第一排(R1)中，而所述第二探测器模块(Z)在测量方向(MR)上依次相继地布置在至少一个第二排(R2；R2a、R2b)中，
所述第一排(R1)和所述至少一个第二排(R2；R2a、R2b)关于所述横向方向(QR)并排地布置，
并且所述第一探测器模块(E)相对于所述第二探测器模块(Z)在测量方向(MR)上彼此错开地布置，使得所述第二探测器模块(Z)的作用区(3、3a-3c)与所述第一探测器模块(E)的在测量方向(MR)上不被所述第一探测器模块(E)的作用区(3、3a-3c)重叠的死区(6)在测量方向(MR)上重叠。
3.根据权利要求2所述的测量系统(20)，其特征在于，对于在测量方向(MR)上的第一长度L1和在测量方向(MR)上的第二长度L2相应地适用L2≥0.2*L1、优选L2≥0.4*L1，一个第一探测器模块(1、1a-1g)的一个作用区(3、3a-3c)或多个作用区(3、3a-3c)在所述第一长度上延伸，所述第二长度位于在所述至少一个第二排(R2；R2a、R2b)中在测量方向(MR)上依次相继的第二探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)之间，两个所述第二探测器模块与所述一个第一探测器模块(E)一起构成一个重叠区域(23a-23e)。
4.根据权利要求2或3所述的测量系统(20)，其特征在于，所述第一排(R1)和所述至少一个第二排(R2；R2a、R2b)包括至少一个具有间距的排，在该具有间距的排中在测量方向(MR)上依次相继的探测器模块(1、1a-1g)关于测量方向(MR)以间距AB彼此间隔开地布置，
尤其是适用AB≥0.3*LM，其中，LM为在所述具有间距的排中的探测器模块(1、1a-1g)在测量方向(MR)上的长度。
5.根据权利要求1所述的测量系统(20)，其特征在于，所述探测器模块(1、1a-1g)在仅一排中在测量方向(MR)上相继地布置，其中，在所述重叠区域(23a-23e)中探测器模块(1、1a-1g)也在横向方向(QR)上重叠。
6.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，所述探测器模块(1、1a-1g)在所述重叠区域(23a-23e)中基本上楔形地和/或啮合地构造。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，在所述重叠区域(23a-23e)中，重叠的探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在测量方向(MR)上在双重测量区域(41)中重叠。
8.根据权利要求7所述的测量系统(20)，其特征在于，所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在所述双重测量区域(41)中相比于在所述双重测量区域(41)之外关于横向方向(QR)缩短地构造。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，在所述重叠区域(23a-23e)中，重叠的探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在测量方向(MR)上不重叠。
10.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，各个探测器模块(1、1a-1g)的所述至少一个作用区(3、3a-3c)具有多个在测量方向(MR)上依次相继的传感器带(4a-4d)，所述传感器带至少基本上在横向方向(QR)上延伸。
11.根据权利要求10所述的测量系统(20)，其特征在于，在沿所述测量方向(MR)的所有位置上，在相应位置上构成一个传感器带(4a-4d)的所有探测器模块(1、1a-1g)的传感器带(4a-4d)在横向方向(QR)上的合计的有效带长度(SL)是相同的。
12.根据权利要求10或11所述的测量系统(20)，其特征在于，至少一部分所述传感器带(4a-4d)、优选每个传感器带(4a-4d)具有至少一个传感器元件(30)，所述传感器元件具有传感器元件高宽比SEAV≥3，其中，SEAV＝SEB/SEH，以及SEB为传感器元件(30)在横向方向(QR)上的宽度，并且SEH为传感器元件(30)在测量方向(MR)上的高度。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，所述传感器带(4a-4d)基本上矩形地构造，其中，传感器带(4a-4d)的纵向侧(5)在横向方向(QR)上延伸，并且各个作用区(3、3a-3c)的在测量方向(MR)上依次相继的传感器带(4a-4d)以其纵向侧(5)相互贴靠。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，所述测量方向(MR)以圆弧(92)形式延伸，所述样本位置(91)布置在所述圆弧的中心点上。
15.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，
在所述重叠区域(23a-23e)中，重叠的探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在测量方向(MR)上在双重测量区域(41)中重叠，
所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在所述双重测量区域(41)中相比于在所述双重测量区域(41)之外关于横向方向(QR)缩短地构造，
各个探测器模块(1、1a-1g)的所述至少一个作用区(3、3a-3c)具有多个在测量方向(MR)上依次相继的传感器带(4a-4d)，所述传感器带至少基本上在横向方向(QR)上延伸，
并且在沿所述测量方向(MR)的所有位置上，在相应位置上构成一个传感器带(4a-4d)的所有探测器模块(1、1a-1g)的传感器带(4a-4d)在横向方向(QR)上的合计的有效带长度(SL)是相同的。
16.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，所述探测器模块(1、1a-1g)构造成半导体探测器模块。
17.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)，其特征在于，在所述探测器模块(1、1a-1g)之前布置有掩模(70)，该掩模相对于所述样本位置(91)至少遮挡探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)的至少一部分作用区的部分面，并且由此作用区(3、3a-3c)的整体在横向方向(QR)上的可用宽度(NB)相对于在没有遮挡的情况下作用区(3、3a-3c)的整体的全宽度(VB)减小。
18.根据上述权利要求中任一项所述的测量系统(20)在对测量样本(96)进行测量中的应用，其中
用X射线(95)照射所述测量样本(96)并且将该测量样本布置在样本位置(91)上或者利用X射线光学系统将该测量样本成像到样本位置(91)上，
并且将各探测器模块(1、1a-1g)的同时测量得到的测量数据整合成一维的、关于沿测量方向(MR)的各位置无间隙的总测量数据集，
在沿测量方向(MR)的在至少两个探测器模块(1、1a-1g)的重叠区域(23a-23e)中仅存在重叠的探测器模块(1、1a-1g)中的至少一个探测器模块的死区(6)的位置上，使用所述重叠的探测器模块(1、1a-1g)中的至少一个另外的探测器模块的测量数据，所述另外的探测器模块在该位置上具有用于确定连续的总测量数据集的作用区(3、3a-3c)。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102019202442.4A DE102019202442A1 (de) | 2019-02-22 | 2019-02-22 | Messanordnung für Röntgenstrahlung für eine spaltfreie 1D-Messung |
| DE102019202442.4 | 2019-02-22 | ||
| PCT/EP2020/054162 WO2020169559A1 (de) | 2019-02-22 | 2020-02-18 | Messanordnung für röntgenstrahlung für eine spaltfreie 1d-messung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113454446A true CN113454446A (zh) | 2021-09-28 |
| CN113454446B CN113454446B (zh) | 2024-06-28 |
Family
ID=69630318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202080015652.6A Active CN113454446B (zh) | 2019-02-22 | 2020-02-18 | 用于无间隙地一维测量x射线辐射的测量系统 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US12031924B2 (zh) |
| EP (1) | EP3928085A1 (zh) |
| CN (1) | CN113454446B (zh) |
| DE (1) | DE102019202442A1 (zh) |
| WO (1) | WO2020169559A1 (zh) |
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- 2020-02-18 WO PCT/EP2020/054162 patent/WO2020169559A1/de unknown
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |