CN113450939A - 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法 - Google Patents

一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113450939A
CN113450939A CN202110749281.0A CN202110749281A CN113450939A CN 113450939 A CN113450939 A CN 113450939A CN 202110749281 A CN202110749281 A CN 202110749281A CN 113450939 A CN113450939 A CN 113450939A
Authority
CN
China
Prior art keywords
push
crls
groove
ratchet
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110749281.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113450939B (zh
Inventor
汤善治
任中睿
张伟伟
盛伟繁
李明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of High Energy Physics of CAS
Original Assignee
Institute of High Energy Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of High Energy Physics of CAS filed Critical Institute of High Energy Physics of CAS
Priority to CN202110749281.0A priority Critical patent/CN113450939B/zh
Priority to PCT/CN2021/105748 priority patent/WO2023272777A1/zh
Priority to US17/794,769 priority patent/US12014839B2/en
Publication of CN113450939A publication Critical patent/CN113450939A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113450939B publication Critical patent/CN113450939B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/06Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
    • G21K1/065Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators using refraction, e.g. Tomie lenses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

本发明公开了一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法。本系统的特征在于包括基座,该基座一侧设有多个调节臂,顶部设置一驱动组件,底部设置有定位槽;其中,调节臂自上而下为依次连接的推杆、推‑推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴、透镜框;所述透镜框内设有CRLs;推‑推棘轮机构包括拉簧、带棘轮槽滑块、带导向底板、C型拉杆,带棘轮槽滑块与带导向底板通过直线滑槽和导向结构配合形成直线导轨运动副,带棘轮槽滑块上端通过拉簧与带导向底板的上端连接,带棘轮槽滑块下端依次通过预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴与透镜框连接,C型拉杆上端用于在所述带棘轮槽滑块的棘轮槽内滑动,下端通过弹性夹持连接在带导向底板的底端。

Description

一种X射线变焦透镜系统及其变焦方法
技术领域
本发明属于同步辐射技术领域,具体涉及一种新型X射线变焦透镜系统(Transfocator)及其变焦方法。
背景技术
复合折射透镜(CRLs)是一种现代X射线光学元件,主要用于高能X射线聚焦等光学调制,其原理及结构如图1所示(参考:P.Snigirev,V.Kohn,I.Snigireva,and B.Lengeler,A compound refractive lens for focusing high-energy X-rays,Nature,384(7),1996)。而Transfocator是在光轴上对不同规格和数量的CRLs切入切出形成各种各样的CRLs组合从而实现变焦功能的一种现代光学仪器或装置,它将在第四代同步辐射等先进光源中具有广泛的应用前景。
现有的典型Transfocator结构及设计方案如图2所示(参考P.Marion,Overviewof engineering projects for the ESRF Upgrade beamlines,MEDSI2012,SSRF,Oralreport),它在沿光轴方向依次布置了多个臂(令其数量为N),每个臂单独设计有电机驱动及导向使其可以上下移动,这样置于臂底端的CRLs单元可以切入和切出光轴(光路)中,从而形成不同的透镜排列组合实现不同聚焦功能即变焦等。
典型Transfocator结构方案是针对N个臂调节,其采用了N个电机驱动和N个法兰真空运动馈入,由于电机及法兰自身尺寸限制导致每个臂尺寸较大且两臂间距不宜太小。因此,它不仅存在机构上繁琐不紧凑、成本较高,而且占用空间大从而影响整个聚焦装置的工作距离(装置轮廓后边沿至焦点的距离),最终其使用性能受到了较大限制,难以满足先进光束线设计和布局优化的技术需求。
发明内容
针对现有技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种新型X射线变焦透镜系统及其变焦方法。本发明提出基于水平和垂直两个方向的正交电机驱动方案,即仅用2台电机且正交布局,其结构简洁、小巧紧凑、成本更低,不仅具有更大的工作距离且易于安装,为光束线设计优化实现高性能目标提供了技术基础。
本发明的技术方案为:
一种X射线变焦透镜系统,其特征在于,包括基座,该基座一侧设有多个沿X射线变焦透镜系统光轴方向排列的调节臂,该基座顶部设置一驱动组件,该基座底部设置有定位槽;其中,
所述调节臂自上而下为依次连接的推杆、推-推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴、透镜框,所述导向杆为一可伸缩结构,位于所述预紧弹簧内;所述透镜框内设有CRLs;所述推-推棘轮机构包括拉簧、带棘轮槽滑块、带导向底板、C型拉杆,其中所述带棘轮槽滑块与所述带导向底板通过直线滑槽和导向结构配合形成直线导轨运动副,所述带棘轮槽滑块上端通过所述拉簧与所述带导向底板的上端连接,所述带棘轮槽滑块下端依次通过所述预紧弹簧及导向杆、所述二维柔性轴与透镜框连接,所述C型拉杆上端用于在所述带棘轮槽滑块的棘轮槽内滑动,所述C型拉杆下端通过弹性夹持连接在所述带导向底板的底端;
所述定位槽位于所述调节臂正下方且开口朝上,该定位槽的轴线与光轴平行;
所述驱动组件包括位移台和位于该位移台上的电机,所述位移台用于将所述电机移动到待切换的调节臂上方;所述电机用于对该待切换的调节臂的推杆施加推力,控制对应的C型拉杆上端在所述带棘轮槽滑块的棘轮槽内滑动,使得所述带棘轮槽滑块处于低位状态或高位状态,使该待切换的调节臂中的CRLs切入或切出光轴。
进一步的,所述定位槽为V型槽,该V型槽两斜面公共线与光轴平行。
进一步的,所述带棘轮槽滑块中的棘轮槽为一Y型棘轮槽,该Y型棘轮槽的上凹槽和底部沟槽分别对应于低位状态或高位状态。
进一步的,当所述带棘轮槽滑块受推杆下移时,其受到向下推力为拉簧拉力与预紧弹簧的压力之和,使得所述C型拉杆上端在所述棘轮槽中由下至上的单向滑动,当带棘轮槽滑块由高位移动到低位后,C型拉杆上端沿棘轮槽由下滑到上边后倒勾带棘轮槽滑块,即带棘轮槽滑块实现高位状态转变为低位状态。
进一步的,当所述电机到达待切换的调节臂时,若对应CRLs处于轴外状态,则下推过程包括三个阶段:第一阶段,该电机的推轴向下运动直到接触该待切换的调节臂的推杆;第二阶段,该电机继续下推推杆使该待切换的调节臂下移从而使CRLs到达位于底部的V型槽内,且使CRLs圆柱轮廓与V型槽两内斜面相切压紧;第三阶段,该电机继续下推,在推杆的作用使该待切换的调节臂中推-推棘轮机构运动副的带棘轮槽滑块进一步下移至极限位置;然后该电机执行上提,直至推轴与推杆断开。
一种基于X射线变焦透镜系统的X射线变焦方法,其步骤包括:
1)位移台将电机送至目标调节臂的位置;
2)电机的推轴先向下推动该目标调节臂的推杆,使得该目标调节臂的带棘轮槽滑块下移至极限位置后,返回向上运动;当该目标调节臂中的CRLs在轴外时,其将在电机的推轴下移作用下使CRLs推至光轴中,即CRLs切入光轴;当该目标调节臂中的CRLs在轴中时,其将在电机的推轴下移至极限位置后返回向上运动时,该目标调节臂中的CRLs跟随电机的推轴返回上提,使CRLs切出光轴;
3)每当电机的推轴下移至极限位置再返回1次,CRLs则完成切入/切出状态切换或状态转变1次,并且通过带棘轮槽滑块高/低位置转换和转换后位置锁定,再经预紧弹簧作用于透镜框实现CRLs的状态切换后的位置或状态保持和自锁。
一种基于X射线变焦透镜系统的准直对齐方法,其特征在于,当CRLs切入光轴时,电机的推轴向下推动目标调节臂的推杆,使推-推棘轮机构的带棘轮槽滑块进行向下运动由高位到低位,使得预紧弹簧被压缩,而该预紧弹簧将推力直接作用所述二维柔性轴和所述透镜框上,使透镜框中CRLs的圆柱轮廓与V形槽相切且紧靠,即中心对齐。
本发明的新型X射线变焦透镜系统采用水平和垂直的正交布局驱动方案,将竖直位移驱动组件放置于水平电机及其位移台上,由水平位移台运动将竖直位移驱动组件送至目标位置,再由竖直位移驱动组件进行竖直运动,对调节臂(CRLs)进行状态切换(切入或切出),并对切换后的状态进行保持和自锁,从而灵活实现光轴上的不同CRLs排列组合即新组合透镜,形成一种新型变焦设计方法即新型Transfocator装置。
正交布局驱动方案即仅采用2组电机驱动即可实现N个调节臂中的CRLs在光轴中的切入切出(切换),形成不同CRLs的排列组成实现变焦。
本发明提供一种状态锁定或状态保持功能的CRLs调节臂的设计方法及其结构,它依次由推-推(Push-Push)棘轮自锁机构及其下连杆、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴、透镜框等构成,所述导向杆为一可伸缩的套筒结构,位于所述预紧弹簧内,上端与带棘轮槽滑块下端连接、下端与二维柔性轴连接。
本发明提供一种基于二维(2D)柔性轴的CRLs不对齐补偿的设计方法及结构,2D柔性轴连接透镜框,而透镜框装里有CRLs,当调节臂运动轴与位于底部的V型定位槽中心不对齐时,当调节臂向下运动切换,CRLs在弹簧预紧力作用下由2D柔性轴二维倾角补位保证CRLs的圆柱轮廓中心与V型槽中心重合,从而保证各臂即各组CRLs单元的中心对齐。
本发明提供一种推-推(Push-Push)棘轮自锁机构,它由拉簧、带棘轮槽滑块、带导向底板、C型拉杆、弹性夹持(例如碟簧)等部分组成;其中带棘轮槽滑块是指在滑块上设有棘轮槽。带棘轮槽滑块与带导向底板通过直线滑槽和导向结构配合形成直线导向副,与此同时,带棘轮槽滑块上边设置有拉簧与带导向底板上端连接,使得带棘轮槽滑块始终保持有着向上运动的趋势。带棘轮槽滑块与带导向底板下端通过C型拉杆连接,C型拉杆上端与带棘轮槽滑块的棘轮槽内侧面和内底面接触(即C型拉杆上端在带棘轮槽滑块的棘轮槽内运动),C型拉杆下端则是通过弹性夹持(如碟簧等)连接于带导向底板上,以保证C型拉杆可以摇摆和轻微俯仰角变化,因此,这样可以实现C型拉杆上端部在棘轮槽内进行预定轨迹进行单向滑移运动和具有倒勾作用,使得带棘轮槽滑块上下移动在两个特征位置(高位和低位)可以切换并自锁切换的位置。
本发明的优点如下:
现有传统方案针对N个臂调节其采用了N个电机驱动和N个法兰真空运动馈入,由于电机及法兰自身尺寸限制导致每个臂尺寸较大且两臂间距不宜太小。因此,它不仅存在机构上繁琐不紧凑、成本较高,而且占用空间大从而影响整个聚焦装置的工作距离(装置轮廓后边沿至焦点的距离),最终其使用性能受到了较大限制,难以满足先进光束线设计和布局优化的技术需求。
为了克服上述问题,本发明主要亮点在于提出基于水平和垂直两个方向的正交电机驱动方案即仅用2台电机且正交布局,并设计一种具有自准直、自锁定、位置切换功能的小巧调节臂机构,形成一种新型Transfocator设计方法及其装置。它结构简洁、小巧紧凑、成本更低,自身尺寸小使它不仅具有更大的工作距离或者可实现更大范围的变焦功能,为高性能/先进光束线设计与优化提供了技术基础。
附图说明
图1为CRLs对X射线的聚焦原理示意图及结构示意图。
图2为典型Transfocator设计方案图。
图3为本发明整体方案结构图。
图4为本发明具有推-推自锁功能的调节臂结构图。
图5为推-推棘轮机构图。
图6为透镜框及CRLs装配结构图。
图7为本发明的工作流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行进一步详细描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
本发明的系统如图3所示,在待切换调节臂正上方设置有正交布局的2个电机驱动组件,该组件由(真空)水平电机及其构成的位移台和竖直直线电机两部分组成,且竖直直线电机安装在水平位移台上能够随位移台执行水平运动。在竖直电机推杆下方(有一定高度差处)设置有待切换调节臂,并且沿光轴方向(令其水平,且与水平位移台方向平行)依次紧凑设置有N个同样的待切换调节臂。在这N个调节臂正下方设置有一块长V型槽,令该V型槽两斜面公共线与光轴平行,并且使该V型槽的开口朝上正上方。正交的电机驱动组件、N个待切换调节臂、V型槽等均安装于同一基座上。整体结构及方案如图3所示。
上述所提的待切入切出调节臂自上而下由依次设置有推杆、推-推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴、透镜框及CRLs等零部件组成,如图4所示。推杆的上端与调节臂连接,推杆的下端与推-推棘轮机构连接;推-推棘轮机构的下端经预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴与透镜框连接。
上述所提的推-推棘轮机构由拉簧、带棘轮槽滑块、带导向底板、C型拉杆、弹性夹持(如碟簧)等部分组成,如图5所示。带棘轮槽滑块与带导向底板通过直线滑槽和导向结构配合形成直线导轨运动副,与此同时,带棘轮槽滑块上边设置有拉簧与带导向底板上端连接,使得带棘轮槽滑块始终保持有着向上运动的趋势。C型拉杆上端与带棘轮槽滑块的棘轮槽内侧面和内底面接触,C型拉杆下端则是通过弹性夹持(例碟簧等)固定设置在带导向底板上,以保证C型拉杆可以摇摆和轻微俯仰角变化,因此,这样可以实现C型拉杆上端部在棘轮槽内进行预定轨迹进行单向滑移运动,如图5所示。
上述所提的透镜框及CRLs的装配结构,主要由透镜框主体、倒V型槽、挡板、薄片压板、CRLs组成,如图6所示,透镜框装里安装有CRLs。
二、工作原理及流程:
1)当某组透镜框及CRLs需要执行切入或切出光轴时,正交的电机驱动组件中的水平电机及位移台将进行水平运动沿光轴方向改变竖直直线电机的位置,使得竖直直线电机的推轴对齐需要执行切入或切出光轴的CRLs所对应的臂及其推杆,换而言之,即通过水平电机及位移台,将竖直直线电机送到目标位置,而该目标位置则正是需要执行切入或切出光轴的CRLs所对应臂的正上方。若当前臂和CRLs处于光轴外,则执行切入功能将CRLs推入光轴中,称为切入;反之,将处于光轴中CRLs移到光轴外,称为切出。
2)当竖直直线电机到达目标位置后,执行竖直向下运动即下推,若当前CRLs处于轴外状态,则该下推过程可分别三个阶段:第一阶段,电机推轴向下运动直到接触需要执行切入或切出的调节臂的推杆,即直线电机推轴与需要执行切入或切出的调节臂的推杆之间由断开到接触的消除间隙过程;第二阶段,该竖直直线电机继续下推推杆使该臂下移从而使CRLs到达位于底部的V型槽内,且使CRLs圆柱轮廓与V型槽两内斜面充分相切和压紧接触,该过程为CRLs切入光轴过程,该过程称之为切入阶段;第三阶段,该竖直直线电机继续下推,在推杆的作用使臂中推-推棘轮机构运动副的带棘轮槽滑块进一步下移至极限位置,其从满足CRLs就位和预紧状态下继续运动到极限位置称之为越程阶段。
3)当所述带棘轮槽滑块到达极限限位后,该竖直直线电机将执行反向运动即上提,直至其推轴与需要执行切入或切出的调节臂的推杆断开不接触并保持一点间距,即为所述竖直直线电机的推轴回到初始位置(竖直方向)。
4)所述2)下推过程中CRLs圆柱轮廓与V型槽两内斜面充分相切和压紧接触的状态为CRLs切入光轴状态,使CRLs中心处于光轴上,该状态下CRLs的位置将在所述3)上提过程中被保持即(轴中)状态自锁。
5)所述4)CRLs(轴中)状态自锁是该调节臂中推-推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆和二维(2D)柔性轴共同协作完成。在所述2)下推过程和所述3)上提过程中,推-推棘轮机构中带棘轮槽滑块由高位状态转变为低位状态,并能够在高、低位两种状态下自锁,当带棘轮槽滑块处于低位状态时,所述带棘轮槽滑块通过预紧弹簧及导向杆施加力作用于2D柔性轴和透镜框及CRLs,确保CRLs的位置在所述3)上提过程中仍然被保持从而实现(轴中)状态自锁。所述2D柔性轴允许CRLs圆柱中心轴进行二维角度微调以保证与V型槽的中心对齐。
6)所述5)中推-推棘轮机构能够实现高位状态转变为低位状态,是由于当带棘轮槽滑块受推杆下移时,其受到向下推力克服带棘轮槽滑和带导向的底板之间拉簧拉力、位于带棘轮槽滑块和透镜框之间的预紧弹簧的压力之和,它沿着竖直导向由高位运动到低位,与此同时,这使得C型拉杆上端与带棘轮槽滑块有相对运动即其上端在带棘轮槽滑块中的棘轮槽中由下至上的单向滑动,由于C型拉杆下端是固定在带导向的底板上(高度固定),这样,当带棘轮槽滑块由高位到低位后,C型拉杆上端沿棘轮槽由下滑到上边后立即倒勾带棘轮槽滑块,即带棘轮槽滑块实现了高位状态转变为低位状态,由于棘轮槽单向滑动特点使得C型拉杆并对当前低位状态进行倒勾与自锁。
7)所述6)中推-推棘轮自锁机构是基于棘轮机构原理,实现单向和预定轨迹的相对运动,从而实现C型拉杆对在竖直直线电机作用下的上下运动的两个位置(高、低位置状态)进行倒勾和自锁。
8)所述2)中若当前臂和CRLs状态为轴中状态,则执行切出,其下推过程由所述2)中三个阶段变为二个阶段,即消除间隙的第一阶段和越程的第三阶。由于CRLs已经处于轴中状态故该下推过程中不含切入的第二阶段。但是在所述3)中上提过程中却增加了一个阶段即CRLs切出,即推-推棘轮机构中的带棘轮槽滑块将由低位转变为高位,使得CRLs随带刺轮槽滑块在拉簧作用下一起上移,直到CRLs完全移到光轴外,并且该状态由推-推棘轮机构在高位状态自锁从而得以CRLs(轴外)状态保持即(轴外)状态自锁。随后,竖直直线电机继续上移,达到与调节臂的推杆断开不接触并保持一点间距,即为所述竖直直线电机的推轴回到初始位置(竖直方向)。
9)当需要调节其他臂的切入和切出时,通过调节水平电机及位移台的位置,从而选择不同的调节臂即不同目标位置,重复所述步骤2)~8)即可实现对任意调节臂及CRLs进行状态切换(切入或切出)并状态自锁,最终,可实现沿光轴方向上不同规格CRLs的排列组合从而达到改变透镜系统焦距的目的,即变焦。
本发明技术方案及工作流程图,如图7所示。
第一、真空水平电机及位移台进行运动,将竖直直线电机送至目标调节臂的位置;
第二、真空竖直直线电机的推轴先向下运动(下移),至极限位置后,返回向上运动(上提);
第三、当CRLs在轴外时,其将在直线电机的推轴下移作用下使CRLs推至光轴中,即臂及CRLs切入,该状态将不随直线电机推轴的回撤上提而发生改变,即实现该CRLs(轴中)状态锁定(自锁);当CRLs在轴中时,其将在直线电机的推轴下移至极限位置后返回向上运动(上提)时,臂及CRLs跟随直线电机的推轴返回上提,使CRLs切出,此时CRLs为(轴外)状态且被保持和锁定(自锁);
第四、从第三条可得知,每当直线电机推轴完成“下移-极限位置-上提”一个完整运动过程后,其对应的调节臂的状态将发生一次改变即状态切换一次,并且能够保持切换后状态自锁:当CRLs切入后,其CRLs圆柱轮廓及中心线在预紧弹簧预紧力和2D柔性轴的补偿共同作用下实现与V型槽中心准直对齐的目的。
第五、通过重复上述步骤可以实现对沿光轴方向依次紧凑排布的各个调节臂及CRLs组进行轴中、轴外的状态切换和状态自锁,以在光轴中形成许多的新CRLs组合从而改变透镜系统的焦距,即实现变焦调节(Transfocator)。
正交电机驱动布局方案中,采用真空内水平电机和真空内垂直直线电机,这仅是典型应用或举例应用一,它们也可以是真空外环境下各类电机或驱动器或位移执行器;进一步,水平和垂直方向也仅是举例应用一,它们可以是任何正交的两个方向的设置,但其中一方向须与光轴平行。
尽管为说明目的公开了本发明的具体实施例,其目的在于帮助理解本发明的内容并据以实施,本领域的技术人员可以理解:在不脱离本发明及所附的权利要求的精神和范围内,各种替换、变化和修改都是可能的。因此,本发明不应局限于最佳实施例所公开的内容,本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。

Claims (7)

1.一种X射线变焦透镜系统,其特征在于,包括基座,该基座一侧设有多个沿X射线变焦透镜系统光轴方向排列的调节臂,该基座顶部设置一驱动组件,该基座底部设置有定位槽;其中,
所述调节臂自上而下为依次连接的推杆、推-推棘轮机构、预紧弹簧及导向杆、二维柔性轴、透镜框,所述导向杆为一可伸缩结构,位于所述预紧弹簧内;所述透镜框内设有CRLs;所述推-推棘轮机构包括拉簧、带棘轮槽滑块、带导向底板、C型拉杆,其中所述带棘轮槽滑块与所述带导向底板通过直线滑槽和导向结构配合形成直线导轨运动副,所述带棘轮槽滑块上端通过所述拉簧与所述带导向底板的上端连接,所述带棘轮槽滑块下端依次通过所述预紧弹簧及导向杆、所述二维柔性轴与透镜框连接,所述C型拉杆上端用于在所述带棘轮槽滑块的棘轮槽内滑动,所述C型拉杆下端通过弹性夹持连接在所述带导向底板的底端;
所述定位槽位于所述调节臂正下方且开口朝上,该定位槽的轴线与光轴平行;
所述驱动组件包括位移台和位于该位移台上的电机,所述位移台用于将所述电机移动到待切换的调节臂上方;所述电机用于对该待切换的调节臂的推杆施加推力,控制对应的C型拉杆上端在所述带棘轮槽滑块的棘轮槽内滑动,使得所述带棘轮槽滑块处于低位状态或高位状态,使该待切换的调节臂中的CRLs切入或切出光轴。
2.如权利要求1所述的X射线变焦透镜系统,其特征在于,所述定位槽为V型槽,该V型槽两斜面公共线与光轴平行。
3.如权利要求1所述的X射线变焦透镜系统,其特征在于,所述带棘轮槽滑块中的棘轮槽为一Y型棘轮槽,该Y型棘轮槽的上凹槽和底部沟槽分别对应于低位状态或高位状态。
4.如权利要求1或2或3所述的X射线变焦透镜系统,其特征在于,当所述带棘轮槽滑块受推杆下移时,其受到向下推力为拉簧拉力与预紧弹簧的压力之和,使得所述C型拉杆上端在所述棘轮槽中由下至上的单向滑动,当带棘轮槽滑块由高位移动到低位后,C型拉杆上端沿棘轮槽由下滑到上边后倒勾带棘轮槽滑块,即带棘轮槽滑块实现高位状态转变为低位状态。
5.如权利要求1或2或3所述的X射线变焦透镜系统,其特征在于,当所述电机到达待切换的调节臂时,若对应CRLs处于轴外状态,则下推过程包括三个阶段:第一阶段,该电机的推轴向下运动直到接触该待切换的调节臂的推杆;第二阶段,该电机继续下推推杆使该待切换的调节臂下移从而使CRLs到达位于底部的V型槽内,且使CRLs圆柱轮廓与V型槽两内斜面相切压紧;第三阶段,该电机继续下推,在推杆的作用使该待切换的调节臂中推-推棘轮机构运动副的带棘轮槽滑块进一步下移至极限位置;然后该电机执行上提,直至推轴与推杆断开。
6.一种基于权利要求1所述X射线变焦透镜系统的X射线变焦方法,其步骤包括:
1)位移台将电机送至目标调节臂的位置;
2)电机的推轴先向下推动该目标调节臂的推杆,使得该目标调节臂的带棘轮槽滑块下移至极限位置后返回向上运动;当该目标调节臂中的CRLs在轴外时,其将在电机的推轴下移作用下使CRLs推至光轴中,即CRLs切入光轴;当该目标调节臂中的CRLs在轴中时,其将在电机的推轴下移至极限位置后返回向上运动时,该目标调节臂中的CRLs跟随电机的推轴返回上提,使CRLs切出光轴;
3)每当电机的推轴下移至极限位置再返回一次,CRLs则完成切入/切出状态切换或状态转变一次,并且通过带棘轮槽滑块高/低位置转换和转换后位置锁定,再经预紧弹簧作用于透镜框实现CRLs的状态切换后的位置或状态保持和自锁。
7.一种基于权利要求1所述X射线变焦透镜系统的准直对齐方法,其特征在于,当CRLs切入光轴时,电机的推轴向下推动目标调节臂的推杆,使推-推棘轮机构的带棘轮槽滑块进行向下运动由高位到低位,使得预紧弹簧被压缩,该预紧弹簧将推力直接作用所述二维柔性轴和所述透镜框上,使透镜框中CRLs的圆柱轮廓与V形槽相切且紧靠,即中心对齐。
CN202110749281.0A 2021-07-02 2021-07-02 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法 Active CN113450939B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110749281.0A CN113450939B (zh) 2021-07-02 2021-07-02 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法
PCT/CN2021/105748 WO2023272777A1 (zh) 2021-07-02 2021-07-12 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法
US17/794,769 US12014839B2 (en) 2021-07-02 2021-07-12 X-ray transfocator and focus variation method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110749281.0A CN113450939B (zh) 2021-07-02 2021-07-02 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113450939A true CN113450939A (zh) 2021-09-28
CN113450939B CN113450939B (zh) 2022-05-17

Family

ID=77814885

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110749281.0A Active CN113450939B (zh) 2021-07-02 2021-07-02 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US12014839B2 (zh)
CN (1) CN113450939B (zh)
WO (1) WO2023272777A1 (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000068954A1 (en) * 1999-05-07 2000-11-16 Adelphi Technology, Inc. Compound refractive lens for x-rays
CN1472749A (zh) * 2003-06-19 2004-02-04 上海交通大学 同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统
US8611502B1 (en) * 2010-10-22 2013-12-17 U.S. Department Of Energy Continuously variable focal length lens
CN110514682A (zh) * 2019-09-02 2019-11-29 中国科学院上海应用物理研究所 一种x射线小角散射与x射线成像联用的光学系统

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101519475B1 (ko) 2014-07-17 2015-05-13 주식회사 벡트론 X-선 집속을 위한 복합굴절렌즈의 홀더 조작장치
EP3540743A1 (en) 2018-03-16 2019-09-18 Deutsches Elektronen-Synchrotron DESY Method for manufacturing of a pre-aligned x-ray optical correction plate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000068954A1 (en) * 1999-05-07 2000-11-16 Adelphi Technology, Inc. Compound refractive lens for x-rays
CN1472749A (zh) * 2003-06-19 2004-02-04 上海交通大学 同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统
US8611502B1 (en) * 2010-10-22 2013-12-17 U.S. Department Of Energy Continuously variable focal length lens
CN110514682A (zh) * 2019-09-02 2019-11-29 中国科学院上海应用物理研究所 一种x射线小角散射与x射线成像联用的光学系统

Also Published As

Publication number Publication date
US12014839B2 (en) 2024-06-18
WO2023272777A1 (zh) 2023-01-05
CN113450939B (zh) 2022-05-17
US20230187097A1 (en) 2023-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10634871B2 (en) Low-profile dual-axis deflection device having deflection axes intersecting at mirror surface and method for achieving dual-axila deflection
CN110641925A (zh) 一种电机转子传送机构
CN113450939B (zh) 一种x射线变焦透镜系统及其变焦方法
CN113192873A (zh) 柔性连接机构、微动台机构及半导体设备
CN214980410U (zh) 一种光学镜头自动装配机用镜头夹装装置
US10183368B2 (en) Movable table system
CN218908991U (zh) 变距移动组件及具有其的取料装置
CN110967802A (zh) 一种大功率脉冲激光自适应变焦系统
CN114362471B (zh) 双级多自由度空间位置精密稳定系统
CN110493588B (zh) 绳簧驱动的双目可调对焦距离的仿生眼执行机构
CN212051127U (zh) 玻璃切割裂片设备
CN220085150U (zh) 一种可调式激光微加工的光导结构
CN111897079B (zh) 一种梯形镜组阵列
CN112744702A (zh) 一种高精度单驱龙门模组
CN113423605A (zh) 用于机动车辆前灯的照明设备
CN213513297U (zh) 一种灯的变焦机构
CN219114006U (zh) 一种多自由度运动平台及位移台装置
CN219013902U (zh) 一种用于屏幕线性精密移动的执行机构
CN116381892B (zh) 一种基于直驱式气浮平台的二级宏微相机镜头调焦装置
CN1614758A (zh) 一种用于光电子器件封装的精密对接装置
CN219715822U (zh) 一种长波红外变焦镜头
CN214234801U (zh) 双工位准直器制作装置
CN219725286U (zh) 一种可调节的机械制造零件夹具
CN216485735U (zh) 双直线电机驱动的全闭环自动变倍镜头
CN217467321U (zh) 平面反射镜四维高精度调整台

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant