CN113448174B - 一种缓冲结构、掩模台及光刻机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种缓冲结构、掩模台及光刻机，所述缓冲结构包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向。该缓冲结构可有效吸收撞击时的冲击，减少元件损伤。

Description

一种缓冲结构、掩模台及光刻机

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体涉及一种缓冲结构、掩模台及光刻机。

背景技术

随着光刻技术的进步和半导体工业的快速发展，对于光刻设备产率的要求日益增高，尤其是对于前道光刻机而言，高精度、高加速和高速度是必然的选择。光刻设备的高加速和高速度与高精度之间又是相互矛盾的，为了解决该矛盾，当前的光刻设备采用了粗动台和微动台相结合的结构，以实现高速和高精度的技术分离。

粗动台用于完成掩模版的大行程扫描曝光运动，微动台用于完成掩模版的精密微调。在掩模版的移动过程中粗动台和微动台之间可能会发生碰撞，而微动台主体一般由价格高昂的微晶玻璃制作，因此当粗动台和微动台发生碰撞时不仅会造成安全隐患，还会导致微动台损坏而增加光刻成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种缓冲结构、掩模台和光刻机，所述缓冲结构可设置于粗动台和微动台之间，用于缓冲粗动台和微动台之间的碰撞作用力，以保护微动台。

为实现上述目的，本发明提供的一种缓冲结构，包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向。

可选地，所述第一柔性簧片组的数量至少为两个，至少两个所述第一柔性簧片组沿第三方向间隔布置；所述缓冲结构还包括第一撞击部，所述第一撞击部设置在所述第一缓冲座上，且在所述第一方向上，所述第一撞击部的至少部分边缘凸出于所述第二缓冲座，在所述第三方向上，所述第一撞击部设置于相邻的两个所述第一柔性簧片组之间，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

可选地，所述第一柔性簧片组的数量为两个，所述第一撞击部的数量为一个。

可选地，通过在所述第一缓冲座上开设多个通孔而形成所述第一柔性簧片组，每个所述通孔皆在所述第二方向上贯通所述第一缓冲座。

可选地，所述第一缓冲座上还设置有第一调节机构，所述第一调节机构用于调节所述第一缓冲座的刚性。

可选地，所述第一调节件为螺栓，所述第一缓冲座上设置有沿第一方向贯穿所述第一缓冲座的第一螺纹孔，所述第一调节件设置于所述第一螺纹孔中，通过调节所述螺栓的拧紧程度实现对所述第一缓冲座的刚性的调节。

可选地，所述第二缓冲座包括沿第二方向依次布置的第一子缓冲座、第二子缓冲座和第三子缓冲座，所述第二子缓冲座上设置有至少一个所述第二柔性簧片组，所述第一子缓冲座与所述第二子缓冲座之间设置有第一限位间隙，所述第二子缓冲座与所述第三子缓冲座之间设置有第二限位间隙。

可选地，所述第二子缓冲座上设有两个第二柔性簧片组，两组所述第二柔性簧片组沿所述第二方向布置，且两组所述第二柔性簧片组之间具有分割间隙。

可选地，所述第一子缓冲座上设有至少一个所述第二柔性簧片组。

可选地，通过在所述第二缓冲座开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第二缓冲座；和/或，

通过在所述第一缓冲座上开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第一缓冲座；

所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

可选地，所述第三子缓冲座的刚度大于所述第二柔性簧片的刚度。

可选地，所述第三子缓冲座的材质与所述第二柔性簧片的材质相同，且所述第三子缓冲座的厚度大于所述第二柔性簧片的厚度，所述厚度是指所述第三子缓冲座或所第二柔性簧片在所述第二方向上的尺寸。

可选地，所述第二缓冲座还包括第四子缓冲座，所述第四子缓冲座位于所述第三子缓冲座远离所述第二子缓冲座的一侧，且所述第四子缓冲座上与所述第三子缓冲座之间还具有第三限位间隙，所述第四子缓冲座上设有至少一个所述第二柔性簧片组。

可选地，通过在所述第四子缓冲座上开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第四子缓冲座，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

可选地，所述第二缓冲座上形成有第二撞击部。

可选地，所述第二缓冲座开设有沿第一方向延伸的缓冲连接孔，在所述第二方向上，所述缓冲连接孔具有相对设置的两个第一侧壁，两个所述第一侧壁构成两个所述第二撞击部。

可选地，在第三方向上，所述缓冲连接孔具有相对设置的两个第二侧壁，至少一个所述第二侧壁上设置有朝向所述缓冲连接孔内延伸的限位结构，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

可选地，所述限位结构可拆卸地设置于所述第二缓冲座上。

可选地，所述第二缓冲座上还设置有第二调节件，所述第二调节件用于调节所述第二缓冲座的刚性。

可选地，所述第二缓冲座上设有沿所述第二方向延伸并贯穿所述第四子缓冲座和所述第三子缓冲座的第二螺纹孔，所述第二调节件为螺栓，所述螺栓设置于所述第二螺纹孔中，通过调节所述螺栓的拧紧程度实现对所述第二缓冲座刚性的调节。

可选地，在所述第二方向上，所述第一缓冲座与所述第二缓冲座间隔布置。

可选地，还包括连接部，所述第一缓冲座和所述第二缓冲座通过所述连接部连接，所述连接部上设有腰形连接孔。

此外，为实现上述目的，本发明还提供了一种掩模台，包括粗动台、微动台和如前任一项所述的缓冲结构，所述缓冲结构设置于所述粗动台与微动台之间，并用于缓冲所述粗动台与微动台之间的碰撞作用力。

另外，为实现上述目的，本发明还提供了一种光刻机，包括如前所述的掩模台。

与现有技术相比，本发明的缓冲结构、掩模台和光刻机具有如下优点：

前述的缓冲结构包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向。将所述缓冲结构安装于掩模台上时，所述缓冲结构可用于缓冲两个方向(例如X方向和Y方向)的撞击力，减小对微动台的损伤。

附图说明

图1是本发明根据一实施例所提供的缓冲结构在一个方向上的结构示意图；

图2是图1所示的缓冲结构在另一个方向上的结构示意图；

图3是图1所示的缓冲结构的俯视图；

图4是图3所示缓冲结构的B-B剖视图；

图5是图3所示的缓冲结构的A-A剖视图；

图6是本发明根据一实施例所提供的掩模台的结构示意图。

[附图标记说明如下]：

10-缓冲结构；

100-第一缓冲座；

101-第一柔性簧片；

110-第一长条形孔；

120-第一调节件；

200-第二缓冲座；

201-第二柔性簧片，202-第一限位间隙，203-第二限位间隙，204-第三限位间隙；

210-第一子缓冲座；

220-第二子缓冲座；

221-分割间隙，222-缓冲连接孔，223-限位结构；

230-第三子缓冲座；

240-第四子缓冲座；

250-第二长条形孔；

260-第二调节件；

270-第二撞击部；

300-连接部；

310-第一连接孔；

400-第一撞击部；

500-第四限位间隙；

20-粗动台；

30-微动台；

40-平衡质量框架；

50-平衡质量模块；

60-缓冲阻尼器。

具体实施方式

为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本说明书中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外，以及术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是机械连接，也可以是电连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。

本发明实施例的目的在于提供一种缓冲结构，所述缓冲结构可应用于掩模台上，并用于缓冲粗动台与微动台之间的撞击力。请参考图1至图3，所述缓冲结构10包括相互连接的第一缓冲座100和第二缓冲座200，所述第一缓冲座100上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片101。所述第二缓冲座200上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片201，所述第一方向垂直于所述第二方向。

所述缓冲结构10可采用金属材料例如钢材制作。将所述缓冲结构10放置于水平面上时，所述第一方向和所述第二方向皆为水平方向，其中所述第一方向可以是X方向，所述第二方向可以是Y方向，而后文中述及的第三方向可以是Z方向，可理解，这里X方向、Y方向及Z方向皆包括正负方向。从所述第一方向撞击所述缓冲结构10时，所述第一柔性簧片组可吸收撞击力，从而减小冲击。从所述第二方向撞击所述缓冲结构10时，所述第二柔性簧片组可吸收撞击力，从而减小冲击。

下面结合图1至图5介绍所述缓冲结构10的一种优选结构，但应理解，其仅仅是一种可选方案，因此不应对本发明构成限制。

如图1-2所示，所述缓冲结构10可包括连接部300、第一缓冲座100和第二缓冲座200，所述第一缓冲座100和所述第二缓冲座200沿所述第二方向布置，并皆与所述连接部300连接。所述连接部300用于与外部机构例如掩模台的粗动台连接，因而所述连接部300上设置有第一连接孔310，在一些实施例中所述第一连接孔310为圆形孔(如图1所示)，而在另一些实施例中所述第一连接孔为腰形孔(图中未示出)，从而在将所述缓冲结构10安装于外部机构上时可调节所述缓冲结构10的位置。所述第一连接孔310的长度方向根据实际需要设置，例如所述第一连接孔310的长度方向沿所述第一方向延伸或沿所述第二方向延伸。

请继续参考图1并结合图2，所述第一缓冲座100上设置有至少两个所述第一柔性簧片组，且至少两个所述第一柔性簧片组沿第三方向间隔布置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向，即所述第三方向可以是Z方向(也就是竖直方向)。所述缓冲结构10还包括第一撞击部400，所述第一撞击部400设置于所述第一缓冲座100背离所述连接部300的一侧，所述第一撞击部400的边缘突出所述第二缓冲座200。每个所述第一撞击部400设置在相邻两组所述第一柔性簧片组之间，例如，在一个实施例中，所述第一柔性簧片组的数量为两个时，所述第一撞击部400的数量可为一个，并且在所述第三方向上，所述第一撞击部400设置于两个所述第一柔性簧片组之间。在其他实施例中，所述第一柔性簧片组的数量可以为三个，所述第一撞击部400的数量可以为两个，以图1所示方位为例时，一个所述第一撞击部400可设置于上端与中间的两个所述第一柔性簧片组之间，另一个所述第一撞击部400可设置于中间与下端的两个所述第一柔性簧片组之间。当所述第一柔性簧片组和所述第一撞击部400的数量为其他数值时可类似布置。

请继续参考图2，所述第一缓冲座100具有一定的厚度，本实施例中，可通过在所述第一缓冲座100上开设在所述第二方向贯通所述第一缓冲座100的通孔而形成所述第一柔性簧片组。具体地，以图2所示方位为例，在所述第一缓冲座靠近上端的部分上开设一组长度沿所述第三方向延伸的第一长条形孔110，每组所述第一长条形孔110的数量至少为三个，至少三个所述第一长条形孔110沿所述第一方向间隔布置，这样相邻两个所述第一长条形孔110之间的部分可构成一个所述第一柔性簧片101，以及所述第一缓冲座100远离所述连接部300的边缘部分也构成一个所述第一柔性簧片101。每一个所述第一柔性簧片组中所述第一柔性簧片101的数量由所述第一长条形孔110的数量决定，所述第一长条形孔110可构成同一个所述第一柔性簧片组中相邻两个所述第一柔性簧片101之间的间隙。然后，在所述第一缓冲座靠近下端的部分上再开设一组所述第一长条形孔110，从而形成另一个所述第一柔性簧片组。可理解，通过调控相邻两个所述第一长条形孔110之间的间距可调节所述第一柔性簧片101的厚度，所述第一柔性簧片101的厚度根据实际需要设定。此处所述“厚度”是指所述第一缓冲座100或所述第一柔性簧片101在所述第一方向上的尺寸。

本实施例中，上端的一个所述第一柔性簧片组包括四个所述第一柔性簧片101，下端的一个所述第一柔性簧片组也包括四个所述第一柔性簧片101，并且这两组所述第一柔性簧片组中的所述第一柔性簧片101一一对应地设置，同时，在靠近所述连接部300的一侧，两个所述第一柔性簧片组共用一个所述第一长条形孔110。在另一些实施例中，相邻两个所述第一柔性簧片组中的所述第一柔性簧片101可不一一对应地设置，或者相邻两个所述第一柔性簧片组中的所述第一柔性簧片101的数量不相等。

可选地，如图4所示，所述第一缓冲座100上还设置有第一调节件120，所述第一调节件120用于调节所述第一缓冲座100的刚度。在一个示范性的实施例中，所述第一缓冲座100上设有沿第一方向贯穿所述第一缓冲座的第一螺孔，在所述第二方向上，所述第一螺纹孔可设置于相邻两个所述第一柔性簧片组之间。所述第一调节件120为螺栓，所述螺栓设置于所述第一螺孔中，通过调节所述螺栓的拧紧程度，可调节调节所述第一缓冲座100的刚度，进而调节所述第一缓冲座100的缓冲性能。

请结合图1至图3，所述第二缓冲座200包括沿所述第二方向依次布置的第一子缓冲座210、第二子缓冲座220和第三子缓冲座230，其中，所述第二子缓冲座220上设置所述第二柔性簧片组，且所述第一子缓冲座210和所述第二子缓冲座220之间设置有第一限位间隙202，所述第二子缓冲座220与所述第三子缓冲座之间设有第二限位间隙203。当所述第二子缓冲座220受到沿所述第二方向并指向所述第一子缓冲座210的撞击力时，所述第二柔性簧片组的各个所述第二柔性簧片201吸收撞击力并使所述第二子缓冲座220朝向所述第一子缓冲座210产生变形，若所述撞击力足够大，所述第二子缓冲座220将接触所述第一子缓冲座210，所述第一限位间隙202闭合后可限制所述第一子缓冲座210的形变量。同理，当所述第二子缓冲座220受到沿所述第二方向并指向所述第三子缓冲座230的撞击力时，所述第二柔性簧片组吸收撞击力，并使所述第二子缓冲座220朝向所述第三子缓冲座230产生变形，若所述撞击力足够大，所述第二子缓冲座220将接触所述第三子缓冲座230，所述第二限位间隙203闭合后可限制所述第二子缓冲座220的形变量。

所述第二子缓冲座220上设有至少一个所述第二柔性簧片组。作为优选，所述第二子缓冲座220上设有两个沿所述第二方向布置的所述第二柔性簧片组，且两个所述第二柔性簧片组之间具有分割间隙221，所述分割间隙221在所述第三方向上贯穿所述第二缓冲座220，且沿所述第三方向看，所述分割间隙221可呈“凹”形。如此设置的好处在于，进一步提高所述缓冲结构10对所述第二方向上的撞击力的缓冲吸收能力。此外，所述第一子缓冲座210上也设置有至少一个第二柔性簧片组。

进一步地，所述第二缓冲座200还包括第四子缓冲座240，所述第四子缓冲座240位于所述第三子缓冲座230远离所述第二子缓冲座220的一侧。所述第四子缓冲座240上设有至少一个所述第二柔性簧片组，且所述第四子缓冲座240与所述第三子缓冲座230之间设有第三限位间隙204。

类似于所述第一缓冲座100上的所述第一柔性簧片101的形成方法，可通过在所述第一子缓冲座210、所述第二缓冲座220及所述第四子缓冲座240上开设沿第三方向贯通的通孔来形成所述第二柔性簧片201组。例如，如图3所示，在所述第一子缓冲座210上开设多个第二长条形孔250，所述第二长条形孔250的长度方向沿所述第一方向延伸。所述第二长条形孔250的数量至少为三个，至少三个所述第二长条形孔250沿所述第二方向间隔布置，这样相邻两个所述第二长条形孔250之间的部分即形成为一个所述第二柔性簧片201，以及所述第一子缓冲座210的边缘部分也形成为一个所述第二柔性簧片201。也就是说，每个所述第二柔性簧片组中包含的所述第二柔性簧片201的数量由所述第二长条形孔250的数量决定，所述第二长条形孔250可构成相邻两个所述第二柔性簧片201之间的间隙。同理，其他子缓冲座上可开设所述第二长条形孔250而形成所述第二柔性簧片组。

进一步地，所述第三子缓冲座230的刚度大于所述第二柔性簧片201的刚度。这样当所述第二子缓冲座220朝向所述第三子缓冲座230产生变形至所述第二子缓冲座220与所述第三子缓冲座230接触时，所述第三子缓冲座230可有效地限制所述第二子缓冲座220的形变量。优选，所述第三子缓冲座230的材质与所述第二柔性簧片201的材质相同，且所述第三子缓冲座230的厚度大于所述第二柔性簧片201的厚度，以使所述第三子缓冲座230的刚度大于所述第二柔性簧片201的刚度。所述第二柔性簧片201的厚度及所述第三子缓冲座230的厚度皆可根据需要设置。此处所述“厚度”是指所述第三子缓冲座230或所述第二柔性簧片201在所述第二方向上的尺寸。

进一步地，如图5所示，所述第二缓冲座200上还设置有第二调节件260，所述第二调节件260用于调节所述第二缓冲座200的刚度。具体地，所述第二缓冲座200上开设有沿所述第二方向延伸并贯穿所述第四子缓冲座240和所述第三子缓冲座230的第二螺纹孔，所述第二调节件260为螺栓，所述螺栓设置于所述第二螺纹孔中。通过调节所述螺栓的拧紧程度，可调节所述第三限位间隙204和所述第二限位间隙203的大小，进而调节所述第二缓冲座200的刚性，以实现调节所述第二缓冲座200的缓冲性能的目的。

此外，所述第二缓冲座200上设有第二撞击部270。如图2所示，所述第二缓冲座220上开设有沿所述第一方向延伸的缓冲连接孔222，在所述第二方向上，所述缓冲连接孔222具有相对设置的两个第一侧壁，两个所述第一侧壁构成两个所述第二撞击部270。当一外部机构例如微动台的部分组成结构设置于所述缓冲连接孔222时，该外部机构可通过所述第二撞击部270在所述第二方向上对所述缓冲结构10产生撞击。本实施例中，优选在所述第二方向上，所述缓冲连接孔222设置与两个所述第二柔性簧片组之间。

进一步地，参考图1及图2，在所述第三方向上，所述缓冲连接孔222具有相对的两个第二侧壁，至少一个所述第二侧壁上设置有朝向所述缓冲连接孔222内凸出的限位结构223，所述限位结构223可用于限制所述外部机构在所述第三方向上移动的距离。本实施例中两个所述第二侧壁上皆设置有所述限位结构223。可选地，所述限位结构223与所述第二缓冲座220可拆卸地连接，例如所述第二缓冲座220上开设有与所述缓冲连接孔222连通的第二连接孔，通过在所述第二连接孔内设置螺栓而形成所述限位结构223。由于所述第二缓冲座220上的两个所述第二柔性簧片组之间的分割间隙呈“凹”形，使得所述第二侧壁具有足够的空间安装所述限位结构223。

实际上，所述第一缓冲座100和所述第二缓冲座200在制造时可一体成形，然后切割形成第四限位间隙500，从而使得所述第一缓冲座100和所述第二缓冲座200在第一方向上间隔布置。然后在所述第二缓冲座200上切割形成所述第一限位间隙201、所述第二限位间隙203及所述第三限位间隙204，以将所述第二缓冲座200分割成所述第一子缓冲座210、所述第二子缓冲座220、所述第三子缓冲座230及所述第四子缓冲座240。

如图6所示，本发明实施例还提供了一种掩模台1，图6中仅示意性地绘出了所述掩模台的组成部件和大致的位置关系。所述掩模台1包括前述的缓冲结构10、粗动台20和微动台30，其中所述缓冲结构10设置于所述粗动台20和所述微动态30之间。

详细地，所述掩模台1还包括平衡质量框架40、平衡质量模块50和缓冲阻尼器60，所述平衡质量模块50设置于所述平衡质量框架40上。所述粗动台20可活动地设置于所述平衡质量模块50上，所述缓冲阻尼器60设置于所述粗动台20与所述平衡质量框架40之间，以吸收所述粗动台20于所述平衡质量框架40之间的撞击能量。所述微动台30可活动地设置于所述粗动台20上，并在X方向上与所述粗动台20之间具有预定间隙，且所述微动台上设有沿X方向延伸的碰撞块。所述粗动台20与所述缓冲结构10的所述连接部300连接，所述微动台30的所述碰撞块插入所述缓冲连接孔222。所述第一方向与X方向重合，所述第二方向与Y方向(即所述掩模台的扫描方向)重合，所述第三方向与Z方向重合。

当所述微动台30从X方向上碰撞所述粗动台20时，所述微动台30首先接触所述第一缓冲座100上的所述第一撞击部400，所述第一柔性簧片组吸收至少部分撞击力后，再将剩余撞击力传递至所述粗动台20，所述粗动台20产生反力，并经所述缓冲结构10传递至所述微动台30。所述缓冲结构10可极大地减小所述微动台30受到的反力，由此降低对微动台30的损伤。当所述微动台30从Y方向(例如正方向)上撞击所述粗动台20时，所述微动台30的所述碰撞块首先接触所述第二撞击部270，所述第二缓冲座220上所述第二柔性簧片组吸收至少部分撞击力后，再将剩余撞击力传递至所述粗动台20，所述粗动台20产生反力并经所述缓冲结构10作用于所述微动台30，所述缓冲结构10亦降低了撞击对所述微动台30的损伤。此外，当所述掩模台1出现异常时，所述微动台30还可能在Z方向上移动，所述限位结构223用于限制所述微动台30在Z方向上移动的距离。

表1至表3提供了本发明实施例所述掩模台在运行过程中所述微动台30与所述粗动台发生碰撞时所述粗动台20产生的反力的仿真数据，以及现有技术中的掩模台在运行过程中粗动台与微动台发生碰撞时，微动台受到的反力的仿真数据，因现有技术中掩模台上的缓冲结构为本领域技术人员所公知，故而此处不做介绍。

表1

表2

表3

表1所示为X方向碰撞时的仿真数据，表2及表3所示皆为Y方向碰撞，以及本发明实施例提供的掩模台的仿真数据的编号为1，现有技术中掩模台的仿真数据编号为2。另外，表中所列碰撞速度为粗动台和微动台的相对运动速度，刚度为发生碰撞时缓冲结构10碰撞部分的刚度值。本实验通过碰撞动能转化为缓冲结构的弹性势能来计算碰撞变形，进而计算微动台受到的反力(表中所列是指在缓冲结构碰撞位置处，所述碰撞块所受到反力)。

通过对比可知，本发明实施例所提供的缓冲结构10在自身的结构刚度小于现有技术中的缓冲结构的刚度情况下具有更好的缓冲效果。

进一步地，本发明实施例还提供了一种光刻机，所述光刻机包括如前所述的掩模台。

虽然本发明披露如上，但并不局限于此。本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (23)

1.一种缓冲结构，其特征在于，包括相互连接的第一缓冲座和第二缓冲座；其中，所述第一缓冲座上设有第一柔性簧片组，所述第一柔性簧片组包括至少两个沿第一方向间隔布置的第一柔性簧片，所述第一柔性簧片组的数量至少为两个，至少两个所述第一柔性簧片组沿第三方向间隔布置；所述第二缓冲座上设有第二柔性簧片组，所述第二柔性簧片组包括至少两个沿第二方向间隔布置的第二柔性簧片，所述第一方向垂直于所述第二方向；所述缓冲结构还包括第一撞击部，所述第一撞击部设置在所述第一缓冲座上，且在所述第一方向上，所述第一撞击部的至少部分边缘凸出于所述第二缓冲座，在所述第三方向上，所述第一撞击部设置于相邻的两个所述第一柔性簧片组之间，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

2.根据权利要求1所述的缓冲结构，其特征在于，所述第一柔性簧片组的数量为两个，所述第一撞击部的数量为一个。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的缓冲结构，其特征在于，通过在所述第一缓冲座上开设多个通孔而形成所述第一柔性簧片组，每个所述通孔皆在所述第二方向上贯通所述第一缓冲座。

4.根据权利要求1所述的缓冲结构，其特征在于，所述第一缓冲座上还设置有第一调节件，所述第一调节件用于调节所述第一缓冲座的刚性。

5.根据权利要求4所述的缓冲结构，其特征在于，所述第一调节件为螺栓，所述第一缓冲座上设置有沿第一方向贯穿所述第一缓冲座的第一螺纹孔，所述第一调节件设置于所述第一螺纹孔中，通过调节所述螺栓的拧紧程度实现对所述第一缓冲座的刚性的调节。

6.根据权利要求1所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座包括沿第二方向依次布置的第一子缓冲座、第二子缓冲座和第三子缓冲座，所述第二子缓冲座上设置有至少一个所述第二柔性簧片组，所述第一子缓冲座与所述第二子缓冲座之间设置有第一限位间隙，所述第二子缓冲座与所述第三子缓冲座之间设置有第二限位间隙。

7.根据权利要求6所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二子缓冲座上设有两个第二柔性簧片组，两组所述第二柔性簧片组沿所述第二方向布置，且两组所述第二柔性簧片组之间具有分割间隙。

8.根据权利要求7所述的缓冲结构，其特征在于，所述第一子缓冲座上设有至少一个所述第二柔性簧片组。

9.根据权利要求8所述的缓冲结构，其特征在于，通过在所述第二缓冲座开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第二缓冲座；和/或，

通过在所述第一缓冲座上开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第一缓冲座；

所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

10.根据权利要求6所述的缓冲结构，其特征在于，所述第三子缓冲座的刚度大于所述第二柔性簧片的刚度。

11.根据权利要求10所述的缓冲结构，其特征在于，所述第三子缓冲座的材质与所述第二柔性簧片的材质相同，且所述第三子缓冲座的厚度大于所述第二柔性簧片的厚度，所述厚度是指所述第三子缓冲座或所第二柔性簧片在所述第二方向上的尺寸。

12.根据权利要求6所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座还包括第四子缓冲座，所述第四子缓冲座位于所述第三子缓冲座远离所述第二子缓冲座的一侧，且所述第四子缓冲座上与所述第三子缓冲座之间还具有第三限位间隙，所述第四子缓冲座上设有至少一个所述第二柔性簧片组。

13.根据权利要求12所述的缓冲结构，其特征在于，通过在所述第四子缓冲座上开设多个通孔而形成所述第二柔性簧片组，每个所述通孔皆在第三方向上贯通所述第四子缓冲座，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

14.根据权利要求4-13中任一项所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座上形成有第二撞击部。

15.根据权利要求14所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座开设有沿第一方向延伸的缓冲连接孔，在所述第二方向上，所述缓冲连接孔具有相对设置的两个第一侧壁，两个所述第一侧壁构成两个所述第二撞击部。

16.根据权利要求15所述的缓冲结构，其特征在于，在第三方向上，所述缓冲连接孔具有相对设置的两个第二侧壁，至少一个所述第二侧壁上设置有朝向所述缓冲连接孔内延伸的限位结构，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

17.根据权利要求16所述的缓冲结构，其特征在于，所述限位结构可拆卸地设置于所述第二缓冲座上。

18.根据权利要求12所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座上还设置有第二调节件，所述第二调节件用于调节所述第二缓冲座的刚性。

19.根据权利要求18所述的缓冲结构，其特征在于，所述第二缓冲座上设有沿所述第二方向延伸并贯穿所述第四子缓冲座和所述第三子缓冲座的第二螺纹孔，所述第二调节件为螺栓，所述螺栓设置于所述第二螺纹孔中，通过调节所述螺栓的拧紧程度实现对所述第二缓冲座刚性的调节。

20.根据权利要求1所述的缓冲结构，其特征在于，在所述第二方向上，所述第一缓冲座与所述第二缓冲座间隔布置。

21.根据权利要求1所述的缓冲结构，其特征在于，还包括连接部，所述第一缓冲座和所述第二缓冲座通过所述连接部连接，所述连接部上设有腰形连接孔。

22.一种掩模台，其特征在于，包括粗动台、微动台和如权利要求1-21中任一项所述的缓冲结构，所述缓冲结构设置于所述粗动台与微动台之间，并用于缓冲所述粗动台与微动台之间的碰撞作用力。

23.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求22所述的掩模台。

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