CN113427653A - 一种硅芯切割方法 - Google Patents

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silicon
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李涛
罗佳林
马晓亮
马伟春
喻春城
任喆祥
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Xinjiang Daqo New Energy Co Ltd
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Xinjiang Daqo New Energy Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明为一种硅芯切割方法。一种硅芯切割方法,包括以下步骤:硅棒的圆形截面上具有直径L1和L2,直径L1和L2互相垂直;第一层金钢线与所述的直径L1成60°排布;第二层金钢线与所述的直径L1成60°排布,且所述的第二层金钢线与所述的第一层金钢线成60°,所述的第二层金钢线与第一层金钢线相交形成菱形;第三层金钢线排布于所述的菱形的对角线位置,将所述的菱形切割成正三角形。本发明所述的一种硅芯切割方法,将棒切割成正三角形硅芯,提高了硅芯的收率,降低了生产成本。

Description

一种硅芯切割方法
技术领域
本发明属于多晶硅技术领域,具体涉及一种硅芯切割方法。
背景技术
多晶硅生产过程中,硅芯安装在还原炉内,是生长多晶硅的原料。还原炉硅芯主要使用圆形硅芯和正方形硅芯。正方形硅芯主要使用拉制好的硅棒,采用金钢线切割硅棒获得。
现在行业主要使用立式或者卧式切金钢线切割机进行布线切割。正方形硅芯切割,金钢线分布两层切割,第一层金钢线分布竖直切割,金钢线线距间隔15mm,第二层金钢线与第一层金钢线垂直切割。但是,该种切割方式在切割一定直径的单晶硅棒(即硅棒),切割正方形硅芯,获得的硅芯数量较少。并且,硅芯生产成本较高
有鉴于此,本发明提出一种新的硅芯切割方法,来解决硅芯切割收率低、成本高的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅芯切割方法,将单晶硅棒切割成正三角形硅芯,提高了硅芯的收率,降低了生产成本。
为了实现上述目的,所采用的技术方案为:
一种硅芯切割方法,包括以下步骤:
硅棒的圆形截面上具有直径L1和L2,直径L1和L2互相垂直;
第一层金钢线与所述的直径L1成60°排布;
第二层金钢线与所述的直径L1成60°排布,且所述的第二层金钢线与所述的第一层金钢线成60°,所述的第二层金钢线与第一层金钢线相交形成菱形;
第三层金钢线排布于所述的菱形的对角线位置,将所述的菱形切割成正三角形。
进一步地,所述的硅棒的直径为150mm。
再进一步地,所述的正三角形边长为15mm,有170个。
与现有技术相比,本发明的有益效果在于:
本发明的技术方案将单晶棒切割成正三角形硅芯。硅芯边长越大,硅棒生长越快。在相同边长的前提下,正三角形硅芯与正方形硅芯相比,切割正三角形时,硅棒切割边角料少,硅芯收率高,从而硅芯生产成本更低。
附图说明
图1为实施例1的切割示意图。
具体实施方式
为了进一步阐述本发明一种硅芯切割方法,达到预期发明目的,以下结合较佳实施例,对依据本发明提出的一种硅芯切割方法,其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。在下述说明中,不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外,一或多个实施例中的特定特征、结构或特点可由任何合适形式组合。
下面将结合具体的实施例,对本发明一种硅芯切割方法做进一步的详细介绍:
本发明的技术方案为:
一种硅芯切割方法,包括以下步骤:
硅棒的圆形截面上具有直径L1和L2,直径L1和L2互相垂直;
第一层金钢线与所述的直径L1成60°排布;
第二层金钢线与所述的直径L1成60°排布,且所述的第二层金钢线与所述的第一层金钢线成60°,所述的第二层金钢线与第一层金钢线相交形成菱形;
第三层金钢线排布于所述的菱形的对角线位置,将所述的菱形切割成正三角形。
优选地,所述的硅棒的直径为150mm。
进一步优选地,所述的正三角形边长为15mm,有170个。
实施例1.
切割方法的示意图如图1所示,具体操作步骤如下:
(1)将直径150mm的硅棒,放入金钢线切割机。硅棒的圆形截面上具有直径L1和L2,直径L1和L2互相垂直。
(2)第一层金钢线排布与硅棒直径L1成∠60°排布。
(3)第二层金钢线排布与硅棒直径L1成∠60°排布,另一边成∠120°;且第二层金钢线与第一层金钢线成∠60°,从而第二层金钢线与第一层金钢线相交形成菱形。
(4)第三层金钢线排布于前两层线切出的菱形硅芯的正中间,布一层线,保证切出的硅芯呈正三角形硅芯。
本实施例1获得边长15mm的正三角形硅芯170根。若相同边长,可获得边长15mm的正方形硅芯75根。经对比可知,本发明的技术方案可获得更多的有用硅芯,从而解决硅芯切割的收率低、成本高的问题。
以上所述,仅是本发明实施例的较佳实施例而已,并非对本发明实施例作任何形式上的限制,依据本发明实施例的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明实施例技术方案的范围内。

Claims (3)

1.一种硅芯切割方法,其特征在于,包括以下步骤:
硅棒的圆形截面上具有直径L1和L2,直径L1和L2互相垂直;
第一层金钢线与所述的直径L1成60°排布;
第二层金钢线与所述的直径L1成60°排布,且所述的第二层金钢线与所述的第一层金钢线成60°,所述的第二层金钢线与第一层金钢线相交形成菱形;
第三层金钢线排布于所述的菱形的对角线位置,将所述的菱形切割成正三角形。
2.根据权利要求1所述的硅芯切割方法,其特征在于,
所述的硅棒的直径为150mm。
3.根据权利要求2所述的硅芯切割方法,其特征在于,
所述的正三角形边长为15mm,有170个。
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