CN113417852A - 干式真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。

Description

干式真空泵

技术领域

本发明涉及光伏半导体加工设备技术领域，具体而言，涉及一种干式真空泵。

背景技术

随着光伏半导体行业的发展和进步，对于光伏半导体加工设备的控制要求越来越高，工艺也越来越复杂多样。现有的干式真空泵中一般采用多级爪式转子，也就是说，转子和轴为分体式结构，转子需要装配到轴上，每根轴上需要装配四个转子，对应的，壳体上为容纳所有转子设计有沿轴方向依次排布的五个空腔。这样，使现有的干式真空泵至少具有以下缺点：

1.结构复杂，零件的加工精度要求较高，零件的互换性较低，致使产品的性能和经济性难以提高；

2.零件多，装配的难度较大，导致装配的误差较大，设备的使用效果较差，使用寿命较短。

发明内容

本发明的目的包括提供一种干式真空泵，其能够减少零件的数量，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明提供一种干式真空泵，干式真空泵包括：

壳体，壳体的内部开设有容置空腔；

两个一体式转子，转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。

本实施例提供的干式真空泵的有益效果包括：

1.转子采用一体式结构形式，相比于现有的分体式转子，减少了零件数量，降低了生产和装配的难度，避免了装配误差较大，提高了设备的使用性能，并保证了使用寿命较长；

2.整体结构简单，零件的加工精度要求可以降低，降低了生产成本，零件的互换性较好，提高了经济性。

在可选的实施方式中，一体式转子包括：

转轴，转动安装在容置空腔内；

多个排气爪，安装在转轴上、且沿转轴的长度方向间隔排布，多个排气爪与转轴一体成型。

这样，一体式转子的结构简单，零件的数量少，可以采用模具一次性成型，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。而且，设置有多个排气爪，可以实现多级排气，提升抽真空的效率，每个转轴上的多个排气爪之间无需采用销钉定位，转轴和多个排气爪为一体结构，相互之间的位置精度更高。

在可选的实施方式中，壳体包括两个盖合设置的外壳，外壳内开设有部分空腔，两个外壳的部分空腔拼接形成容置空腔。

这样，壳体的结构简单，零件的数量少，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。具体的，两个外壳装配成壳体之后，就自动形成了可以容纳一体式转子的容纳空腔，相比于现有的真空泵需要将分体的多个腔体依次装配在一起，本实施例中的壳体明显减小了生产和装配难度。

在可选的实施方式中，两个外壳的形状结构相同。

这样，两个外壳可以采用同一个模具完成成型生产，降低了生产成本。

在可选的实施方式中，部分空腔包括两个轴腔和多个爪腔，两个轴腔间隔平行布置，多个爪腔沿轴腔的长度方向间隔布置，每个轴腔容纳一个转轴，每个爪腔容纳一个排气爪。

在可选的实施方式中，多个排气爪的形状各不相同。

这样，相对于排气爪相同的转子，本实施例中的一体式转子在转动一周的过程中，可以实现多次排气，提升排气效率，也可以灵活设计一体式转子的抽真空效率以及灵活调整抽速，实现对所需抽速的精准把控，并能实现极高的真空度，适应于不同场景下对抽真空的要求。

在可选的实施方式中，多个排气爪包括依次布置的第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪，其中，第一排气爪和第五排气爪为中心对称结构，第二排气爪、第三排气爪和第四排气爪为异形结构。

这样，一体式转子在转动一周的过程中，每个排气爪排出气体的量可能不同，排气的次数可能也不同，实现对排气效率的精准控制。

在可选的实施方式中，第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪的宽度逐渐减小。

这样，第一排气爪、第二排气爪、第三排气爪、第四排气爪和第五排气爪排气一次的气体量依次减小，整个一体式转子排气的精度较高。

在可选的实施方式中，第一排气爪为两叶形状，第五排气爪为五叶形状。

这样，一体式转子在转动一周的过程中，第一排气爪可以实现两次排气，第五排气爪可以实现五次排气，通过控制一体式转子的转动角度，就可以精准控制干式真空泵的排气量，从而起到对真空率的精准控制。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的干式真空泵的分解结构示意图；

图2为图1中两个一体式转子的结构示意图；

图3为图1中外壳的结构示意图。

图标：100-干式真空泵；110-壳体；111-外壳；112-部分空腔；113-轴腔；114-爪腔；120-一体式转子；121-转轴；122-第一排气爪；123-第二排气爪；124-第三排气爪；125-第四排气爪；126-第五排气爪。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

请参考图1，本实施例提供了一种干式真空泵100，干式真空泵100包括壳体110和两个一体式转子120，壳体110包括两个盖合设置的外壳111，外壳111内开设有部分空腔112，两个外壳111的部分空腔112拼接形成容置空腔。其中，两个外壳111可以采用螺栓连接。

这样，壳体110的结构简单，零件的数量少，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。两个外壳111的形状结构也可以设计相同。这样，两个外壳111可以采用同一个模具完成成型生产，降低了生产成本。

两个一体式转子120转动安装在容置空腔内，两个一体式转子120相互啮合，两个一体式转子120用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。

其中，转子采用一体式结构形式，相比于现有的分体式转子，减少了零件数量，降低了生产和装配的难度，避免了装配误差较大，提高了设备的使用性能，并保证了使用寿命较长。

干式真空泵100的整体结构简单，零件的加工精度要求可以降低，降低了生产成本，零件的互换性较好，提高了经济性。

具体的，请参阅图2，一体式转子120包括转轴121和多个排气爪，转轴121转动安装在容置空腔内，多个排气爪安装在转轴121上、且沿转轴121的长度方向间隔排布，多个排气爪与转轴121一体成型。这样，一体式转子120的结构简单，零件的数量少，可以采用模具一次性成型，降低了生产和装配的难度，提高了经济性。而且，设置有多个排气爪，可以实现多级排气，提升抽真空的效率。

而且，每个转轴121上的多个排气爪之间无需采用销钉定位，转轴121和多个排气爪为一体结构，相互之间的位置精度更高。

每个转轴121上的多个排气爪的形状各不相同。这样，相对于排气爪相同的转子，本实施例中的一体式转子120在转动一周的过程中，可以实现多次排气，提升排气效率，也可以灵活设计一体式转子120的抽真空效率以及灵活调整抽速，实现对所需抽速的精准把控，并能实现极高的真空度，适应于不同场景下对抽真空的要求。

本实施例中，一体式转子120为五级转子，每个转轴121上的多个排气爪包括依次布置的第一排气爪122、第二排气爪123、第三排气爪124、第四排气爪125和第五排气爪126，其中，第一排气爪122和第五排气爪126为中心对称结构，第二排气爪123、第三排气爪124和第四排气爪125为异形结构。这样，一体式转子120在转动一周的过程中，每个排气爪排出气体的量可能不同，排气的次数可能也不同，实现对排气效率的精准控制。

可选地，第一排气爪122为两叶形状，第五排气爪126为五叶形状。这样，一体式转子120在转动一周的过程中，第一排气爪122可以实现两次排气，第五排气爪126可以实现五次排气，通过控制一体式转子120的转动角度，就可以精准控制干式真空泵100的排气量，从而起到对真空率的精准控制。

可选地，第一排气爪122、第二排气爪123、第三排气爪124、第四排气爪125和第五排气爪126的宽度逐渐减小。这样，第一排气爪122、第二排气爪123、第三排气爪124、第四排气爪125和第五排气爪126排气一次的气体量依次减小，整个一体式转子120排气的精度较高。

容易理解的是，一体式转子120的具体结构形式还可以有其它选择，例如，将每个转轴121上的排气爪设计为相同形状结构，同时，可以将排气爪错位设置，这里的错位设置是指相邻两个排气爪相对转动预设角度。每个转轴121上排气爪的数量也可以有多种选择，可以根据泵体所需要的抽真空效率决定。

在其它实施例中，两个一体式转子120的形状结构也可以不同，只要二者啮合，并同步反向转动，能够实现排气功能即可。

请参阅图3，外壳111上的部分空腔112包括两个轴腔113和多个爪腔114，两个轴腔113间隔平行布置，多个爪腔114沿轴腔113的长度方向间隔布置，每个轴腔113容纳一个转轴121，每个爪腔114容纳一个排气爪。

外壳111上的部分空腔112的形状尺寸与一体式转子120的形状尺寸相适配，可以根据一体式转子120的形状尺寸而确定。

本实施例中，两个外壳111装配成壳体110之后，就自动形成了可以容纳一体式转子120的容纳空腔，也就形成了容纳所有排气爪的爪腔114，相比于现有的真空泵需要将分体的多个腔体依次装配在一起，本实施例中的壳体110明显减小了生产和装配难度。

而且，两个外壳111设计为上下位置布置，在下方的外壳111中装入一体式转子120之后，再将上方的外壳111盖合到下方的外壳111上，即可完成干式真空泵100的装配。

当然，在其它实施例中，壳体110的结构形式还可以多种选择，例如，壳体110由左右两部分拼接而成，或者上下两部分拼接而成，但上下两部分形状结构不同。

本实施例提供的干式真空泵100的有益效果包括：

1.转子采用一体式结构形式，相比于现有的分体式转子，减少了零件数量，降低了生产和装配的难度，避免了装配误差较大，提高了设备的使用性能，并保证了使用寿命较长；

2.每个转轴121上的多个排气爪之间无需采用销钉定位，转轴121和多个排气爪为一体结构，相互之间的位置精度更高。

3.多个排气爪的形状各不相同，一体式转子120在转动一周的过程中，可以实现多次排气，提升排气效率，也可以灵活设计一体式转子120的抽真空效率，实现对所需真空度的精准把控，适应于不同场景下对抽真空的要求；

4.壳体110设计为两半式、且两部分形状结构相同，不仅零件少、装配方便，而且，两个外壳111可以采用同一个模具完成成型生产，降低了生产成本；

5.整体结构简单，零件的加工精度要求可以降低，降低了生产成本，零件的互换性较好，提高了经济性。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种干式真空泵，其特征在于，所述干式真空泵包括：

壳体(110)，所述壳体(110)的内部开设有容置空腔；

两个一体式转子(120)，转动安装在所述容置空腔内，两个所述一体式转子(120)相互啮合，两个所述一体式转子(120)用于同步反向转动，以排出所述容置空腔内的气体。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，所述一体式转子(120)包括：

转轴(121)，转动安装在所述容置空腔内；

多个排气爪，安装在所述转轴(121)上、且沿所述转轴(121)的长度方向间隔排布，多个所述排气爪与所述转轴(121)一体成型。

3.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，所述壳体(110)包括两个盖合设置的外壳(111)，所述外壳(111)内开设有部分空腔(112)，两个所述外壳(111)的所述部分空腔(112)拼接形成所述容置空腔。

4.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，两个所述外壳(111)的形状结构相同。

5.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，所述部分空腔(112)包括两个轴腔(113)和多个爪腔(114)，两个所述轴腔(113)间隔平行布置，多个所述爪腔(114)沿所述轴腔(113)的长度方向间隔布置，每个所述轴腔(113)容纳一个所述转轴(121)，每个所述爪腔(114)容纳一个所述排气爪。

6.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，多个所述排气爪的形状各不相同。

7.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，多个所述排气爪包括依次布置的第一排气爪(122)、第二排气爪(123)、第三排气爪(124)、第四排气爪(125)和第五排气爪(126)，其中，所述第一排气爪(122)和所述第五排气爪(126)为中心对称结构，所述第二排气爪(123)、所述第三排气爪(124)和所述第四排气爪(125)为异形结构。

8.根据权利要求7所述的干式真空泵，其特征在于，所述第一排气爪(122)、所述第二排气爪(123)、所述第三排气爪(124)、所述第四排气爪(125)和所述第五排气爪(126)的宽度逐渐减小。

9.根据权利要求7所述的干式真空泵，其特征在于，所述第一排气爪(122)为两叶形状，所述第五排气爪(126)为五叶形状。

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