CN113376377B - 一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 - Google Patents
一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113376377B CN113376377B CN202110431520.8A CN202110431520A CN113376377B CN 113376377 B CN113376377 B CN 113376377B CN 202110431520 A CN202110431520 A CN 202110431520A CN 113376377 B CN113376377 B CN 113376377B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glucose
- semipermeable membrane
- hollow cavity
- shell
- mems sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000008103 glucose Substances 0.000 title claims abstract description 127
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 title claims abstract description 125
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 76
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 claims description 6
- ULVXDHIJOKEBMW-UHFFFAOYSA-N [3-(prop-2-enoylamino)phenyl]boronic acid Chemical compound OB(O)C1=CC=CC(NC(=O)C=C)=C1 ULVXDHIJOKEBMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 3
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 15
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 7
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 6
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000000835 electrochemical detection Methods 0.000 description 3
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 206010012601 diabetes mellitus Diseases 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 208000002249 Diabetes Complications Diseases 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- LDPIQRWHBLWKPR-UHFFFAOYSA-N aminoboronic acid Chemical compound NB(O)O LDPIQRWHBLWKPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 208000016097 disease of metabolism Diseases 0.000 description 1
- 238000006911 enzymatic reaction Methods 0.000 description 1
- 210000003722 extracellular fluid Anatomy 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 201000001421 hyperglycemia Diseases 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 208000030159 metabolic disease Diseases 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007920 subcutaneous administration Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/48—Biological material, e.g. blood, urine; Haemocytometers
- G01N33/50—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing
- G01N33/66—Chemical analysis of biological material, e.g. blood, urine; Testing involving biospecific ligand binding methods; Immunological testing involving blood sugars, e.g. galactose
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Hematology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Cell Biology (AREA)
- Biotechnology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Diabetes (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，包括结构相同且对称布置的上外壳和下外壳，上外壳和下外壳装配成一内设有中空腔室的整体；中空腔室相对的两端分别通过外壳上开设的入口孔即组织液入口和出口孔即组织液出口与外部连通；中空腔室内布置有将中空腔室分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间设有悬臂梁，悬臂梁上固定有坡莫合金和压电材料。本发明的传感器，结构简单，尺寸小；效率高，制造加工方便、成本低，便于集成化；葡萄糖只进行聚合作用，不消耗组织液中葡萄糖，结果准确，极具应用前景。
Description
技术领域
本发明属于MEMS传感器技术领域，涉及一种葡萄糖检测用的MEMS传感器，特别涉及一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器。
背景技术
糖尿病是一种以高血糖为特征的代谢性疾病。通过重复的日常血糖测量来密切监测糖尿病治疗使得及时诊断和纠正有问题的血糖模式变得可能，这减少了糖尿病相关并发症的风险。持续的血糖监测使得最及时的检测不正常的血糖水平变成可能，现有的对血糖进行持续监测的设备一般为无创式和微创式。而无创装置依赖于经皮吸收的样本和对细胞间液的检测，通常来说精确性和依靠性有限。微创通过皮下植入装置使得直接和精确的提取细胞检验来检测血糖水平变得可能。现有的微创技术大多基于酶催化反应的电化学检测。如CN 201020606697.4公开了一种微创连续型葡萄糖监测传感器，包括一个针状式参考电极和至少一个针状式工作电极，工作电极包括导电层和酶膜层，虽然其能够实现对葡萄糖的连续监测，但由于其采用电化学检测，葡萄糖在检测中不可逆转地进行消耗，这可能改变组织中葡萄糖的平衡浓度，从而改变真实测得的葡萄糖水平，同时由电极活性化学物质所产生的过氧化氢也会引起检测结果的不准确性，此外其还存在尺寸较大、成本较高和难以集成化等缺陷。
因此，开发一种检测准确、尺寸较小、成本低廉且集成化好的微创连续型葡萄糖监测传感器极具现实意义。
发明内容
本发明的目的在于克服现有电化学检测葡萄糖所引起的结果不准确，以及传统传感器尺寸较大、成本较高且难以集成化的缺陷，提供一种检测准确、尺寸较小、成本低廉且集成化好的微创连续型葡萄糖监测传感器，具体为一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，包括结构相同且对称布置的上外壳和下外壳，所述上外壳和下外壳装配成一内设有中空腔室的整体；
所述中空腔室相对的两端分别通过外壳上开设的入口孔和出口孔与外部连通，所述入口孔为组织液入口，所述出口孔为组织液出口；
所述中空腔室内布置有将中空腔室分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，如葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜上下布置且葡萄糖上半透膜位于葡萄糖下半透膜上方，其中葡萄糖下半透膜以下即为下流道，葡萄糖上半透膜以上即为上流道，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间设有悬臂梁，所述悬臂梁上固定有坡莫合金和压电材料；
所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设有磁场；
所述入口孔与出口孔通过中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜两侧的空间直接连通即入口孔与出口孔通过上、下流道连通，上下流道与葡萄糖上下半透膜之间的空间布置有葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，上下流道内的溶液透过葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜后加入葡萄糖上下半透膜之间的空间内。
本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，结构设计合理，整体结构简单，成本低廉，集成化好、尺寸较小且检测精度高，极具应用前景。
作为优选的技术方案：
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述悬臂梁的材质为帕利灵。本发明的保护范围并不仅限于此，本领域技术人员可根据实际需求选择悬臂梁的材质，只要保证悬臂梁在溶液中耐腐蚀即可。
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述悬臂梁上坡莫合金表面附着一层抗腐蚀用的帕利灵薄膜。当然本发明的保护范围并不仅限于此，本领域技术人员可根据实际需求进行设置。
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间的空间内填充有3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液，3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液主要用于与葡萄糖分子进行聚合反应，其他可与葡萄糖分子进行聚合反应的物质也可适用于本发明。
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设置有水平方向和竖直方向的磁场，即其外部设有正交的两磁场。
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述压电材料固定在悬臂梁上且由导线通过腔室引出其电信号。
如上所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，所述坡莫合金固定在悬臂梁的自由端，所述压电材料固定在悬臂梁的非自由端。
本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器装置的工作过程如下所示：
组织液中葡萄糖进入腔室：组织液通过上下流道，由于葡萄糖半透膜存在选择透过性，葡萄糖分子通过半透膜进入腔室内部与3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液发生聚合现象，聚合效果使得溶液粘度发生变化。
悬臂梁振动：传感器置于两个相互正交的磁场中。当传感器水平定向时，这些磁场包括由螺线管产生的垂直电磁场和由永磁体产生的水平磁场。水平磁场使坡莫合金薄膜磁化，沿悬臂长度在坡莫合金薄膜中激发磁场。因此，在磁化的坡莫合金薄膜上产生一个转矩，试图使悬臂梁与电磁场对齐。该转矩沿悬臂梁长度分布，其大小与坡莫合金体积、电磁场强度和坡莫合金磁化强度的乘积成正比，并导致悬臂弯曲。因此，随时间变化的电磁场产生随时间变化的转矩，从而导致悬臂梁的振动。此外，聚合物溶液的振动诱导流动通常会在悬臂梁上施加流体动力惯性和阻尼。
检测：由于葡萄糖浓度不同导致聚合物溶液粘度发生变化，导致悬臂梁振动频率发生变化，通过置于悬臂梁上的压电薄膜将不同葡萄糖浓度对应的振动频率输出，即可检测组织液中葡萄糖浓度。
有益效果：
(1)本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，结构简单，尺寸相对较小；
(2)本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，组织液通过上下流道，工作效率更高，制造加工方便、成本低，便于集成化；
(3)本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，葡萄糖只进行聚合作用，不消耗组织液中葡萄糖，结果更加准确，极具应用前景。
附图说明
图1为本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器的整体结构示意图；
图2为本发明右视图；
图3为图2A—A剖面图；
图4为本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器的爆炸视图；
其中，1-下外壳，2-组织液入口，3-上外壳，4-组织液出口，5-腔室，6-下流道，7-葡萄糖下半透膜，8-压电材料，9-悬臂梁，10-坡莫合金，11-葡萄糖上半透膜，12-上流道。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式做进一步阐述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例1
一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器装置，如图1～4所示，其包括结构相同且对称布置的上外壳3和下外壳1，上外壳3和下外壳1装配成一内设有中空腔室5的整体(桃核状)；
中空腔室5相对的两端分别通过外壳(上外壳3和下外壳1)上开设的入口孔和出口孔与外部连通，入口孔为组织液入口2，出口孔为组织液出口4；
中空腔室5内布置有将中空腔室5分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜11和葡萄糖下半透膜7，葡萄糖上半透膜11和葡萄糖下半透膜7上下布置且葡萄糖上半透膜11位于葡萄糖下半透膜7上方，其中葡萄糖下半透膜11以下即为下流道6，葡萄糖上半透膜7以上即为上流道12，入口孔与出口孔通过上、下流道连通，上、下流道与葡萄糖上下半透膜之间的空间布置有葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，葡萄糖上半透膜11和葡萄糖下半透膜7平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，葡萄糖上半透膜11和葡萄糖下半透膜7之间设有材质为帕利灵的悬臂梁9，坡莫合金10固定在悬臂梁9的自由端，坡莫合金10表面附着一层帕利灵薄膜，压电材料8固定在悬臂梁9的非自由端，压电材料由导线通过腔室引出其电信号，腔室5的内部填充有3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液且上外壳和下外壳装配成型的整体外设置有水平方向和竖直方向的磁场。
上述可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器装置的工作过程如下所示：
组织液中葡萄糖进入腔室：组织液通过上下流道，由于葡萄糖半透膜存在选择透过性，葡萄糖分子通过半透膜进入腔室内部与3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液发生聚合现象，聚合效果使得溶液粘度发生变化。
悬臂梁振动：传感器置于两个相互正交的磁场中。当传感器水平定向时，这些磁场包括由螺线管产生的垂直电磁场和由永磁体产生的水平磁场。水平磁场使坡莫合金薄膜磁化，沿悬臂长度在坡莫合金薄膜中激发磁场。因此，在磁化的坡莫合金薄膜上产生一个转矩，试图使悬臂梁与电磁场对齐。该转矩沿悬臂梁长度分布，其大小与坡莫合金体积、电磁场强度和坡莫合金磁化强度的乘积成正比，并导致悬臂弯曲。因此，随时间变化的电磁场产生随时间变化的转矩，从而导致悬臂梁的振动。此外，聚合物溶液的振动诱导流动通常会在悬臂梁上施加流体动力惯性和阻尼。
检测：由于葡萄糖浓度不同导致聚合物溶液粘度发生变化，导致悬臂梁振动频率发生变化，通过置于悬臂梁上的压电薄膜将不同葡萄糖浓度对应的振动频率输出，即可检测组织液中葡萄糖浓度。
经验证，本发明的可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，结构简单，尺寸相对较小；组织液通过上下流道，工作效率更高，制造加工方便、成本低，便于集成化；葡萄糖只进行聚合作用，不消耗组织液中葡萄糖，结果更加准确，极具应用前景。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，包括结构相同且对称布置的上外壳和下外壳，所述上外壳和下外壳装配成一内设有中空腔室的整体；
所述中空腔室相对的两端分别通过外壳上开设的入口孔和出口孔与外部连通，所述入口孔为组织液入口，所述出口孔为组织液出口；
所述中空腔室内布置有将中空腔室分为三个独立空间的葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜平行于入口孔与出口孔组成的连线方向布置，所述葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间设有悬臂梁，所述悬臂梁上固定有坡莫合金和压电材料；
所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设有磁场；
所述入口孔与出口孔通过中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜两侧的空间直接连通，葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜上下布置且葡萄糖上半透膜位于葡萄糖下半透膜上方，其中葡萄糖下半透膜以下即为下流道，葡萄糖上半透膜以上即为上流道，所述入口孔与出口孔通过中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜两侧的空间直接连通即入口孔与出口孔通过上、下流道连通，上下流道与葡萄糖上下半透膜之间的空间布置有葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜，上下流道内的溶液透过葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜后加入葡萄糖上下半透膜之间的空间内。
2.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述悬臂梁的材质为帕利灵。
3.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述悬臂梁上坡莫合金表面附着一层帕利灵薄膜。
4.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述中空腔室内葡萄糖上半透膜和葡萄糖下半透膜之间的空间填充有3-丙烯酰胺基苯硼酸溶液。
5.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述上外壳和下外壳装配成型的整体外设置有水平方向和竖直方向的磁场。
6.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述压电材料固定在悬臂梁上且由导线通过腔室引出其电信号。
7.根据权利要求1所述的一种可持续性检测葡萄糖浓度的MEMS传感器，其特征在于，所述坡莫合金固定在悬臂梁的自由端，所述压电材料固定在悬臂梁的非自由端。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110431520.8A CN113376377B (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110431520.8A CN113376377B (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113376377A CN113376377A (zh) | 2021-09-10 |
| CN113376377B true CN113376377B (zh) | 2023-11-24 |
Family
ID=77569932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110431520.8A Active CN113376377B (zh) | 2021-04-21 | 2021-04-21 | 一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113376377B (zh) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100038593A (ko) * | 2008-10-06 | 2010-04-15 | 한양대학교 산학협력단 | 멤브레인형 플랩을 구비한 분리 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩 및 이의 제작방법 |
| CN102565148A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-11 | 广东工业大学 | 微型差分电容葡萄糖连续监测阻尼传感器及制作方法 |
| CN202372468U (zh) * | 2011-12-28 | 2012-08-08 | 广东工业大学 | 一种微型差分电容葡萄糖连续监测阻尼传感器 |
| KR20140097041A (ko) * | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 연세대학교 산학협력단 | 당뇨측정장치 및 그 제조방법 |
| CN104158440A (zh) * | 2014-09-05 | 2014-11-19 | 苏州大学 | 一种升频式振动能量采集系统及采集方法 |
| CN204130459U (zh) * | 2014-09-04 | 2015-01-28 | 上海工程技术大学 | 一种高度集成的电磁双稳态mems继电器 |
| CN108387545A (zh) * | 2018-02-01 | 2018-08-10 | 上海工程技术大学 | 四氧化三铁基复合碳纳米管模拟酶及其制备方法和应用 |
| CN209147971U (zh) * | 2019-01-23 | 2019-07-23 | 保定蓝典极岸专业设计股份有限公司 | 模具边缘弧度检测装置 |
| CN210347520U (zh) * | 2019-01-25 | 2020-04-17 | 天津大学 | 一种自校准葡萄糖连续监测系统 |
| CN111474633A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-07-31 | 上海工程技术大学 | 一种电磁式双反射镜mems光开关 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7357035B2 (en) * | 2003-06-06 | 2008-04-15 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Sensor chip and apparatus for tactile and/or flow sensing |
| EP2339955B1 (en) * | 2008-07-14 | 2012-09-05 | École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL) | Viscosimetric biosensor for monitoring analyte levels |
| US20100240086A1 (en) * | 2009-03-20 | 2010-09-23 | Dmitry Kashanin | Biochip assembly and assay method thereof |
| WO2010123521A1 (en) * | 2009-04-21 | 2010-10-28 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Sensors for long-term and continuous monitoring of biochemicals |
-
2021
- 2021-04-21 CN CN202110431520.8A patent/CN113376377B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100038593A (ko) * | 2008-10-06 | 2010-04-15 | 한양대학교 산학협력단 | 멤브레인형 플랩을 구비한 분리 가능한 열공압형 마이크로 펌프칩 및 이의 제작방법 |
| CN102565148A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-11 | 广东工业大学 | 微型差分电容葡萄糖连续监测阻尼传感器及制作方法 |
| CN202372468U (zh) * | 2011-12-28 | 2012-08-08 | 广东工业大学 | 一种微型差分电容葡萄糖连续监测阻尼传感器 |
| KR20140097041A (ko) * | 2013-01-29 | 2014-08-06 | 연세대학교 산학협력단 | 당뇨측정장치 및 그 제조방법 |
| CN204130459U (zh) * | 2014-09-04 | 2015-01-28 | 上海工程技术大学 | 一种高度集成的电磁双稳态mems继电器 |
| CN104158440A (zh) * | 2014-09-05 | 2014-11-19 | 苏州大学 | 一种升频式振动能量采集系统及采集方法 |
| CN108387545A (zh) * | 2018-02-01 | 2018-08-10 | 上海工程技术大学 | 四氧化三铁基复合碳纳米管模拟酶及其制备方法和应用 |
| CN209147971U (zh) * | 2019-01-23 | 2019-07-23 | 保定蓝典极岸专业设计股份有限公司 | 模具边缘弧度检测装置 |
| CN210347520U (zh) * | 2019-01-25 | 2020-04-17 | 天津大学 | 一种自校准葡萄糖连续监测系统 |
| CN111474633A (zh) * | 2020-05-26 | 2020-07-31 | 上海工程技术大学 | 一种电磁式双反射镜mems光开关 |
Non-Patent Citations (5)
| Title |
|---|
| A MEMS affinity glucose sensor using a biocompatible glucose-responsive polymer;Xian Huang 等;Sensors and Actuators B: Chemical;第140卷;603–609 * |
| An implantable multifunctional needle type biosensor with integrated RF capability;Nan-Fu Chiu 等;IEEE;1933-1936 * |
| 凹面全息光栅单色仪设计;贺文婷 等;光学技术;第40卷(第04期);381-384 * |
| 柔性膜微型电磁驱动器的设计与制作工艺;苏宇锋;陈文元;陈晓梅;张卫平;王伟;;仪表技术与传感器(第12期);10-12 * |
| 纳米纸在绿色电子器件中的研究进展;季春燕 等;科技导报;第37卷(第11期);82-91 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN113376377A (zh) | 2021-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6297026B2 (ja) | センサアセンブリ及びその製造方法 | |
| ES2624930T3 (es) | Punta de pipeta instrumentada | |
| US20190313977A1 (en) | Sensor Systems | |
| CN101023352A (zh) | 用于体内或离体测量活组织二氧化碳分压的电化学传感器 | |
| CN113358724B (zh) | 一种用于连续血气检测的多参数检测阵列电化学传感器 | |
| CN103471980A (zh) | 一种芯片式血细胞分析装置及方法 | |
| CN113376377B (zh) | 一种可持续性检测葡萄糖浓度的mems传感器 | |
| CN107271525A (zh) | 一种用于微全分析系统芯片的集成式安培检测传感器 | |
| WO2012135655A1 (en) | Devices and methods for detection and quantification of nitric oxide in a biological material | |
| CN105158310B (zh) | 一种基于微孔电极的微流控检测芯片及其应用 | |
| CN104684473B (zh) | 用于测定对血细胞比容不敏感的葡萄糖浓度的系统和方法 | |
| CN105241930A (zh) | 多参数全固态血液分析传感器 | |
| CN206945598U (zh) | 一种电极系统及含有该电极系统的试条和仪器 | |
| CN217879009U (zh) | 样品测试装置 | |
| CN114371209A (zh) | Act检测芯片 | |
| CN207689494U (zh) | 生化检测装置 | |
| CN205072867U (zh) | 用于生物阻抗测量的探测笔 | |
| CN210720233U (zh) | 一种具有滤芯的生化测试卡、试剂包及血气分析仪 | |
| CN114765946A (zh) | 受试者汗液中化学物质的检测 | |
| CN220961221U (zh) | 一种气泡检测结构、液体管路组件及诊断设备 | |
| CN116473551B (zh) | 基于空心微针阵列的血液离子浓度传感芯片及检测装置 | |
| CN216525366U (zh) | 试剂盒及poct血细胞分析仪 | |
| CN110243914A (zh) | 一种测定溶解氧的全固态电化学高分子传感器 | |
| CN217186086U (zh) | 手持式血栓弹力测试装置 | |
| CN219266167U (zh) | 一种电解质分析仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |