CN113373514A - 一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 - Google Patents
一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113373514A CN113373514A CN202010116899.9A CN202010116899A CN113373514A CN 113373514 A CN113373514 A CN 113373514A CN 202010116899 A CN202010116899 A CN 202010116899A CN 113373514 A CN113373514 A CN 113373514A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- positioning
- auxiliary chamber
- chamber
- furnace body
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 3
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
Abstract
本发明提供一种副室定位机构，包括第一定位件和第二定位件，第一定位件与副室连接，第二定位件与炉体连接，第一定位件与第二定位件插接配合，第一定位件与第二定位件插接进行副室旋回时与炉体定位，第一定位件与第二定位件分离进行副室旋离炉体。本发明的有益效果是具有回旋定位机构，能够在副室回旋时对副室进行定位，使得副室能后准确、快速的安装在炉体上，使得副室能够自动回旋至炉体上，提高了副室回旋的自动化水平，降低人员劳动强度，为后续的自动稳定籽晶奠定了结实的基础。
Description
技术领域
本发明属于单晶硅生产设备技术领域，尤其是涉及一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法。
背景技术
目前行业内竞争日益激烈，单晶生产企业自动化程度逐步提高，从工业2.0时代，逐步迈向工业3.0、4.0时代。单晶拉制过程中，等径过程已实现自动化控制，而拉晶过程有许多工步均需要人员手动完成。
目前单晶炉副室旋出已经实现自动化，但反观副室旋回、下降的功能却始终需要人员操作，对人力成本产生极大的浪费，其原因为副室旋回后无法确认准确位置导致。单晶拉制过程中，需要精确的进行对中，保证单晶圆心与单晶炉圆心一致，故副室手动旋回后还需要人员将单晶炉副室与炉体进行对中操作。
发明内容
鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法，应用于单晶炉的副室自动回旋至炉体的上方，进行副室的安装，并在副室回旋安装的过程中对副室进行定位校正，实现副室的回旋安装自动化，降低劳动强度，提高工作效率。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种副室定位机构，包括第一定位件和第二定位件，第一定位件与副室连接，第二定位件与炉体连接，第一定位件与第二定位件插接配合，第一定位件与第二定位件插接进行副室旋回时与炉体定位，第一定位件与第二定位件分离进行副室旋离炉体。
进一步的，第一定位件设有定位孔，定位孔包括调整孔和第一定位孔，第一定位孔与调整孔连通，且第一定位孔与调整孔同轴设置，以及，
调整孔的直径大于第一定位孔的直径，调整孔设于第一定位孔靠近第二定位件的一端，便于第二定位件在与第一定位孔插接配合时定位调整。
进一步的，调整孔为变径结构，沿着与第一定位孔连接的一端至自由端直径逐渐增大。
进一步的，第二定位件为定位柱，定位柱与副室平行设置，便于定位柱插入第一定位件进行副室旋回时定位。
一种副室自动回旋定位系统，包括上述的副室定位机构和升降旋转装置，升降旋转装置与副室连接，便于副室进行升降旋转，副室定位机构分别与副室和炉体连接，便于对副室旋回时进行定位。
进一步的，旋转升降机构为液压装置。
一种副室自动回旋方法，包括以下步骤，
副室上升至上限位置；
籽晶上升至最低位置；
副室按一定回旋转速回旋至炉体上方；
副室下降，在副室下降过程中副室定位机构进行定位；
完成副室回旋下降。
进一步的，副室上升至上限位置步骤中，上限位置为副室的下端相对于副室与炉体闭合状态时的距离，该距离为1500-1800mm。
进一步的，籽晶上升至最低位置步骤中，最低位置大于上限位置，最低位置为籽晶相对于副室与炉体闭合状态时的距离，该距离为1700-2000mm。
进一步的，回旋转速不大于3mm/s。
由于采用上述技术方案，具有回旋定位机构，能够在副室回旋时对副室进行定位，使得副室能后准确、快速的安装在炉体上，使得副室能够自动回旋至炉体上，提高了副室回旋的自动化水平，降低人员劳动强度，为后续的自动稳定籽晶奠定了结实的基础；该副室定位机构结构简单，制作成本低，零部件强度大，使用寿命长，降低了对现有的单晶炉进行升级改造的成本，降低员工劳动强度，降低人工成本，实现降本增效。
附图说明
图1是本发明的一实施例的副室闭合状态结构示意图；
图2是图1的俯视结构示意图；
图3是本发明的一实施例的副室打开状态结构示意图；
图4是图3的俯视结构示意图；
图5是本发明的一实施例的第一定位件的结构示意图。
图中：
1、副室 2、第一定位件 3、第二定位件
4、炉体 5、升降旋转装置 20、第一定位孔
21、调整孔 6、旋转轨迹
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。
图1示出了本发明一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构及连接关系，本实施例涉及一种副室定位机构、副室自动回旋定位系统及方法，用于直拉单晶炉副室的自动打开与关闭，具有定位机构，能够实现单晶炉副室在打开后旋回时进行定位，使得副室准确的安装在炉体上，定位准确，安装快速，具有副室自动旋回定位系统及方法，实现副室自动旋回、下降，提高了自动化程度，降低劳动强度，降低人工成本。
一种副室定位机构，如图1-4所示，用于副室1在旋回时定位，使得副室1准确的安装在炉体4上，该副室定位机构包括第一定位件2和第二定位件3，第一定位件2与副室1连接，第二定位件3与炉体4连接，第一定位件2与第二定位件3插接配合，第一定位件2与第二定位件3插接进行副室1旋回时与炉体4定位。在副室1旋回与炉体4上部安装时，第一定位件2与第二定位件3插接配合，第二定位件3插入第一定位件2内，对副室进行定位，使得副室1准确的安装在炉体4上，自动化程度高，不必人工参与，降低劳动强度；副室1旋离炉体4时，第一定位件2与第二定位件3分离，便于副室1的旋回与旋离。
如图5所示，上述的第一定位件2与副室1连接，且第一定位件2固定安装在副室1的外部侧壁上，位于副室1的下部，靠近炉体4的位置，便于第一定位件2与第二定位件3配合动作。第一定位件2与副室1可以通过螺栓等连接件固定连接，或者是焊接，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
第一定位件2设有定位孔，该定位孔的轴线与副室1的轴线平行设置，便于定位孔与第二定位件3插接配合定位。该定位孔包括调整孔21和第一定位孔20，第一定位孔20与调整孔21连通，且第一定位孔20与调整孔21同轴设置，也就是，第一定位孔20与调整孔21均为通孔，且同轴线设置，以及，调整孔21的直径大于第一定位孔20的直径，调整孔21设于第一定位孔20靠近第二定位件3的一端，便于第二定位件3在与第一定位孔20插接配合时定位调整。即，沿着副室1从上至下的方向，第一定位孔20与调整孔21依次设置，调整孔21位于第一定位孔20的下方，调整孔21为变径结构，沿着与第一定位孔20连接的一端至自由端直径逐渐增大，便于副室1旋回时对副室1进行定位。优选的，该调整孔21的截面形状为三角形，调整孔21的底部的直径最大，便于第二定位件3沿着调整孔21内壁移动，最终插入第一定位孔20内，对副室旋回安装在炉体上进行定位。
上述的第二定位件3与炉体4连接，且第二定位件3固定安装在炉体4的外部侧壁上，且第二定位件3与第一定位件2的位置相对应，与第一定位件2位于同侧，且位于第一定位件2的下方，便于第二定位件3与第一定位件2插接。该第二定位件3为定位柱，定位柱与副室1平行设置，便于定位柱插入第一定位件2进行副室旋回时定位，定位柱优选为圆柱体结构，且定位柱的直径与第一定位件2的第一定位孔20的直径相适应，同时，定位柱的顶端为圆弧形，或者，定位柱的顶端具有倒角，便于定位柱插入第一定位孔20内，对副室回旋进行定位。该定位柱通过连接杆与炉体4侧壁固定连接，定位柱就可以通过螺纹与连接杆连接，或者，定位柱与连接杆焊接或一体成型，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。连接杆与炉体4侧壁固定连接方式可以是通过螺栓等连接件固定连接，或者是焊接，或者是其他固定连接方式，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
上述的第一定位件2和第二定位件3的材质均为不锈钢。
该定位机构在使用时，副室4按照旋转轨迹6进行回旋，副室1旋回至炉体4上方后，随着副室4下降的过程中，第一定位件2随着副室4的移动而移动，并与第二定位件3相配合，第一定位件2的定位孔在第二定位件3的定位柱的作用下逐步进行调整，调整孔21的内壁在定位柱的外力的作用下不断移动，不断校正副室1的位置，直到定位柱完全插入定位孔内，此时，副室1定位准确，副室1准确的安装在炉体4上。
一种副室自动旋回定位系统，包括上述的副室定位机构和升降旋转装置5，升降旋转装置5与副室连接，便于副室1进行升降旋转，副室定位机构分别与副室1和炉体4连接，便于对副室1旋回时进行定位。在升降旋转装置5的作用下，副室1进行升降与旋转，进行副室1与炉体4的安装与分离。
上述的旋转升降装置5为液压装置，优选为液压柱，该液压柱能够进行升降和旋转。液压柱的一端与炉体4固定连接，且液压柱与副室1平行设置，同时，副室1通过连接杆与液压柱连接，使得副室1能够随着液压柱的升降进行升降，随着液压柱的旋转而进行旋转，实现副室与炉体的连接与分离。
单晶炉副室1升至上限位置后，开始旋回，随着副室1的下降，第一定位件2的下口内径远远大第二定位件3的定位柱外径，定位孔下降过程中在定位柱的外力作用下逐步调整，最终定位柱会从定位孔中穿过，完成副室中心的校正。
一种副室自动旋回方法，包括以下步骤，
副室1上升至上限位置：在将副室1旋回时，将副室1上升至上限位置，上限位置为副室1的下端相对于副室与炉体闭合状态时的距离，该距离为1500-1800mm，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。副室1在升降旋转装置的作用下上升，上升至上限位置，避免副室1位置未上升到上限位置导致副室1下端与炉体4相接触而碰撞，造成副室损坏。
籽晶上升至最低位置：在副室1上升至上限位置时，将籽晶上升至最低位置，最低位置大于上限位置，最低位置为籽晶相对于副室与炉体闭合状态时的距离，该距离为1700-2000mm，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。籽晶上升至最低位置，且籽晶上升的最低位置大于副室上升的位置，避免籽晶下端露出副室，导致籽晶异常，或者导致籽晶与炉体接触，造成籽晶的损坏。
副室1按一定回旋转速回旋至炉体4上方：当副室1上升至上限位置，籽晶上升至最低位置后，副室1在旋转升降装置5的作用下按一定回旋转速进行副室回旋，将副室1回旋至炉体4的上方，回旋转速不大于3mm/s，避免籽晶在副室内晃动导致的异常，造成籽晶与副室的内壁碰撞而损坏。
副室1下降，在副室1下降过程中副室定位机构进行定位：当副室1旋转至炉体4上方后，进行副室1下降，在副室1下降的过程中，定位机构进行对副室1进行定位，使得副室1准确的安装在炉体4上。
完成副室1回旋下降，副室1安装在炉体4上，等待一定时间，该时间为1-2min，副室1完全安装在炉台上，没有安装错误，系统提示可以进行下一步操作，完成副室的安装，进行下一步的操作。
由于采用上述技术方案，具有回旋定位机构，能够在副室回旋时对副室进行定位，使得副室能后准确、快速的安装在炉体上，使得副室能够自动回旋至炉体上，提高了副室回旋的自动化水平，降低人员劳动强度，为后续的自动稳定籽晶奠定了结实的基础；该副室定位机构结构简单，制作成本低，零部件强度大，使用寿命长，降低了对现有的单晶炉进行升级改造的成本，降低员工劳动强度，降低人工成本，实现降本增效。
以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。
Claims (10)
1.一种副室定位机构，其特征在于：包括第一定位件和第二定位件，所述第一定位件与副室连接，所述第二定位件与炉体连接，所述第一定位件与所述第二定位件插接配合，所述第一定位件与所述第二定位件插接进行所述副室旋回时与所述炉体定位，所述第一定位件与所述第二定位件分离进行所述副室旋离所述炉体。
2.根据权利要求1所述的副室定位机构，其特征在于：所述第一定位件设有定位孔，所述定位孔包括调整孔和第一定位孔，所述第一定位孔与所述调整孔连通，且所述第一定位孔与所述调整孔同轴设置，以及，
所述调整孔的直径大于所述第一定位孔的直径，所述调整孔设于所述第一定位孔靠近所述第二定位件的一端，便于所述第二定位件在与所述第一定位孔插接配合时定位调整。
3.根据权利要求2所述的副室定位机构，其特征在于：所述调整孔为变径结构，沿着与所述第一定位孔连接的一端至自由端直径逐渐增大。
4.根据权利要求1-3任一项所述的副室定位机构，其特征在于：所述第二定位件为定位柱，所述定位柱与所述副室平行设置，便于所述定位柱插入所述第一定位件进行所述副室旋回时定位。
5.一种副室自动回旋定位系统，其特征在于：包括权利要求1-4任一项所述的副室定位机构和升降旋转装置，所述升降旋转装置与副室连接，便于所述副室进行升降旋转，所述副室定位机构分别与所述副室和炉体连接，便于对所述副室旋回时进行定位。
6.根据权利要求5所述的副室自动回旋定位系统，其特征在于：所述旋转升降机构为液压装置。
7.一种副室自动回旋方法，其特征在于：包括以下步骤，
副室上升至上限位置；
籽晶上升至最低位置；
所述副室按一定回旋转速回旋至炉体上方；
所述副室下降，在所述副室下降过程中所述副室定位机构进行定位；
完成所述副室回旋下降。
8.根据权利要求7所述的副室自动回旋方法，其特征在于：所述副室上升至上限位置步骤中，所述上限位置为所述副室的下端相对于所述副室与炉体闭合状态时的距离，该距离为1500-1800mm。
9.根据权利要求8所述的副室自动回旋方法，其特征在于：所述籽晶上升至最低位置步骤中，所述最低位置大于所述上限位置，所述最低位置为所述籽晶相对于所述副室与所述炉体闭合状态时的距离，该距离为1700-2000mm。
10.根据权利要求9所述的副室自动回旋方法，其特征在于：所述回旋转速不大于3mm/s。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010116899.9A CN113373514B (zh) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010116899.9A CN113373514B (zh) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113373514A true CN113373514A (zh) | 2021-09-10 |
| CN113373514B CN113373514B (zh) | 2024-03-29 |
Family
ID=77569190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010116899.9A Active CN113373514B (zh) | 2020-02-25 | 2020-02-25 | 一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113373514B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002255685A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-11 | Komatsu Machinery Corp | 半導体単結晶引上げ装置及びその単結晶取出し方法 |
| CN104354524A (zh) * | 2013-06-27 | 2015-02-18 | 朱庆军 | 车轮降噪阻尼器 |
| CN205152389U (zh) * | 2015-12-04 | 2016-04-13 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种大直径单晶炉 |
| CN106702475A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-05-24 | 天通吉成机器技术有限公司 | 单晶炉及其副室 |
| CN106736754A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 张剑光 | 一种加工电视机边框的专用夹具 |
| CN212582036U (zh) * | 2020-02-25 | 2021-02-23 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种副室定位机构、副室自动回旋定位系统 |
-
2020
- 2020-02-25 CN CN202010116899.9A patent/CN113373514B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002255685A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-11 | Komatsu Machinery Corp | 半導体単結晶引上げ装置及びその単結晶取出し方法 |
| CN104354524A (zh) * | 2013-06-27 | 2015-02-18 | 朱庆军 | 车轮降噪阻尼器 |
| CN205152389U (zh) * | 2015-12-04 | 2016-04-13 | 安徽华芯半导体有限公司 | 一种大直径单晶炉 |
| CN106736754A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 张剑光 | 一种加工电视机边框的专用夹具 |
| CN106702475A (zh) * | 2017-03-29 | 2017-05-24 | 天通吉成机器技术有限公司 | 单晶炉及其副室 |
| CN212582036U (zh) * | 2020-02-25 | 2021-02-23 | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 | 一种副室定位机构、副室自动回旋定位系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN113373514B (zh) | 2024-03-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212582036U (zh) | 一种副室定位机构、副室自动回旋定位系统 | |
| CN113373514A (zh) | 一种副室定位机构、副室自动回旋系统及方法 | |
| CN102642042A (zh) | 弹簧勾短节自动铣削加工装置 | |
| CN116692656A (zh) | 一种预制件吊装装配调正装置及方法 | |
| CN207952732U (zh) | 一种新型的铣孔装置 | |
| CN116637975A (zh) | 一种不锈钢管均匀弯折加工设备 | |
| CN217600919U (zh) | 一种取单晶组件 | |
| CN109083428B (zh) | 一种预制空调板临时支撑装置 | |
| CN208005050U (zh) | 焊接专机用焊枪夹具 | |
| CN212476948U (zh) | 自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统 | |
| CN113550000B (zh) | 自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法 | |
| CN113334146B (zh) | 全自动可多面加工的组合机床 | |
| CN212476949U (zh) | 自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统 | |
| CN216585318U (zh) | 一种直拉法硅单晶生产炉台副室自动定位机构 | |
| CN108906148A (zh) | 一种模块化热室萃取台架 | |
| CN217972387U (zh) | 挂篮底模升降驱动装置 | |
| CN213645935U (zh) | 一种手机部件非标精益线的生产设备 | |
| CN214264766U (zh) | 一种用于加工气门嘴的自动攻牙机 | |
| CN210880884U (zh) | 一种注塑件表面优化机构 | |
| CN219936894U (zh) | 一种开关板弹簧片组装机 | |
| CN114851029B (zh) | 一种用于涡轮增压器壳体加工的打磨装置 | |
| CN218364626U (zh) | 一种空压设备维保检修装置 | |
| CN108891292A (zh) | 一种新能源汽车充电方法 | |
| CN214269969U (zh) | 一种单晶炉主室吊装定位装置 | |
| CN108918134A (zh) | 一种冲击器测试装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Country or region after: China Address after: No.19, Amur South Street, Saihan District, Hohhot, Inner Mongolia Autonomous Region Applicant after: Inner Mongolia Zhonghuan Crystal Materials Co.,Ltd. Address before: No.19, Amur South Street, Saihan District, Hohhot, Inner Mongolia Autonomous Region Applicant before: INNER MONGOLIA ZHONGHUAN XIEXIN PHOTOVOLTAIC MATERIAL Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |