CN113363810A - 半导体刻蚀设备的电源柜 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；所述柜体上设置有柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,所述第一门锁还分别经总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与总进线断路器、第二门锁机械连锁。本发明电源柜内部的功能模块布局合理，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修。

Description

半导体刻蚀设备的电源柜
技术领域
本发明涉及一种电源柜，特别涉及一种半导体刻蚀设备的电源柜，属于电气设备技术领域。
背景技术
电源柜是重要的电力设备，其作用有很多，比如便于分片(或分类)配置电源；当线路出现故障时，有利于控制故障范围也便于快速找出故障点并及时加以排除；便于分片安排线路检修，而无须大面积的停电；配电柜内方便放置各种保护设备如防止短路的熔断器(保险丝)，防止过载的空气开关等，近年来，随着工业的发展，电源柜也广泛应用在各工厂中，为电力供应和工业生产带来了很大的便利。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种半导体刻蚀设备的电源柜，以克服现有技术中的不足。
为实现前述发明目的，本发明采用的技术方案包括：
本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。
与现有技术相比，本发明的优点包括：
1)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，结构简单，使用和维护方便
2)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块布局合理，通过在柜体内部设置多个穿线孔，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修；
3)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块同时存在横向和纵向布局，使得连接各个功能模块的线路更短，更加方便。
4)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，设置有背对设置的两个柜门，配电系统所包含的多个功能模块分别被对应设置在两个腔室内，通过两个背对的柜门可以分别对对应的功能模块实现维护和检修；
5)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的柜门上还设置有操控总进线断路器的总进线断路器操作机构，当通过所述总进线断路器操作机构断开所述总进线断路器，使电源柜断电同时所述第二门锁处于被解锁的状态时才能开启第一柜门左门，从而保障了检修电源柜工作人员的安全；
6)本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的第一腔室、第二腔室内均设置有防护板，该防护板能够实现在带电状态下正常打开第一柜门，从而在保证操作人员安全的前提下灵活分断任何一路输出电源。
附图说明
图1是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的结构示意图；
图2是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的正面结构示意图；
图3是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的背面结构示意图；
图4是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的侧面结构示意图；
图5是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的顶部结构示意图；
图6是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图；
图7是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图；
图8是本发明实施例1中提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜的内部结构示意图。
具体实施方式
鉴于现有技术中的不足，本案发明人经长期研究和大量实践，得以提出本发明的技术方案。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。
进一步的，所述柜体内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧。
进一步的，所述腔室被分隔为背对设置的第一腔室和第二腔室，所述柜体上设置有分别可打开关闭所述第一腔室、第二腔室的第一柜门和第二柜门，其中，所述总进线断路器设置在所述第一腔室内，所述总进线断路器操作机构设置在所述第一柜门的第一门体上。
进一步的，所述第二柜门为双开门结构。
进一步的，所述防护板为符合阻燃要求的透明的防护板。
进一步的，所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板分为上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安装在所述第一安装板上的功能模块均为强电模块，设置在所述第二安装板上的功能模块包括强电模块和弱电模块。
进一步的，所述功能模块被限定在所述第一安装板、第二安装板与防护板之间。
进一步的，所述功能模块包括断路器、零序互感器、接触器、三相铜排、零排、PE排、铜排绝缘子、漏电保护模块、电源回路端子排、控制回路端子排、时间继电器、直流电源、烟雾传感器、安全继电器、变压器。
进一步的，所述柜体包括相对设置的顶板、底板以及相对设置的两个侧板，所述顶板、底板以及两个侧板连接并围合形成所述的腔室，其中，所述第一柜门和第二柜门与所述侧板活动连接。
进一步的，所述第一柜门和第二柜门背对设置。
进一步的，所述第一柜门上还设置有与柜体内部功能模块连接的多个指示灯。
更进一步的，所述顶板的外部还设置有多个电缆进出线接头，所述多个电缆进出线接头分别与所述配电系统所包含的多个功能模块电连接。
更进一步的，所述顶板的外部还固定设置有绝缘垫板，所述绝缘垫板上设置有与所述腔室连通的过线塞。
进一步的，所述过线塞为塔形结构。
进一步的，所述柜体还设置有进风口和出风口，所述柜体内部的腔室经所述进风口、出风口与外部环境连通，并在所述进风口、腔室和出风口之间形成可供气流流通的散热通道。
进一步的，所述进风口设置在所述侧板靠近底板的下部区域，所述出风口设置在所述顶板上。
进一步的，所述进风口处还设置有过滤窗，所述出风口处设置有散热风扇。
进一步的，所述底板固定设置在底座上，所述底座的底部设置有叉车槽。
进一步的，所述底座的两侧还固定设置有防倾倒机构。
进一步的，所述底座上还设置有可升降的脚轮。
如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明，除非特别说明的之外，本发明实施例中提供的的柜体、门锁、总进线断路器以及其他功能模块等均可以采用本领域技术人员已知的元器件，其均可以通过市购获得。
实施例1
请参阅图1-图7，一种半导体刻蚀设备的电源柜，包括柜体100和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体100内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
所述柜体100上设置有可打开关闭第一腔室的第一柜门210，所述第一柜门可分为第一柜门左门(即前述第一门体，下同)210-1和第一柜门右门(即前述第二门体，下同)201-2，所述第二柜门可分为第二柜门左门220-1和第二柜门右门220-2，所述第一柜门左门210-1、第一柜门右门210-2上分别设置有第一门锁231、第二门锁232，所述第一柜门左门210-1上还设置有总进线断路器操作机构(例如操作把手)211，所述总进线断路器操作机构211与所述总进线断路器501连接，并至少用于闭合或断开所述总进线断路器，以及所述第一门锁231还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一柜门左门210-1的门板折边与所述总进线断路器501、第二门锁232机械连锁，当所述总进线断路器501被断开及所述第二门锁232处于被解锁的状态时，所述第一门锁231处于能够被解锁的状态。
具体的，本实施例提供的一种半导体刻蚀设备中闭合总进线断路器的操作步骤包括：由于第一柜门右门压在第一柜门左门的折边上，首先要通过第一门锁231合上第一柜门左门210-1、随后才能通过第二门锁232合上第一柜门右门210-2，当第一柜门左门210-1、第一柜门右门210-2依次关闭后，断路器操作把手211通过断路器操作机构211的金属连杆与总进线断路器501连接，通过旋转断路器操作把手211至到闭合位置以闭合所述总进线断路器501，此时断路器操作把手211会与金属连杆尾部的挂钩相卡合，从而使得在总进线断路器501处于闭合状态时，第一柜门左门210-1、第一柜门右门210-2无法被打开；
反之，若要打开第一柜门左门210-1，首先旋转断路器操作把手211至断开位置，此时断路器操作把手211会脱离金属连杆尾部的挂钩，同时，通过第二门锁232解锁第一柜门右门210-2，再通过第一门锁231解锁第一柜门左门210-1。
具体的，所述柜体100可以包括相对设置的顶板120、底板(底板在图中未标示)以及相对设置的两个侧板110，所述顶板120、底板以及两个侧板110连接并围合形成所述的腔室，所述第一柜门左门210-1和第一柜门右门210-2与所述侧板110活动连接，并能够沿不同的方向被打开；例如，所述第一柜门左门210-1和第一柜门右门210-2可以通过铰接的方式与所述侧板110连接。
具体的，至少在所述第一柜门右门210-2上还设置有与柜体内部功能模块连接的多个指示灯212、紧急停止按钮213和其他操作按钮214。
具体的，请参阅图1、图2和图5，所述顶板120的上还设置有多个电缆进出线接头122，所述多个电缆进出线接头122分别与所述配电系统所包含的多个功能模块电连接，其中，所述多个电缆进出线接头122可以设置在同一安装面板上或直接固定在顶板120上，所述多个电缆进出线接头122直接固定在顶板120上。
具体的，所述顶板120上还固定设置有绝缘垫板123，所述绝缘垫板123上设置有与所述腔室连通的过线塞124，例如，所述过线塞124可以为塔形结构，所述绝缘垫板123可以是绝缘垫木等，其中，与外部电源连接的线缆经过线塞124被接入到柜体内部的功能模块，而与柜体内部的多个功能模块连接的线缆可经电缆进出线接头122被连接引出。
具体的，所述顶板120上还固定设置有吊环125，可以通过吊环125与起重机或吊车等工具配合以实现该电源柜的吊装等工作。
具体的，所述柜体100还设置有进风口和出风口，所述柜体100内部的腔室经所述进风口、出风口与外部环境连通，并在所述进风口、腔室和出风口之间形成可供气流流通的散热通道，其中，所述进风口可以设置在所述侧板110靠近底板的下部区域，所述出风口设置在所述顶板120上，从而实现外部空气自柜体100的下部区域进入，而自柜体的顶部排出，即外部空气的下进而上出。
具体的，请参阅图1、图4和图5，所述柜体的进风口处还设置有过滤窗111，所述出风口处设置有散热风扇121，需要说明的是，所述柜体相对设置的两个侧板上可以都设置有进风口，也可以是只在一个侧板上设置进风口，进风口可以是一个或多个，进风口的数量和面积等可根据柜体的体积以及散热需要进行设定，在此不作具体的限定。
具体的，所述柜体100固定设置在底座300上，例如，所述柜体的底板与底座300固定连接，固定连接的方式可以是焊接、螺纹连接或粘结剂粘着等，所述底座300的底部设置有叉车槽310，该叉车槽310与叉车的操作臂相匹配，以及，在所述底座300的两侧还固定设置有防倾倒机构320，该防倾倒机构320可以是防震支架等，两个所述防倾倒机构320呈镜像对称设置，该防倾倒机构320可以直接与地面等安装基体直接接触，该防倾倒机构320与底座300固定结合，增大了底座300与安装基体的接触面积，从而增加了该柜体的稳定性，需要说明的是，该防倾倒机构320也可以直接固定在柜体的侧板上，该防倾倒机构320的具体结构不作具体的限定。
具体的，请参阅图8，所述底座300上还设置有可升降的脚轮524，该脚轮可以是万向轮，当所述电源柜在平整地面上进行转移时，可以下降脚轮，并对电源柜直接进行转移，该脚轮的具体结构以及其与底座的连接方式等可以采用本领域技术人员已知的方式实现，在此不再赘述。
具体的，请参阅图6和图8，所述柜体100内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体100之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧，例如，可以理解的，打开第一柜门210和第二柜门220后，柜体内首先露出的为防护板，各个功能模块不会直接暴露在外面，而是被设置在防护板的背面，各个功能模块的操作按钮暴露在防护板面向第一柜门或第二柜门的正面。
具体的，所述柜体内部的腔室可以包括被彼此分隔或联通且背对设置的第一腔室和第二腔室，所述第一柜门210、第二柜门220分别与所述第一腔室和第二腔室相对应，所述第一柜门210、第二柜门220分别可打开设置在所述第一腔室和第二腔室的开口处，即所述第一柜门210和第二柜门220也是背对设置的，其中，所述第一柜门210为双门结构，所述第二柜门可以是单开门结构，也可以是双开门结构，所述第二柜门220上也可以设置有门锁240。
具体的，所述第一腔室和第二腔室内分别设置有多个功能模块，且所述第一腔室和第二腔室内均设置有所述防护板，当然，所述的防护板可以为一个或多个，图6和图8中出示了多个防护板的情况，该多个防护板可以是透明的PC防护板等。
具体的，请再次参阅图6和图8，所述柜体内部的第一腔室的开口处自上至下依次设置有第一透明PC防护板401、第二透明PC防护板402、第三透明PC防护板403、金属挡板404，所述柜体内部的第二腔室的开口处还设置有第四透明PC防护板405、第五透明PC防护板406。
具体的，所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板可以是一整个，也可以是多个，例如，所述第一安装板可以包括上下设置的上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安装在所述第一安装板上的功能模块均为强电模块，设置在所述第二安装板上的多个功能模块中位于第二安装板上部区域的为强电模块，位于下部区域的为弱电模块，所述功能模块被限定在所述第一安装板、第二安装板与防护板之间。
具体的，请参阅图6和图7，设置在所述第一腔室中的功能模块包括总进线断路器501、PE排502、零序互感器503、第一接触器504、第二接触器505、塑壳断路器506、小型断路器507、铜排绝缘子508、ABC三相铜排509、铜排母线座510、零排511、漏电保护模块512(主要用于当负载端产生大的泄露电流时的安全保护)以及线槽513和导轨514，所述导轨514与漏电保护模块512相对应，第一腔室中的线缆等设置在线槽513内，第一腔室内的线缆不会暴露在外面，其内部结构更加清晰；其中，所述塑壳断路器506、小型断路器507的操作按钮暴露在防护板的外部。
具体的，请参阅图8，设置在所述第二腔室中的功能模块包括自上之下依次设置的烟雾传感器515、第一电源回路端子排516、PE排517、第二电源回路端子排518、控制回路端子排519、直流电源520、时间继电器521、接触器522、变压器523、安全继电器525、小型继电器526、中间继电器527和熔断器528，其中，所述第一电源回路端子排516、PE排517、第二电源回路端子排518、接触器522、变压器523为强电模块，所述烟雾传感器515、控制回路端子排519、时间继电器521、安全继电器525、小型继电器526、中间继电器527和熔断器528为弱电模块。
本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，结构简单，使用和维护方便；以及，所述半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块布局合理，通过在柜体内部设置多个穿线孔，实现了对柜体内部线缆的隐藏式布局，使得内部结构更加整齐，便于后期维护和维修；另外，所述半导体刻蚀设备的电源柜内部的功能模块横向和纵向结合的布局，使得连接各个功能模块的线路更短，更加方便。
本发明实施例提供的一种半导体刻蚀设备的电源柜，设置有背对设置的四个柜门，配电系统所包含的多个功能模块分别被对应设置在两个腔室内，通过四个背对的柜门可以分别对对应的功能模块实现维护和检修；并且，所述半导体刻蚀设备的电源柜的柜门还设置有操控总进线断路器的总进线断路器操作机构，当通过所述总进线断路器操作机构断开所述总进线断路器，同时所述第二门锁处于被解锁的状态时后才能开启所述第一柜门左门，从而保障了检修电源柜工作人员的安全。
应当理解，上述实施例仅为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于包括柜体和配电系统，所述配电系统包括设置在所述柜体内部腔室中的总进线断路器和其他功能模块；
所述柜体上设置有可打开关闭所述腔室的柜门，所述柜门包括可双向打开的第一门体和第二门体，所述第一门体和第二门体上分别对应设置有第一门锁和第二门锁，以及，所述第一门体上还设置有总进线断路器操作机构，所述总进线断路器操作机构与所述总进线断路器连接,并至少用于闭合或断开所述总进线断路器,并且，所述第一门锁还分别经所述总进线断路器操作机构的金属连杆、第一门体的折边与所述总进线断路器、第二门锁机械连锁，当所述总进线断路器被断开及所述第二门锁处于被解锁的状态时，所述第一门锁处于能够被解锁的状态。
2.根据权利要求1所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体内部的腔室中还设置有防护板，所述配电系统所包含的多个功能模块设置在所述防护板与柜体之间，其中，与所述功能模块连接的操控按钮设置在所述防护板背对功能模块的一侧，或者，与所述功能模块连接的操控按钮暴露于所述防护板背对功能模块的一侧。
3.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述腔室被分隔为背对设置的第一腔室和第二腔室，所述柜体上设置有分别可打开关闭所述第一腔室、第二腔室的第一柜门和第二柜门，其中，所述总进线断路器设置在所述第一腔室内，所述总进线断路器操作机构设置在所述第一柜门的第一门体上；
和/或，所述第二柜门为双开门结构；优选的，所述防护板为透明的防护板。
4.根据权利要求2所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述第一腔室内还设置有第一安装板，所述第一安装板分为上安装板和下安装板，所述第二腔室内还设置有第二安装板，所述多个功能模块分别对应安装在所述第一安装板和第二安装板上，其中，安装在所述第一安装板上的功能模块均为强电模块，设置在所述第二安装板上的功能模块包括强电模块和弱电模块；
优选的，所述功能模块被限定在所述第一安装板、第二安装板与防护板之间。
5.根据权利要求3所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述功能模块包括断路器、零序互感器、接触器、三相铜排、零排、PE排、铜排绝缘子、漏电保护模块、电源回路端子排、控制回路端子排、时间继电器、直流电源、烟雾传感器、安全继电器、变压器。
6.根据权利要求3所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体包括相对设置的顶板、底板以及相对设置的两个侧板，所述顶板、底板以及两个侧板连接并围合形成所述的腔室，其中，所述第一柜门和第二柜门与所述侧板活动连接；
优选的，所述第一柜门和第二柜门背对设置；
优选的，所述第一柜门上还设置有与柜体内部功能模块连接的多个指示灯。
7.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述顶板的外部还设置有多个电缆进出线接头，所述多个电缆进出线接头分别与所述配电系统所包含的多个功能模块电连接。
8.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述顶板的外部还固定设置有绝缘垫板，所述绝缘垫板上设置有与所述腔室连通的过线塞；
优选的，所述过线塞为塔形结构。
9.根据权利要求5所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述柜体还设置有进风口和出风口，所述柜体内部的腔室经所述进风口、出风口与外部环境连通，并在所述进风口、腔室和出风口之间形成可供气流流通的散热通道。
10.根据权利要求9所述半导体刻蚀设备的电源柜，其特征在于：所述进风口设置在所述侧板靠近底板的下部区域，所述出风口设置在所述顶板上；
优选的，所述进风口处还设置有过滤窗，所述出风口处设置有散热风扇。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114629025A (zh) * 2022-03-31 2022-06-14 苏州冠韵威电子技术有限公司 一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜
CN114859797A (zh) * 2022-07-06 2022-08-05 江苏邑文微电子科技有限公司 电源控制系统及电源控制方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN206602307U (zh) * 2017-04-01 2017-10-31 国网福建省电力有限公司 一种带机械连锁柜门的装置
CN110416891A (zh) * 2019-04-30 2019-11-05 厦门市众慧悦和科技有限公司 一种低压快速供电取电连接箱
CN209747955U (zh) * 2019-05-31 2019-12-06 苏州冠韵威电子技术有限公司 电源控制柜
CN111146704A (zh) * 2020-01-17 2020-05-12 山东泰开成套电器有限公司 一种多功能低压配电计量柜
US20200270907A1 (en) * 2019-02-22 2020-08-27 Ron Zeitler Cable operated mechanical locking external disconnect enclosure
CN211828535U (zh) * 2020-04-13 2020-10-30 江西泰豪智能电力科技有限公司 一种低压柜门机械联锁装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN206602307U (zh) * 2017-04-01 2017-10-31 国网福建省电力有限公司 一种带机械连锁柜门的装置
US20200270907A1 (en) * 2019-02-22 2020-08-27 Ron Zeitler Cable operated mechanical locking external disconnect enclosure
CN110416891A (zh) * 2019-04-30 2019-11-05 厦门市众慧悦和科技有限公司 一种低压快速供电取电连接箱
CN209747955U (zh) * 2019-05-31 2019-12-06 苏州冠韵威电子技术有限公司 电源控制柜
CN111146704A (zh) * 2020-01-17 2020-05-12 山东泰开成套电器有限公司 一种多功能低压配电计量柜
CN211828535U (zh) * 2020-04-13 2020-10-30 江西泰豪智能电力科技有限公司 一种低压柜门机械联锁装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114629025A (zh) * 2022-03-31 2022-06-14 苏州冠韵威电子技术有限公司 一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜
CN114629025B (zh) * 2022-03-31 2022-11-22 苏州冠韵威电子技术有限公司 一种多接口安全型半导体设备配套用电气柜
CN114859797A (zh) * 2022-07-06 2022-08-05 江苏邑文微电子科技有限公司 电源控制系统及电源控制方法

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