CN113327867B - 一种键合头结构及芯片键合设备 - Google Patents

一种键合头结构及芯片键合设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种键合头结构和键合设备，所述键合头结构包括一底板、至少一个第一方向调节装置和N个芯片承载组件，N≥2；所述第一方向调节装置设置在所述底板上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第一方向调节装置上；所述第一方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间沿第一方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近。本发明提供的一种键合头结构能够根据不同的芯片承载组件间距需求快速对芯片承载组件的间距进行调节，进而调蒸其上的芯片之间的距离，提升了工艺适应性，降低成本，提高产率。

Description

一种键合头结构及芯片键合设备
技术领域
本发明涉及芯片封装技术领域，尤其涉及一种键合头结构及键合设备。
背景技术
随着科学技术，尤其是半导体芯片倒装等技术的发展，从而带动芯片键合设备广泛应用于芯片封装领域。现有技术中，由于芯片键合是对芯片一颗颗进行键合，而一张晶圆上通常都有成百上千颗芯片，相较于晶圆键合来说，产率就成为其明显的劣势。为了提高芯片键合设备的产率，各设备厂商均想了很多办法，通过提高运动机构的性能、缩短运动距离以及并行键合步骤等方式来提高芯片键合设备的产能。公开号为CN107134427A，公开日为2017年09月05日，发明名称为“芯片键合装置及方法”的中国发明专利申请，提供了一种芯片键合装置，如附图1所示，包括承载台1、键合头结构5和键合台6，现有的倒装芯片键合工艺包括以下步骤，提供准备键合的若干个芯片2和基底4，所述芯片2包括器件面3；接着，将若干个所述芯片2以器件面3向上的方式放置在承载台1上，然后，利用抓取翻转结构(图中未示出)抓取所述芯片2并进行翻转；之后，通过交接结构(图中未示出)将所述芯片2交接给所述键合头结构5，所述键合头结构5通过其芯片承载组件吸附多个所述芯片2，当多个所述芯片2被所述键合头结构5移到位于键合台6上的基底4上方时，通过CCD图像传感器(图中未示出)将所述芯片2的对准标记和所述基底4的对准标记对准，最后将键合头结构5上的所述芯片2一次性键合到基底4上。该发明实现了芯片的批量键合，有效地提高了倒装芯片键合工艺的效率。由于多颗芯片同时键合的方式，其产率相对原有单颗芯片键合的方式具有明显的优势，大幅提高了键合设备的产率。然而，当多颗芯片同时键合时，由于各种客户的工艺需求不同，存在芯片和芯片之间的pitch(间距)要求不同的情况，因此，用于同时键合多颗芯片的阵列键合头结构针对芯片间不同距离的需求，在使用时需要更换键合头结构，甚至约束客户只能选定指定的pitch。这不仅限制了芯片键合装置的适用范围，而且提高了芯片键合装置的应用成本及使用效率，因此，需要一种能够根据不同客户的不同工艺需求，能够自动调节芯片pitch值的键合头结构。
需要说明的是，公开于该发明背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是现有技术中键合头结构无法自动调节芯片间的pitch的技术问题，提供一种键合头结构及键合设备。
为实现上述目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种键合头结构，包括一底板、至少一个第一方向调节装置和N个芯片承载组件，N≥2；
所述第一方向调节装置设置在所述底板上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第一方向调节装置上；
所述第一方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间沿第一方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近。
可选地，还包括若干个第二方向调节装置，至少一个所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节装置上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节装置上；
所述第一方向调节装置用于调节固定在其上的第二方向调节装置在所述第一方向的位置，从而使得所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近；
所述第二方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间在第二方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第二方向相互远离或靠近；
其中，所述第一方向和所述第二方向具有非零夹角。
可选地，所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈N1×N2分布，所述第一方向调节装置有M1个，M1≤N2；
所述第一方向调节装置包括至少一个第一方向导轨安装板、一个第一方向驱动部件和至少一个第一方向导轨，其中，所述第一方向驱动部件至少对应一个所述第一方向导轨；
所述第一方向导轨安装板固定在所述底板上，所述第一方向导轨固定在所述第一方向导轨安装板上，所述第一方向导轨的延伸方向平行于所述第一方向；
所述第一方向驱动部件固定在所述底板上，所述第一方向驱动部件包括S1个第一方向调节件，所述第一方向导轨上均设置有至少S1个第一方向滑块，所述第一方向滑块能够沿其所在的第一方向导轨往复移动，每个所述第一方向调节件与至少一个所述第一方向滑块对应，其中S1≤N1；
所述第二方向调节装置有M2个，所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上，M2≤N1。
可选地，所述第二方向调节装置包括至少一个第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和至少一个第二方向导轨，其中，所述第二方向驱动部件至少对应一个所述第二方向导轨；
所述第二方向导轨安装板固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上；
所述第二方向导轨固定在所述第二方向导轨安装板上，所述第二方向导轨的延伸方向平行于所述第二方向；
所述第二方向驱动部件包括S2个第二方向调节件，所述第二方向导轨上均设置有至少S2个第二方向滑块，所述第二方向滑块能够沿其所在的第二方向导轨往复移动，每个所述第二方向调节件与至少一个所述第二方向滑块对应，其中S2≤N2；
至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的至少一个所述第二方向滑块上。
可选地，所述第一方向驱动部件包括第一丝杠结构，所述第一丝杠结构包括第一支撑座、第一组合丝杠和至少一个所述第一方向调节件，所述第一方向调节件为第一左旋滑块或第一右旋滑块；
所述第一支撑座固定设置在所述第一组合丝杠的两端，所述第一组合丝杠包括第一左旋丝杠和/或第一右旋丝杠，所述第一左旋滑块套设在所述第一左旋丝杠上，所述第一右旋滑块套设在所述第一右旋丝杠上，所述第一组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第一左旋滑块沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动，所述第一组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第一右旋滑块沿沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动；
所述第一支撑座固定设置在所述底板上，所述第一组合丝杠延伸方向平行于所述第一方向导轨的延伸方向；
所述第二方向调节装置固定在所述第一左旋滑块或所述第一右旋滑块以及与所述旋转滑块对应的至少一个所述第一方向滑块上。
可选地，所述第二方向驱动部件包括第二丝杠结构，所述第二丝杠结构包括第二支撑座、第二组合丝杠和至少一个所述第二方向调节件，所述第二方向调节件为第二左旋滑块或第二右旋滑块；
所述第二支撑座固定设置在所述第二组合丝杠的两端，所述第二组合丝杠包括第二左旋丝杠和/或第二右旋丝杠，所述第二左旋滑块套设在所述第二左旋丝杠上，所述第二右旋滑块套设在所述第二右旋丝杠上，所述第二组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第二左旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动，所述第二组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第二右旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动；
所述第二支撑座固定设置在所述第二方向导轨安装板上，所述第二组合丝杠延伸方向平行于所述第二方向导轨的延伸方向；
每个所述芯片承载组件固定在所述第二左旋滑块与所述第二左旋转滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上，或固定在所述第二右旋滑块与所述第二右旋转滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上。
可选地，所述芯片承载组件为四个，四个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈2×2阵列分布；
所述第一方向调节装置有一个，所述第一方向调节装置包括一个所述第一方向导轨安装板、一个所述第一方向驱动部件和两个所述第一方向导轨；两个所述第一方向导轨位于所述第一方向驱动部件的两侧；
所述第一丝杠结构包括第一左旋滑块和第一右旋滑块，所述第一方向导轨上设置有两个所述第一方向滑块，所述第一方向滑块与所述第一左旋滑块或所述第一右旋滑块一一对应；
所述第二方向调节装置包括一个所述第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和一个所述第二方向导轨；所述第二方向驱动部件包括两个第二方向调节件，所述第二方向导轨上设置有两个第二方向滑块，所述第二方向滑块与所述第二方向调节件一一对应；
每个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的一个所述第二方向滑块上；
所述第二方向调节装置有两个，沿所述第一方向，其中一个所述第二方向调节装置靠近所述第一方向调节装置的左侧固定，其第二方向导轨安装板固定在所述第一左旋滑块和与该左旋滑块对应的其中两个所述第一方向滑块上，其所述第二方向导轨位于其第二方向驱动部件的右侧；
另一个所述第二方向调节装置靠近所述第一方向调节装置的右侧固定，其第二方向导轨安装板固定在所述第一右旋滑块和与该右旋滑块对应的另外两个所述第一方向滑块上，其所述第二方向导轨位于其第二方向驱动部件的左侧。
可选地，所述芯片承载组件包括吸嘴安装板和吸嘴，至少一个所述吸嘴固定在所述吸嘴安装板上，所述吸嘴安装板固定在所述第二方向调节装置上。
可选地，所述第二方向调节装置还包括多滚轮推杆，所述多滚轮推杆包括推杆、若干个第一方向滚轮、一个第二方向滚轮和第二方向导向槽；
若干个所述第一方向滚轮固定设置在所述推杆上，并与所述吸嘴安装板一一对应设置，沿所述第一方向，所述第一方向滚轮将与其对应的所述吸嘴安装板与所述推杆连接；
所述吸嘴安装板具有与所述第一方向滚轮对应的第一方向导向槽，所述第一方向导向槽的延伸方向平行于所述第一方向，所述第一方向滚轮能够沿所述第一方向导向槽往复移动；
沿所述第二方向，所述第一方向滚轮将对应的所述吸嘴安装板与所述推杆固定连接；
所述推杆与所述第二方向调节件固定连接，所述第二方向滚轮固定设置在所述第二方向调节件上，且嵌套在所述第二方向导向槽中，所述第二方向导向槽的延伸方向平行于所述第二方向，沿所述第二方向，所述第二方向滚轮能够沿所述第二方向导向槽往复移动；
沿所述第一方向，所述第二方向滚轮将所述第二方向调节件以及所述第二方向导向槽固定连接。
可选地，所述第二方向导向槽固定设置在所述底板上，所述多滚轮推杆包括两个第一方向滚轮，沿所述第一方向，两个所述第一方向滚轮分布设置在所述推杆与所述第二方向调节件连接处的两侧。
可选地，所述芯片承载组件为四个，四个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈2×2分布；
所述第二方向调节装置有一个，所述第二方向调节装置包括两个所述第二方向导轨安装板、两个所述第二方向导轨、一个所述第二方向驱动部件；
两个所述第二方向导轨安装板分别设置在所述第二方向驱动部件的两侧，所述第二方向驱动部件包括两个所述第二方向调节件以及与所述第二方向调节件一一对应的多滚轮推杆。
可选地，所述吸嘴固定设置在所述推杆、所述第二方向导轨安装板和/或所述底板上。
可选地，所述第一方向驱动部件的第一方向调节件包括齿轮齿条结构；
所述齿轮齿条结构包括第一齿条、第二齿条和齿轮，所述第一齿条的延伸方向平行于所述第二齿条的延伸方向，所述第一齿条和所述第二齿条通过所述齿轮转动连接，且所述第一齿条和所述第二齿条位于所述齿轮的两侧，当所述齿轮被驱动绕其轴向正向或反向旋转时，所述第一齿条和所述第二齿条相向或相离运动；
所述第一方向驱动部件的所述齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第一方向，所述第二方向调节装置固定在所述第一齿条或所述第二齿条以及与所述第一齿条或所述第二齿条对应的至少一个所述第一方向滑块上。
可选地，所述第二方向驱动部件的第二方向调节件与所述第一方向驱动部件的第一方向调节件相同，包括齿轮齿条结构，所述齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第二方向；
至少一个所述芯片承载组件固定在其第一齿条或其第二齿条以及与其第一齿条或其第二齿条对应的至少一个所述第二方向滑块上。
可选地，所述第一方向垂直于所述第二方向。
本发明还提供了一种芯片键合设备，所述键合设备包括上述任一项所述的键合头结构。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
本发明提供的一种键合头结构，包括一底板、至少一个第一方向调节装置和N个芯片承载组件，所述第一方向调节装置设置在所述底板上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第一方向调节装置上；所述第一方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间沿第一方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近。能够根据不同的芯片在第一方向的间距需求快速对吸嘴的第一方向的间距进行调节，提升工艺适应性，降低成本，提高产率；
进一步地，本发明提供的一种键合头结构，还包括若干个第二方向调节装置，至少一个所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节装置上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节装置上，能够根据不同的芯片在第二方向的间距需求快速对吸嘴的第二方向的间距进行调节，提升工艺适应性，降低成本，提高产率。
再进一步地，所述第一方向和所述第二方向的调节装置其运动相互解耦。通过多滚轮推杆，能够大幅缩减第二方向调节装置的个数，在降低系统复杂度同时，也进一步减小了所述键合头结构所需要的空间。
更进一步地，本发明提供的一种键合头结构的芯片承载组件的吸嘴，每个吸嘴都可以独立控制是否吸附芯片，故可以根据需要进行选择性的吸附指定芯片，也可以通过多个吸嘴共同提供吸附力，从而无需更换大吸嘴就可以吸附大的芯片或者未划开的小芯片组。
附图说明
图1为现有技术的一种芯片键合设备结构示意图；
图2为本发明实施例一的其中一种键合头结构的结构示意图；
图3为图2的其中一种丝杠结构示意图；
图4为本发明实施例二的其中一种键合头结构的结构示意图；
图5为图4的双头推杆的结构示意图；
图6为本发明实施例三的其中一种键合头结构的结构示意图；
图7为本发明实施例的其中一种扩展的丝杠结构示意图；
图8为本发明实施例四的其中一种齿轮齿条结构的结构示意图；
具体实施方式
为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本发明提出的一种键合头结构及键合设备作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例地显示本发明的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本发明某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本发明的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
本发明提供了一种键合头结构，能够满足不同客户不同工艺的芯片Pitch的需求。所述键合头结构包括一底板，在其中一种实施方式中，包括至少一个第一方向调节装置和N个芯片承载组件，N≥2。所述第一方向调节装置设置在所述底板上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第一方向调节装置上；所述第一方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间沿第一方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近。
进一步地，在另一实施方式中，所述键合头结构还包括若干个第二方向调节装置，至少一个所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节装置上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节装置上；所述第一方向调节装置用于调节固定在其上的第二方向调节装置在所述第一方向的位置，从而使得所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近；所述第二方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间在第二方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第二方向相互远离或靠近；其中，所述第一方向和所述第二方向具有非零夹角。较佳地，所述第一方向垂直于所述第二方向。
更进一步地，在又一实施方式中，所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈N1×N2分布，所述第一方向调节装置有M1个，M1≤N2；所述第一方向调节装置包括至少一个第一方向导轨安装板、一个第一方向驱动部件和至少一个第一方向导轨，其中，所述第一方向驱动部件至少对应一个所述第一方向导轨；所述第一方向导轨安装板固定在所述底板上，所述第一方向导轨固定在所述第一方向导轨安装板上，所述第一方向导轨的延伸方向平行于所述第一方向；所述第一方向驱动部件固定在所述底板上，所述第一方向驱动部件包括S1个第一方向调节件，所述第一方向导轨上均设置有至少S1个第一方向滑块，所述第一方向滑块能够沿其所在的第一方向导轨往复移动，每个所述第一方向调节件与至少一个所述第一方向滑块对应，其中S1≤N1；所述第二方向调节装置有M2个，所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上，M2≤N1。
再进一步地，在再一实施方式中，所述第二方向调节装置包括至少一个第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和至少一个第二方向导轨，其中，所述第二方向驱动部件至少对应一个所述第二方向导轨；所述第二方向导轨安装板固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上；所述第二方向导轨固定在所述第二方向导轨安装板上，所述第二方向导轨的延伸方向平行于所述第二方向；所述第二方向驱动部件包括S2个第二方向调节件，所述第二方向导轨上均设置有至少S2个第二方向滑块，所述第二方向滑块能够沿其所在的第二方向导轨往复移动，每个所述第二方向调节件与至少一个所述第二方向滑块对应，其中S2≤N2；至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的至少一个所述第二方向滑块上。
为了便于理解和避免赘述，不再对仅能在一个方向芯片承载组件的简单实施例展开说明，本领域的技术人员根据本文所揭示的内容，经过简单的变换应该可以实现，但均在本发明的保护范围之内。另外，除非特别说明，各附图中指示的X方向为所述第一方向，附图中指示的Y方向为所述第二方向。
<实施例一>
为了便于理解，本实施例以四个芯片承载组件，包括第一方向调节为例来阐述本发明提供的键合头结构。在本实施例中，沿所述第一方向和所述第二方向，四个所述芯片承载组件呈2×2分布。每个所述芯片承载组件包括吸嘴安装板和吸嘴，所述吸嘴通过真空吸附将芯片固定，显然地，这并非本发明的限制，在其他的实施方式中，也可以通过粘附等其他方式固定。具体地，参见附图2，其中，吸嘴320a固定在吸嘴安装板310a上、吸嘴320b固定在吸嘴安装板310b上，吸嘴320c固定在吸嘴安装板310c上、吸嘴320d固定在吸嘴安装板310d上，当所述吸嘴安装板移动时，其上的吸嘴随其一起移动，因此，通过移动所述吸嘴安装板之间的距离，即可改变所述吸嘴之间的距离，进而调节所述芯片的pitch值。
进一步地，在本实施例中，所述键合头结构包括底板700，一个第一方向调节装置和两个第二方向调节装置。
其中，所述第一方向调节装置包括第一方向导轨安装板120a和120b两个第一方向导轨安装板，一个第一方向驱动部件110以及两个第一方向导轨。两个所述第一方向导轨安装板120a和120b均固定设置在所述底板700上，两个所述第一方向导轨位于所述第一方向驱动部件110的两侧。在本实施例中，其中，一个第一方向导轨(图中未标示，被吸嘴安装板310c和吸嘴安装板310d遮挡)固定设置在所述第一方向导轨安装板120a上，位于所述第一方向驱动部件110的左侧；另外一个第一方向导轨130b固定设置在所述第一方向导轨安装板120b上，位于所述第一方向驱动部件110的右侧；较佳地，两个所述第一方向导轨关于所述第一方向驱动部件对称分布。
所述第一方向导轨上设置有两个所述第一方向滑块，所述第一方向滑块与所述第一方向调节件一一对应，在本实施例中，两个第一方向导轨上的对应位置的第一方向滑块与一个所述第二方向调节件对应。比如，设置在所述第一方向导轨130b上的第一方向滑块140b以及与其对应的另一第一方向导轨上的第一方向滑块(图中未标示，位于所述吸嘴安装板310d的正下方，被所述第二方向导轨安装板220b遮挡)，均与其中一个第一方向调节件(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310a和310d的正下方，被所述第二方向导轨安装板220b遮挡)对应。
所述第二方向调节装置包括一个所述第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和一个所述第二方向导轨。所述第二方向驱动部件和所述第二方向导轨均固定设置在所述第二方向导轨安装板上。
特别地，本实施例的所述第一方向驱动部件110包括第一丝杠结构，所述第二方向驱动部件210a和210b包括第二丝杠结构。具体地，所述第一丝杠结构包括第一支撑座、第一组合丝杠和至少一个所述第一方向调节件，所述第一方向调节件为第一左旋滑块或第一右旋滑块；所述第一支撑座固定设置在所述第一组合丝杠的两端，所述第一组合丝杠包括第一左旋丝杠和/或第一右旋丝杠，所述第一左旋滑块套设在所述第一左旋丝杠上，所述第一右旋滑块套设在所述第一右旋丝杠上，所述第一组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第一左旋滑块沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动，所述第一组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第一右旋滑块沿沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动；所述第一支撑座固定设置在所述底板上，所述第一组合丝杠延伸方向平行于所述第一方向导轨的延伸方向；所述第二方向调节装置固定在所述第一左旋滑块或所述第一右旋滑块以及与所述旋转滑块对应的至少一个所述第一方向滑块上。所述第二丝杠结构包括第二支撑座、第二组合丝杠和至少一个所述第二方向调节件，所述第二方向调节件为第二左旋滑块或第二右旋滑块；所述第二支撑座固定设置在所述第二组合丝杠的两端，所述第二组合丝杠包括第二左旋丝杠和/或第二右旋丝杠，所述第二左旋滑块套设在所述第二左旋丝杠上，所述第二右旋滑块套设在所述第二右旋丝杠上，所述第二组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第二左旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动，所述第二组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第二右旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动；所述第二支撑座固定设置在所述第二方向导轨安装板上，所述第二组合丝杠延伸方向平行于所述第二方向导轨的延伸方向；每个所述芯片承载组件固定在所述第二左旋滑块与所述第二左旋转滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上，或固定在所述第二右旋滑块与所述第二右旋转滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上。
所述第一丝杠结构和所述第二丝杠结构均为丝杠结构，所述丝杠结构包括支撑座、组合丝杠、至少一个左旋滑块和/或至少一个右旋滑块。在本实施例中，参见附图3，所述丝杠结构包括支撑座11a和11b两个支撑座、以及组合丝杠13、右旋滑块12a和左旋滑块12b两个调节件。其中，所述组合丝杠13包括左旋丝杠和右旋丝杠，所述右旋滑块12a套设在所述右旋丝杠上，所左旋滑块12b套设在所述左旋丝杠上，所述组合丝杠绕其轴向向左或向右旋转时，所述左旋滑块12b和所述右旋滑块12a相互靠近或远离。
继续参见图2，所述第一方向驱动部件(第一丝杠结构)110的第一支撑座固定设置在所述底板700上，两个所述第一方向调节件分别为第一左旋滑块和第一右旋滑块，所述第一组合丝杠延伸方向平行于所述第一方向导轨的延伸方向。
进一步地，本实施例提供的键合头结构包括两个所述第二方向调节装置，沿所述第一方向，其中一个所述第二方向调节装置靠近在所述第一方向调节装置的左侧固定，其第二方向导轨安装板220a固定在第一方向驱动部件110的第一左旋滑块(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310b和310c的正下方，被所述第二方向导轨安装板220a遮挡)和与该第一左旋滑块对应的其中两个所述第一方向滑块上，其所述第二方向导轨230a位于其第二方向驱动部件210a的右侧，其中，一个所述第一方向滑块(图中未示出)套设在所述第一方向导轨130b的左侧，位于所述吸嘴安装板310b正下方，被所述第二方向导轨安装板220a遮挡；另一个所述第一方向滑块套设在另一个所述第一方向导轨上，且位于所述吸嘴安装板310c的下方，被所述第二方向导轨安装板220a遮挡。
另一个所述第二方向调节装置靠近所述第一方向调节装置的右侧固定，其第二方向导轨安装板220b固定在第一方向驱动部件110的第一右旋滑块(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310a和310d的正下方，被所述第二方向导轨安装板220b遮挡)和与该第一右旋滑块对应的第一方向滑块140b和另外一个第一方向滑块(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310d的正下方，被所述第二方向导轨安装板220遮挡)两个滑块上，其所述第二方向导轨230b位于其第二方向驱动部件210b的左侧。
由于第二方向调节装置的驱动部件与所述第一方向调节装置的驱动部件类似，且两个所述第二方向调节装置相同，为了避免赘述，仅以靠近左侧的第二方向调节装置为例说明。具体地，继续参见附图2，所述第二方向驱动部件(第二丝杠结构)210a包括第二右旋滑块212a和第二左旋滑块212b两个第二方向调节件，其两个第二支撑座211a和211b固定设置在所述第二方向导轨安装板220a上，所述第二方向导轨230a上设置有两个第二方向滑块，且所述第二右旋滑块212a与其中一个第二方向滑块(位于所述吸嘴安装板310b的正下方，且被所述吸嘴安装板310b遮挡)对应，所述第二左旋滑块212b与另外一个第二方向滑块(位于所述吸嘴安装板310c的正下方，且被所述吸嘴安装板310c遮挡)对应，即所述第二方向滑块与所述第二方向调节件一一对应。
进一步地，每个所述吸嘴通过所述吸嘴安装板固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的一个所述第二方向滑块上。具体地，以所述吸嘴320b和所述吸嘴安装板310b为例予以说明，所述吸嘴安装板310b固定设置在第二方向导轨230a的其中一个第二方向滑块(位于所述吸嘴安装板310b的正下方)和所述第二右旋滑块212a上。
基于本实施例提供的键合头结构，当左侧的第二方向驱动部件210a绕其轴向旋转时，所述第二右旋滑块212a带动所述吸嘴安装板310b进而带动所述吸嘴320b、所述第二左旋滑块212b带动所述吸嘴安装板310c进而带动所述吸嘴320c沿所述第二方向相互靠近或远离，所述第二方向导轨230a上的所述第二方向滑块随所述第二右旋滑块212a和所述第二左旋滑块212b的靠近或远离沿其所在的导轨相互靠近或远离所述吸嘴安装板310b在所述第二右旋滑块212a和其对应的第二方向滑块的共同支撑下，所述吸嘴安装板310c在所述第二左旋滑块212b和其对应的第二方向滑块的共同支撑下，不会发生倾斜或抖动，维持表面的平衡稳定。同理，当右侧的第二方向驱动部件210b绕其轴向旋转时，通过所述吸嘴安装板310a和310d带动所述吸嘴320a和320d沿所述第二方向相互靠近或远离。
当所述第一方向驱动部件110绕其轴向旋转时，所述第一左旋滑块带动所述第二方向导轨安装板220a、所述第一右旋滑块带动所述第二方向导轨安装板220b沿所述第一方向相互靠近或远离，所述第二方向导轨安装板220a带动其上的吸嘴安装板310b和310c进而带动所述吸嘴320b和320c，所述第二方向导轨安装板220a带动其上的吸嘴安装板310a和310d进而带动所述吸嘴320a和320c沿所述第一方向相互靠近或远离。
本实施例提供的键合头结构，在所述第一方向上，分组调节所述芯片承载组件之间的距离；在所述第二方向上单独调节所述芯片承载组件之间的距离。由此，本领域的技术人员通过上述揭示的内容，通过扩展所述第一方向调节件和所述第二方向调节件的个数，以及增减所述吸嘴安装板上吸嘴的个数和排布方式，可以实现任意个数和任意布局的芯片承载组件的距离(pitch)。由此，本发明提供的一种键合头结构可以方便的根据不同客户不同工艺的需求，对芯片承载组件之间的距离进行调整，而不需要进行更换阵列键合头结构，从而达到提供工艺适应性、降低成本、节约时间、提升效率的目的。
<实施例二>
本发明提供的一种键合头结构，在其中一种实施方式中，其芯片承载组件包括吸嘴安装板和吸嘴，至少一个所述吸嘴固定在所述吸嘴安装板上，所述吸嘴安装板固定在所述第二方向调节装置上。
较佳地，所述第二方向调节装置还包括多滚轮推杆，所述多滚轮推杆包括推杆、若干个第一方向滚轮、一个第二方向滚轮和第二方向导向槽；沿所述第一方向，若干个所述第一方向滚轮固定设置在所述推杆上，并与所述吸嘴安装板一一对应设置，沿所述第一方向，所述第一方向滚轮将与其对应的所述吸嘴安装板与所述推杆连接。所述吸嘴安装板具有与所述第一方向滚轮对应的第一方向导向槽，所述第一方向导向槽的延伸方向平行于所述第一方向，所述第一方向滚轮能够沿所述第一方向导向槽往复移动。沿所述第二方向，所述第一方向滚轮将对应的所述吸嘴安装板与所述推杆固定连接。所述推杆与所述第二方向调节件固定连接，所述第二方向滚轮固定设置在所述第二方向调节件上，且嵌套在所述第二方向导向槽中，所述第二方向导向槽的延伸方向平行于所述第二方向，沿所述第二方向，所述第二方向滚轮能够沿所述第二方向导向槽往复移动；沿所述第一方向，所述第二方向滚轮将所述第二方向调节件以及所述第二方向导向槽固定连接。
具体地，为了便于理解，本实施例提供的键合头结构的承载芯片组件与实施例一相同，所述芯片承载组件为四个，四个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈2×2阵列分布。进一步地，本实施提供的键合头结构在所述第一方向上与实施例一相同，如附图4和附图5所示，为了避免赘述，以下仅就不同之处予以说明。
在该实施例中，所述第二方向调节装置有一个，所述第二方向调节装置包括第二方向导轨安装板220c和220d两个第二方向导轨安装板、两个第二方向导轨230c和230d、一个第二方向驱动部件210c；两个所述第二方向导轨安装板220c和220d分别设置在所述第二方向驱动部件210c的两侧，其中，所述第二方向导轨安装板220c固定设置在所述第一方向滑块140b上，所述第二方向导轨安装板220d固定设置在第一方向滑块140d上。两个所述第二方向导轨230c和230d分别固定设置在所述第二方向导轨安装板220c和220d上。
所述第二方向驱动部件210c为具有一个第二左旋滑块(图中未示出，位于推杆251b以及吸嘴安装板310c和310d的下方)和一个第二右选滑块212c的丝杠结构，所述第二方向驱动部件210c还包括与所述第二方向调节件一一对应的多滚轮推杆，沿所述第一方向，两个多滚轮推杆的结构完全相同，分别位于所述第一方向驱动部件110的左侧和右侧。为了避免赘述，仅以位于所述第一方向驱动部件110右侧的多滚轮推杆为例进行说明。
在本实施例中，所述多滚轮推杆为双头推杆。包括推杆251a、两个第一方向滚轮252a和252b、一个第二方向滚轮254a和第二方向导向槽255a。沿所述第一方向，两个所述第一方向滚轮252a和252b固定设置在所述推杆251a上，两个所述吸嘴安装板310a和310b设置在所述推杆251a的下方，并与所述第一方向滚轮252a和252b一一对应设置。进一步地，所述吸嘴安装板310a和310b均具有与所述第一方向滚轮252a和252b对应的第一方向导向槽253a和253b，两个所述第一方向导向槽253a和253b的延伸方向平行于所述第一方向，所述第一方向滚轮252a能够沿所述第一方向导向槽253a往复移动，所述第一方向滚轮252b能够沿所述第一方向导向槽253b往复移动。沿所述第二方向，所述第一方向滚轮252a和252b将对应的所述吸嘴安装板253a和253b与所述推杆251a固定连接。所述推杆251a与所述第二右旋滑块212c固定连接，所述第二方向滚轮254a固定设置在所述第二右旋滑块212c上，且嵌套在所述第二方向导向槽255a中，所述第二方向导向槽255a的延伸方向平行于所述第二方向，较佳地，所述第二方向导向槽255a固定设置在所述底板700上，显然这并非本发明的限制，在其他的实施方式中，所述第二方向导向槽255a也可以固定设置在第一方向导轨安装板120b上。再进一步地，沿所述第二方向，所述第二方向滚轮254a能够沿所述第二方向导向槽255a往复移动；沿所述第一方向，所述第二方向滚轮254a将所述第二右旋滑块212c以及所述第二方向导向槽255a固定连接。显然地，所述推杆的外形结构以及与所述吸嘴安装板的位置关系并非本发明的限制。
基于本实施例提供的键合头结构，当第二方向驱动部件210c绕其第二组合丝杠212c作轴向旋转时，所述第二右旋滑块212c和第二左旋滑块(图中未示出，位于推杆251b以及吸嘴安装板310c和310d的下方)带动所述第二方向滚轮254a沿着所述第二方向导向槽255a沿所述第二方向移动，从而带动所述推杆251a和251b相互靠近或远离；进一步地，所述推杆251a带动通过所述第一方向滚轮252a和252b与其固定的吸嘴安装板310a和310b，所述推杆251b带动吸嘴安装板310c和310b相互靠近或远离，从而使得吸嘴310a、310b和吸嘴310c、310d相互靠近和远离。其中，所述第二方向导向槽起到很好的导向作用。
当所述第一方向驱动部件110绕其轴向旋转时，所述第一左旋滑块112b带动所述第二方向导轨安装板220c、所述第一右旋滑块(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310a和310d的正下方)带动所述第二方向导轨安装板220d相互靠近或远离，使得第一方向滚轮252b在所述第一方向导向槽253b、第一方向滚轮252a在所述第一方向导向槽253a中滚动，从而带动所述吸嘴安装板310b和310a相互靠近或远离。显然地，沿所述第一方向，吸嘴安装板310c和所述吸嘴310b被所述第一左旋滑块112b同时驱动；所述吸嘴安装板310d和所述吸嘴安装板310a被所述第一右旋滑块(图中未示出，位于所述吸嘴安装板310a和310d的正下方)同时驱动，使得所述吸嘴320b、320c与吸嘴320a、320d相互靠近或远离。由此，所述第一方向和所述第二方向的运动解耦。相比于实施例一，本实施例将所述第二方向的两个第二方向调节装置缩减为一个，在降低系统复杂度同时，也进一步减小了所述键合头结构所需要的空间。
<实施例三>
与上述实施例不同，本发明其他实施方式提供的键合头结构，其芯片承载组件的吸嘴所述吸嘴固定设置在所述推杆、所述第二方向导轨安装板和/或所述底板上。为了便于理解和避免赘述，本实施例提供的键合头结构所述芯片承载组件为九个，九个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈3×3分布。
如附图6所示，本实施例提供的键合头结构包括底板700、一个第一方向驱动装置和一个第二方向驱动装置。
所述第一方向调节装置包括两个第一方向导轨安装板120a和120b、两个第一方向导轨130a和130b、四个第一方向滑块以及一个第一方向驱动部件110，其中，所述第一方向驱动部件110为第一丝杠结构。所述第二方向调节装置包括两个第二方向导轨安装板220e和220f、两个第二方向导轨230e和230f、具有两个双头推杆的第二方向驱动部件410d，所述第二方向驱动部件410d为第二丝杠结构。
其中，所述第一方向导轨安装板120a和120b固定设置在所述底板700上，两个所述第一方向导轨130a和130b分别固定设置在所述第一方向导轨安装板120a和120b上，每个所述第一方向导轨具有两个第一方向滑块。其中，第一方向滑块140c为所述第一方向导轨130a上的其中一个第一方向滑块，另一个位于吸嘴安装板310d和第二方向导轨安装板220f的下方，被所述吸嘴安装板310d遮挡；第一方向滑块140b为所述第一方向导轨130b上的其中一个第一方向滑块，另一个位于吸嘴安装板310a和第二方向导轨安装板220f的下方；所述第一方向驱动部件110为第一丝杠结构，其中一个为第一左旋滑块112b，另一个为第一右旋滑块，位于所述吸嘴安装板310a和310d以及第二方向导轨安装板220f的下方。
所述第二方向导轨安装板220e固定设置在所述第一方向滑块140b、140c以及第一方向驱动部件的第一左旋滑块112b上；所述第二方向导轨安装板220f固定设置在所述第一方向导轨130a、130b被遮挡的滑块以及所述第一方向驱动部件110被遮挡的第一右旋滑块上。所述第二方向导轨230e、230f分别固定设置在所述第二方向导轨安装板220e、220f上。两个所述双头推杆的推杆251c、251d分别设置在第二方向驱动部件410d的第二右旋滑块和第二左旋滑块上以及第二方向导轨230e、230f的第二方向滑块上，本实例的双头推杆的结构与实施例四类似，在此不再赘述。
本实施例提供的键合头结构的九个芯片承载组件的安装方式一一列举如下：
吸嘴320a固定在吸嘴安装板310a上，吸嘴320b固定在吸嘴安装板320a上，所述吸嘴安装板310a、所述吸嘴安装板310b和吸嘴320e安装在双头推杆的推杆251c上；吸嘴320c固定在吸嘴安装板310c上，吸嘴320d固定在吸嘴安装板320d上，所述吸嘴安装板310c、所述吸嘴安装板310d和吸嘴320g安装在双头推杆的推杆251d上；吸嘴320f固定在第二方向导轨安装板220e上；吸嘴320i固定在第二方向导轨安装板220f上；吸嘴320固定在所述底板700上。
沿所述第二方向，当第二方向驱动部件410d的第二左旋滑块和第二右旋滑块相互靠近或远离时，带动所述推杆251c和所述推杆251d相互靠近或远离，所述推杆251c带动所述吸嘴320e、并经由所述吸嘴安装板310a带动其上的所述吸嘴320a、经由所述吸嘴安装板310b带动其上的吸嘴320b，与所述推杆251d带动的所述吸嘴320g、并经由所述吸嘴安装板310c带动其上的所述吸嘴320c、经由所述吸嘴安装板310d带动其上的所述吸嘴320d相互靠近或远离。沿所述第二方向，所述吸嘴320f、320h以及320i的位置保持不变。
沿所述第一方向，当第一方向驱动部件110的第一左旋滑块和第一右旋滑块相互靠近或远离时，带动所述第二方向导轨安装板220e和220f相互靠近或远离，所述第二方向导轨安装板220e带动所述吸嘴320f、并经由所述吸嘴安装板310b带动其上的所述吸嘴320b、经由所述吸嘴安装板310c带动其上的所述吸嘴320c，与所述第二方向导轨安装板220f带动的所述吸嘴320i、并经由所述吸嘴安装板310a带动其上的所述吸嘴320a、并经由所述吸嘴安装板310d带动其上的所述吸嘴320d相互靠近或远离。沿所述第一方向，所述吸嘴320e、320h以及320g的位置保持不变。
本实施例提供的键合头结构，能够实现3×3的芯片承载组件的pitch拉伸。
特别地，本领域的技术人员应该能够理解，通常情况下，所述丝杠结构还与驱动装置连接，以驱动所述组合丝杠的旋转。
进一步地，参见附图7，作为其中一种扩展的多丝杠结构，通过增加旋转滑块的个数，组合丝杠从左、右两段丝杠依次扩增到左旋双倍节距、左旋单倍结局、右旋单倍节距、右旋双倍节距四段，在实施例二的基础上，可以进一步将2X2的芯片承载组件的布局方式扩增到4×4。依次类推，不再赘述，但均在本发明的保护范围之内。在实施例三的基础上，采用上述四段的组合丝杆可以进一步将3X3的吸嘴布置方式扩展到5X5。
显然地，本实施例的所述第一方向驱动部件和所述第二方向驱动部件也可以采用扩展的丝杠结构。
<实施例四>
可选地，本发明其他的实施方式提供的键合头结构，其所述第一方向驱动部件的第一方向调节件也可以为齿轮齿条结构。
参见附图8，所述齿轮齿条结构包括第一齿条610、第二齿条620和齿轮630。较佳地，所述第一齿条610的延伸方向平行于所述第二齿条620的延伸方向，所述第一齿条610和所述第二齿条620通过所述齿轮630转动连接，且所述第一齿条610和所述第二齿条620位于所述齿轮630的两侧，当所述齿轮被驱动绕其轴向正向或反向旋转时，所述第一齿条610和所述第二齿条620相向或相离运动。
可选地，所述第一驱动部件的所述齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第一方向，进一步地，所述第二方向调节装置固定在所述第一齿条610或所述第二齿条620以及与所述第一齿条610或所述第二齿条620对应的至少一个所述第一方向滑块上。
进一步地，在又一实施方式中，所述第二方向驱动部件的第二方向调节件与所述第一方向驱动部件的第一方向调节件相同，包括齿轮齿条结构，所述第二方向驱动部件的齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第二方向；至少一个所述芯片承载组件固定在其第一齿条或其第二齿条以及与其第一齿条或其第二齿条对应的至少一个所述第二方向滑块上。
显然地，通过叠加多个齿轮，可以将芯片承载组件的阵列进行扩增。比如使用两个齿轮采用不同的模数，一个电机带动，转动相同角度时，因为两组齿轮齿条的模数不同，实现不同的运动距离，从而可以将芯片承载组件的布置方式从2X2向更高的阵列数扩展。
再进一步地，上述任一实施例的芯片承载组件的吸嘴，每个吸嘴都可以独立控制是否吸附芯片，故可以根据需要进行选择性的吸附指定芯片，也可以通过多个吸嘴共同提供吸附力，从而无需更换大吸嘴就可以吸附大的芯片或者未划开的小芯片组。
本发明的其他实施例还提供了一种芯片键合设备，所述芯片键合设备包括上述任一实施例所述的键合头结构。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
综上，上述实施例对一种键合头结构及键合设备的不同构型进行了详细说明，当然，上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明包括但不局限于上述实施中所列举的构型，本领域技术人员可以根据上述实施例的内容举一反三，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (16)

1.一种键合头结构，其特征在于，包括一底板、至少一个第一方向调节装置和N个芯片承载组件，N≥2；
所述第一方向调节装置设置在所述底板上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第一方向调节装置上；
所述第一方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间沿第一方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近；
所述第一方向调节装置包括至少一个第一方向导轨安装板、一个第一方向驱动部件和至少一个第一方向导轨，其中，所述第一方向驱动部件至少对应一个所述第一方向导轨；
所述第一方向导轨安装板固定在所述底板上，所述第一方向导轨固定在所述第一方向导轨安装板上，所述第一方向导轨的延伸方向平行于所述第一方向；
所述第一方向驱动部件固定在所述底板上，所述第一方向驱动部件包括S1个第一方向调节件，所述第一方向导轨上均设置有至少S1个第一方向滑块，所述第一方向滑块能够沿其所在的第一方向导轨往复移动，每个所述第一方向调节件与至少一个所述第一方向滑块对应。
2.根据权利要求1所述的键合头结构，其特征在于，还包括若干个第二方向调节装置，至少一个所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节装置上，至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节装置上；
所述第一方向调节装置用于调节固定在其上的第二方向调节装置在所述第一方向的位置，从而使得所述芯片承载组件之间沿所述第一方向相互远离或靠近；
所述第二方向调节装置用于调节所述芯片承载组件之间在第二方向的距离，以使所述芯片承载组件之间沿所述第二方向相互远离或靠近；
其中，所述第一方向和所述第二方向具有非零夹角。
3.根据权利要求2所述的键合头结构，其特征在于，所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈N1×N2分布，所述第一方向调节装置有M1个，M1≤N2，S1≤N1；
所述第二方向调节装置有M2个，所述第二方向调节装置固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上， M2≤N1。
4.根据权利要求3所述的键合头结构，其特征在于，所述第二方向调节装置包括至少一个第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和至少一个第二方向导轨，其中，所述第二方向驱动部件至少对应一个所述第二方向导轨；
所述第二方向导轨安装板固定在所述第一方向调节件和与所述第一方向调节件对应的至少一个所述第一方向滑块上；
所述第二方向导轨固定在所述第二方向导轨安装板上，所述第二方向导轨的延伸方向平行于所述第二方向；
所述第二方向驱动部件包括S2个第二方向调节件，所述第二方向导轨上均设置有至少S2个第二方向滑块，所述第二方向滑块能够沿其所在的第二方向导轨往复移动，每个所述第二方向调节件与至少一个所述第二方向滑块对应，其中S2≤N2；
至少一个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的至少一个所述第二方向滑块上。
5.根据权利要求4所述的键合头结构，其特征在于，所述第一方向驱动部件包括第一丝杠结构，所述第一丝杠结构包括第一支撑座、第一组合丝杠和至少一个所述第一方向调节件，所述第一方向调节件为第一左旋滑块或第一右旋滑块；
所述第一支撑座固定设置在所述第一组合丝杠的两端，所述第一组合丝杠包括第一左旋丝杠和/或第一右旋丝杠，所述第一左旋滑块套设在所述第一左旋丝杠上，所述第一右旋滑块套设在所述第一右旋丝杠上，所述第一组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第一左旋滑块沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动，所述第一组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第一右旋滑块沿沿所述第一组合丝杠的延伸方向移动；
所述第一支撑座固定设置在所述底板上，所述第一组合丝杠延伸方向平行于所述第一方向导轨的延伸方向；
所述第二方向调节装置固定在所述第一左旋滑块或所述第一右旋滑块以及与所述旋转滑块对应的至少一个所述第一方向滑块上。
6.根据权利要求5所述的键合头结构，其特征在于，所述第二方向驱动部件包括第二丝杠结构，所述第二丝杠结构包括第二支撑座、第二组合丝杠和至少一个所述第二方向调节件，所述第二方向调节件为第二左旋滑块或第二右旋滑块；
所述第二支撑座固定设置在所述第二组合丝杠的两端，所述第二组合丝杠包括第二左旋丝杠和/或第二右旋丝杠，所述第二左旋滑块套设在所述第二左旋丝杠上，所述第二右旋滑块套设在所述第二右旋丝杠上，所述第二组合丝杠绕其轴向向左旋转时，所述第二左旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动，所述第二组合丝杠绕其轴向向右旋转时，所述第二右旋滑块沿所述第二组合丝杠的延伸方向移动；
所述第二支撑座固定设置在所述第二方向导轨安装板上，所述第二组合丝杠延伸方向平行于所述第二方向导轨的延伸方向；
每个所述芯片承载组件固定在所述第二左旋滑块与所述第二左旋滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上，或固定在所述第二右旋滑块与所述第二右旋滑块对应的至少一个所述第二方向滑块上。
7.根据权利要求5所述的键合头结构，其特征在于，所述芯片承载组件为四个，四个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈2×2阵列分布；
所述第一方向调节装置有一个，所述第一方向调节装置包括一个所述第一方向导轨安装板、一个所述第一方向驱动部件和两个所述第一方向导轨；两个所述第一方向导轨位于所述第一方向驱动部件的两侧；
所述第一丝杠结构包括第一左旋滑块和第一右旋滑块，所述第一方向导轨上设置有两个所述第一方向滑块，所述第一方向滑块与所述第一左旋滑块或所述第一右旋滑块一一对应；
所述第二方向调节装置包括一个所述第二方向导轨安装板、一个第二方向驱动部件和一个所述第二方向导轨；所述第二方向驱动部件包括两个第二方向调节件，所述第二方向导轨上设置有两个第二方向滑块，所述第二方向滑块与所述第二方向调节件一一对应；
每个所述芯片承载组件固定在所述第二方向调节件和与所述第二方向调节件对应的一个所述第二方向滑块上；
所述第二方向调节装置有两个，沿所述第一方向，其中一个所述第二方向调节装置靠近所述第一方向调节装置的左侧固定，其第二方向导轨安装板固定在所述第一左旋滑块和与该左旋滑块对应的其中两个所述第一方向滑块上，其所述第二方向导轨位于其第二方向驱动部件的右侧；
另一个所述第二方向调节装置靠近所述第一方向调节装置的右侧固定，其第二方向导轨安装板固定在所述第一右旋滑块和与该右旋滑块对应的另外两个所述第一方向滑块上，其所述第二方向导轨位于其第二方向驱动部件的左侧。
8.根据权利要求4所述的键合头结构，其特征在于，所述芯片承载组件包括吸嘴和吸嘴安装板，至少一个所述吸嘴固定在所述吸嘴安装板上，所述吸嘴安装板固定在所述第二方向调节装置上。
9.根据权利要求8所述的键合头结构，其特征在于，所述第二方向调节装置还包括多滚轮推杆，所述多滚轮推杆包括推杆、若干个第一方向滚轮、一个第二方向滚轮和一个第二方向导向槽；
若干个所述第一方向滚轮固定设置在所述推杆上，并与所述吸嘴安装板一一对应设置，沿所述第一方向，所述第一方向滚轮将与其对应的所述吸嘴安装板与所述推杆连接；
所述吸嘴安装板具有与所述第一方向滚轮对应的第一方向导向槽，所述第一方向导向槽的延伸方向平行于所述第一方向，所述第一方向滚轮能够沿所述第一方向导向槽往复移动；
沿所述第二方向，所述第一方向滚轮将对应的所述吸嘴安装板与所述推杆固定连接；
所述推杆与所述第二方向调节件固定连接，所述第二方向滚轮固定设置在所述第二方向调节件上，且嵌套在所述第二方向导向槽中，所述第二方向导向槽的延伸方向平行于所述第二方向，沿所述第二方向，所述第二方向滚轮能够沿所述第二方向导向槽往复移动；
沿所述第一方向，所述第二方向滚轮将所述第二方向调节件以及所述第二方向导向槽固定连接。
10.根据权利要求9所述的键合头结构，其特征在于，所述第二方向导向槽固定设置在所述底板上，所述多滚轮推杆包括两个第一方向滚轮，沿所述第一方向，两个所述第一方向滚轮分布设置在所述推杆与所述第二方向调节件连接处的两侧。
11.根据权利要求10所述的键合头结构，其特征在于，所述芯片承载组件为四个，四个所述芯片承载组件分别沿所述第一方向和所述第二方向呈2×2阵列分布；
所述第二方向调节装置有一个，所述第二方向调节装置包括两个所述第二方向导轨安装板、两个所述第二方向导轨、一个所述第二方向驱动部件；
两个所述第二方向导轨安装板分别设置在所述第二方向驱动部件的两侧，所述第二方向驱动部件包括两个所述第二方向调节件以及与所述第二方向调节件一一对应的多滚轮推杆。
12.根据权利要求10所述的键合头结构，其特征在于，所述吸嘴固定设置在所述推杆、所述第二方向导轨安装板和/或所述底板上。
13.根据权利要求4所述的键合头结构，其特征在于，所述第一方向驱动部件的第一方向调节件包括齿轮齿条结构；
所述齿轮齿条结构包括第一齿条、第二齿条和齿轮，所述第一齿条的延伸方向平行于所述第二齿条的延伸方向，所述第一齿条和所述第二齿条通过所述齿轮转动连接，且所述第一齿条和所述第二齿条位于所述齿轮的两侧，当所述齿轮被驱动绕其轴向正向或反向旋转时，所述第一齿条和所述第二齿条相向或相离运动；
所述第一方向驱动部件的所述齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第一方向，所述第二方向调节装置固定在所述第一齿条或所述第二齿条以及与所述第一齿条或所述第二齿条对应的至少一个所述第一方向滑块上。
14.根据权利要求13所述的键合头结构，其特征在于，所述第二方向驱动部件的第二方向调节件与所述第一方向驱动部件的第一方向调节件相同，包括齿轮齿条结构，所述齿轮齿条结构的延伸方向平行于所述第二方向；
至少一个所述芯片承载组件固定在其第一齿条或其第二齿条以及与其第一齿条或其第二齿条对应的至少一个所述第二方向滑块上。
15.根据权利要求2-14任一项所述的键合头结构，其特征在于，所述第一方向垂直于所述第二方向。
16.一种芯片键合设备，其特征在于，包括上述权利要求1-15任一项所述的键合头结构。
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