CN113306856A - 一种晶圆储存盒 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种晶圆储存盒，包括第一伸缩板和第二伸缩板，第一伸缩板和第二伸缩板上均形成有多个折叠槽，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的折叠槽一一对应，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的相应折叠槽之间形成储存晶圆的储存腔，每个折叠槽的外壁上均连接有推拉杆，推拉杆的第一端穿设折叠槽并连接有支撑件,支撑件的一端铰接在推拉杆的第一端，另一端铰接在折叠槽的内壁上。本发明可有效避免晶圆放片时的错插问题，大大提升了放片准确性和存储效率。

Description

一种晶圆储存盒
技术领域
本发明涉及晶圆收纳技术领域，尤其是指一种晶圆储存盒。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故 称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性 功能的IC产品。为了确保晶圆的安全储存、运输、搬运，广泛运用晶圆储 存盒作为晶圆的承载及运输工具。晶圆储存盒有多个储存格体组成，但是现 有晶圆储存盒内部的储存格体尺寸较窄且排布密集，不便于将晶圆准确插入 相应的储存格体，放置晶圆片时易出现错开插入的问题，影响放片准确性， 错开插入的晶圆在盖上晶圆盒盖子时，易发生破碎现象，影响正常使用。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中晶圆储存盒易出 现错插现象而无法保证放片准确性的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆储存盒，包括第一伸缩板 和第二伸缩板，所述第一伸缩板和所述第二伸缩板上均形成有多个折叠槽， 第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的折叠槽一一对应，第一伸缩板上的 折叠槽和第二伸缩板上的相应折叠槽之间形成储存晶圆的储存腔，每个所述 折叠槽的外壁上均连接有推拉杆，所述推拉杆的第一端穿设所述折叠槽并连 接有支撑件,所述支撑件的一端铰接在所述推拉杆的第一端，另一端铰接在 所述折叠槽的内壁上。
在本发明的一个实施例中，所述折叠槽内部均连接有定位件，所述定位 件的一端和所述推拉杆的第一端相连接。
在本发明的一个实施例中，所述定位件与所述推拉杆之间通过弹性件相 连接。
在本发明的一个实施例中，所述弹性件采用弹簧或橡胶件。
在本发明的一个实施例中，所述推拉杆的第二端设置有手持部。
在本发明的一个实施例中，所述推拉杆的第一端的两侧对称布置有所述 支撑件。
在本发明的一个实施例中，所述第一伸缩板和第二伸缩板的相应折叠槽 中的定位件底部之间通过U形卡槽相连接，所述U形卡槽的横截面形状和所 述定位件相适应。
在本发明的一个实施例中，所述U形卡槽上设置有漏水孔。
在本发明的一个实施例中，所述定位件的横截面形状为梯形、弧形或V 形中的一种。
在本发明的一个实施例中，晶圆储存盒还包括相平行的第一立板和第二 立板，所述第一伸缩板和第二伸缩板的一端均和所述第一立板相连接，所述 第一伸缩板和第二伸缩板的另一端均和所述第二立板相连接。
本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本发明所述的晶圆储存盒，便于将各晶圆准确地插入相应的折叠槽中完 成放片，可有效避免晶圆放片时的错插问题，大大提升了放片准确性和存储 效率。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施 例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明的晶圆储存盒的一实施例的三维结构示意图；
图2是图1中K处的局部放大示意图；
图3是图1所示的晶圆储存盒的俯视图；
图4是图3中P处的局部放大图；
图5是图4中折叠槽展开状态示意图；
图6是图1所示的晶圆储存盒的另一实施例的三维结构示意图；
图7是图6所示的晶圆储存盒的俯视图；
图8是图7中Q处的局部放大图；
图9是图1中相应定位件和U形卡槽的连接示意图；
说明书附图标记说明：1、第一伸缩板，2、第二伸缩板；3、折叠槽， 31、定位件，32、弹性件，33、支撑件，4、推拉杆，41、手持部，5、U 形卡槽，6、第一立板，7、第二立板。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术 人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的 限定。
实施例一：
参照图1-图2所示，本发明公开了一种晶圆储存盒，包括第一伸缩板1 和第二伸缩板2，第一伸缩板1和第二伸缩板2上均形成有多个折叠槽3， 第一伸缩板1上的折叠槽和第二伸缩板2上的折叠槽3一一对应，第一伸缩 板1上的折叠槽3和第二伸缩板2上的相应折叠槽3之间形成储存晶圆的储 存腔，每个折叠槽4的外壁上均连接有推拉杆4，推拉杆4的第一端穿设折 叠槽3并连接有支撑件33,支撑件33的一端铰接在推拉杆4的第一端，另 一端铰接在折叠槽4的内壁上。
通过支撑件33的设置，保证了推拉杆4移动时能够带动折叠槽3顺利 地展开或折叠，折叠槽展开状态参阅图5。推拉杆4起到驱动折叠槽3折叠 /展开的作用,通过推拉上述推拉杆4来改变折叠槽3的大小，从而使得储存 晶圆的储存腔的大小发生改变，更便于晶圆插入相应的储存腔中，提高了晶 圆插接的准确度。
在其中一个实施方式中，参阅图3-图4，折叠槽3内部均连接有定位件 31，定位件31的一端和推拉杆4的第一端相连接，以使得晶圆放入折叠槽 3时，使得晶圆的端部能够卡接在定位件31中，提升晶圆的定位可靠性， 保证晶圆不会发生偏斜。
在其中一个实施方式中，参阅图8，定位件31与推拉杆4之间通过弹 性件32相连接，以起到减震缓冲作用，避免定位件31与晶圆之间发生较大 的刚性冲击而损伤晶圆；另外，还可以防止距离变化而导致晶圆掉落或挤坏。
进一步地，弹性件32可采用弹簧或橡胶件。可以理解的，弹性件32也 可采用其他可发生弹性形变的元件。
在其中一个实施方式中，推拉杆4的第二端设置有手持部41，以便于 握持操作。
在其中一个实施方式中，参阅图4-图5，推拉杆4的第一端的两侧均设 置有支撑件33，推拉杆4的第一端两侧的支撑件33呈对称布置，以保证推 拉杆4移动时能够更好地带动折叠槽3顺利地展开或折叠，提升支撑张开效 果，折叠槽展开状态参阅图5。
在其中一个实施方式中，参阅图4和图8，定位件31的形状(横截面) 为梯形、弧形或V形中的一种，以提升晶圆的卡接可靠性。
可以理解地，定位件31的形状(横截面)并不限于上述形状，也可以 采用其他形状。
在其中一个实施方式中，晶圆储存盒还包括相平行的第一立板6和第二 立板7，第一伸缩板1和第二伸缩板2的一端均和第一立板6相连接，第一 伸缩板1和第二伸缩板2的另一端均和第二立板7相连接。
在其中一个实施方式中，在将晶圆放置于相应的储存腔后，也即将晶圆 的一端插接在第一伸缩板1的一个折叠槽3中，另一端插入第二伸缩板2的 相应折叠槽3中后，还可以在折叠槽3的外壁上连接卡接件，以卡住折叠槽 3，以避免在放置其他晶圆而拉伸伸缩板时造成已放置晶圆的倾倒。
本实施例的晶圆储存盒的使用方法为：确定需要放置晶圆的储存腔的位 置，该储存腔中的两个折叠槽3分别位于第一伸缩板1和第二伸缩板2上， 同时推移两个折叠槽3上的推拉杆4，使得折叠槽3展开至一定程度，也即 使得折叠槽3的槽口变大至一定程度，然后将晶圆的一端置于第一伸缩板1 的一个折叠槽3中的定位件31中，另一端置于第二伸缩板2的对应折叠槽 3中的定位件31中，晶圆放置结束后，再反方向推移两个折叠槽3上的推 拉杆4，使得折叠槽3折叠收紧即可。
本实施例的晶圆储存盒，能够实现各个折叠槽3闭合的独立控制，控制 灵活性更高。
实施例二：
本实施例和实施例一的区别在于：
参阅图6、图7和图9，第一伸缩板1和第二伸缩板2的相应折叠槽3 中的定位件31底部之间通过U形卡槽5相连接，U形卡槽5的槽体形状和 定位件31相适应。例如，若定位件31的形状(横截面)为V形，则U形卡槽 5的槽体形状(横截面)也为V形。由于伸缩板伸缩时会对已放置完成的晶 圆发生微小作用力使其发生移动，移动过程中晶圆易发生挤压受损，为避免 上述现象，设计了上述U形卡槽5，使得晶圆底部能够位于上述U形槽6中 得以支撑，从而使得整个晶圆得以固定，不易因移动而发生掉落或挤压受损 问题。
例如，第一伸缩板中的一个折叠槽3记为槽A1,第二伸缩板中与槽A1 相对应折叠槽3记为槽A2,则槽A1和槽A2中的定位件31的底部通过U形 卡槽5连接在一起，槽A1、槽A2中的定位件31和U形卡槽可为一体结构 或分体结构。
在其中一个实施方式中，U形卡槽5上设置有漏水孔，以排出晶圆加 工时残留在晶圆上的溶液。
综上所述，上述所有实施例的晶圆储存盒，能够实现折叠槽3的闭合和 展开，便于灵活地改变折叠槽3的大小，从而保证了各晶圆可方便快捷地插 入相应的折叠槽3中完成放片，可有效避免晶圆放片时的错插问题，大大提 升了放片准确性和存储效率。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的 限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出 其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而 由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种晶圆储存盒，其特征在于：包括第一伸缩板和第二伸缩板，所述第一伸缩板和所述第二伸缩板上均形成有多个折叠槽，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的折叠槽一一对应，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的相应折叠槽之间形成储存晶圆的储存腔，每个所述折叠槽的外壁上均连接有推拉杆,所述推拉杆的第一端穿设所述折叠槽并连接有支撑件,所述支撑件的一端铰接在所述推拉杆的第一端，另一端铰接在所述折叠槽的内壁上。
2.根据权利要求1所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述折叠槽内部均连接有定位件，所述定位件的一端和所述推拉杆的第一端相连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述定位件与所述推拉杆之间通过弹性件相连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述弹性件采用弹簧或橡胶件。
5.根据权利要求1所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述推拉杆的第二端设置有手持部。
6.根据权利要求1所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述推拉杆的第一端的两侧对称布置有所述支撑件。
7.根据权利要求2所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述第一伸缩板和第二伸缩板的相应折叠槽中的定位件底部之间通过U形卡槽相连接，所述U形卡槽的横截面形状和所述定位件相适应。
8.根据权利要求7所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述U形卡槽上设置有漏水孔。
9.根据权利要求2所述的晶圆储存盒，其特征在于：所述定位件的横截面形状为梯形、弧形或V形中的一种。
10.根据权利要求1所述的晶圆储存盒，其特征在于：还包括相平行的第一立板和第二立板，所述第一伸缩板和第二伸缩板的一端均和所述第一立板相连接，所述第一伸缩板和第二伸缩板的另一端均和所述第二立板相连接。
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