CN113305750A - 一种夹取芯片的镊子 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种夹取芯片的镊子，用于夹取芯片，所述夹取芯片的镊子包括两个夹臂和限位结构；每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端，所述两个夹臂的两个所述连接端相连接，所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动；限位结构，包括限位件，所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间；其中，所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。通过限位件控制镊臂的闭合，起到缓冲作用，使用底端的金属片夹取芯片，增大接触面积，减免芯片夹取带来的损伤。本发明提供的夹取芯片的镊子无需调节，操作简单，有效降低夹取芯片带来的损伤。
Description
技术领域
本发明涉及半导体芯片技术领域，特别涉及夹取芯片专用的一种夹取芯片的镊子。
背景技术
半导体芯片的尺寸与一般夹取物品的尺寸相比非常小，大致在几十微米到几百微米之间，目前采用的夹取方式有两种，一种是采用真空吸嘴的方式，此方案常用于一些自动化设备中，另一种更为常用的方式是采用底端非常尖锐的镊子在光学显微镜下夹取芯片。采用镊子夹取的方式因为人发力的不稳定性，再加上镊子比较尖锐，与芯片接触部分压强大的原因，容易对芯片端面造成损坏。
目前针对上述问题已有类似方案。专利号CN208460739U《一种微型芯片夹取装置》，专利号CN205342862U《镊子》和专利号CN203495795U《具有锁紧功能的镊子》是通过螺杆螺母等来夹紧物品，虽然避免了人为发力的影响，但是操作繁琐，需要拧螺纹来调节镊子开合，不符合使用镊子的习惯。专利申请公布号CN111214275A《一种急诊科手术用的镊子》，专利号CN205237875U《一种可固定调节开合度的弹簧的镊子》和专利号CN208645118U《一种新型镊子》也带有限位的功能，但其只是限制的镊子张开的大小，显然这种镊子并不能用于解决上述问题。专利号CN210335682U《一种微型芯片夹取装置》核心是采用在镊子底端配有橡胶材质的隔离片，起到缓冲的作用，但是由于橡胶弹性模量小，弹性恢复快，在加工时容易变形，很难控制尺寸和形状精度，所以该方案只能适用于较大尺寸的芯片。专利号CN204604145U《一种具有缓冲限位功能的镊子》采用限位螺丝的方式控制镊子闭合大小，能起到一定的缓冲作用，但是有两个缺点：一，靠螺丝控制闭合精度差；二，限位螺丝位于镊子靠上的部位，镊子的夹取原理是靠镊臂发生的弹性形变来完成的，对于芯片这样小的尺寸，由于限位螺丝位于靠上的部分，力臂过长，所以限位作用微乎其微。夹取芯片时，为避免抖动，都会靠近镊子夹持段施加力，镊子依然可以依靠手施加的作用力实现夹持端的自由闭合，这种限位带来的只是提高了所施加力的大小，其依靠的依然是操作者力度的把握。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种夹取芯片的镊子，旨在改善现有技术中，用于夹取芯片的镊子在夹取的过程中容易对芯片造成损坏、且结构复杂的技术问题。
为实现上述目的，本发明提供一种夹取芯片的镊子，用于夹取芯片，所述夹取芯片的镊子包括：
两个夹臂，每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端，所述两个夹臂的两个所述连接端相连接，所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动；
限位结构，包括限位件，所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间，并且所述限位件位于所述夹持端的底部；
其中，所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。
可选地，所述夹取芯片的镊子还包括多个限位块，两个所述夹臂的两个所述夹持端其中之一形成有安装区，所述安装区供一所述限位块固定安装，以形成所述限位件。
可选地，每一所述限位块的长度不一样。
可选地，所述金属片的制成材料为硬质金属。
可选地，所述限位件安装于距所述夹取芯片的镊子底端495μm-505μm处。
可选地，所述限位块的形状为长方体；和/或，
所述限位块的形状为正方体；和/或，
所述限位块的形状为圆柱体；和/或，
所述限位块的形状为棱柱等。
本发明提供的夹取芯片的镊子，通过限位件控制镊臂的闭合，起到缓冲作用，使用底端的金属片夹取芯片，增大接触面积，减免芯片夹取带来的损伤。本发明提供的夹取芯片的镊子无需调节，操作简单，有效降低夹取芯片带来的损伤。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本发明提供的夹取芯片的镊子一实施例的结构示意图；
图2为图1中的局部放大图；
图3为图1中侧视图。
附图标号说明：
| 标号 | 名称 | 标号 | 名称 |
| 1 | 左夹臂 | 4 | 第一金属片 |
| 2 | 右夹臂 | 5 | 第二金属片 |
| 3 | 限位块 |
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。还有就是，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
半导体芯片的尺寸与一般夹取物品的尺寸相比非常小，大致在几十微米到几百微米之间，目前采用的夹取方式有两种，一种是采用真空吸嘴的方式，此方案常用于一些自动化设备中，另一种更为常用的方式是采用底端非常尖锐的镊子在光学显微镜下夹取芯片。采用镊子夹取的方式因为人发力的不稳定性，再加上镊子比较尖锐，与芯片接触部分压强大的原因，容易对芯片端面造成损坏。
目前针对上述问题已有类似方案。专利号CN208460739U《一种微型芯片夹取装置》，专利号CN205342862U《镊子》和专利号CN203495795U《具有锁紧功能的镊子》是通过螺杆螺母等来夹紧物品，虽然避免了人为发力的影响，但是操作繁琐，需要拧螺纹来调节镊子开合，不符合使用镊子的习惯。专利申请公布号CN111214275A《一种急诊科手术用的镊子》，专利号CN205237875U《一种可固定调节开合度的弹簧的镊子》和专利号CN208645118U《一种新型的镊子》也带有限位的功能，但其只是限制镊子张开的大小，显然这种镊子并不能用于解决上述问题。专利号CN210335682U《一种微型芯片夹取装置》核心是采用在镊子底端配有橡胶材质的隔离片，起到缓冲的作用，但是由于橡胶弹性模量小，弹性恢复快，在加工时容易变形，很难控制尺寸和形状精度，所以该方案只能适用于较大尺寸的芯片。专利号CN204604145U《一种具有缓冲限位功能的镊子》采用限位螺丝的方式控制镊子闭合大小，能起到一定的缓冲作用，但是有两个缺点：一，靠螺丝控制闭合精度差；二，限位螺丝位于镊子靠上的部位，镊子的夹取原理是靠镊臂发生的弹性形变来完成的，对于芯片这样小的尺寸，由于限位螺丝位于靠上的部分，力臂过长，所以限位作用微乎其微，应该将限位螺丝下移以提高限位作用。
鉴于此，为解决上述芯片夹取问题，本发明公开了一种夹取芯片专用限位镊子。具体内容如下：
一种夹取芯片的镊子，用于夹取芯片，所述夹取芯片的镊子包括：
两个夹臂，每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端，所述两个夹臂的两个所述连接端相连接，所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动；
限位结构，包括限位件，所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间，并且所述限位件位于所述夹持端的底部；
其中，所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。
参阅图1、图3，两个夹臂分别是左夹臂1和右夹臂2，左夹臂1和右夹臂2构成夹取芯片的镊子的主体；两个金属片分别是第一金属片3和第二金属片4。其中，在左夹臂1靠下部位固定有限位件，左夹臂1底部固定有第一金属片3，右夹臂2底部固定有第二金属片4。上述固定方式均采用焊接即可。
需要说明的是，位于左夹臂1和右夹臂2之间的限位件的长度在不同的条件下是不一样的，这个条件取决于夹取什么型号的芯片。所以限位件的长度是可调地。相应的金属片的尺寸大小也可能会发生变化。操作时直接向传统的镊子那样操作即可。
此外，在本发明提供的技术方案中是将限位件设置在夹持端底部。因为夹取芯片的镊子是受力形变夹持物体，是靠镊臂发生的弹性形变来完成的，对于芯片这样小的尺寸，由于限位螺丝位于靠上的部分，力臂过长，所以限位作用微乎其微，或者说即使有限位也不影响夹取芯片的镊子闭合，用力就可以了。
所述夹取芯片的镊子还包括多个限位块3，两个所述夹臂的两个所述夹持端其中之一形成有安装区，所述安装区供一所述限位块3固定安装，以形成所述限位件。每一所述限位块3的长度不一样。
可以理解的是，可以通过制造不同长度的限位块3来实现限位件的长度调地。限位块的长度直接决定了两镊臂的开合大小。同时，夹取芯片的镊子出厂时还要经过标准件进行校准，标准件即为与芯片大小相同的刚性材料。
参阅图2，金属片的材料为铜。其尺寸小于所夹取芯片尺寸，其厚度越小越好。其基本原理是增加了与芯片接触的面积，降低了单位面积的压力，从而起到保护作用。
进一步地，所述限位件安装于距所述夹取芯片的镊子底端495μm-505μm处。
进一步地，所述限位块的形状为长方体；所述限位块的形状为正方体；
所述限位块的形状为圆柱体；所述限位块的形状为棱柱等。可以理解的是，多个限位块形状的具体形状可以是上述技术方案中的一种，或多种。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种夹取芯片的镊子，用于夹取芯片，其特征在于，所述夹取芯片的镊子包括：
两个夹臂，每一所述夹臂具有沿其长度方向呈相对设置的连接端及夹持端，所述两个夹臂的两个所述连接端相连接，所述两个夹臂的两个所述夹持端能够沿相互靠近的夹持方向活动；
限位结构，包括限位件，所述限位件的长度可调地设于所述两个夹臂的所述两个夹持端之间，并且所述限位件位于所述夹持端的底部；
其中，所述两个夹臂的所述两个夹持端上均设有用以夹取芯片的金属片。
2.如权利要求1所述的夹取芯片的镊子，其特征在于，所述夹取芯片的镊子还包括多个限位块，两个所述夹臂的两个所述夹持端其中之一形成有安装区，所述安装区供一所述限位块固定安装，以形成所述限位件。
3.如权利要求2所述的夹取芯片的镊子，其特征在于，每一所述限位块的长度不一样。
4.如权利要求1所述的夹取芯片的镊子，其特征在于，所述金属片的制成材料为硬质金属。
5.如权利要求1所述的夹取芯片的镊子，其特征在于，所述限位件安装于距所述夹取芯片的镊子底端495μm-505μm处。
6.如权利要求2所述的夹取芯片的镊子，其特征在于，所述限位块的形状为长方体；和/或，
所述限位块的形状为正方体；和/或，
所述限位块的形状为圆柱体；和/或，
所述限位块的形状为棱柱等。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100033617A (ko) * | 2008-09-22 | 2010-03-31 | 주식회사 에피밸리 | 3족 질화물 반도체 웨이퍼 이송용 트위저 |
| CN202053194U (zh) * | 2011-05-13 | 2011-11-30 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 光伏行业用镊子 |
| CN103094174A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-05-08 | 东莞市中镓半导体科技有限公司 | 一种操作简易的晶片夹具 |
| CN207058386U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-03-02 | 李艳君 | 一种能够减少或避免对夹持物造成损伤的镊子 |
| CN107785615A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-03-09 | 东莞市创明电池技术有限公司 | 镊子 |
| CN211381985U (zh) * | 2019-11-08 | 2020-09-01 | 爱博诺德（苏州）医疗器械有限公司 | 镊子 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20100033617A (ko) * | 2008-09-22 | 2010-03-31 | 주식회사 에피밸리 | 3족 질화물 반도체 웨이퍼 이송용 트위저 |
| CN202053194U (zh) * | 2011-05-13 | 2011-11-30 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 光伏行业用镊子 |
| CN103094174A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-05-08 | 东莞市中镓半导体科技有限公司 | 一种操作简易的晶片夹具 |
| CN207058386U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-03-02 | 李艳君 | 一种能够减少或避免对夹持物造成损伤的镊子 |
| CN107785615A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-03-09 | 东莞市创明电池技术有限公司 | 镊子 |
| CN211381985U (zh) * | 2019-11-08 | 2020-09-01 | 爱博诺德（苏州）医疗器械有限公司 | 镊子 |
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