CN113265621B - 一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统 - Google Patents

Abstract

本公开实施例提供一种蒸发源装置及其蒸镀方法、蒸镀系统。蒸发源设备，包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料；喷嘴，位于坩埚的一侧，喷嘴与坩埚连通；蒸镀材料收集装置，位于坩埚的朝向喷嘴的一侧，蒸镀材料收集装置设置有与喷嘴相匹配的第一开孔，喷嘴贯穿第一开孔，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间。采用本公开实施例中的蒸发源设备进行蒸镀过程中，蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间被延长，可以减少不必要的开腔作业，减少材料浪费，提高稼动率，提升产能及良率，有利于待蒸镀基板上沿蒸发源方向成膜的均匀性。

Description

一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统。

背景技术

有机发光二极体(Organic Light-Emitting Diode，OLED)是近年来逐渐发展起来的显示照明技术，尤其在显示行业，OLED显示由于具有高响应、高对比度、可柔性化等优点，被视为拥有广泛的应用前景。

在基板上形成OLED器件可以采用蒸镀工艺，蒸镀是指在一定的真空条件下加热坩埚，使坩埚内的蒸镀材料熔化(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，通过喷嘴最终沉积在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。在蒸镀过程中，从喷嘴喷出的材料有很大一部分落在坩埚上侧，随着时间延长，材料逐渐堆积，靠近喷嘴边缘的材料堆积最为严重，最终材料会堆积至喷嘴，增加了工艺控制难度。并且，材料堆积至喷嘴后，导致基板上沿着蒸发源方向成膜不均匀，造成产品性能、良率降低。因此，蒸镀材料一旦堆积导致喷嘴堵塞，只能采取降温措施，或牺牲良率继续生产，严重影响了产品性能和良率。

发明内容

本公开实施例提供一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统，以解决或缓解现有技术中的一项或更多项技术问题。

作为本公开实施例的第一个方面，本公开实施例提供一种蒸发源设备，包括：

坩埚，用于容纳蒸镀材料；

喷嘴，位于坩埚的一侧，喷嘴与坩埚连通；

蒸镀材料收集装置，位于坩埚的朝向喷嘴的一侧，蒸镀材料收集装置设置有与喷嘴相匹配的第一开孔，喷嘴贯穿第一开孔，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间。

在一些可能的实现方式中，蒸镀材料收集装置包括盖板，第一开孔位于盖板上，盖板的背离坩埚一侧的表面呈颗粒状表面，颗粒状表面上颗粒的密度为200目至400目。

在一些可能的实现方式中，

喷嘴的数量为多个，第一开孔的数量为一个，多个喷嘴均贯穿第一开孔，第一开孔在第二方向上的尺寸与所述喷嘴在第二方向上的尺寸的差的范围为6mm至50mm；或者，

喷嘴的数量为多个，第一开孔的数量为至少两个，至少两个第一开孔与多个喷嘴的排列方向相同，以使喷嘴贯穿对应的第一开孔，第一开孔在第二方向上的尺寸与所述喷嘴在第二方向上的尺寸的差的范围为6mm至50mm；

其中，多个喷嘴的排列方向为第一方向，与第一方向相垂直的方向为第二方向。

在一些可能的实现方式中，蒸发源设备还包括第一反射板，第一反射板位于盖板与坩埚之间，第一反射板设置有与喷嘴相匹配的第二开孔，喷嘴贯穿第二开孔，第二开孔在第二方向上的尺寸小于第一开孔在第二方向上的尺寸，第一反射板在第二方向上的尺寸大于第一开孔在第二方向上的尺寸。

在一些可能的实现方式中，蒸发源设备还包括第二反射板，第二反射板位于盖板与第一反射板之间，第二反射板设置有与喷嘴相匹配的第三开孔，喷嘴贯穿第三开孔，第一反射板在第二方向上的尺寸小于第二反射板在第二方向上的尺寸。

在一些可能的实现方式中，蒸镀材料收集装置包括盖板，盖板包括在第二方向上相对设置的第一子盖板和第二子盖板，第一开孔包括第一子开孔和第二子开孔，第一子开孔设置在第一子盖板的朝向第二子盖板的边缘，第二子开孔设置在第二子盖板的朝向第一子盖板的边缘，第一子盖板和第二子盖板被配置为能够朝向相反的方向运动，其中，多个喷嘴的排列方向为第一方向，与第一方向相垂直的方向为第二方向。

在一些可能的实现方式中，蒸发源设备还包括图像识别模块和驱动控制模块，图像识别模块用于采集盖板表面的图像，并根据盖板表面的图像信息确定蒸镀材料堆积状况，驱动控制模块用于在蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，驱动第一子盖板和第二子盖板在第二方向上朝向相反的方向运动。

在一些可能的实现方式中，第一子盖板和第二子被配置为能够在第二方向上朝向相反的方向移动，以使第一子盖板和第二子盖板均远离喷嘴。

在一些可能的实现方式中，第一子盖板的可移动距离的范围为10mm至60mm，第二子盖板的可移动距离范围为10mm至60mm。

在一些可能的实现方式中，蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一刮刷，位于第一子盖板的用于收集蒸镀材料的表面一侧，第一刮刷被配置为在第一子盖板朝向远离喷嘴的方向移动的情况下，刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料；

第二刮刷，位于第二子盖板的用于收集蒸镀材料的表面的一侧，第二刮刷被配置为在第二子盖板朝向远离喷嘴的方向移动的情况下，刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

在一些可能的实现方式中，第一刮刷的朝向第一子盖板的边缘与第一子盖板之间的距离的范围为2mm至5mm；或者，第二刮刷的朝向第二子盖板的边缘与第二子盖板之间的距离的范围为2mm至5mm。

在一些可能的实现方式中，还包括第一反射板，第一反射板位于盖板与坩埚之间，第一反射板设置有与喷嘴相匹配的第二开孔，喷嘴贯穿第二开孔，第一反射板的朝向盖板的一侧设置有第一收集槽和第二收集槽，第一收集槽和第二收集槽分别位于喷嘴的相对两侧，第一收集槽被配置为收集从第一子盖板刮除的蒸镀材料，第二收集槽被配置为收集从第二子盖板刮除的蒸镀材料。

在一些可能的实现方式中，第一子盖板被配置为能够围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第一预设角度，第二子盖板被配置为能够围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第二预设角度。

在一些可能的实现方式中，蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一刮刷，被配置为在第一子盖板旋转至第一预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料；

第二刮刷，被配置为在第二子盖板旋转至第二预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

在一些可能的实现方式中，蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一收集槽，沿第一刮刷的刮除方向设置在第一子盖板的下侧，被配置为收集从第一子盖板刮除的蒸镀材料；

第二收集槽，沿第二刮刷的刮除方向设置在第二子盖板的下侧，被配置为收集从第二子盖板刮除的蒸镀材料。

在一些可能的实现方式中，还包括第一反射板，第一反射板位于盖板与坩埚之间，第一反射板设置有与喷嘴相匹配的第二开孔，喷嘴贯穿第二开孔。

作为本公开实施例的第二方面，本公开实施例提供一种蒸发源设备的蒸镀方法，适用于本公开实施例中的蒸发源设备，蒸镀方法包括：

确定盖板表面的蒸镀材料堆积状况；

在蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动。

在一些可能的实现方式中，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：

控制第一子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第一刮刷刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制第二子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第二刮刷刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

在一些可能的实现方式中，

控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：控制第一子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第一预设角度，并控制第二子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第二预设角度；

蒸镀方法还包括：

控制第一刮刷沿刮除方向移动，以刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制第二刮刷沿刮除方向移动，以刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料；

控制第一刮刷沿刮除方向的反方向移动至第三初始位置，并控制第二刮刷沿刮除方向的反方向移动至第四初始位置。

作为本公开实施例的第三方面，本公开实施例提供一种蒸镀系统，包括本公开任一实施例中的蒸发源设备。

本公开实施例的蒸发源设备中，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间，从而，采用本公开实施例中的蒸发源设备进行蒸镀过程中，蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间被延长，可以减少不必要的开腔作业，减少材料浪费，提高稼动率，提升产能及良率，有利于待蒸镀基板上沿蒸发源方向成膜的均匀性。

上述概述仅仅是为了说明书的目的，并不意图以任何方式进行限制。除上述描述的示意性的方面、实施方式和特征之外，通过参考附图和以下的详细描述，本公开进一步的方面、实施方式和特征将会是容易明白的。

附图说明

在附图中，除非另外规定，否则贯穿多个附图相同的附图标记表示相同或相似的部件或元素。这些附图不一定是按照比例绘制的。应该理解，这些附图仅描绘了根据本公开的一些实施方式，而不应将其视为是对本公开范围的限制。

图1a为一种蒸发源设备在蒸镀过程中蒸镀材料堆积的示意图；

图1b为图1a的俯视示意图；

图2a为图1a中蒸镀材料堆积堵塞喷嘴的示意图；

图2b为图2a的俯视示意图；

图3为本公开一实施例蒸发源设备的结构示意图；

图4为图3所示蒸发源设备的俯视示意图；

图5a为本公开一实施例中盖板的结构示意图；

图5b为本公开另一实施例中盖板的结构示意图；

图6为本公开一实施例蒸发源设备中第一反射板的结构示意图；

图7为本公开一实施例蒸发源设备中第二反射板的结构示意图；

图8为本公开另一实施例蒸发源设备的结构示意图；

图9为图8所示蒸发源设备的俯视示意图；

图10为盖板的结构示意图；

图11a为本公开一实施例中盖板表面蒸镀材料堆积状况达到预设程度的示意图；

图11b为图11a的俯视示意图；

图12为本公开另一实施例蒸发源设备的结构示意图；

图13为图12中第一刮刷或第二刮刷的结构示意图；

图14为本公开一实施例蒸发源设备中第一反射板的结构示意图；

图15a为盖板上堆积蒸镀材料后刮刷动作前的示意图；

图15b为将盖板上蒸镀材料被刮入收集槽后的示意图；

图16为本公开另一实施例中蒸发源设备的结构示意图；

图17为图16所示蒸发源设备中第一子盖板和第二子盖板转动至预设角度的结构示意图；

图18a为本公开实施例蒸发源设备中材料回收组件的结构示意图；

图18b为图18a所示材料回收组件的左视结构示意图；

图19a为盖板上堆积蒸镀材料后的示意图；

图19b为第一子盖板和第二子盖板上蒸镀材料被刮落后示意图。

附图标记说明：

10、坩埚；11、喷嘴；21、盖板；211、第一子盖板；2111、第一拉杆；2112、第一支撑杆；212、第二子盖板；2121、第二拉杆；2122、第二支撑杆；212a、；213、第一开孔；213a、第一子开孔；213b、第二子开孔；22、第一反射板；221、第一子反射板；222、第二子反射板；223、第二开孔；224a、第一收集槽；224b、第二收集槽；23、第二反射板；231、第三子反射板；232、第四子反射板；233、第三开孔；241、第一导轨；242、第二导轨；251、第一刮刷；252、第二刮刷；253、固定轴；254、刮板；261、第一滑杆；262、第二滑杆；30、支撑组件。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本公开的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

蒸镀工艺按照蒸镀源(蒸镀材料的加热装置)的类型可分为点源蒸镀和线源蒸镀。相关技术中，在蒸镀源坩埚上方设置反射板，反射板的主要作用如下：第一，反射热量，对于蒸发源坩埚起到保温的效果；第二，对于掩膜版、玻璃基板来说，反射板可以减少热辐射；第三，反射板可以遮挡掉落的材料，避免污染加热机构。

图1a为一种蒸发源设备在蒸镀过程中蒸镀材料堆积的示意图，图1b为图1a的俯视示意图；图2a为图1a中蒸镀材料堆积堵塞喷嘴的示意图，图2b为图2a的俯视示意图。如图1a、图1b、图2a和图2b所示，蒸发源设备可以包括坩埚10、设置在坩埚10上的喷嘴11以及设置在坩埚10上侧的反射板30。坩埚10用于容纳蒸镀材料，蒸镀材料蒸汽从喷嘴11喷出后，有一些材料容易掉落堆积在反射板30上。越靠近喷嘴11，反射板30表面堆积的蒸镀材料越多。随着时间的延长，蒸镀材料会堆积至喷嘴11，将喷嘴11覆盖，堵塞喷嘴11，增加了工艺控制难度。蒸镀材料覆盖喷嘴11后，导致基板上沿蒸发源方向成膜不均匀，降低产品性能和良率。在实际生产中，蒸镀材料堆积堵塞喷嘴后，只能降温停止生产，造成材料浪法，产能低下。

相关技术中，解决蒸镀材料堆积的措施可以包括改造反射板的层数、尺寸、表面粗糙度等，这样的措施可以减缓材料掉落后堆积生长的速度，但无法根本解决材料堆积的问题。并且，不同材料特性不同，需要使用的措施不同，硬件改造成本较高，验证时间较长，效果也有待验证。

针对蒸镀过程中蒸镀材料堆积影响产品性能和良率问题，本公开实施例提供一种蒸发源设备及其蒸镀方法、蒸镀系统。蒸发源设备包括：坩埚，用于容纳蒸镀材料；喷嘴，位于坩埚的一侧，喷嘴与坩埚连通；蒸镀材料收集装置，位于坩埚的朝向喷嘴的一侧，蒸镀材料收集装置设置有与喷嘴相匹配的第一开孔，喷嘴贯穿第一开孔，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间。

下面通过具体的实施例详细介绍本公开的技术方案。

图3为本公开一实施例蒸发源设备的结构示意图，图4为图3所示蒸发源设备的俯视示意图。如图3和图4所示，蒸发源设备可以包括坩埚10、喷嘴11和蒸镀材料收集装置20，坩埚10用于容纳蒸镀材料，喷嘴11位于坩埚10的一侧，示例性地，喷嘴11可以位于坩埚10的朝向待蒸镀基板的一侧，喷嘴11与坩埚10连通，喷嘴11配置为供蒸镀材料蒸汽喷出。蒸镀材料收集装置20位于坩埚10的朝向喷嘴11的一侧，蒸镀材料收集装置20设置有与喷嘴11相匹配的第一开孔213，喷嘴11贯穿第一开孔213，蒸镀材料收集装置20至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴11的时间。

本公开实施例的蒸发源设备中，蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴11的时间，从而，采用本公开实施例中的蒸发源设备进行蒸镀过程中，蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴11的时间被延长，可以减少不必要的开腔作业，减少材料浪费，提高稼动率，提升产能及良率，有利于待蒸镀基板上沿蒸发源方向成膜的均匀性。

在一种实施方式中，如图3所示，蒸镀材料收集装置20可以包括盖板21，第一开孔213位于盖板21上，盖板21的背离坩埚10一侧的表面呈颗粒状表面，颗粒的密度为200目至400目(亦即颗粒的密度为每平方英寸的颗粒数为200个至300个)(包括端点值)示例性地，颗粒的密度为200目、300目或400mu。可以理解的是，盖板21的背离坩埚10一侧的表面即为盖板21的朝向待蒸镀基板一侧的表面。

可以理解的是，当蒸镀材料蒸汽从喷嘴11喷出后，某些蒸镀材料会掉落在盖板21的朝向待蒸镀基板一侧的表面上。相关技术中，盖板的表面比较光滑，粗糙度较低，盖板表面堆积的蒸镀材料在蒸镀过程中可能沿盖板表面移动而聚集，加速了蒸镀材料堆积至喷嘴并堵塞喷嘴的速度。本公开实施例中的盖板21的朝向待蒸镀基板一侧的表面呈颗粒状表面，颗粒的密度为200目至400目，这样的盖板21表面，当蒸镀材料掉落在盖板21表面后，可以避免蒸镀材料颗粒沿表面移动聚集，减缓蒸镀材料堆积状况，进而延长蒸镀材料堆积至喷嘴并堵塞喷嘴11的时间，延长蒸镀源装置的有效使用寿命，减少不必要的开腔作业，减少材料浪费，提高稼动率，提升产能及良率，并且有利于待蒸镀基板上沿蒸发源方向成膜的均匀性。

示例性地，可以对盖板21的朝向待蒸镀基板一侧的表面进行喷砂处理，以使盖板21表面呈密度为200目至400目的颗粒状表面。也可以采用其它方式对盖板21表面进行处理来使盖板21表面达到所需的要求。示例性地，可以在盖板21的朝向待蒸镀基板一侧的表面设置与喷嘴排列方向相平行的沟槽，来减缓蒸镀材料朝向喷嘴方向堆积的速度，进而延长蒸镀材料堆积至喷嘴并堵塞喷嘴11的时间。

在本公开中，喷嘴11的数量可以为多个，将多个喷嘴11的排列方向设置为第一方向X，将与第一方向X相垂直的方向设置为第二方向Y。

图5a为本公开一实施例中盖板的结构示意图。在一种实施方式中，如图3和图5a所示，盖板21的形状与坩埚10的截面形状相匹配。喷嘴11的数量可以为多个，多个喷嘴11均与坩埚10连通。第一开孔213的数量为一个，多个喷嘴11均贯穿第一开孔213。在图5a所示的实施例中，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差的范围为6mm至50mm(包括端点值)。也就是说，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差可以为6mm至50mm之间的任意值。在一个优选的实施例中，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差的范围可以为6mm至30mm(包括端点值)，也就是说，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差可以为6mm至30mm之间的任意值。可以理解的是，在喷嘴为圆形时，喷嘴在第二方向Y的上尺寸为喷嘴的直径。这样的盖板21，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸较大，使得第一开孔213的与第一方向X相平行的边缘(图5a中为第一开孔213的上边缘和下边缘)与喷嘴11的距离增大，使得蒸镀材料朝向喷嘴11堆积的距离增大，可以有效延长蒸镀材料堆积至喷嘴并堵塞喷嘴的时间。

图5b为本公开另一实施例中盖板的结构示意图。在一种实施方式中，如图3和图5b所示，盖板21的形状与坩埚10的截面形状相匹配。喷嘴11的数量可以为多个，多个喷嘴11均与坩埚10连通。第一开孔213的数量为至少两个，至少两个第一开孔213与多个喷嘴11的排列方向相同，即多个喷嘴11沿第一方向X排列，至少两个第一开孔213也沿第一方向X排列。喷嘴11贯穿对应的第一开孔213。示例性地，如图5b所示，第一开孔213的数量与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿对应的各第一开孔213。在其它实施例中，第一开孔213的数量可以少于喷嘴11的数量，例如，两个喷嘴11对应一个第一开孔213，或者3个喷嘴11对应一个第一开孔213，只要可以实现一个喷嘴11可以从对应的第一开孔213贯穿即可。第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差的范围为6mm至50mm(包括端点值)，也就是说，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差可以为6mm至50mm之间的任意值，在一个优选的实施例中，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差的范围可以为6mm至30mm(包括端点值)，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差可以为6mm至30mm之间的任意值。可以理解的是，在喷嘴为圆形时，喷嘴在第二方向Y的上尺寸为喷嘴的直径。也就是说，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1与喷嘴11在第二方向Y上的尺寸的差可以为6mm至50mm之间的任意值。

示例性地，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸可以根据蒸镀材料结晶特性确定，以避免蒸镀材料结晶而更快堆积至喷嘴11位置。当根据蒸镀材料结晶特性确定出第一开孔213在第二方向Y上的尺寸范围后，可以将盖板的第一开孔设置为如图5a或图5b所示结构。

图6为本公开一实施例蒸发源设备中第一反射板的结构示意图。在一种实施方式中，如图3和图6所示，蒸发源设备还可以包括第一反射板22，第一反射板22位于盖板21与坩埚10之间。第一反射板22设置有与喷嘴11相匹配的第二开孔223，喷嘴11贯穿第二开孔223。示例性地，第二开孔223的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第二开孔223；或者，多个喷嘴11可以对应一个第二开孔223，各喷嘴11贯穿对应的第二开孔223。

可以理解的是，第一开孔213的尺寸较大，会导致喷嘴11及喷嘴11附近位置热量损失。通过设置第一反射板22，第一反射板22可以反射热量，对坩埚10起到保温、隔热的作用，可以减少坩埚10的热量对掩膜版、基板的热辐射。

在一种实施方式中，如图3和图6所示，第二开孔223在第二方向Y上的尺寸小于第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1，第一反射板22在第二方向Y上的尺寸w3大于第一开孔213在第二方向Y上的尺寸w1。这样的第一反射板22可以弥补盖板21上第一开孔213较大导致的热量损失，防止靠近喷嘴11位置的热量损失，并且，当蒸镀材料从第一开孔213掉落时，第一反射板22可以遮挡掉落的蒸镀材料，避免污染对坩埚进行加热的加热装置。由于第一反射板22更加靠近坩埚10，第一反射板22温度较高，当蒸镀材料颗粒掉落到第一反射板22上时不会堆积。通过试验证明，相比于现有技术中的蒸发源设备，本公开实施例中的蒸发源设备可以将蒸镀材料堵塞喷嘴的时间延长3倍以上。

在一种实施方式中，盖板21的朝向坩埚11的一侧可以设置反射层，从而，盖板21的朝向坩埚11的一侧也可以起到保温、隔热的作用，可以进一步减少坩埚10的热量对掩膜版、基板的热辐射。

如图6所示，在一种实施方式中，第一反射板22可以包括在第二方向Y上相对设置的第一子反射板221和第二子反射板222，第二开孔223可以包括开设在第一子反射板221上的第一部分孔和开设在第二子反射板222上的第二部分孔，在第一子反射板221和第二子反射板222相对贴合后，第一部分孔和第二部分孔合并为第二开孔223。可以理解的是，在另一种实施方式中，第一反射板22可以为一体板状结构，第二开孔223可以设置在第一反射板22的沿第二方向Y上的中间位置。

图7为本公开一实施例蒸发源设备中第二反射板的结构示意图。在一种实施方式中，如图3和图7所示，蒸发源设备还可以包括第二反射板23，第二反射板23可以位于盖板21与第一反射板22之间。第二反射板23设置有与喷嘴11相匹配的第三开孔233，喷嘴11贯穿第三开孔233。第一反射板22在第二方向Y上的尺寸小于第二反射板23在第二方向Y上的尺寸。这样的第二反射板23，其覆盖范围大于第一反射板22，可以起到更好的保温、隔热作用，一步减少坩埚10的热量对掩膜版、基板的热辐射。

示例性地，第三开孔233的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第三开孔233；或者，多个喷嘴11可以对应一个第三开孔233，各喷嘴11贯穿对应的第三开孔233。

如图7所示，在一种实施方式中，第二反射板23可以包括在第二方向Y上相对设置的第三子反射板231和第四子反射板232，第三开孔233可以包括开设在第三子反射板231上的第三部分孔和开设在第四子反射板232上的第四部分孔，在第三子反射板231和第四子反射板232相对贴合后，第三部分孔和第四部分孔合并为第三开孔233。可以理解的是，在另一种实施方式中，第二反射板23可以为一体板状结构，第三开孔233可以设置在第二反射板23的沿第二方向Y上的中间位置。

可以理解的是，第二反射板23的数量可以根据需要设置，第二反射板23的数量可以为一个或至少两个，一个或至少两个第二反射板23依次层叠在盖板21与第一反射板22之间。第一反射板22和第二反射板23可以为镜面反射板，从而可以更好地反射热量。

在一种实施方式中，盖板21的厚度大于第一反射板22的厚度，盖板21的厚度大于第二反射板23的厚度。

在一种实施方式中，如图3所示，盖板21、第一反射板22和第二反射板23可以通过铆钉或螺丝等固定连接，方便整体拆装。

在一种实施方式中，如图3所示，蒸发源设备还可以包括支撑组件30，支撑组件30可以设置在坩埚10的外围，盖板21、第一反射板22和第二反射板23可以直接或间接地连接在支撑组件30上。示例性地，蒸发源设备还可以包括加热组件，加热组件可以设置在支撑组件30上。

在一种实施方式中，蒸发源设备的蒸镀材料收集装置可以包括盖板，盖板位于坩埚朝向待蒸镀基板的一侧。盖板可以包括在第二方向Y上相对设置的第一子盖板和第二子盖板。第一开孔可以包括第一子开孔和第二子开孔，第一子开孔设置在第一子盖板的朝向第二子盖板的边缘，第二子开孔设置在第二子盖板的朝向第一子盖板的边缘，第一子开孔和第二子开孔共同形成第一开孔。第一子盖板和第二子盖板被配置为能够朝向相反的方向运动以延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴的时间。其中，多个喷嘴的排列方向为第一方向，与第一方向相垂直的方向为第二方向。

图8为本公开另一实施例蒸发源设备的结构示意图，图9为图8所示蒸发源设备的俯视示意图，图10为盖板的结构示意图。在一种实施方式中，如图8、图9和图10所示，蒸发源设备的蒸镀材料收集装置可以包括盖板21，盖板21位于坩埚10朝向待蒸镀基板的一侧。盖板21可以包括在第二方向Y上相对设置的第一子盖板211和第二子盖板212。第一开孔213可以包括第一子开孔213a和第二子开孔213b，第一子开孔213a设置在第一子盖板211的朝向第二子盖板212的边缘，第二子开孔213b设置在第二子盖板212的朝向第一子盖板211的边缘，第一子开孔213a和第二子开孔213b共同形成第一开孔213。第一子盖板211和第二子盖板212被配置为能够朝向相反的方向运动以延长蒸镀材料堆积并堵塞喷嘴11的时间，例如，在图9中，第一子盖板211被配置为能够朝向下侧移动，第二子盖板212被配置为能够朝向上侧移动。需要说明的是，第一子盖板211和第二子盖板212并不限于平行移动，在其它实施例中，第一子盖板211和第二子盖板212可以被配置为能够朝向相反的方向旋转，只要第一子盖板211和第二子盖板212能够朝向相反的方向运动即可。

本公开实施例中的蒸发源设备，第一子盖板211和第二子盖板212被配置为能够朝向相反的方向运动，从而，可以通过第一子盖板211和第二子盖板212的运动来改变第一开孔213在第二方向Y上的尺寸，使得蒸发源设备可以适用不同类型的蒸镀材料特性，避免为蒸镀材料专门定制蒸发源设备，扩大了蒸发源设备的适用范围，降低了蒸发源设备的成本。

示例性地，第一开孔213的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第一开孔213；或者，多个喷嘴11可以对应一个第一开孔213，各喷嘴11贯穿对应的第一开孔213。

示例性地，如图9所示，第一开孔213在第二方向Y上的尺寸可以比喷嘴11在第二方向Y上的尺寸大10mm至30mm。例如，喷嘴11可以为圆形，第一开孔213的形状可以为圆形，第一开孔213的直径可以比喷嘴11的外径大10mm至30mm。在这里不对第一开孔213的形状进行具体限定，第一开孔213的形状可以根据需要设置，例如可以为圆形、长圆形等，只要可以实现其目的即可。

在一种实施方式中，蒸发源设备还可以包括图像识别模块和驱动控制模块，图像识别模块用于采集盖板表面的图像，并根据盖板表面的图像信息确定蒸镀材料堆积状况，驱动控制模块用于在蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，驱动第一子盖板和第二子盖板在第二方向上朝向相反的方向运动。这样的蒸发源设备，可以根据盖板表面蒸镀材料堆积状况，实现第一子盖板和第二子盖板的自动运动，以延长蒸镀材料堆积至喷嘴并堵塞喷嘴的实现。

在一种实施方式中，如图9所示，第一子盖板211和第二子盖板212被配置为能够在第二方向Y上朝向相反的方向移动，以使第一子盖板211和第二子盖板212均远离喷嘴11。图9中示出了第一子盖板211的可移动方向为朝向下侧，第二子盖板212的可移动方向为朝向上侧。

为了实现第一子盖板211和第二子盖板212的可移动，在一种实施方式中，如图10所示，蒸镀材料收集装置包括第一导轨241和第二导轨242，第一导轨241和第二导轨242分别位于盖板21的沿第一方向X的两侧。第一子盖板211在第一方向X的两端分别设置有第一拉杆2111，第一拉杆2111分别与对应的第一导轨241和第二导轨242可滑动连接。第二子盖板212在第一方向X的两端分别设置有第二拉杆2121，第二拉杆2121分别与对应的第一导轨241和第二导轨242可滑动连接。

在一种实施方式中，蒸镀材料收集装置还可以包括第一驱动控制装置，第一驱动控制装置与第一拉杆2111连接，第一驱动控制装置被配置为通过第一拉杆2111驱动第一子盖板211移动，示例性地，如图9和图10所示，第一驱动控制装置被配置为通过第一拉杆2111驱动第一子盖板211向下移动。

在一种实施方式中，蒸镀材料收集装置还可以包括第二驱动控制装置，第二驱动控制装置与第二拉杆2121连接，第二驱动控制装置被配置为通过第二拉杆2121驱动第二子盖板212移动，示例性地，如图10所示，第二驱动控制装置被配置为通过第二拉杆2121驱动第二子盖板212向上移动。

在一种实施方式中，如图9和图10所示，为了提高第一子盖板211移动过程中的稳定性，第一子盖板211在第一方向X的两端分别设置有第一支撑杆2112，第一支撑杆2112分别与对应的第一导轨241和第二导轨242可滑动连接。第一支撑杆2112可以位于第一拉杆2111的朝向喷嘴11的一侧。可以理解的是，为了提高第一子盖板211移动过程中的稳定性，可以增大第一拉杆2111在第二方向Y上的尺寸。

在一种实施方式中，如图9和图10所示，为了提高第二子盖板212移动过程中的稳定性，第二子盖板212在第一方向X的两端分别设置有第二支撑杆2122，第二支撑杆2122分别与对应的第一导轨241和第二导轨242可滑动连接。第二支撑杆2122可以位于第二拉杆2121的朝向喷嘴11的一侧。可以理解的是，为了提高第二子盖板212移动过程中的稳定性，可以增大第二拉杆2121在第二方向Y上的尺寸。

图9中示例性地示出了实现第一子盖板211和第二子盖板212移动的结构，可以理解的是，可以实现第一子盖板211和第二子盖板212能够在第二方向上朝向相反的方向移动的结构并不限于图9中所示的结构。可以采用本领域常规传动结构实现第一子盖板211和第二子盖板212的移动。

在一种实施方式中，蒸镀材料收集装置还可以包括第一位置检测模块和第二位置检测模块，第一位置检测模块被配置为检测第一子盖板211的位置，第二位置检测模块可以被配置为检测第二子盖板212的位置。从而，第一驱动控制装置可以根据第一位置检测模块的检测信号驱动第一子盖板211移动到预设位置；第二驱动控制装置可以根据第二位置检测模块的检测信号驱动第二子盖板212移动到预设位置。

在一种实施方式中，蒸发源设备还可以包括图像识别模块和驱动控制模块。图像识别模块用于采集盖板21表面的图像，并根据盖板21表面的图像信息确定蒸镀材料堆积状况。驱动控制模块用于在蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，驱动第一子盖板211和第二子盖板212在第二方向上朝向相反的方向移动。示例性地，驱动控制模块可以与第一驱动控制装置和第二驱动控制装置连接，驱动控制模块通过第一驱动控制装置驱动第一子盖板211移动，驱动控制模块通过第二驱动控制装置驱动第二子盖板212移动。

图11a为本公开一实施例中盖板表面蒸镀材料堆积状况达到预设程度的示意图，图11b为图11a的俯视示意图。如图11a和图11b所示，图像识别模块采集盖板21表面的图像后，根据盖板21表面的图像信息确定蒸镀材料堆积状况达到预设程度，驱动控制模块驱动第一子盖板211朝向下侧移动，并驱动第二子盖板212朝向上侧移动，避免蒸镀材料堆积至喷嘴11而堵塞喷嘴。这样便延长了蒸镀材料堆积至喷嘴的时间。

在一种实施方式中，第一子盖板211的可移动距离的范围为10mm至60mm(包括端点值)，第二子盖板212的可移动距离的范围为10mm至60mm(包括端点值)。示例性地，第一子盖板211和第二子盖板212的移动距离的范围可以为10mm至60mm中的任意数值。示例性地，第一子盖板211的移动距离小于第一子盖板211在第二方向Y上的尺寸，第二子盖板212的移动距离小于第二子盖板212在第二方向Y上的尺寸。

在一种实施方式中，如图10所示，第一子盖板211上设置有多个第一加强筋214，多个第一加强筋214沿第一方向X排列。第一加强筋214的设置可以避免第一子盖板211在生产或使用过程中变形。示例性地，第一加强筋214可以设置在第一子盖板211的朝向坩埚10的一侧表面上，第一加强筋214的个数可以根据实际需要确定。第二子盖板212上设置有多个第二加强筋215，多个第二加强筋215沿第一方向X排列。第二加强筋215的设置可以避免第二子盖板212在生产或使用过程中变形。示例性地，第二加强筋215可以设置在第二子盖板212的朝向坩埚10的一侧表面上，第二加强筋215的个数可以根据实际需要确定。

在一种实施方式中，如图8所示，蒸发源设备还可以包括第一反射板22，第一反射板22的结构可以如图6所示，第一反射板22位于盖板21与坩埚10之间。第一反射板22设置有与喷嘴11相匹配的第二开孔223，喷嘴11贯穿第二开孔223。示例性地，第二开孔223的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第二开孔223；或者，多个喷嘴11可以对应一个第二开孔223，各喷嘴11贯穿对应的第二开孔223。第二开孔223在第二方向Y上的尺寸可以比喷嘴11在第二方向Y上的尺寸大10mm至30mm。例如，喷嘴11可以为圆形，第二开孔223的形状可以为圆形，第二开孔223的直径可以比喷嘴11的外径大10mm至30mm。在这里不对第二开孔223的形状进行具体限定，第二开孔223的形状可以根据需要设置，例如可以为圆形、长圆形等，只要可以实现其目的即可。第一反射板22可以反射热量，对坩埚10起到保温、隔热的作用，可以减少坩埚10的热量对掩膜版、基板的热辐射。第一反射板22还可以进一步遮挡掉落的蒸镀材料颗粒，避免污染加热组件。

在一种实施方式中，如图8所示，蒸发源设备还可以包括支撑组件30，支撑组件30可以设置在坩埚10的外围，第一反射板22可以直接或间接地连接在支撑组件30上。示例性地，蒸发源设备还可以包括加热组件，加热组件可以设置在支撑组件30上。

在一种实施方式中，第一反射板22的厚度范围可以为5mm至15mm(包括端点值)，盖板21的厚度范围可以为2mm至5mm，相邻两层板之间的间隔小于5mm。

示例性地，本实施例中不对盖板的层数和第一反射板的层数进行具体限制，盖板的层数和第一反射板的层数可以根据需要设置，例如，图8中，盖板的层数为两层，第一反射板的层数为一层。靠近喷嘴一侧的盖板要低于喷嘴，也就是说，喷嘴要凸出盖板。

在一种实施方式中，蒸镀材料收集装置还可以包括以下中至少之一：第一刮刷，位于第一子盖板的用于收集蒸镀材料的一侧，第一刮刷被配置为在第一子盖板相对于第一刮刷移动的情况下，刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料；第二刮刷，位于第二子盖板的用于收集蒸镀材料的一侧，第二刮刷被配置为在第二子盖板相对于第二刮刷移动的情况下，刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

图12为本公开另一实施例蒸发源设备的结构示意图。在一种实施方式中，如图12所示，蒸发源设备的蒸镀材料收集装置还可以包括第一刮刷251和第二刮刷252中的至少一个。

第一刮刷251位于第一子盖板211的用于收集蒸镀材料的表面的一侧，第一刮刷251被配置为在第一子盖板211相对于第一刮刷251移动的情况下，刮除第一子盖板211上堆积的蒸镀材料。示例性地，第一刮刷251被配置为在第一子盖板211朝向远离喷嘴11的方向移动的情况下，刮除第一子盖板211上堆积的蒸镀材料。

第二刮刷252位于第二子盖板212的用于收集蒸镀材料的表面的一侧，第二刮刷252被配置为在第二子盖板212相对于第二刮刷252移动的情况下，刮除第二子盖板212上堆积的蒸镀材料。示例性地，第二刮刷252被配置为在第二子盖板212朝向远离喷嘴11的方向移动的情况下，刮除第二子盖板212上堆积的蒸镀材料。

在一种实施方式中，如图12所示，第一刮刷251和第二刮刷252均固定设置，第一子盖板211可以朝向远离喷嘴11的左侧移动，第二子盖板212可以朝向远离喷嘴11的右侧移动。

可以理解的是，在其它实施例中，可以将第一子盖板211设置为固定，第一刮刷251可以朝向远离喷嘴11的方向移动，也可以实现刮除第一子盖板211上堆积的蒸镀材料的效果。可以将第二子盖板212设置为固定，第二刮刷252可以朝向远离喷嘴11的方向移动，也可以实现刮除第二子盖板212上堆积的蒸镀材料的效果。

图13为图12中第一刮刷或第二刮刷的结构示意图。如图1所示，第二刮刷252可以与第一刮刷251相同。第一刮刷251包括固定轴253和刮板254，刮板254与固定轴253连接。第一刮刷251的高度范围可以为50mm至200mm(包括端点值)。刮板254的厚度范围可以为1mm至10mm(包括端点值)。可以理解的是，第一刮刷的高度为第一刮刷在垂直于第一子盖板表面方向上的尺寸，第一刮刷的厚度为与第一刮刷的高度相垂直方向上的尺寸。刮板254在第一方向X上的尺寸可以小于盖板21在第一方向X上的尺寸，刮板254在第一方向X上的尺寸大于在第一方向X上的两端的喷嘴11之间的间距。从而，第一刮刷251可以刮除任一喷嘴周围堆积的蒸镀材料。

示例性地，固定轴253的两端可以与支撑组件30连接，以便固定第一刮刷251。第一刮刷251的具体固定方式可以采用本领域常规技术，在此不作具体限定。

在一种实施方式中，如图12所示，第一刮刷251的朝向第一子盖板211的边缘与第一子盖板211之间的距离的范围为2mm至5mm(包括端点值)，也就是说，第一刮刷251的朝向第一子盖板211的边缘与第一子盖板211之间的距离可以为2mm至5mm中的任意数值。第二刮刷252的朝向第二子盖板212的边缘与第二子盖板212之间的距离的范围为2mm至5mm(包括端点值)，也就是说，第二刮刷252的朝向第二子盖板212的边缘与第二子盖板212之间的距离可以为2mm至5mm中的任意数值。如果刮刷底部边缘与子盖板之间的距离小于2mm，会增大刮刷过程中的摩擦力，减小刮刷的使用寿命；如果刮刷底部边缘与子盖板之间的距离大于5mm，降低刮刷效果，将刮刷底部与子盖板之间的距离设置为2mm至5mm，不仅可以达到较好的刮刷效果，而且还可以减小刮刷的磨损，延长刮刷的使用寿命。示例性地，第一刮刷251和第二刮刷252的材质可以采用橡胶或树脂材料。

在一种实施方式中，蒸发源设备还可以包括第一收集槽和第二收集槽。第一收集槽被配置为收集来自第一子盖板211上的蒸镀材料，第二收集槽被配置为收集来自第二子盖板212上的蒸镀材料。第一收集槽和第二收集槽的设置位置可以根据需要设置，只要第一收集槽可以收集来自第一子盖板211上的蒸镀材料，第二收集槽可以收集来自第二子盖板212上的蒸镀材料即可。

图14为本公开一实施例蒸发源设备中第一反射板的结构示意图。在一种实施方式中，如图12和图14所示，蒸发源设备还可以包括第一反射板22，第一反射板22位于盖板21与坩埚10之间。第一反射板22设置有与喷嘴11相匹配的第二开孔223，喷嘴11贯穿第二开孔223。示例性地，第二开孔223的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第二开孔223；或者，多个喷嘴11可以对应一个第二开孔223，各喷嘴11贯穿对应的第二开孔223。

示例性地，第一收集槽224a和第二收集槽224b均设置在第一反射板22的朝向盖板21的一侧，如图12和图14所示，第一收集槽224a和第二收集槽224b分别位于喷嘴11的相对两侧，第一刮刷251与第一收集槽224a相对应，第二刮刷252与第二收集槽224b相对应，从而，第一刮刷251可以将第一子盖板211上堆积的材料刮至第一收集槽224a内，第二刮刷252可以将第二子盖板212上堆积的材料刮至第二收集槽224b内。

示例性地，如图12所示，第一收集槽224a的截面形状可以呈楔形凹槽，第二收集槽224b的截面形状可以呈楔形凹槽，方便蒸镀材料从收集槽侧壁滚入收集槽底部。

在一种实施方式中，第一反射板22的厚度的范围可以为15mm至20mm(包括端点值)，第一收集槽224a的深度的范围可以为5mm至10mm(包括端点值)，第二收集槽224b的深度的范围可以为5mm至10mm(包括端点值)。

图15a为盖板上堆积蒸镀材料后刮刷动作前的示意图，图15b为将盖板上蒸镀材料被刮入收集槽后的示意图。如图15a和图15b所示，本公开实施例的蒸发源设备的工作过程可以简述如下：在盖板21上蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，驱动控制模块通过第一驱动控制装置控制第一子盖板211朝向远离喷嘴11的左侧移动，驱动控制模块通过第二驱动控制装置控制第二子盖板212朝向远离喷嘴11的右侧移动，在第一子盖板211朝向远离喷嘴11的左侧移动过程中，第一刮刷251刮擦第一子盖板211上堆积的蒸镀材料，在第一子盖板211的朝向喷嘴的边缘进入第一收集槽224a上方空间时，蒸镀材料被逐渐刮入第一收集槽224a中。在第二子盖板212朝向远离喷嘴11的右侧移动过程中，第二刮刷252刮擦第二子盖板212上堆积的蒸镀材料，在第二子盖板211的朝向喷嘴的边缘进入第二收集槽224b上方空间时，蒸镀材料被逐渐刮入第二收集槽224b中。在第一子盖板211移动到预定位置时，刮刷过程结束，驱动控制模块通过第一驱动控制装置控制第一子盖板211朝向喷嘴11方向移动至第一初始位置。在第二子盖板212移动到预定位置时，刮刷过程结束，驱动控制模块通过第二驱动控制装置控制第二子盖板212朝向喷嘴11方向移动至第二初始位置。可以理解的是，第一初始位置为蒸镀时，第一子盖板原始的位置，第二初始位置为蒸镀时，第二子盖板原始的位置，如图15a中第一子盖板和第二子盖板各自所在的位置。

本公开实施例中的蒸发源设备，整个生产过程中第一子盖板和第二子盖板均可以实现多次水平移动、材料刮刷，及时清除盖板表面堆积的蒸镀材料，避免蒸镀材料在盖板表面堆积，解决了蒸镀材料堆积导致的喷嘴堵塞问题。

图16为本公开另一实施例中蒸发源设备的结构示意图，图17为图16所示蒸发源设备中第一子盖板和第二子盖板转动至预设角度的结构示意图。在一种实施方式中，如图16所示，第一子盖板211被配置为能够围绕远离喷嘴11的边缘向外旋转至第一预设角度，第二子盖板212被配置为能够围绕远离喷嘴11的边缘向外旋转至第二预设角度。示例性地，如图16和图17所示，第一子盖板211具有远离喷嘴11的第一边缘211a，第一子盖板211被配置为能够围绕第一边缘211a向外旋转至第一预设角度。第二子盖板212具有远离喷嘴11的第二边缘212a，第二子盖板212被配置为能够围绕第二边缘212a向外旋转至第二预设角度。这样的结构，在第一子盖板211旋转至第一预设角度时，第一子盖板211上堆积的蒸镀材料可以沿第一子盖板211表面向下滑落而脱离第一子盖板211，便可以去除第一子盖板211表面的蒸镀材料，避免蒸镀材料在第一子盖板211表面堆积，解决了蒸镀材料堆积导致的喷嘴堵塞问题。可以理解的是，在第二子盖板212旋转至第二预设角度时，可以起到与第一子盖板211相同的效果，避免蒸镀材料在第二子盖板212表面堆积，解决了蒸镀材料堆积导致的喷嘴堵塞问题。

为了使得蒸镀材料可以沿子盖板表面滑落而脱离子盖板，第一预设角度和第二预设角度的具体数值可以根据需要设置，只要可以实现蒸镀材料颗粒沿子盖板表面滑落而脱离即可。

在一种实施方式中，如图17所示，第一预设角度的范围可以为60°至90°(包括端点值)，第二预设角度的范围可以为60°至90°(包括端点值)。示例性地，第一预设角度的范围可以60°至90°中的任意角度值，例如60°、70°、80°或90°。示例性地，第二预设角度的范围可以60°至90°中的任意角度值，例如60°、70°、80°或90°。

可以理解的是，在第一子盖板211旋转至第一预设角度并去除蒸镀材料后，第一子盖板211可以反向旋转至第一初始位置，以继续进行蒸镀。在第二子盖板212旋转至第二预设角度并去除蒸镀材料后，第二子盖板212可以反向旋转至第二初始位置，以继续进行蒸镀。

可以采用本领域常规技术实现第一子盖板211围绕第一边缘211a旋转以及第二子盖板212围绕第二边缘212a旋转。例如，蒸发源设备可以包括第一驱动控制装置和第二驱动控制装置，第一驱动控制装置和第二驱动控制装置均与驱动控制模块连接。第一边缘211a位置设置第一转轴，第一驱动控制装置与第一转轴传动连接，第一驱动控制装置配置为驱动第一转轴旋转，从而使得第一子盖板211围绕第一边缘211a旋转。第二边缘212a位置设置第二转轴，第二驱动控制装置与第二转轴传动连接，第二驱动控制装置配置为驱动第二转轴旋转，从而使得第二子盖板212a围绕第二边缘212a旋转。第一驱动控制装置和第二驱动控制装置可以包括电机或旋转气缸。

图18a为本公开实施例蒸发源设备中材料回收组件的结构示意图，图18b为图18a所示材料回收组件的左视结构示意图。如图16、图18a和图18b所示，蒸镀材料收集装置可以包括材料回收组件，材料回收组件可以包括第一刮刷251和第二刮刷252中的至少一个。第一刮刷251被配置为在第一子盖板211旋转至第一预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除第一子盖板211上堆积的蒸镀材料。第二刮刷252被配置为在第二子盖板212旋转至第二预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除第二子盖板212上堆积的蒸镀材料。

图19a为盖板上堆积蒸镀材料后的示意图，图19b为第一子盖板和第二子盖板上蒸镀材料被刮落后示意图。在一种实施方式中，如图19a和图19b所示，第一刮刷251可以沿与位于第一预设角度的第一子盖板211相平行的方向自上而下运动，以便自上而下将第一子盖板211上堆积的蒸镀材料刮落。第二刮刷252可以沿与位于第二预设角度的第二子盖板212相平行的方向自上而下运动，以便自上而下将第二子盖板211上堆积的蒸镀材料刮落。

如图18a和图18b所示，材料回收组件还可以包括第一收集槽224a和第二收集槽224b中的至少一个。第一收集槽224a可以沿第一刮刷251的刮除方向设置在第一子盖板211的下侧，被配置为收集从第一子盖板211上刮除的蒸镀材料。第二收集槽224b可以沿第二刮刷252的刮除方向设置在第二子盖板212的下侧，被配置为收集从第二子盖板212上刮除的蒸镀材料。

示例性地，如图18a和图18b所示，材料回收组件还可以包括两个第一滑杆261和两个第二滑杆262，两个第一滑杆261相对平行设置，第一刮刷251的两端分别与第一滑杆261可滑动连接。材料回收组件还可以包括第三驱动控制装置，第三驱动控制装置与驱动控制模块连接，第三驱动控制装置配置为驱动第一刮刷251沿第一滑杆261滑动，以刮除第一子盖板211上的蒸镀材料。第一收集槽224a的两端分别与第一滑杆261的下端连接，从第一子盖板211上刮除的蒸镀材料掉入第一收集槽224a中。

示例性地，两个第二滑杆262相对平行设置，第二刮刷252的两端分别与第二滑杆262可滑动连接。材料回收组件还可以包括第四驱动控制装置，第四驱动控制装置与驱动控制模块连接，第四驱动控制装置配置为驱动第二刮刷252沿第二滑杆262滑动，以刮除第二子盖板212上的蒸镀材料。第二收集槽224b的两端分别与第二滑杆262的下端连接，从第二子盖板212上刮除的蒸镀材料掉入第二收集槽224b中。

示例性地，在第一子盖板211位于第一预设角度的情况下，两个相对平行的第一滑杆261均与第一子盖板211平行，这样就可以使得第一刮刷251在刮除过程中与第一子盖板211相平行，提高刮除蒸镀材料的效果。在第二子盖板212位于第二预设角度的情况下，两个相对平行的第二滑杆262可以均与第二子盖板212平行，这样就可以使得第二刮刷252在刮除过程中与第二子盖板212相平行，提高刮除蒸镀材料的效果。

可以理解的是，第一预设角度可以与第二预设角度相同，第一刮刷251和第二刮刷252可以对称设置，第一收集槽224a和第二收集槽224b可以对称设置。

在一种实施方式中，如图19b所示，在第一子盖板211位于第一预设角度的情况下，第一刮刷251的第三初始位置可以高于第一子盖板211的上端，从而，第一刮刷251在刮除过程中可以从第一子盖板211的整个侧面刮过，避免蒸镀材料残留。在第二子盖板212位于第二预设角度的情况下，第二刮刷252的第四初始位置可以高于第二子盖板212的上端，从而，第二刮刷252在刮除过程中可以从第二子盖板212的整个侧面刮过，避免蒸镀材料残留。

如图19a和图19b所示，本公开实施例的蒸发源设备的工作过程可以简述如下：在盖板21上的蒸镀材料堆积状况大于或等于预设成程度的情况下，驱动控制模块通过第一驱动控制装置控制第一子盖板211围绕远离喷嘴11的边缘向外旋转至第一预设角度，驱动控制模块通过第二驱动控制装置控制第二子盖板212围绕远离喷嘴11的边缘向外旋转至第二预设角度；驱动控制模块通过第三驱动控制装置控制第一刮刷251沿刮除方向移动，以刮除第一子盖板211上堆积的蒸镀材料，驱动控制模块通过第四驱动控制装置控制第二刮刷252沿刮除方向移动，以刮除第二子盖板212上堆积的蒸镀材料；驱动控制模块通过第三驱动控制装置控制第一刮刷251反向移动至第三初始位置，驱动控制模块通过第四驱动控制装置控制第二刮刷252反向移动至第四初始位置；驱动控制模块通过第一驱动控制装置驱动第一子盖板211反向旋转至第一初始位置，驱动控制模块通过第二驱动控制装置控制第二子盖板212反向旋转至第二初始位置，如图16所示。可以理解的是，第一初始位置为蒸镀时，第一子盖板原始的位置，第二初始位置为蒸镀时，第二子盖板原始的位置，如图19a中第一子盖板和第二子盖板各自所在的位置。第三初始位置为第一刮刷进行刮除操作前的位置，第四初始位置为第二刮刷进行刮除操作前的位置，如图16或图19a中第一刮刷和第二刮刷各自所在的位置。

在一种实施方式中，如图16所示，蒸发源设备还可以包括第一反射板22，第一反射板22位于盖板21与坩埚10之间。第一反射板22设置有与喷嘴11相匹配的第二开孔223，喷嘴11贯穿第二开孔223。示例性地，第二开孔223的数量可以与喷嘴11的数量相同，各喷嘴11贯穿各对应的第二开孔223；或者，多个喷嘴11可以对应一个第二开孔223，各喷嘴11贯穿对应的第二开孔223。

需要说明的是，第一收集槽224a和第二收集槽224b并不限于连接在对应的滑杆上，在其它实施例中，第一收集槽224a和第二收集槽224b可以分别连接在第一反射板22的相对两侧，只要第一收集槽224a和第二收集槽224b可以分别收集来自第一子盖板211和第二子盖板212的蒸镀材料即可。

本公开实施例中的蒸发源设备，整个生产过程中第一子盖板和第二子盖板均可以实现多次旋转，以便第一刮刷和第二刮刷可以多次刮除对应子盖板上的蒸镀材料，及时清除盖板表面堆积的蒸镀材料，避免蒸镀材料在盖板表面堆积，解决了蒸镀材料堆积导致的喷嘴堵塞问题。

本公开实施例还提供一种蒸发源设备的蒸镀方法，适用于本公开实施例中的蒸发源设备，蒸镀方法可以包括：

确定盖板表面的蒸镀材料堆积状况；

在蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动。

在一种实施方式中，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：控制第一子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第一刮刷刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制第二子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第二刮刷刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

在一种实施方式中，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：控制第一子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第一预设角度，并控制第二子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第二预设角度；

蒸镀方法还包括：控制第一刮刷沿刮除方向移动，以刮除第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制第二刮刷沿刮除方向移动，以刮除第二子盖板上堆积的蒸镀材料；控制第一刮刷沿刮除方向的反方向移动至第三初始位置，并控制第二刮刷沿刮除方向的反方向移动至第四初始位置。

在一种实施方式中，蒸镀方法还可以包括：控制第一子盖板返回至第一初始位置，并控制第二子盖板返回至第二初始位置。

基于前述实施例的发明构思，本公开实施例还提供了一种蒸镀系统，包括本公开任一实施例中的蒸发源设备。

在本说明书的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

在本公开中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

上文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本公开的不同结构。为了简化本公开，上文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本公开。此外，本公开可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。

以上，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到其各种变化或替换，这些都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (18)

1.一种蒸发源设备，其特征在于，包括：

坩埚，用于容纳蒸镀材料；

喷嘴，位于所述坩埚的一侧，所述喷嘴与所述坩埚连通；

蒸镀材料收集装置，位于所述坩埚的朝向所述喷嘴的一侧，所述蒸镀材料收集装置设置有与所述喷嘴相匹配的第一开孔，所述喷嘴贯穿所述第一开孔，

所述蒸镀材料收集装置包括盖板，所述第一开孔位于所述盖板上，

所述蒸镀材料收集装置至少被配置为延长蒸镀材料堆积并堵塞所述喷嘴的时间。

2.根据权利要求1所述的蒸发源设备，其特征在于，所述盖板的背离所述坩埚一侧的表面呈颗粒状表面，颗粒状表面上颗粒的密度为200目至400目。

3.根据权利要求1或2所述的蒸发源设备，其特征在于，

所述喷嘴的数量为多个，所述第一开孔的数量为一个，多个所述喷嘴均贯穿所述第一开孔，所述第一开孔在第二方向上的尺寸与所述喷嘴在第二方向上的尺寸的差的范围为6mm至50mm；或者，

所述喷嘴的数量为多个，所述第一开孔的数量为至少两个，至少两个所述第一开孔与多个所述喷嘴的排列方向相同，以使所述喷嘴贯穿对应的所述第一开孔，所述第一开孔在第二方向上的尺寸与所述喷嘴在第二方向上的尺寸的差的范围为6mm至50mm；

其中，多个喷嘴的排列方向为第一方向，与所述第一方向相垂直的方向为第二方向。

4.根据权利要求3所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸发源设备还包括第一反射板，所述第一反射板位于所述盖板与所述坩埚之间，所述第一反射板设置有与所述喷嘴相匹配的第二开孔，所述喷嘴贯穿所述第二开孔，所述第二开孔在所述第二方向上的尺寸小于所述第一开孔在所述第二方向上的尺寸，所述第一反射板在所述第二方向上的尺寸大于所述第一开孔在所述第二方向上的尺寸。

5.根据权利要求4所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸发源设备还包括第二反射板，所述第二反射板位于所述盖板与所述第一反射板之间，所述第二反射板设置有与所述喷嘴相匹配的第三开孔，所述喷嘴贯穿所述第三开孔，所述第一反射板在所述第二方向上的尺寸小于所述第二反射板在所述第二方向上的尺寸。

6.根据权利要求1所述的蒸发源设备，其特征在于，所述盖板包括在第二方向上相对设置的第一子盖板和第二子盖板，所述第一开孔包括第一子开孔和第二子开孔，所述第一子开孔设置在所述第一子盖板的朝向所述第二子盖板的边缘，所述第二子开孔设置在所述第二子盖板的朝向所述第一子盖板的边缘，所述第一子盖板和所述第二子盖板被配置为能够朝向相反的方向运动，其中，多个喷嘴的排列方向为第一方向，与所述第一方向相垂直的方向为第二方向。

7.根据权利要求6所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸发源设备还包括图像识别模块和驱动控制模块，所述图像识别模块用于采集所述盖板表面的图像，并根据所述盖板表面的图像信息确定蒸镀材料堆积状况，所述驱动控制模块用于在所述蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，驱动所述第一子盖板和所述第二子盖板在第二方向上朝向相反的方向运动。

8.根据权利要求6或7所述的蒸发源设备，其特征在于，所述第一子盖板和所述第二子被配置为能够在第二方向上朝向相反的方向移动，以使所述第一子盖板和所述第二子盖板均远离所述喷嘴。

9.根据权利要求8所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一刮刷，位于所述第一子盖板的用于收集蒸镀材料的表面一侧，所述第一刮刷被配置为在所述第一子盖板朝向远离所述喷嘴的方向移动的情况下，刮除所述第一子盖板上堆积的蒸镀材料；

第二刮刷，位于所述第二子盖板的用于收集蒸镀材料的表面的一侧，所述第二刮刷被配置为在所述第二子盖板朝向远离所述喷嘴的方向移动的情况下，刮除所述第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

10.根据权利要求9所述的蒸发源设备，其特征在于，还包括第一反射板，所述第一反射板位于所述盖板与所述坩埚之间，所述第一反射板设置有与所述喷嘴相匹配的第二开孔，所述喷嘴贯穿所述第二开孔，所述第一反射板的朝向所述盖板的一侧设置有第一收集槽和第二收集槽，所述第一收集槽和所述第二收集槽分别位于所述喷嘴的相对两侧，所述第一收集槽被配置为收集从所述第一子盖板刮除的蒸镀材料，所述第二收集槽被配置为收集从所述第二子盖板刮除的蒸镀材料。

11.根据权利要求6所述的蒸发源设备，其特征在于，所述第一子盖板被配置为能够围绕远离所述喷嘴的边缘向外旋转至第一预设角度，所述第二子盖板被配置为能够围绕远离所述喷嘴的边缘向外旋转至第二预设角度。

12.根据权利要求11所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一刮刷，被配置为在所述第一子盖板旋转至所述第一预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除所述第一子盖板上堆积的蒸镀材料；

第二刮刷，被配置为在所述第二子盖板旋转至所述第二预设角度的情况下沿刮除方向移动，以刮除所述第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

13.根据权利要求12所述的蒸发源设备，其特征在于，所述蒸镀材料收集装置还包括以下中至少之一：

第一收集槽，沿所述第一刮刷的刮除方向设置在所述第一子盖板的下侧，被配置为收集从所述第一子盖板刮除的蒸镀材料；

第二收集槽，沿所述第二刮刷的刮除方向设置在所述第二子盖板的下侧，被配置为收集从所述第二子盖板刮除的蒸镀材料。

14.根据权利要求11至13中任一项所述的蒸发源设备，其特征在于，还包括第一反射板，所述第一反射板位于所述盖板与所述坩埚之间，所述第一反射板设置有与所述喷嘴相匹配的第二开孔，所述喷嘴贯穿所述第二开孔。

15.一种蒸发源设备的蒸镀方法，其特征在于，适用于6至14中任一项所述的蒸发源设备，所述蒸镀方法包括：

确定盖板表面的蒸镀材料堆积状况；

在所述蒸镀材料堆积状况大于或等于预设程度的情况下，控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动。

16.根据权利要求15所述的蒸镀方法，其特征在于，所述控制所述第一子盖板和所述第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：

控制所述第一子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第一刮刷刮除所述第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制所述第二子盖板在第二方向上朝向远离喷嘴的方向移动，以使第二刮刷刮除所述第二子盖板上堆积的蒸镀材料。

17.根据权利要求15所述的蒸镀方法，其特征在于，

所述控制第一子盖板和第二子盖板朝向相反的方向运动，包括：控制第一子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第一预设角度，并控制第二子盖板围绕远离喷嘴的边缘向外旋转至第二预设角度；

所述蒸镀方法还包括：

控制第一刮刷沿刮除方向移动，以刮除所述第一子盖板上堆积的蒸镀材料，并控制第二刮刷沿刮除方向移动，以刮除所述第二子盖板上堆积的蒸镀材料；

控制第一刮刷沿刮除方向的反方向移动至第三初始位置，并控制所述第二刮刷沿刮除方向的反方向移动至第四初始位置。

18.一种蒸镀系统，其特征在于，包括权利要求1至14中任一项所述的蒸发源设备。