CN113262570A - 用于离子气体去除系统的过滤部件 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于离子气体去除系统的过滤部件，通过形成于滤材的高度差部和防飞散孔来防止用于消除离子气体的水的飞散，并同时将包含多个滤材的内壳可拆装地插入于外壳内，以便于清洗。更详细地说，作为淋浴系统(WSS，Water Showering System)中的过滤部件，上述过滤部件包括：多个滤材，形成为朝向下方形成有多个波浪的板形状，且穿孔形成有防飞散孔，并且穿孔形成有多个贯通孔；内壳，贯通插入于上述贯通孔，并设置有相互重叠的多个上述滤材；以及外壳，形成为在一侧或两侧具有第一开口部的盒体形状，以供设置有多个上述滤材的上述内壳插入。

Description

用于离子气体去除系统的过滤部件
技术领域
本发明涉及一种用于离子气体去除系统的过滤部件，通过形成于滤材的高度差部和防飞散孔来防止用于消除离子气体的水的飞散，并同时将包括多个滤材的内壳可拆装地插入于外壳内，以便于清洗。
背景技术
近来，随著半导体制造及液晶显示器(LCD)制造的加工技术日益精细化，使得NH4、SOx、NOx等的离子气体的污染对在制品的收益率带来了密切的影响。
为了克服上述情况，如图1所示，半导体等的制造设施通常使用如下的系统：采用淋浴系统10(WSS，Water showering system)，使包含离子气体的外部空气通过多个过滤部件而得到过滤，在过滤部件上部用水进行喷雾，使包含于外部空气中的离子气体可通过水而排出到外部。这样的淋浴系统具有过滤离子气体的效果，并同时可以一并实施加湿功能，因此，成为广泛应用于上述制造设施的系统之一。
尤其，如图2所示，在这样的淋浴系统中使用的过滤部件20大多采用如下的结构：在具有盒体形状并且在其内部形成有“十”字形状的隔板21的壳22的内部重叠插入多个滤材23，来对离子气体进行过滤。但是，这种现有的滤材23存在有进行维护时必须多次分离滤材23的不便之处，这不仅会降低作业效率，而且，如图3所示，由于通过上述隔板21使滤材23的上端/下端分离的结构中的接合部分会导致用于过滤的水通过接合部分向外部飞散，因此具有降低过滤效果的问题。
现有技术文献
专利文献
韩国专利公开第10-2005-96850号(公开日：2005年10月06日)。
发明内容
技术问题
为了解决如上所述的现有问题，本发明致力于实现如下的目的：使插入于壳体内部的多个滤材的更换等的维护变得容易，并同时省略滤材的接合部分，以防止水向不必要的方向飞散，从而提高过滤效果。
技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种用于离子气体去除系统的过滤部件，其为淋浴系统中的过滤部件，其特征在于，上述过滤部件包括：多个滤材，形成为朝向下方形成有多个波浪的板形状，且穿孔形成有防飞散孔，并且穿孔形成有多个贯通孔；内壳，贯通插入于上述贯通孔，并设置有相互重叠的多个上述滤材；以及外壳，形成为在两侧具有第一开口部的盒体形状，以供设置有多个上述滤材的上述内壳插入。
并且，优选地，多个上述滤材在插入于上述外壳的状态下，以在后端能够生成20mm以上的高度差部的方式固定设置于上述内壳。
并且，优选地，各个上述波浪的角度以上述滤材顶端作为0°基准倾斜为26°。
发明效果
本发明具有如下的效果：与现有技术不同，通过相互面对的滤材的高度差部，使从喷嘴喷雾的水在上述高度差部的下端集中，从而可轻易地向外部排出；并且通过形成于上述滤材的长孔形状的防飞散孔，使可从上述滤材的下端部排出的优点更加最大化。
并且，与现有技术不同，本发明通过形成于各个滤材的波浪的角度，来缩短空气的流路，从而可以期待减少压力损失的效果。
并且，与现有技术不同，本发明具有将设置有多个滤材的内壳可拆装地与外壳结合的结构，从而可以期待在维护时通过分离上述内壳而可轻易进行对上述滤材的维护的效果。
附图说明
图1为示出现有的离子气体去除系统的图。
图2为示出图1所示的滤材的图。
图3为示出图2所示的滤材的接合部分的图。
图4为示出本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件的组装图的图。
图5为示出本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件的滤材的图。
图6为示出图4所示的本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件的侧视图。
图7为示出本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件的内壳的图。
图8为示出关于图7的其他实施例的图。
图9为示出本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件的外壳的图。
附图标记说明
1 本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件
100 滤材
110 波浪
120 贯通孔
130 防飞散孔
140 高度差部
200 内壳
210 隔板
220 固定杆
300 外壳
310 插入空间部
320 第二开口部
330 台阶部
具体实施方式
以下，通过参照附图对实施例进行说明，将明确理解除上述目的之外的本发明的其他目的及特征，若无其他定义，在此使用的包括技术性及科学性术语在内的所有术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常所理解的含义相同的含义。通常，所使用的事先已定义的术语应解释为与在相关技术的文脉上所具有的含义相同，在本申请中未明确定义的情况下，不应解释为理想化或形式化的含义。
以下，参照附图对本发明的用于离子气体去除系统的过滤部件(以下简称“过滤部件”)进行详细说明。在进行说明之前，本发明中的淋浴系统(WWS)涉及如下的普通的离子气体去除系统，即，根据在半导体或液晶显示器的制造现场的精密加工技术，为了去除外部空气中存在的离子(水溶性)气体，通过以水来向后述的过滤部件1进行喷雾的方式去除离子气体，同时具有加湿的优点，本发明的主旨在于用于上述系统的过滤部件1，为对此进行明确说明，以下将省略有关上述淋浴系统的详细内容(参照图1)。
首先，如图4所示，本发明的过滤部件1大体包括滤材100、内壳200及外壳300。
更详细地说，如图4至图6所示，具有一体型(Bulk type)或分离型(Split type)的上述滤材100为如下的结构：使外部空气与通过构成淋浴系统的喷嘴(未图示)而进行喷雾的水一同流入，来对包含于外部空气中的离子气体进行过滤，并同时可防止所喷雾的水飞散。
如图所示，本发明中的滤材100整体上形成为具有板形状，并在其外表面形成有多个的波浪110(参照图5)，所述多个波浪110具有形成为等间距的向下角度(A/G)。
在滤材100穿孔形成有至少一个以上的贯通孔120，用于贯通插入于后述的内壳200中，优选地，将具有板形状的上述滤材100的防飞散孔130作为中心，以在滤材100的上部/下部相互相邻地配置成一对的方式穿孔形成上述贯通孔120，从而使滤材100与上述内壳200之间的固定力最大化。
在此情况下，优选地，防飞散孔130穿孔形成为沿着垂直方向具有长度的长孔(long type)，以便于将在滤材100的下端部集中的水的水流(W/M)引导往下端部方向。
同时，如图所示，波浪110的角度以滤材100的上端的水平线为0°基准，分别形成具有26°的角度(A/G)，在假设通过相互重叠的上述滤材100之间的外部气体为向配管内流动时，由于因缩短空气的流路而使配管长度缩短的优点，可带来减少压力损失的效果。
作为参考，有关上述内容的配管内压力损失可以利用下列范宁公式(FanningEquation)计算得出。
压力损失＝4f×{(L×ρ×V2)/(D×2×g)}
(f为配管摩擦系数，L为配管长度，ρ为密度，V为流速，D为配管直径，g为重力加速度)
并且，多个滤材100以相互面对重叠的方式插入配置于内壳200中，并且在外壳300内以使后端(以外部空气流入的方向为基准)具有20mm的高度差部140的方式隔开设置，使所喷雾的水在上述高度差部140的下部集中，从而可轻易地向外部排出(参照图6)。
即，如图所示，从滤材100上部喷雾的水可沿着外部空气移动的方向在高度差部140相互轻易地汇聚，并可通过上述高度差部140的下端轻易地向外部排出。
滤材100可使用采用无机物抗菌材料的材质。
另外，不同于现有的滤材，本发明的滤材100是以在用上述滤材100的整体宽度为中心的中间部分未形成接合部分的方式插入设置于后述的内壳200，由此可防止水在相互未对齐的接合部分飞散，从而具有可使所喷雾的水仅通过上述滤材100的下端部排出的效果(参照图3)。
而且，上述内壳200为包括隔板210及固定杆220的结构，以使上述多个滤材100以相互重叠的方式贯通插入，并使多个上述滤材100可轻易地从后述的外壳300分离。
如图7及图8所示，隔板210整体上分别具有板形状，并形成为在重叠地设置滤材100的方向上相互相邻地配置成一对，且可通过固定杆220进行固定的结构，上述一对隔板210中的任一个设置成可与上述固定杆220分离/结合，以便于插入上述滤材100(参照图8)。
同时，本发明中的隔板210虽然在图中示出为三个上述隔板210通过固定杆220以相互间等距的方式固定设置，使多个滤材100相互重叠设置于各个空间部，但是，这仅属于一个实施例，还可以根据需要，通过上述固定杆220来固定设置两个或四个以上的上述隔板210，以形成上述空间部。
同时，如图所示，通过固定杆220固定的隔板210的前端至后端的宽度形成为与后述的外壳300的插入空间部310的宽度相同，且内壳200以形状相符的方式插入固定于上述插入空间部310的结构(参照图4)。
进一步地，其他隔板210设置在构成内壳200的前端和后端的一对隔板210之间，并且还能够设置为可在一对隔板210之间沿着固定杆220的长度方向移动。
固定杆220以与上述贯通孔120面对的方式在水平方向上形成一长度，且其两端固定设置于相互面对的隔板210的外表面(优选为形成内壳的两侧表面的一对隔板)，不仅使多个滤材100沿着长度方向以重叠的方式贯通插入，并且根据需要，也可贯通插入其他隔板210。
而且，如图9所示，上述外壳300为使设置有贯通插入的上述多个滤材100的内壳200以一体方式插入而具有维护便利性的结构。
如图所示，本发明的外壳300在两侧形成有第一开口部，以使包括滤材100的内壳200可拆装，并使外部空气可进出，在任一个第一开口部形成有台阶部330，以限制插入于上述外壳300的内壳200的插入距离。
同时，在外壳300的上表面和下表面穿孔形成有第二开口部320，来通过喷嘴对水进行喷雾以及排出。
以这样的结构形成的本发明的过滤部件1具有如下的清洗效果：与现有技术不同，通过相互面对的滤材100的高度差部140，使从喷嘴喷雾的水在上述高度差部140的下端集中，从而可轻易地向外部排出；并且通过形成于上述滤材100的长孔形状的防飞散孔130，使可从上述滤材100的下端部排出的优点更加最大化。
并且，与现有技术不同，本发明通过形成于各个滤材100的波浪110的角度，来缩短空气流路，从而可以期待减少压力损失的效果。
并且，与现有技术不同，本发明具有将设置有多个滤材100的内壳200可拆装地与外壳300结合的结构，从而可以期待在维护时通过分离上述内壳200而可轻易进行对上述滤材100的维护的效果。
如上所述，通过具体结构要素等的特定事项、限定性的实施例及附图来说明了本发明，但这仅用于帮助提高对于本发明的整体理解，本发明并不限定于上述实施例，只要是本发明所属技术领域的普通技术人员，就能够根据本说明书进行多种修改及变形。
因此，不应以所说明的实施例来对本发明的思想加以限制，且不仅是本发明权利要求的保护范围，与本发明权利要求的保护范围等同或均等的变形也属于本发明的思想范围。

Claims (3)

1.一种利用水喷雾的用于离子气体去除系统的过滤部件，其为淋浴系统中的过滤部件(1)，其特征在于，
上述过滤部件(1)包括：
多个滤材(100)，形成为朝向下方形成有多个波浪(110)的板形状，且穿孔形成有防飞散孔(130)，并且穿孔形成有多个贯通孔(120)；
内壳(200)，贯通插入于上述贯通孔(120)，并设置有相互重叠的多个上述滤材(100)；以及
外壳(300)，形成为在两侧具有第一开口部的盒体形状，以供设置有多个上述滤材(100)的上述内壳(200)插入。
2.根据权利要求1所述的利用水喷雾的用于离子气体去除系统的过滤部件，其特征在于，多个上述滤材(100)在插入于上述外壳(300)的状态下，以在后端能够生成20mm以上的高度差部(140)的方式固定设置于上述内壳(200)。
3.根据权利要求1所述的利用水喷雾的用于离子气体去除系统的过滤部件，其特征在于，各个上述波浪(110)的角度(A/G)以上述滤材(100)顶端作为0°基准倾斜为26°。
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