CN113261308A - 压电换能器 - Google Patents
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Abstract
板状部(121)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第1连接区域(121R)。多个第1连接区域(121R)沿着板状部(121)的外周侧面(121S)的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部(122)具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部(123)连接的多个第2连接区域(122R)。多个第2连接区域(122R)沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部(123)具有如下形状：在从多个第1连接区域(121R)之中的任意的第1连接区域(121R)向板状部(121)的外周侧延伸并通过多个第2连接区域(122R)之中的任意的第2连接区域(122R)的多个虚拟直线(L)上分别由于设置于隔膜部(120)的至少一个槽部(124)而变得不连续。
Description
技术领域
本发明涉及压电换能器。
背景技术
作为公开了换能器(transducer)中的隔膜(membrane)构造的结构的在先文献，有日本特开2006-319712号公报(专利文献1)。在专利文献1记载了静电电容型超声波振子。静电电容型超声波振子将由振子单元构成的振子元件集成而成。振子单元包含硅基板、第1电极、第2电极、隔膜和隔膜支承部。第1电极配设在硅基板的上表面。第2电极与第1电极对置且隔开给定的空隙而配设。隔膜对第2电极进行支承。隔膜支承部对隔膜进行支承。隔膜的端部具有使得比隔膜的中央部相对容易变形的构造。该构造是设置于隔膜的端部的至少一列的槽。隔膜呈大致圆形状，槽是在隔膜周缘部附近设置为大致同心圆状的槽列。多个槽形成为大致圆弧状。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-319712号公报
发明内容
发明要解决的课题
在压电换能器中，隔膜部具有压电体层、上部电极层以及下部电极层的每一个。在形成了这些层时，存在在隔膜部产生残留应力的情况。
在专利文献1记载的隔膜构造中，存在隔膜部的中央部和隔膜支承部通过未设置槽的区域而直线地相互连接的部分。在此情况下，无法通过设置于隔膜部的槽来充分地缓和残留应力，有时在隔膜部产生挠曲，或者，隔膜部向外周侧被拉伸。其结果是，在压电换能器的驱动时，无法使隔膜部以希望的振动模式激励，或者，隔膜部的上下方向的位移量下降。进而，压电换能器的输入输出特性下降。
本发明是鉴于上述的问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够抑制残留应力的影响所造成的输入输出特性的下降的压电换能器。
用于解决课题的手段
基于本发明的压电换能器具备基部和隔膜部。隔膜部被基部间接地支承，位于比基部更靠上侧。隔膜部不与基部重叠。隔膜部包含板状部、基端部和连接部。板状部在从上下方向观察时具有外周侧面。基端部在从上下方向观察时位于板状部的外周侧，具有与板状部同心圆状的圆环状的外形。连接部将板状部和基端部相互连接。板状部具有压电体层、上部电极层和下部电极层。上部电极层配置在压电体层的上侧。下部电极层配置为隔着压电体层而与上部电极层的至少一部分对置。板状部具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部连接的多个第1连接区域。多个第1连接区域沿着板状部的外周侧面的周向而位于相互隔开间隔的位置。基端部具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部连接的多个第2连接区域。多个第2连接区域沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。连接部具有如下形状：在从多个第1连接区域之中的任意的第1连接区域向板状部的外周侧延伸并通过多个第2连接区域之中的任意的第2连接区域的多个虚拟直线上分别由于设置于隔膜部的至少一个槽部而变得不连续。
发明效果
根据本发明，在压电换能器中，能够抑制残留应力的影响所造成的输入输出特性的下降。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式1涉及的压电换能器的结构的俯视图。
图2是从II-II线箭头方向对图1所示的压电换能器进行了观察的剖视图。
图3是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在活性层的上表面设置了下部电极层的状态的剖视图。
图4是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层的上表面设置了压电体层的状态的剖视图。
图5是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在压电体层的上表面设置了上部电极层的状态的剖视图。
图6是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，将上部电极层的一部分形成为上部布线层的状态的剖视图。
图7是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在压电体层形成了槽部的状态的图。
图8是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层形成了槽部的状态的图。
图9是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下侧基部形成了凹部的状态的图。
图10是示出比较例涉及的压电换能器的隔膜部的一部分的俯视图。
图11是示出实施例涉及的压电换能器的隔膜部的一部分的俯视图。
图12是示出本发明的实施方式2涉及的压电换能器的结构的剖视图。
图13是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层形成了槽部的状态的图。
图14是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在活性层形成了槽部的状态的图。
图15是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在下侧基部形成了凹部的状态的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的各实施方式涉及的压电换能器进行说明。在以下的实施方式的说明中，对于图中的相同或相应的部分标注相同的附图标记，不再重复其说明。
(实施方式1)
图1是示出本发明的实施方式1涉及的压电换能器的结构的俯视图。图2是从II-II线箭头方向对图1所示的压电换能器进行了观察的剖视图。
如图1以及图2所示，本发明的实施方式1涉及的压电换能器100具备基部110和隔膜部120。
如图2所示，基部110包含下侧基部111和上侧基部112。上侧基部112层叠在下侧基部111上。在从上下方向观察时，在下侧基部111以及上侧基部112的中央形成有开口部。由此，在本实施方式涉及的压电换能器100中，从下表面侧形成有凹部130。
在本实施方式中，下侧基部111包含Si。上侧基部112包含SiO2。
如图1所示，隔膜部120在从上下方向观察时具有虚拟圆形形状的外形。
如图2所示，隔膜部120被基部110间接地支承，位于比基部110更靠上侧。隔膜部120不与基部110重叠。即，隔膜部120位于凹部130的上方。在本实施方式中，在从上下方向观察时，隔膜部120的端部和凹部130的端部即基部110的内周端部大体一致。
如图2所示，隔膜部120由后述的层叠体构成。层叠体的一部分从隔膜部120向外周侧延伸出。层叠体的延伸出的部分位于基部110的上表面。像这样，隔膜部120被基部110间接地支承。
如图1以及图2所示，隔膜部120包含板状部121、基端部122和连接部123。
如图1所示，板状部121在从上下方向观察时具有外周侧面121S。在本实施方式中，外周侧面121S在从上下方向观察时为圆形状。外周侧面121S在从上下方向观察时也可以为矩形状等多边形状。在本实施方式涉及的压电换能器100中，在驱动时，板状部121在上下方向上位移。
基端部122在从上下方向观察时位于板状部121的外周侧，具有与板状部121同心圆状的圆环状的外形。
连接部123是在从上下方向观察时在隔膜部120中占据从板状部121的外周侧面121S到基端部122之间的区域。连接部123将板状部121和基端部122相互连接。
如图1以及图2所示，在连接部123中形成有槽部124，该槽部124从上表面侧形成为凹状。在本实施方式中，在连接部123形成有多个槽部124。
如图1所示，在本实施方式中，多个槽部124各自形成为沿着板状部121的外周侧面121S的周向而延伸。多个槽部124各自形成为外周侧面121S的径向上的宽度大致固定。
在连接部123中，位于最内周侧的四个槽部124各自沿着上述周向而延伸，并且，位于相互隔开间隔的位置。位于最内周侧的四个槽部124各自配置为在从上下方向观察时内周侧端部位于板状部121的外周侧面121S上。在本实施方式中，位于最内周侧的槽部124形成有四个，但位于最内周侧的槽部124的数量不限于四个，只要是多个即可。
在本实施方式中，在位于最内周侧的四个槽部124的外周侧的同一圆周上相互隔开间隔地配置有四个槽部124，使得相对于位于最内周侧的槽部124在周向上偏移。具体地，配置有四个槽部124，使得对应的槽部124位于间隙部的外周侧的区域，该间隙部位于最内周侧存在的槽部124彼此之间。
在连接部123中，位于最外周侧的四个槽部124各自沿着上述周向而延伸，并且，位于相互隔开间隔的位置。位于最外周侧的四个槽部124各自配置为在从上下方向观察时外周侧端部位于与基端部122的内周侧端部同一圆周上。在本实施方式中，位于最外周侧的槽部124形成有四个，但位于最外周侧的槽部124的数量不限于四个，只要是多个即可。
在本实施方式中，在位于最外周侧的四个槽部124的内周侧的同一圆周上相互隔开间隔地配置有四个槽部124，使得相对于位于最外周侧的槽部124在周向上偏移。具体地，配置有四个槽部124，使得对应的槽部124位于间隙部的内周侧的区域，该间隙部位于最外周侧存在的槽部124彼此之间。
如上所述，在本实施方式中，槽部124配置为网状。另外，在本实施方式中，多个槽部124沿着上述周向配置为4列，但上述周向上的多个槽部124的列数只要为2列以上即可，没有特别限定。即，多个槽部124也可以由位于最内周侧的多个槽部124和位于最外周侧的多个槽部124构成。
如图2所示，在本实施方式中，多个槽部124各自的侧壁面由后述的压电体层以及下部电极层构成。多个槽部124各自的底面由后述的活性层的上表面构成。另外，槽部124也可以在上下方向上贯通隔膜部120。
如上所述，通过在隔膜部120设置有槽部124，从而如图1所示，板状部121具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部123连接的四个第1连接区域121R。四个第1连接区域121R沿着板状部121的外周侧面121S的周向而位于相互隔开间隔的位置。
第1连接区域121R在从上下方向观察时，与连接部123中位于最内周侧存在的槽部124彼此之间的间隙部相邻。另外，第1连接区域121R的数量不限于四个，只要是多个即可。
如图1所示，基端部122具有遍及上下方向的整个厚度而与连接部123连接的四个第2连接区域122R。四个第2连接区域122R沿着上述周向而位于相互隔开间隔的位置。
第2连接区域122R在从上下方向观察时，与连接部123中位于最外周侧存在的槽部124彼此之间的间隙部相邻。另外，第2连接区域122R的数量不限于四个，只要是多个即可。
如图1所示，在本实施方式涉及的压电换能器100中，连接部123具有如下形状：在从四个第1连接区域121R之中的任意的第1连接区域121R向板状部121的外周侧延伸并通过四个第2连接区域122R之中的任意的第2连接区域122R的8条虚拟直线L上分别由于三个槽部124而变得不连续。不过，上述虚拟直线L的数量不限于8条，只要是多个即可。此外，连接部123只要具有在各虚拟直线L上由于至少一个槽部124而变得不连续的形状即可。
接着，对构成板状部121、基端部122以及连接部123各自的层叠体进行说明。
如图2所示，板状部121具有压电体层101、上部电极层102和下部电极层103。
压电体层101在从上下方向观察时配置于整个板状部121。压电体层101既可以由多晶材料构成，也可以由单晶材料构成。压电体层101包含锆钛酸铅(PZT)系陶瓷、氮化铝(A1N)、铌酸锂(LiNbO3)或钽酸锂(LiTaO3)等。
如图2所示，上部电极层102配置在压电体层101的上侧。如图1所示，在从上下方向观察时，上部电极层102具有圆形形状的外形，配置为与板状部121成为同心圆状。上部电极层102在从上下方向观察时也可以具有与板状部121大致相同的外形。
上部电极层102包含Pt等具有导电性的材料。在上部电极层102和压电体层101之间也可以配置有包含Ti等的密接层。
如图2所示，下部电极层103配置为隔着压电体层101而与上部电极层102的至少一部分对置。如图2所示，在本实施方式中，在从上下方向观察时，下部电极层103具有与板状部121的外形大致相同的外形。下部电极层103在从上下方向观察时也可以具有位于比板状部121更靠内侧的外形。
下部电极层103包含Pt等具有导电性的材料。在下部电极层103和压电体层101之间也可以配置有包含Ti等的密接层。
如图2所示，在本实施方式中，板状部121还具有活性层104。活性层104在板状部121中配置在下部电极层103的下侧。在本实施方式中，活性层104包含Si。在下部电极层103和活性层104之间也可以配置有包含SiO2等的绝缘层。
如图1以及图2所示，在本实施方式中，连接部123以及基端部122各自具有从上部电极层102延伸设置的上部布线层102x。如图1所示，上部布线层102x在连接部123中从内周侧一直配设到外周侧，使得绕过多个槽部124。
上部布线层102x在从上下方向观察时，连接于配置在比基端部122更靠外周侧的上部电极焊盘102y。
如图2所示，在本实施方式中，连接部123以及基端部122各自还具有压电体层101、下部电极层103以及活性层104。在这些层中，构成连接部123以及基端部122各自的部分与构成板状部121的部分连续。
如图1以及图2所示，在本实施方式中，包含压电体层101、下部电极层103以及活性层104的层叠体比基端部122更向外侧延伸出，且被基部110支承。
如图1所示，在比基端部122更向外周侧延伸出的压电体层101，形成有用于使配置在下侧的下部电极层103的一部分露出的开口部。
以下，对本发明的实施方式1涉及的压电换能器100的制造方法进行说明。
图3是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在活性层的上表面设置了下部电极层的状态的剖视图。如图3所示，通过剥离(1ift-off)法、镀敷法、或者蚀刻法等，在活性层104的上表面设置下部电极层103。
另外，在本实施方式中，具有下侧基部111、上侧基部112以及活性层104的层叠体作为所谓的SOI(Silicon on Insulator，绝缘体上硅)基板而预先准备。
图4是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层的上表面设置了压电体层的状态的剖视图。如图4所示，通过CVD(Chemical VaporDeposition，化学气相沉积)法或PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)法等，在下部电极层103的上表面设置压电体层101。
图5是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在压电体层的上表面设置了上部电极层的状态的剖视图。如图5所示，通过剥离法、镀敷法、或者蚀刻法等，在压电体层101的上表面设置上部电极层102。
图6是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，将上部电极层的一部分形成为上部布线层的状态的剖视图。如图6所示，通过剥离法或蚀刻法等，将上部电极层102图案化。由此，上部电极层102的外形被划定，并且在压电体层101上设置上部布线层102x以及上部电极焊盘102y。
图7是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在压电体层形成了槽部的状态的图。如图7所示，通过剥离法或蚀刻法等，将压电体层101图案化。由此，在压电体层101形成槽部124。另外，在压电体层101中，也可以与槽部124的形成一起形成用于使下部电极层103露出的开口部。
图8是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层形成了槽部的状态的图。如图8所示，通过剥离法或蚀刻法等，将下部电极层103图案化。由此，在下部电极层103形成槽部124。
图9是示出在本发明的实施方式1涉及的压电换能器的制造方法中，在下侧基部形成了凹部的状态的图。如图9所示，通过从下侧基部111的下表面侧对下侧基部111进行深度反应性离子蚀刻(Deep RIE：Deep Reactive Ion Etching)，从而在下侧基部111中形成凹部130。
进而，通过从上侧基部112的下侧面对上侧基部112进行深度反应性离子蚀刻，从而在上侧基部112中形成凹部130。通过这些工序，可形成本实施方式中的隔膜部120，可制造如图2所示的本发明的实施方式1涉及的压电换能器100。
在此，对本实施方式涉及的压电换能器100的驱动时的动作进行说明。本实施方式涉及的压电换能器100在产生声波或超声波时，在上部电极焊盘102y和所露出的下部电极层103之间施加电压。然后，通过上部布线层102x以及下部电极层103各自而在板状部121中位于被上部电极层102和下部电极层103夹着的位置的压电体层101施加电压。由此，在被上部电极层102、下部电极层103以及活性层104限制的压电体层101产生形变，因此隔膜部120在上下方向上进行弯曲振动。由此，产生声波或超声波。
在本实施方式涉及的压电换能器100对声波或超声波进行检测时，隔膜部120由于声波或超声波而进行弯曲振动从而压电体层101形变，此时由于作用于压电体层101的应力而在压电体层101的内部感应电荷。由此，在上部电极层102与下部电极层103之间产生的电位差从上部电极焊盘102y以及所露出的下部电极层103被检测。像这样，能够通过压电换能器100检测声波或超声波。
在本实施方式涉及的压电换能器100中，通过在连接部123形成有多个槽部124，从而能够缓和在隔膜部120产生的残留应力，具体地，能够抑制在板状部121产生的残留应力通过连接部123而施加于基端部122以及基部110。
以下，基于实施例以及比较例对本实施方式涉及的压电换能器100中的应力缓和的机制进行说明。
图10是示出比较例涉及的压电换能器的隔膜部的一部分的俯视图。如图10所示，比较例涉及的压电换能器900的连接部923具有如下形状：在从第1连接区域921R向板状部921的外周侧延伸并通过第2连接区域922R的虚拟直线L上连续。具体地，连接部923的一部分在板状部921的径向上直线状地延伸，将板状部921的第1连接区域921R和基端部922的第2连接区域922R相互连接。
在比较例涉及的压电换能器900中，在板状部921产生的残留应力S从第1连接区域921R通过直线状地延伸的连接部923的一部分而作用于第2连接区域922R。因此，无法通过设置于隔膜部的槽部924充分地缓和残留应力S，由于残留应力S而在隔膜部产生挠曲或者隔膜部向外周侧被拉伸。
图11是示出实施例涉及的压电换能器的隔膜部的一部分的俯视图。如图11所示，在实施例涉及的压电换能器100e的连接部123中，在从第1连接区域121R向板状部121的外周侧延伸并通过第2连接区域122R的所有的虚拟直线L上配置有至少一个槽部124。即，所有的虚拟直线L与至少一个槽部124交叉。由此，在连接部123不存在将第1连接区域121R和第2连接区域122R直线地连接的部分。
在实施例涉及的压电换能器100e中，在板状部121产生的残留应力S从第1连接区域121R绕过槽部124而作用于第2连接区域122R。如图11所示，在板状部121产生的残留应力S从第1连接区域121R作用于第2连接区域122R时，连接部123中的槽部124周边的部分变形。由于连接部123中的槽部124周边的部分的变形，可降低作用于第2连接区域122R的残留应力S。
像这样，在实施例涉及的压电换能器100e中，使从第1连接区域121R到第2连接区域122R的传递残留应力S的路径变长，并且由于连接部123中的槽部124周边的部分的变形而降低残留应力S，从而能够充分地缓和残留应力S。其结果是，在压电换能器100e中，能够抑制由于残留应力S而在隔膜部产生挠曲或者隔膜部向外周侧被拉伸。
因此，在压电换能器100e的驱动时，能够使隔膜部以希望的振动模式激励，并且能够抑制隔膜部的上下方向的位移量的下降。进而，能够抑制压电换能器100e的输入输出特性的下降。
如上所述，在本实施方式涉及的压电换能器100中，连接部123具有如下形状：在从多个第1连接区域121R之中的任意的第1连接区域121R向板状部121的外周侧延伸并通过多个第2连接区域122R之中的任意的第2连接区域122R的多个虚拟直线L上分别由于设置于隔膜部120的至少一个槽部124而变得不连续。
由此，如上所述，能够通过设置于隔膜部120的槽部124来缓和隔膜部120中的残留应力。其结果是，能够抑制残留应力的影响所造成的压电换能器100的输入输出特性的下降。
在本实施方式涉及的压电换能器100中，槽部124配置为网状。由此，在产生声波或超声波时以及在检测声波或超声波时，隔膜部120容易振动，因此能够提高压电换能器100的灵敏度。
(实施方式2)
以下，对本发明的实施方式2涉及的压电换能器进行说明。本发明的实施方式2涉及的压电换能器与压电换能器100的不同点在于，槽部在上下方向上贯通了隔膜部。因此，关于与本发明的实施方式1涉及的压电换能器100同样的结构不再重复说明。
图12是示出本发明的实施方式2涉及的压电换能器的结构的剖视图。图12所示的压电换能器200的剖视图以与图2所示的压电换能器100的剖视图相同的剖视进行了图示。
如图12所示，在本实施方式涉及的压电换能器200中，槽部224在上下方向上贯通了隔膜部220。多个槽部224各自的侧壁面包含压电体层201、下部电极层203以及活性层204。
以下，对本发明的实施方式2涉及的压电换能器200的制造方法进行说明。
图13是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在下部电极层形成了槽部的状态的图。图13所示的直到在下部电极层203形成槽部224的工序为止的工序与图3至图8所示的本发明的实施方式1涉及的压电换能器100的制造方法相同，因此不再重复说明。
图14是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在活性层形成了槽部的状态的图。如图14所示，通过剥离法或蚀刻法等，将活性层204图案化。由此，在活性层204形成槽部224。
图15是示出在本发明的实施方式2涉及的压电换能器的制造方法中，在下侧基部形成了凹部的状态的图。如图15所示，通过从下侧基部111的下表面侧对下侧基部111进行深度反应性离子蚀刻，从而在下侧基部111中形成凹部230。
进而，通过从上侧基部112的下侧面对上侧基部112进行深度反应性离子蚀刻，从而在上侧基部112中形成凹部230。通过这些工序，可形成本实施方式中的隔膜部220，可制造如图12所示的本发明的实施方式2涉及的压电换能器200。
如上所述，在本实施方式中，槽部224在上下方向上贯通了隔膜部220。由此，连接部223中的槽部224的周边部分变得更容易变形，能够进一步缓和隔膜部220的残留应力。
在上述的实施方式的说明中，也可以将能够组合的结构相互组合。
应当认为，本次公开的实施方式在所有方面均为例示而不是限制性的。本发明的范围不是由上述的说明示出，而是由权利要求书示出，旨在包含与权利要求书均等的含义以及范围内的所有的变更。
附图标记说明
100、100e、200、900 压电换能器，101、201 压电体层，102 上部电极层，102x 上部布线层，102y 上部电极焊盘，103、203 下部电极层，104、204 活性层，110 基部，111 下侧基部，112 上侧基部，120、220 隔膜部，121、921 板状部，121R、921R 第1连接区域，121S外周侧面，122、922 基端部，122R、922R 第2连接区域，123、223、923 连接部，124、224、924 槽部，130、230 凹部，L虚拟直线，S残留应力。
Claims (3)
1.一种压电换能器，具备：
基部；和
隔膜部，被所述基部间接地支承，位于比所述基部更靠上侧，
所述隔膜部不与所述基部重叠，并且，包含：
板状部，在从上下方向观察时，具有外周侧面；
基端部，在从上下方向观察时，位于所述板状部的外周侧，具有与所述板状部同心圆状的圆环状的外形；和
连接部，将所述板状部和所述基端部相互连接，
所述板状部具有：压电体层；上部电极层，配置在该压电体层的上侧；和下部电极层，配置为隔着所述压电体层而与所述上部电极层的至少一部分对置，
所述板状部具有遍及上下方向的整个厚度而与所述连接部连接的多个第1连接区域，
所述多个第1连接区域沿着所述板状部的所述外周侧面的周向而位于相互隔开间隔的位置，
所述基端部具有遍及上下方向的整个厚度而与所述连接部连接的多个第2连接区域，
所述多个第2连接区域沿着所述周向而位于相互隔开间隔的位置，
所述连接部具有如下形状：在从所述多个第1连接区域之中的任意的第1连接区域向所述板状部的外周侧延伸并通过所述多个第2连接区域之中的任意的第2连接区域的多个虚拟直线上分别由于设置于所述隔膜部的至少一个槽部而变得不连续。
2.根据权利要求1所述的压电换能器，其中，
所述槽部配置为网状。
3.根据权利要求1或2所述的压电换能器，其中，
所述槽部在上下方向上贯通了所述隔膜部。
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