CN113203257A - 一种晶元烘烤用烘箱 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶元生产技术领域，尤其是一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体固定设有安装隔板一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述安装板固定设有两个导向柱，所述保温箱体固定设有安装隔板二，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述移动座均固定设有L形安装板，所述L形安装板均固定设有喷风罩，所述喷风罩均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管均固定设有连接管，所述三通固定设有加热组件，所述加热组件固定设有风机，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。本发明在普通烘箱的基础上，设置了往复、升降、调节和保温装置，提高了烘干效果、便捷性、节能性和工作效率。

Description

一种晶元烘烤用烘箱
技术领域
本发明涉及晶元生产技术领域，尤其涉及一种晶元烘烤用烘箱。
背景技术
晶元一般指晶圆，是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。在晶元的生产过程中通常需要用到烘干装置对晶元进行烘烤工作。
但是，传统的晶圆烘烤装置是线性烘烤制程，晶圆依序排列在线性的路径上，依序经机械手臂传输置入烤盘，进行烘烤完成后再经机械手臂传输出烘烤装置，一次只能对一片晶圆进行烘烤，这对晶圆烘烤产率也有较大影响。
发明内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本发明提供了一种晶元烘烤用烘箱，具有往复、升降、调节和保温功能解决了烘干效果不够理想和效率低的问题。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
设计一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体内壁的一侧固定设有安装隔板一，所述安装隔板一的上表面设有两个弧形贯穿滑槽一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述保温箱体和安装隔板一之间固定设有使其产生角度位移的往复装置，所述安装板的上表面固定设有两个导向柱，所述保温箱体内壁远离安装隔板一的一侧固定设有安装隔板二，所述安装隔板二的上表面设有两个弧形贯穿滑槽二，所述弧形贯穿滑槽二的内壁均滑动连接设有滑座，且滑座分别与导向柱固定连接，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述安装板的上表面固定设有使移动座产生位移的驱动组件，所述移动座的一侧均固定设有L形安装板，所述L形安装板的一侧均固定设有喷风罩，所述喷风罩的一侧均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管远离喷风罩的一端均固定设有连接管，两个所述连接管远离伸缩软管的一端依次贯穿安装隔板二和保温箱体并固定设有三通，所述三通的一侧固定设有加热组件，所述加热组件远离三通的一侧固定设有风机，所述安装隔板二上表面的中间设有长形贯穿槽，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述安装隔板二与保温箱体内壁顶部之间固定设有使夹板产生位移的调节组件，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。
优选的，所述弧形贯穿滑槽一和弧形贯穿滑槽二弧度均为°～°之间。
优选的，所述弧形卡槽的内壁均固定设有缓冲橡胶垫。
优选的，所述保温箱体的一侧通过铰链转动连接设有箱门，所述箱门的一侧固定设有观察罩，所述箱门远离观察罩的一侧固定设有控制器组件。
优选的，所述保温箱体的下表面固定设有多个支腿。
优选的，所述往复装置包括电机一，所述电机一与保温箱体的下表面固定连接，所述电机一的输出轴贯穿保温箱体延伸至保温箱体的内部并固定设有转盘，所述转盘上表面的一侧通过转轴转动连接设有推板，所述推板远离转盘的一侧转动连接设有连接座，所述连接座的一侧固定设有套筒，所述套筒的内壁固定设有传动柱，且传动柱的一端与保温箱体内壁的底部转动连接，所述传动柱的一端固定设有连接板，且连接板与安装板固定连接。
优选的，所述驱动组件包括双轴电机，所述双轴电机与安装板固定连接，所述双轴电机的输出轴均固定设有传动杆，所述传动杆均转动连接设有支撑座，且支撑座均与安装板固定连接，所述传动杆远离双轴电机的一端均固定设有锥形齿轮一，所述锥形齿轮一的一侧均齿接设有锥形齿轮二，所述锥形齿轮二均固定设有往复丝杆，且往复丝杆的两端分别与安装板和滑座转动连接，所述往复丝杆分别与移动座螺纹连接。
优选的，所述调节组件包括电机二，所述电机二与保温箱体内壁的顶部固定连接，所述电机二的输出轴固定设有蜗杆，所述蜗杆的一侧齿接设有蜗轮，所述蜗轮固定设有双螺纹丝杆，所述双螺纹丝杆的两端均转动连接设有固定块，且固定块均与安装隔板二固定连接，所述双螺纹丝杆螺纹连接设有两个调节移动块，所述调节移动块分别与夹板固定连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：在保温箱体和箱门的作用下，可以有效的防止热量的散失，提高了能源的利用率；在往复装置的驱动下使安装板开始进行往复旋转，从而使喷风罩进行往复旋转，可以对两个夹板之间的晶元进行全面的吹风，提高烘干效果，在驱动组件的驱动下使移动座带动L形安装板和喷风罩进行上下往复运动，可以对晶元进行针对性的烘干，进一步提升了烘干效果；在调节组件的驱动下，便于工作人员根据需要调节两个夹板之间的距离以满足不同尺寸的晶元，大大提高了本发明的适用性；通过设置观察罩，便于工作人员对晶元的烘干效果进行实时观察；在弧形卡槽的内壁设有缓冲橡胶垫，可以有效的对晶元进行防护，同时也提高晶元与夹板之间的摩擦力，防止出现脱落的现象。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的主视图；
图2为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的正剖视图；
图3为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的侧剖视图；
图4为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的调节组件处主视图；
图5为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的驱动组件处主视图；
图6为本发明提出的一种晶元烘烤用烘箱的往复装置主视图。
图中：1保温箱体、2安装隔板一、3弧形贯穿滑槽一、4安装板、5往复装置、6导向柱、7安装隔板二、8弧形贯穿滑槽二、9滑座、10移动座、11驱动组件、12L形安装板、13喷风罩、14伸缩软管、15连接管、16三通、17加热组件、18风机、19长形贯穿槽、20夹板、21调节组件、22弧形卡槽、23箱门、24观察罩、25控制器组件、26支腿、501电机一、502转盘、503推板、504连接座、505套筒、506传动柱、507连接板、1101双轴电机、1102传动杆、1103支撑座、1104锥形齿轮一、1105锥形齿轮二、1106往复丝杆、2101电机二、2102蜗杆、2103蜗轮、2104双螺纹丝杆、2105固定块、2106调节移动块。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参照图1-6，一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体1，保温箱体1内壁的一侧固定设有安装隔板一2，安装隔板一2的上表面设有两个弧形贯穿滑槽一3，两个弧形贯穿滑槽一3的内壁滑动连接设有安装板4，保温箱体1和安装隔板一2之间固定设有使其产生角度位移的往复装置5，安装板4的上表面固定设有两个导向柱6，保温箱体1内壁远离安装隔板一2的一侧固定设有安装隔板二7，安装隔板二7的上表面设有两个弧形贯穿滑槽二8，弧形贯穿滑槽二8的内壁均滑动连接设有滑座9，且滑座9分别与导向柱6固定连接，导向柱6均滑动连接设有移动座10，安装板4的上表面固定设有使移动座10产生位移的驱动组件11，移动座10的一侧均固定设有L形安装板12，L形安装板12的一侧均固定设有喷风罩13，喷风罩13的一侧均固定设有伸缩软管14，伸缩软管14远离喷风罩13的一端均固定设有连接管15，两个连接管15远离伸缩软管14的一端依次贯穿安装隔板二7和保温箱体1并固定设有三通16，三通16的一侧固定设有加热组件17，加热组件17远离三通16的一侧固定设有风机18，安装隔板二7上表面的中间设有长形贯穿槽19，长形贯穿槽19的内壁滑动连接设有两个夹板20，安装隔板二7与保温箱体1内壁顶部之间固定设有使夹板20产生位移的调节组件21，夹板20均等距离设有多个弧形卡槽22。
具体的，弧形贯穿滑槽一3和弧形贯穿滑槽二8弧度均为150°～170°之间。
具体的，弧形卡槽22的内壁均固定设有缓冲橡胶垫。
具体的，保温箱体1的一侧通过铰链转动连接设有箱门23，箱门23的一侧固定设有观察罩24，箱门23远离观察罩24的一侧固定设有控制器组件25。
具体的，保温箱体1的下表面固定设有多个支腿26。
具体的，往复装置5包括电机一501，电机一501与保温箱体1的下表面固定连接，电机一501的输出轴贯穿保温箱体1延伸至保温箱体1的内部并固定设有转盘502，转盘502上表面的一侧通过转轴转动连接设有推板503，推板503远离转盘502的一侧转动连接设有连接座504，连接座504的一侧固定设有套筒505，套筒505的内壁固定设有传动柱506，且传动柱506的一端与保温箱体1内壁的底部转动连接，传动柱506的一端固定设有连接板507，且连接板507与安装板4固定连接。
具体的，驱动组件11包括双轴电机1101，双轴电机1101与安装板4固定连接，双轴电机1101的输出轴均固定设有传动杆1102，传动杆1102均转动连接设有支撑座1103，且支撑座1103均与安装板4固定连接，传动杆1102远离双轴电机1101的一端均固定设有锥形齿轮一1104，锥形齿轮一1104的一侧均齿接设有锥形齿轮二1105，锥形齿轮二1105均固定设有往复丝杆1106，且往复丝杆1106的两端分别与安装板4和滑座9转动连接，往复丝杆1106分别与移动座10螺纹连接。
具体的，调节组件21包括电机二2101，电机二2101与保温箱体1内壁的顶部固定连接，电机二2101的输出轴固定设有蜗杆2102，蜗杆2102的一侧齿接设有蜗轮2103，蜗轮2103固定设有双螺纹丝杆2104，双螺纹丝杆2104的两端均转动连接设有固定块2105，且固定块2105均与安装隔板二7固定连接，双螺纹丝杆2104螺纹连接设有两个调节移动块2106，调节移动块2106分别与夹板20固定连接。
本发明的使用原理及使用流程：工作人员根据待烘干晶元的尺寸在控制器组件25上输入相关的数据，控制器组件25控制电机二2101开始工作，在蜗杆2102和蜗轮2103的传动下使双螺纹丝杆2104开始旋转，在螺纹的作用下调节移动块2106带动夹板20开始移动，直至将两个夹板20之间的距离调节到适当的位置，然后工作人员打开箱门23，并将晶元逐个插入到弧形卡槽22中，控制器组件25控制调节组件21再次开始工作直至完成对晶元的固定并关闭箱门23，控制器组件25控制加热组件17和风机18开始工作，风机18吹出的风经过加热组件17的加热后依次通过三通16、连接管15和伸缩软管14，最终通过喷风罩13喷出，同时电机一501开始工作使转盘502开始旋转，在推板503和连接座504的带动下使套筒505打动传动柱506开始旋转，连接板507随之带动安装板4进行往复转动，同时根据需要双轴电机1101开始工作使传动杆1102开始旋转，在锥形齿轮一1104和锥形齿轮二1105的传动下使往复丝杆1106开始旋转，在螺纹的作用下移动座10随之带动L形安装板12和喷风罩13进行上下往复运动，对晶元进行烘干工作，在烘烤的过程中工作人员可以通过观察罩24对晶元进行实时观察。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体(1)，其特征在于，所述保温箱体(1)内壁的一侧固定设有安装隔板一(2)，所述安装隔板一(2)的上表面设有两个弧形贯穿滑槽一(3)，两个所述弧形贯穿滑槽一(3)的内壁滑动连接设有安装板(4)，所述保温箱体(1)和安装隔板一(2)之间固定设有使其产生角度位移的往复装置(5)，所述安装板(4)的上表面固定设有两个导向柱(6)，所述保温箱体(1)内壁远离安装隔板一(2)的一侧固定设有安装隔板二(7)，所述安装隔板二(7)的上表面设有两个弧形贯穿滑槽二(8)，所述弧形贯穿滑槽二(8)的内壁均滑动连接设有滑座(9)，且滑座(9)分别与导向柱(6)固定连接，所述导向柱(6)均滑动连接设有移动座(10)，所述安装板(4)的上表面固定设有使移动座(10)产生位移的驱动组件(11)，所述移动座(10)的一侧均固定设有L形安装板(12)，所述L形安装板(12)的一侧均固定设有喷风罩(13)，所述喷风罩(13)的一侧均固定设有伸缩软管(14)，所述伸缩软管(14)远离喷风罩(13)的一端均固定设有连接管(15)，两个所述连接管(15)远离伸缩软管(14)的一端依次贯穿安装隔板二(7)和保温箱体(1)并固定设有三通(16)，所述三通(16)的一侧固定设有加热组件(17)，所述加热组件(17)远离三通(16)的一侧固定设有风机(18)，所述安装隔板二(7)上表面的中间设有长形贯穿槽(19)，所述长形贯穿槽(19)的内壁滑动连接设有两个夹板(20)，所述安装隔板二(7)与保温箱体(1)内壁顶部之间固定设有使夹板(20)产生位移的调节组件(21)，所述夹板(20)均等距离设有多个弧形卡槽(22)。
2.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述弧形贯穿滑槽一(3)和弧形贯穿滑槽二(8)弧度均为150°～170°之间。
3.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述弧形卡槽(22)的内壁均固定设有缓冲橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述保温箱体(1)的一侧通过铰链转动连接设有箱门(23)，所述箱门(23)的一侧固定设有观察罩(24)，所述箱门(23)远离观察罩(24)的一侧固定设有控制器组件(25)。
5.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述保温箱体(1)的下表面固定设有多个支腿(26)。
6.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述往复装置(5)包括电机一(501)，所述电机一(501)与保温箱体(1)的下表面固定连接，所述电机一(501)的输出轴贯穿保温箱体(1)延伸至保温箱体(1)的内部并固定设有转盘(502)，所述转盘(502)上表面的一侧通过转轴转动连接设有推板(503)，所述推板(503)远离转盘(502)的一侧转动连接设有连接座(504)，所述连接座(504)的一侧固定设有套筒(505)，所述套筒(505)的内壁固定设有传动柱(506)，且传动柱(506)的一端与保温箱体(1)内壁的底部转动连接，所述传动柱(506)的一端固定设有连接板(507)，且连接板(507)与安装板(4)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述驱动组件(11)包括双轴电机(1101)，所述双轴电机(1101)与安装板(4)固定连接，所述双轴电机(1101)的输出轴均固定设有传动杆(1102)，所述传动杆(1102)均转动连接设有支撑座(1103)，且支撑座(1103)均与安装板(4)固定连接，所述传动杆(1102)远离双轴电机(1101)的一端均固定设有锥形齿轮一(1104)，所述锥形齿轮一(1104)的一侧均齿接设有锥形齿轮二(1105)，所述锥形齿轮二(1105)均固定设有往复丝杆(1106)，且往复丝杆(1106)的两端分别与安装板(4)和滑座(9)转动连接，所述往复丝杆(1106)分别与移动座(10)螺纹连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述调节组件(21)包括电机二(2101)，所述电机二(2101)与保温箱体(1)内壁的顶部固定连接，所述电机二(2101)的输出轴固定设有蜗杆(2102)，所述蜗杆(2102)的一侧齿接设有蜗轮(2103)，所述蜗轮(2103)固定设有双螺纹丝杆(2104)，所述双螺纹丝杆(2104)的两端均转动连接设有固定块(2105)，且固定块(2105)均与安装隔板二(7)固定连接，所述双螺纹丝杆(2104)螺纹连接设有两个调节移动块(2106)，所述调节移动块(2106)分别与夹板(20)固定连接。
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