CN113132611A - 移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组 - Google Patents

Abstract

一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组，其中，移动单元包括：固定平台；多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

Description

移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组

技术领域

本发明涉及光电成像领域，尤其涉及一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能，例如：实现光学防抖。

光学防抖是依靠特殊的镜头或者感光元件最大程度的降低操作者在使用过程中由于抖动或者物体发生移动造成影像不稳定。目前一种光学防抖技术通常是在镜头内的陀螺仪侦测到微小的移动，并且会将信号传至微处理器立即计算需要补偿的位移量，然后通过补偿镜片组，根据抖动方向及位移量加以补偿，从而有效的克服因相机的振动产生的影像模糊。

还有一些光学防抖技术是在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种移动单元及其驱动方法、电子设备、摄像模组，提高移动单元的行程和移动精度。

为解决上述问题，本发明提供一种移动单元，包括：固定平台；多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中沿所述预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。

可选的，所述位移模块中的所述控制电极等间距排列。

可选的，所述位移模块中，所述控制电极沿所述预设移动方向的间距小于5微米。

可选的，沿预设移动方向上，所述控制电极的尺寸与所述固定电极的尺寸相等。

可选的，沿预设移动方向上，所述固定电极的尺寸小于10微米；沿所述预设移动方向上，所述控制电极的尺寸小于10微米。

可选的，所述位移模块间的间隔等于所述位移模块中所述控制电极间的间隔。

可选的，在垂直于所述固定平台表面的方向上，所述控制电极的底面至所述固定电极的顶面的距离小于5微米。

可选的，所述固定电极间的间距等于所述位移模块间的间距。

可选的，所述移动单元还包括：围壁结构，位于所述可动极板侧部的所述固定平台上；顶部限位结构，位于所述围壁结构的顶部，且悬空延伸至所述可动极板的部分区域上，所述围壁结构、顶部限位结构与所述固定平台围成空腔；所述固定电极、可动极板以及位移模块位于所述空腔中。

可选的，所述移动单元还包括：第一电极引脚，位于所述顶部限位结构的顶部；所述移动单元还包括：可伸缩的第一导线，所述第一导线的一端与所述第一电极引脚相连，所述第一导线的另一端与所述位移模块相连。

可选的，所述第一导线为弹簧状导线。

可选的，所述移动单元还包括：第二电极引脚，位于所述顶部限位结构的顶部；所述移动单元还包括：第二导线，所述第二导线的一端与多个固定电极连接，所述第二导线的另一端与所述第二电极引脚连接。

可选的，所述移动单元还包括：底部限位结构，位于所述固定平台上，用于限定所述可动极板的底部位置。

可选的，在所述预设移动方向上，不同所述位移模块中，相同位序的所述控制电极用同一导线连接。

可选的，所述移动单元还包括：第一绝缘层，位于所述固定电极的顶面；第二绝缘层，位于所述控制电极的底面。

可选的，所述移动单元还包括：第三绝缘层，位于所述固定电极的顶面或者位于所述控制电极的底面。

可选的，所述控制电极和所述固定电极均具有延伸方向，所述控制电极的延伸方向与所述固定电极的延伸方向相同；所述固定电极和控制电极均为条型结构。

可选的，所述固定电极具有延伸方向，所述固定电极包括第一固定电极和第二固定电极，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同；所述位移模块包括第一位移模块和第二位移模块，所述第一位移模块与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块与第二固定电极相对应。

可选的，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向相垂直。

相应的，本发明还提供一种前述的移动单元的驱动方法，包括：执行初始驱动处理，获得所述位移模块中，与所述固定电极正对的控制电极为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极，所述控制电极和固定电极均处于浮接状态；在所述初始驱动处理后，执行一次或多次位移处理，所述位移处理包括：给所述侧对电极加载第一驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极具有静电吸引力，使所述侧对电极移动至所述固定电极的正对位置；所述侧对电极移动至所述固定电极的正对位置后，给所述侧对电极加载第二驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极之间失去静电吸引力，与所述固定电极正对的所述侧对电极作为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极。

可选的，所述第一驱动信号，对所述侧对电极施加第二电位，对所述固定电极施加第一电位，所述侧对电极和固定电极之间具有电位差。

可选的，所述第二驱动信号，对所述侧对电极施加第一电位，使所述侧对电极和固定电极之间不具有电位差。

可选的，所述第二电位高于第一电位。

可选的，所述第二电位和所述第一电位的电位差为5V至100V。

相应的，本发明还提供一种电子设备，包括：被移动部件；本发明提供的移动单元。

可选的，所述被移动部件包括图像传感器、射频发生器、镜片、棱镜、光栅或波导。

相应的，本发明还提供一种摄像模组，包括：被移动部件，所述被移动部件是图像传感器；本发明提供的移动单元，及与所述图像传感器对应的镜头组件。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明实施提供的移动单元，在工作过程中，所述位移模块中，与所述固定电极正对的控制电极为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极，给所述侧对电极加载第一驱动信号，使所述固定电极与所述侧对电极具有静电吸引力，使侧对电极移动至所述固定电极的正对位置，侧对电极移动至所述固定电极的正对位置后，给侧对电极第二驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极之间失去静电吸引力，与所述固定电极正对的所述侧对电极作为正对电极，通过上述的工作步骤，可动极板发生微小的位移，通过重复上述的工作过程，能够使可动极板发生周期性的小步长移动累积以实现较大的位移，且单次移动的步长小，因此，本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

附图说明

图1是本发明移动单元一实施例的结构示意图；

图2是图1中AA方向的剖面图；

图3至图6是本发明驱动方法一实施例中各步骤对应的结构示意图；

图7是本发明电子设备一实施例的结构示意图。

具体实施方式

由背景技术可知，目前的一种光学防抖方法是通过移动镜头或镜片的方式，使得镜头能够对物体成像点发生的位移进行补偿，进而实现光学防抖。

但是，镜头的体积和重量通常均较大，通过使镜头发生位移的方式实现光学防抖也越来越困难。

此外，目前的移动单元或驱动机构难以实现具有较大行程和较高精度的平移。

为了解决所述技术问题，本发明提供一种移动单元，包括：固定平台；多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中沿所述预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。

本发明实施提供的移动单元，在工作过程中，所述位移模块中，与所述固定电极正对的控制电极为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极，给所述侧对电极加载第一驱动信号，使所述固定电极与所述侧对电极具有静电吸引力，使侧对电极移动至所述固定电极的正对位置，侧对电极移动至所述固定电极的正对位置后，给侧对电极第二驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极之间失去静电吸引力，与所述固定电极正对的所述侧对电极作为正对电极，通过上述的工作步骤，可动极板发生微小的位移，通过重复上述的工作过程，能够使可动极板发生周期性的小步长移动累积以实现较大的位移，且单次移动的步长小，因此，本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

参考图1，示出了本发明移动单元一实施例的结构示意图。

本发明实施例提供的移动单元用于移动被移动部件。

所述移动单元包括：固定平台100；多个相间隔的固定电极101，位于所述固定平台100上；可动极板200，悬空设置于所述固定平台100上方；多组相间隔的位移模块300，位于所述可动极板200朝向所述固定电极101的面上，所述位移模块300与所述固定电极101一一对应，所述位移模块300包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极301，所述位移模块300中沿所述预设移动方向间隔排列的所述控制电极301的数量大于或等于三个。

本发明实施提供的移动单元，在工作过程中，所述位移模块300中，与所述固定电极101正对的控制电极301为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极301为侧对电极，给所述侧对电极加载第一驱动信号，所述固定电极101与所述侧对电极具有静电吸引力，使侧对电极移动至所述固定电极101的正对位置，侧对电极移动至所述固定电极101的正对位置后，给侧对电极第二驱动信号，所述侧对电极与所述固定电极101之间失去静电吸引力，与所述固定电极101正对的所述侧对电极作为正对电极，通过上述的工作步骤，可动极板200发生微小的位移，通过重复上述的工作过程，能够使可动极板200发生周期性的小步长移动累积以实现较大的位移，且单次移动的步长小，因此，本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

所述固定平台100用于为移动单元移动被移动部件提供平台。所述固定平台100还用于为固定电极101提供空间位置。

所述固定平台100可以为半导体衬底。本实施例中，所述固定平台100为硅衬底。所述固定平台100可以通过半导体制造工艺形成。在其他实施例中，所述固定平台的材料还可以为锗、锗化硅、碳化硅、砷化镓或镓化铟等其他材料。

固定电极101，位于在所述固定平台100上，在移动单元工作时，所述固定电极101与侧对电极之间产生的静电吸引力，使得可动极板200能够沿预设移动方向移动。

本实施例中，所述固定电极101具有延伸方向。具体的，所述固定电极101为条型结构。

本实施例中，所述固定电极101的材料可以为半导体材料，例如：固定电极101为半导体掺杂层，所述固定电极101可以通过半导体制造工艺形成。其他实施例中，固定电极还可以为金属材料，所述金属材料包括Cu、Al、Ni、Ti、Co或Pt。

需要说明的是，本实施例中，所述固定电极101位于所述固定平台100的顶部，且所述固定电极101的顶面高于所述固定平台的100的顶面。

在移动单元工作时，所述固定电极101和侧对电极具有电位差，使得所述固定电极101和侧对电极之间具有静电吸引力。所述固定电极101的顶面高于所述固定平台的100的顶面，有利于缩短所述固定电极101顶部与所述侧对电极底部之间的距离，使得所述固定电极101和侧对电极之间具有较大的静电吸引力。

需要说明的是，当所述固定电极101和侧对电极中的电位为一正一负时，固定电极101的顶部和侧对电极的底部聚集相反的电荷，此时所述静电吸引力为库仑力。

本实施例中，所述固定电极101等间距的排列在所述固定平台100上。所述固定电极101等间距的排列在所述固定平台100上，在移动单元工作时，所述可动极板200能够平滑的在预设移动方向移动，不易在预设移动方向上出现窜动，使得所述移动单元的稳定性好。

需要说明的是，沿预设移动方向上，所述固定电极101的尺寸不宜过大。若沿预设移动方向上，所述固定电极101的尺寸过大，相应的所述固定平台100中能够设置的固定电极101的数量较小，在移动单元工作时，为使可动极板200能够在预设移动方向移动，单个固定电极101与单个侧对电极之间的静电吸引力较大，所述可动极板200各处受力均匀性较差，可动极板200不能够平稳的在预设移动方向移动，导致所述移动单元的稳定性较差；且若沿预设移动方向上，所述固定电极101的尺寸过大，长时间工作后，在固定电极101与侧对电极静电吸引力的作用下，所述可动极板200易出现弯曲，导致所述移动单元的使用寿命较小。本实施例中，沿预设移动方向上，所述固定电极101的尺寸小于10微米。

所述可动极板200为被移动部件(图中未示出)提供安放空间。

在移动单元工作时，在所述固定电极101和侧对电极静电吸引力的作用下，所述可动极板200能够沿预设移动方向移动，从而能够带动被移动部件沿预设移动方向移动。

本实施例中，可动极板200的材料包括硅。其他实施例中，所述可动极板的材料还可以包括锗、锗化硅、碳化硅、砷化镓或镓化铟等其他材料。

在移动单元工作时，所述位移模块300拖动所述可动极板200沿预设移动方向移动。

所述位移模块300中沿预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个，因此，在移动单元工作时，每个位移模块300中必然包括侧对电极，多组相间隔的位移模块300能够通过侧对电极与固定电极101之间静电吸引力，拖动可动极板200沿预设移动方向移动。

本实施例中，所述控制电极301的材料包括半导体材料，例如：控制电极301为半导体掺杂层，所述控制电极301可以通过半导体制造工艺形成。其他实施例中，所述控制电极的材料还可以为金属材料，所述金属材料包括Cu、Al、Ni、Ti、Co或Pt。

本实施例中，所述控制电极301具有延伸方向。

需要说明的是，所述控制电极301的延伸方向与所述固定电极101的延伸方向相同。相应的，所述控制电极301与所述固定电极101的延伸方向不会相互交叉，从而在移动单元工作时，所述侧对电极和所述固定电极101之间不会沿着侧对电极和固定电极101的交叉中心转动，使得所述侧对电极与固定电极101之间静电吸引力的方向与预设移动方向相同，能够拖动可动极板200沿着预设移动方向稳定的移动。

具体的，所述控制电极301与所述固定电极101相同，均为条型结构。

多组相间隔的位移模块300，位于所述可动极板200朝向所述固定电极101的面上，相应的，所述侧对电极，位于可动极板200朝向所述固定电极101的面上。从而所述侧对电极与所述固定电极101之间的距离较小，有利于使得所述固定电极101与侧对电极之间具有较大的静电吸引力。在移动单元工作时，使得可动极板200能沿预设移动方向移动。

本实施例中，所述位移模块300与所述固定电极100一一对应。在移动单元工作时，每个所述位移模块300中的侧对电极与固定电极101均具有静电吸引力，在移动单元工作时，可动极板200不易沿着预设移动方向发生窜动，有利于使得所述可动极板200平稳的沿预设移动方向移动。

需要说明的是，沿预设移动方向上，所述可控电极301的尺寸不宜过大。若沿预设移动方向上，所述可控电极301的尺寸过大，相应的所述可动极板200中，沿预设移动方向上，能够设置的控制电极301的数量较小，在移动单元工作时，为使可动极板200能够在预设移动方向移动，单个可控电极301与单个侧对电极之间的静电吸引力较大，所述可动极板200各处受力均匀性较差，可动极板200不能够平稳的在预设移动方向移动，导致所述移动单元的稳定性较差；且若沿预设移动方向上，所述可控电极301的尺寸过大，长时间工作后，在固定电极101和侧对电极静电吸引力的作用下，所述可动极板200易出现弯曲，导致所述移动单元的使用寿命较小。本实施例中，沿预设移动方向上，所述可控电极301的尺寸小于10微米。

需要说明的是，在垂直于所述固定平台100表面的方向上，所述控制电极301的底面至所述固定电极101的顶面的距离不宜过大。若所述控制电极301的底面至所述固定电极101的顶面的距离过大，在移动单元工作时，所述固定电极101和所述侧对电极之间的静电吸引力过小，所述侧对电极不易移动至固定电极301的正对位置，相应的，所述侧对电极和所述固定电极101之间的静电吸引力不易拖动可动极板200往预设移动方向移动。本实施例中，在垂直于所述固定平台100表面的方向上，所述控制电极301的底面至所述固定电极101的顶面的距离小于5微米。

需要说明的是，所述位移模块300中，所述控制电极301沿预设移动方向的间距不宜过大。若所述控制电极301沿预设移动方向的间距过大，也就是说，在移动单元工作时，在预设移动方向上，所述固定电极101和侧对电极之间的间距过大，相应的所述固定电极301和所述侧对电极之间的静电吸引力过小，所述侧对电极和所述固定电极301之间的静电吸引力不易将所述侧对电极移动至固定电极301的正对位置，相应的可动极板200不易往预设移动方向移动。本实施例中，所述位移模块300中，所述控制电极301沿预设移动方向的间距小于5微米。

本实施例中，所述位移模块300间的间隔等于所述位移模块300中所述控制电极301间的间隔。在移动单元工作时，在预设移动方向上，所述固定电极101与可动极板200中各个位置处的侧对电极之间的距离较一致，从而沿预设移动方向上，每次可动极板200在侧对电极与固定电极101之间静电吸引力作用下移动时，所述可动极板200受到的力易相一致，使得可动极板200不易沿着预设移动方向发生窜动，有利于使得所述可动极板200平稳的沿预设移动方向移动。

本实施例中，沿预设移动方向上，所述控制电极301的尺寸与所述固定电极101的尺寸相等。在移动单元工作时，在预设移动方向上，可动极板200在侧对电极与固定电极101之间静电吸引力作用下移动时，各个位置处的所述固定电极101和侧对电极之间的静电吸引力所述可动极板200受到的力易相一致，有利于使得侧对电极和固定电极101能够产生稳定的静电吸引力，使得可动极板200不易沿着预设移动方向发生窜动，有利于使得所述可动极板200平稳的沿预设移动方向移动。

本实施例中，沿预设移动方向上，所述位移模块300中的所述控制电极301等间距排列。在移动单元工作时，在预设移动方向上，可动极板200在侧对电极与固定电极101之间静电吸引力作用下移动时，各个位置处的所述固定电极101和侧对电极之间距离相一致，相应的各个位置处的所述固定电极101和侧对电极之间的静电吸引力相一致，有利于使得侧对电极和固定电极101能够产生稳定的静电吸引力，使得可动极板200不易沿着预设移动方向发生窜动，有利于使得所述可动极板200平稳的沿预设移动方向移动。

需要说明的是，所述侧对电极400为不同所述位移模块300中，相同位序的所述控制电极300。

本实施例中，在所述预设移动方向上，不同所述位移模块300中，相同位序的所述控制电极301用同一导线连接。从而移动单元工作时，通过加载第一信号，使得所述位移模块300中相同位序的所述控制电极301能够同时与固定电极101产生静电吸引力，也就是侧对电极和固定电极101之间具有静电吸引力，保证所述可动极板200，在侧对电极和固定电极101之间静电吸引力的作用下稳定的沿着预设移动方向移动。

本实施例中，所述固定电极101间的间距等于所述位移模块300间的间距。移动单元工作时，所述固定电极101与侧对电极之间的距离相同，相应的，所述固定电极101与侧对电极之间的静电吸引力相同，在侧对电极与固定电极101之间静电吸引力的作用下，可动极板200不易沿着预设移动方向发生窜动，有利于使得侧对电极和固定电极101能够产生稳定的静电吸引力。

移动单元还包括：第一绝缘层(图中未示出)，位于所述固定电极101的顶面；第二绝缘层(图中未示出)，位于所述控制电极301的底面。

移动单元工作时，第一绝缘层和所述第二绝缘层用于实现所述控制电极301和所述固定电极101之间的绝缘，对侧对电极加载第一信号时，即使所述侧对电极从可动极板200底部脱落至所述固定电极101上，所述控制电极301和固定电极101之间的电位仍然相反，所述控制电极301和固定电极101之间能够产生稳定的静电吸引力，能够拖动可动极板200沿预设移动方向移动。

本实施例中，所述第一绝缘层和第二绝缘层的材料可以为氧化硅。在其他实施例中，所述第一绝缘层和第二绝缘层的材料还可以为氮化硅、氮氧化硅等其他合适的绝缘材料。

其他实施例中，所述移动单元还包括：第三绝缘层，位于所述固定电极的顶面或者位于所述控制电极的底面。

本实施例中，以所述位移模块300包括三个控制电极301为例。其他实施例中，所述位移模块300还可以包括四个、五个或者六个控制电极301。需要说明的是，可动极板200在预设移动方向上的尺寸一定，所述位移模块300包括的控制电极301的数量越多，可动极板200上能排布的所述位移模块300的数量会降低，相应的与所述位移模块300一一对应的固定电极101的数量会降低，在移动单元工作时，为使可动极板200能够在预设移动方向移动，单个可控电极301与单个侧对电极之间的静电吸引力较大，所述可动极板200各处受力不均匀，可动极板200不能够平稳的在预设移动方向移动，导致所述移动单元的稳定性较差；且长时间工作后，在固定电极101和侧对电极静电吸引力的作用下，所述可动极板200易出现弯曲，导致所述移动单元的使用寿命较小。

所述移动单元还包括：底部限位结构106，位于所述固定平台100上。

所述底部限位结构106用于限定可动极板200的底部位置。

所述底部限位结构106限定可动极板200的底部位置，使得可动极板200悬空于所述固定平台100上。

在移动单元工作时，底部限位结构106避免可动极板200与固定平台100表面黏连在一起，有利于减小底部限位结构106和所述固定平台100表面的摩擦力。

本实施例中，所述底部限位结构106包括限位凸块。

需要说明的是，所述可动极板200朝向固定电极101的面与所述底部限位结构106顶面接触。

所述底部限位结构106在所述固定平台100上的投影与所述固定电极101在所述固定平台100上的投影不重叠。在移动单元工作时，有利于提高所述固定电极101和侧对电极之间的静电吸引力，能够将可动极板200往预设移动方向拖动。

需要说明的是，所述移动单元还包括：围壁结构102，位于所述可动极板200侧部的所述固定平台100上。

在移动单元工作时，所述围壁结构102用于限定所述可动极板200在预设移动方向上的移动范围，防止因可动极板200在预设移动方向移动过多而导致从固定平台100上脱离。

本实施例中，所述围壁结构102的材料包括硅。其他实施例中，所述围壁结构的材料还可以包括锗、锗化硅、碳化硅、砷化镓或镓化铟等其他材料。

所述移动单元还包括：顶部限位结构107，位于所述围壁结构102的顶部，且悬空延伸至所述可动极板200的部分区域上，所述围壁结构102、顶部限位结构107与所述固定平台100围成空腔；所述固定电极101、可动极板200以及位移模块300位于所述空腔中。

在垂直于固定平台100表面法线的方向上，所述顶部限位结构107用于限定可动极板200顶部的位置，使得所述可动极板200不易脱离固定平台100，从而在移动单元工作时，可动极板200能够沿着预设移动方向移动。

在其他实施例中，所述顶部限位结构还可以位于所述可动极板的正上方。

本实施例中，所述顶部限位结构107包括限位封盖。

所述移动单元还包括：第一电极引脚104，位于所述顶部限位结构107的顶部。所述第一电极引脚104，用于将移动单元中的电路与外部电路实现连接。

所述移动单元还包括：可伸缩的第一导线105，所述第一导线105的一端与所述第一电极引脚104相连，所述第一导线105的另一端与所述位移模块300相连。

所述第一导线105将位移模块300与外部电路实现连接。在移动单元工作时，通过第一导线105向所述位移模块300中相同位序的控制电极301施加信号，因为在所述预设移动方向上，不同所述位移模块300中，相同位序的所述控制电极301用同一导线连接，因此能够使得所述位移模块300中相同位序的控制电极301处于同一电位，使得所述位移模块300中相同位序的控制电极301与固定电极101具有静电吸引力，也就是所述侧对电极与所述固定电极101具有静电吸引力，能够拖动可动极板200平稳往预设移动方向移动。

需要说明的是，所述第一导线105可伸缩，与所述第一电极引脚104柔性连接，在可动极板200沿预设移动方向移动的过程中，所述第一导线105仅起到使位移模块300与外部电路柔性电连接的作用，对所述可动极板200产生牵引力较小，不易对可动极板200沿预设移动方向移动造成阻碍。

本实施例中，所述第一导线105为弹簧状导线。

所述移动单元还包括：第二电极引脚103，位于所述顶部限位结构107的顶部。所述第二电极引脚103，用于将移动单元中的电路与外部电路实现连接。

所述移动单元还包括：第二导线108，所述第二导线108的一端与多个固定电极101连接，所述第二导线108的另一端与第二电极引脚103连接。

所述第二导线108将固定电极101与外部电路实现连接。在移动单元工作时，通过外部电路向所述固定电极101提供信号，第二导线104使得所述固定电极101处于同一电位，有利于统一调节所述固定电极101与侧对电极之间静电吸引力的大小。

需要说明的是，如图2所示，图2为图1在AA方向的视图，图2中仅示意出了可动极板200和位移模块300，所述固定电极101包括第一固定电极(图中未示出)和第二固定电极(图中未示出)，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同；所述位移模块300包括第一位移模块310和第二位移模块320；所述第一位移模块310与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块320与所述第二固定电极相对应。

相应的，所述第一位移模块310包括第一控制电极301，所述第二位移模块320包括第二控制电极302。在工作过程中，与所述第一固定电极正对的第一控制电极301作为第一正对电极，与所述第一正对电极相邻且与所述第一位移模块310预设移动方向相反的所述第一控制电极301为第一侧对电极；在工作过程中，与所述第二固定电极正对的第二控制电极302作为第二正对电极，与所述第二正对电极相邻且与所述第二位移模块320预设移动方向相反的所述第二控制电极302为第二侧对电极。

所述移动单元中，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同，所述第一位移模块310与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块320与所述第二固定电极相对应，从而第一位移模块310和第二位移模块320的延伸方向不同，相应的所述第一位移模块310和第二位移模块320的预设移动方向不同，在多个第一位移模块310中的第一正对电极和第一固定电极的作用下，可动极板200沿着所述第一位移模块310的预设移动方向移动；在多个第二位移模块320中的第二正对电极和第二固定电极的作用下，可动极板200沿着所述第二位移模块320的预设移动方向移动，因为所述第一位移模块310和第二位移模块320的预设移动方向不同，因此所述可动极板200能够在可动极板200所在平面中实现二维平面内的位移。而且，在实际的操作过程中，可以通过调整位于固定平台100上不同区域的位移模块300执行移动处理的次数，使得可动极板200能够实现顺时针或逆时针的旋转。

相应的，本发明还提供一种移动单元的驱动方法。参考图1至图6，示出了本发明驱动方法一实施例中各步骤对应的结构示意图。

本发明实施例提供的驱动方法用于驱动本发明提供的移动单元，从而使本发明提供的移动单元能够实现对被移动部件的移动。

通过本发明实施例提供的驱动方法，从而能够使移动单元能够正常工作，采用本发明实施例的驱动方法能够通过使可动极板发生周期性的小步长移动累积以实现较大的位移，且单次移动的步长小，进而使被移动部件实现较大的移动行程，且有利于实现对被移动部件的位移的精确控制。

为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

参考图3，图3是所述移动单元部分区域的结构示意图，执行初始驱动处理，获得所述位移模块300中，与所述固定电极101正对的控制电极301为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极301为侧对电极400，所述控制电极301和固定电极101均处于浮接状态(floating)。

在所述浮接状态下，所述侧对电极400和所述固定电极101之间不具有静电吸引力。所述侧对电极400和所述固定电极101之间不具有静电吸引力，从而所述位移模块300不能拖动所述可动极板200沿预设移动方向移动。

本实施例中，初始驱动处理的过程中，所述固定电极101以及所述控制电极301均处于浮接状态。

参考图4至图6，在所述初始驱动处理后，执行一次或多次位移处理。

所述位移处理使得所述可动极板200能够沿预设移动方向发生微小的位移，通过多次位移处理能够使可动极板200发生周期性的小步长移动累积以实现较大的位移，且单次移动的步长小，因此，本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，有利于实现对被移动部件的位移的精确控制；而且，本发明提供的移动单元适用于半导体工艺制造，还有利于实现批量化生产、较低成本和较高的集成度。

具体的，所述位移处理包括：

如图4和图5所示，给所述侧对电极400加载第一驱动信号500，使所述侧对电极400与所述固定电极101具有静电吸引力，使侧对电极400移动至所述固定电极101的正对位置。

所述第一驱动信号500，对所述侧对电极400施加第二电位，对所述固定电极101施加第一电位，所述侧对电极400与所述固定电极101之间具有电位差。

所述侧对电极400与所述固定电极101之间具有电位差，使得所述侧对电极400与所述固定电极101之间具有静电静电吸引力。

需要说明的是，所述侧对电极400用同一根导电连接。

在所述预设移动方向上，不同所述位移模块300中，相同位序的所述控制电极301用同一导线连接。需要说明的是，所述侧对电极400为不同所述位移模块300中，相同位序的所述控制电极301，从而移动单元工作时，通过加载第一驱动信号500，使得所述侧对电极400处于第二电位，使得固定平台100上的固定电极101处于第一电位，从而使得侧对电极400与固定电极101产生静电电吸引力，使得所述可动极板200，在侧对电极400和固定电极101之间静电吸引力的作用下稳定的沿着预设移动方向移动。

需要说明的是，当所述固定电极101和侧对电极400中的电位为一正一负时，固定电极101的顶部和侧对电极400的底部聚集相反的电荷，此时所述静电吸引力为库仑力。

具体的，所述第一驱动电信号500通过第一电极引脚104和第一导线105传递至所述侧对电极400上，使所述侧对电极400由第一电位变为第二电位。

本实施例中，所述第二电位高于第一电位。其他实施例中，第二电位还可以低于第一电位。

需要说明的是，所述第二电位和所述第一电位的电位差不宜过大也不宜过小。如果所述电位差过小，对所述侧对电极400变为第二电位后，侧对电极400与所述固定电极101之间的静电吸引力难以将可动极板200沿预设移动方向拖动。如果所述电位差过大，容易导致侧对电极400和固定电极101之间的绝缘层被击穿。本实施例中，所述第二电位和所述第一电位的电位差为5V至100V。

需要说明的是，在所述可动极板200沿预设移动方向移动的过程中，所述底部限位结构106使得所述可动极板200，在侧对电极400与固定电极101之间静电吸引力的作用下不会与固定平台100接触，使得所述可动极板200能够平稳的沿预设方向移动。且底部限位结构106还使得可动极板200不直接与固定平台100接触，有利于减小可动极板200移动过程中的摩擦力。

还需要说明的是，在所述侧对电极400和所述固定电极101之间的静电吸引力的作用下，所述可动极板200沿预设移动方向发生移动后，所述第一导线105仅起到柔性电连接的功能，不对可动极板200产生回位拉力。

如图6所示，所述侧对电极400移动至所述固定电极101的正对位置后，给所述侧对电极400加载第二驱动信号600，使所述侧对电极400与所述固定电极101之间失去静电吸引力，与所述固定电极101正对的所述侧对电极400作为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极301为侧对电极400。

所述第二驱动信号600，对所述侧对电极400施加第一电位，使述侧对电极400与所述固定电极101之间不具有电位差。

所述侧对电极400和所述固定电极101的电位相同，从而所述侧对电极400与所述固定电极101之间不具有静电吸引力。

所述侧对电极400与所述固定电极101之间不具有静电吸引力，将与所述固定电极101正对的所述侧对电极400作为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极301作为侧对电极400，便于进行下一个位移处理。

具体的，第二驱动电信号600通过第一电极引脚104和第一导线105传递至所述侧对电极400上使所述侧对电极400的电性由第二电位变为第一电位。

需要说明的是，在所述可动极板200沿预设移动方向移动的过程中，所述底部限位结构106使得所述可动极板200，在侧对电极400与固定电极101之间静电吸引力的作用下不会与固定平台100接触，使得所述可动极板200能够平稳的沿预设方向移动。且底部限位结构106还使得可动极板200不直接与固定平台100接触，有利于减小可动极板200移动过程中的摩擦力。

需要说明的是，本实施例中，所述固定电极101包括第一固定电极和第二固定电极，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同，所述位移模块300包括第一位移模块310和第二位移模块320，所述第一位移模块310包括第一控制电极301，所述第二位移模块320包括第二控制电极302，所述第一位移模块310与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块320与所述第二固定电极相对应。

在初始驱动处理的步骤中，与所述第一固定电极正对的第一控制电极301作为第一正对电极，与所述第一正对电极相邻且与所述第一位移模块310预设移动方向相反的所述第一控制电极301为第一侧对电极；在初始驱动处理的步骤中，与所述第二固定电极正对的第二控制电极302作为第二正对电极，与所述第二正对电极相邻且与所述第二位移模块320预设移动方向相反的所述第二控制电极302为第二侧对电极。

所述移动单元中，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同，所述第一位移模块310与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块320与所述第二固定电极相对应，从而第一位移模块310和第二位移模块320的延伸方向不同，相应的所述第一位移模块310和第二位移模块320的预设移动方向不同。在位移处理的步骤中，可动极板200在多个第一位移模块310中的第一正对电极和第一固定电极的作用下，使得可动极板200沿着所述第一位移模块310的预设移动方向移动，可动极板200在多个第二位移模块320中的第二正对电极和第二固定电极的作用下，使得可动极板200沿着所述第二位移模块320的预设移动方向移动，因为所述第一位移模块310和第二位移模块320的预设移动方向不同，使得所述可动极板200能够在可动极板200所在平面中实现二维平面内的位移。而且，在实际的操作过程中，可以通过调整位于固定平台100上不同区域的位移模块300执行移动处理的次数，使得可动极板200能够实现顺时针或逆时针的旋转。

相应的，本发明实施例还提供一种摄像模组组件，包括：图像传感器；本发明提供的移动单元，所述移动单元用于移动所述图像传感器。

通过采用所述移动单元移动所述图像传感器，从而使得所述图像传感器对成像点发生的位移进行补偿，进而实现光学防抖，且与移动镜头的方式相比，图像传感器的尺寸更小、重量更低，通过移动图像传感器实现光学防抖，有利于节约成本、提高光学防抖的便利性和稳定性，且本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，从而有利于实现对图像传感器的精密平移，进而提高所述成像组件用于光学防抖的有效性和精确性，相应提高成像质量。

相应的，本发明实施例还提供一种电子设备。参考图7，示出了本发明电子设备一实施例的结构示意图。

本发明实施例的电子设备700包括：被移动部件；本发明实施例提供的移动单元。

本实施例中，所述被移动部件包括图像传感器、射频发生器、镜片、棱镜、光栅或波导。

通过本发明实施例提供的移动单元移动所述被移动部件，有利于实现较大的行程和精准的位移，还有利于降低工艺成本，有利于提高用户对所述电子设备700的使用感受度。

所述电子设备可以为中间组件，例如：摄像模组、镜头组件等。

所述电子设备还可以为终端设备，例如：所述电子设备700可以为手机、平板电脑、照相机或摄像机等各种具备拍摄功能的设备。

作为一种示例，当所述被移动部件为图像传感器时，所述电子设备700可以为摄像模组，通过采用所述移动单元移动所述图像传感器，从而使得所述图像传感器对成像点发生的位移进行补偿，进而实现光学防抖，且与移动镜头的方式相比，图像传感器的尺寸更小、重量更低，通过移动图像传感器实现光学防抖，有利于节约成本、提高光学防抖的便利性和稳定性，且本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，从而有利于实现对图像传感器的精密平移，进而提高电子设备用于光学防抖的有效性和精确性，相应提高成像质量。

作为一种示例，当所述电子设备700为具备拍摄功能的终端设备时，本发明实施例的电子设备700中，能够通过移动单元移动图像传感器以实现光学防抖，与移动镜头的方式相比，图像传感器的尺寸更小、重量更低，通过移动图像传感器实现光学防抖，有利于节约成本、提高光学防抖的便利性和稳定性，且本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，从而有利于实现对图像传感器的精密平移，进而提高所述成像组件用于光学防抖的有效性和精确性，相应提高成像质量，例如：提高成像清晰度，相应提高了所述电子设备700的拍摄质量，还有利于提高用户的使用感受度。

相应的，本发明实施例还提供一种摄像模组，包括：被移动部件，所述被移动部件为图像传感器；本发明提供的移动单元，与所述图像传感器对应的镜头组件。

所述被移动部件为图像传感器，因此，本发明实施例提供的移动单元用于移动所述图像传感器，镜头组件与图像传感器对应，位于图像传感器上方，以调节光路，清晰成像；通过采用所述移动单元移动所述图像传感器，从而使得所述图像传感器对成像点发生的位移进行补偿，进而实现光学防抖，且与移动镜头组的方式相比，图像传感器的尺寸更小、重量更低，通过移动图像传感器实现光学防抖，有利于节约成本、提高光学防抖的便利性和稳定性，且本发明提供的移动单元具有行程大、移动精度高的优点，从而有利于实现对图像传感器的精密平移，进而提高所述摄像模组用于光学防抖的有效性和精确性，相应提高成像质量。

具体地，所述图像传感器包括CMOS图像传感器或CCD图像传感器。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (27)

1.一种移动单元，用于移动被移动部件，其特征在于，包括：

固定平台；

多个相间隔的固定电极，位于所述固定平台上；

可动极板，悬空设置于所述固定平台上方；

多组相间隔的位移模块，位于所述可动极板朝向所述固定电极的面上，所述位移模块与所述固定电极一一对应，所述位移模块包括多个沿预设移动方向间隔排列的控制电极，所述位移模块中沿所述预设移动方向间隔排列的所述控制电极的数量大于或等于三个。

2.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述位移模块中的所述控制电极等间距排列。

3.如权利要求1或2所述的移动单元，其特征在于，所述位移模块中，所述控制电极沿所述预设移动方向的间距小于5微米。

4.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，沿预设移动方向上，所述控制电极的尺寸与所述固定电极的尺寸相等。

5.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，沿预设移动方向上，所述固定电极的尺寸小于10微米；

沿所述预设移动方向上，所述控制电极的尺寸小于10微米。

6.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述位移模块间的间隔等于所述位移模块中所述控制电极间的间隔。

7.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，在垂直于所述固定平台表面的方向上，所述控制电极的底面至所述固定电极的顶面的距离小于5微米。

8.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述固定电极间的间距等于所述位移模块间的间距。

9.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：围壁结构，位于所述可动极板侧部的所述固定平台上；

顶部限位结构，位于所述围壁结构的顶部，且悬空延伸至所述可动极板的部分区域上，所述围壁结构、顶部限位结构与所述固定平台围成空腔；

所述固定电极、可动极板以及位移模块位于所述空腔中。

10.如权利要求9所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：第一电极引脚，位于所述顶部限位结构的顶部；

所述移动单元还包括：可伸缩的第一导线，所述第一导线的一端与所述第一电极引脚相连，所述第一导线的另一端与所述位移模块相连。

11.如权利要求10所述的移动单元，其特征在于，所述第一导线为弹簧状导线。

12.如权利要求9所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：第二电极引脚，位于所述顶部限位结构的顶部；

所述移动单元还包括：第二导线，所述第二导线的一端与多个固定电极连接，所述第二导线的另一端与所述第二电极引脚连接。

13.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：底部限位结构，位于所述固定平台上，用于限定所述可动极板的底部位置。

14.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，在所述预设移动方向上，不同所述位移模块中，相同位序的所述控制电极用同一导线连接。

15.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：第一绝缘层，位于所述固定电极的顶面；第二绝缘层，位于所述控制电极的底面。

16.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述移动单元还包括：第三绝缘层，位于所述固定电极的顶面或者位于所述控制电极的底面。

17.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述控制电极和所述固定电极均具有延伸方向，所述控制电极的延伸方向与所述固定电极的延伸方向相同；

所述固定电极和控制电极均为条型结构。

18.如权利要求1所述的移动单元，其特征在于，所述固定电极具有延伸方向，所述固定电极包括第一固定电极和第二固定电极，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向不同；

所述位移模块包括第一位移模块和第二位移模块，所述第一位移模块与所述第一固定电极相对应，所述第二位移模块与第二固定电极相对应。

19.如权利要求18所述的移动单元，其特征在于，所述第一固定电极和第二固定电极的延伸方向相垂直。

20.一种如权利要求1至19任一项所述的移动单元的驱动方法，其特征在于，包括：

执行初始驱动处理，获得所述位移模块中，与所述固定电极正对的控制电极为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极，所述控制电极和固定电极均处于浮接状态；

在所述初始驱动处理后，执行一次或多次位移处理，所述位移处理包括：给所述侧对电极加载第一驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极具有静电吸引力，使所述侧对电极移动至所述固定电极的正对位置；

所述侧对电极移动至所述固定电极的正对位置后，给所述侧对电极加载第二驱动信号，使所述侧对电极与所述固定电极之间失去静电吸引力，与所述固定电极正对的所述侧对电极作为正对电极，与所述正对电极相邻且与所述预设移动方向相反的所述控制电极为侧对电极。

21.如权利要求20所述的驱动方法，其特征在于，所述第一驱动信号，对所述侧对电极施加第二电位，对所述固定电极施加第一电位，所述侧对电极和固定电极之间具有电位差。

22.如权利要求20所述的驱动方法，其特征在于，所述第二驱动信号，对所述侧对电极施加第一电位，使所述侧对电极和固定电极之间不具有电位差。

23.如权利要求21所述的驱动方法，其特征在于，所述第二电位高于第一电位。

24.如权利要求21所述的驱动方法，其特征在于，所述第二电位和所述第一电位的电位差为5V至100V。

25.一种电子设备，其特征在于，包括：

被移动部件；

如权利要求1至19任一项所述的移动单元。

26.如权利要求25所述的电子设备，其特征在于，所述被移动部件包括图像传感器、射频发生器、镜片、棱镜、光栅或波导。

27.一种摄像模组，其特征在于，包括：

被移动部件，所述被移动部件是图像传感器；

如权利要求1至19任一项所述的移动单元；

以及与所述图像传感器对应的镜头组件。

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