CN113091413B - 真空干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空干燥装置及真空干燥方法，所述真空干燥装置包括：壳体，所述壳体包括多个侧壁和设置于所述侧壁上方的盖板；承载台，所述承载台设置于所述壳体内；冷凝器，所述冷凝器设置于所述承载台上方；挡板，与所述壳体可拆卸连接，其中，所述挡板设置于所述侧壁与所述承载台之间和/或所述盖板与所述冷凝器之间。本发明通过在所述侧壁与所述承载台之间和/或所述盖板与所述冷凝器之间安装挡板，可以减少真空干燥制程中吸附于所述壳体内壁上的溶剂液滴和溶质颗粒，减少污染；同时，所述挡板与所述壳体之间可拆卸连接，维护保养时仅需将所述挡板拆卸进行清洁，减少真空干燥装置开腔频率，简化了保养流程，缩短了保养时间。

Description

真空干燥装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种真空干燥装置。

背景技术

有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode，OLED)的成膜方式主要有蒸镀制程和溶液制程。溶液制程中的喷墨打印技术由于其材料利用率较高、可以实现大尺寸化，被认为是大尺寸有机电致发光器件实现量产的重要方式。目前喷墨打印工艺的过程包括喷墨印刷(Ink Jet Printing，IJP)工艺、真空干燥(Vacuum Dehydration，VCD)工艺、烘干(Bake)工艺。

目前真空干燥工艺过程中，腔室内设置有加热板，打印墨水后的待干燥基板放在加热板上方，在待干燥基板上方放一冷凝板，真空腔室抽真空后，加热板开始加热，待干燥基板上墨水中的溶剂开始蒸发并逐渐被冷凝板捕获形成冷凝层。然而，干燥的过程中，墨水中的溶剂大量挥发，溶剂挥发成气态并附着于真空干燥装置的内壁上。长时间使用，真空干燥装置内壁上会累积较多溶剂形成液滴或少量的溶质形成颗粒，需定期保养清洁。大型设备保养时，真空干燥装置上方的盖子拆卸流程复杂，耗时耗力。尤其是用于大尺寸产品的真空干燥装置，盖子放置还需要占用较大空间。

综上所述，现有技术中真空干燥装置存在内壁上附着溶剂液滴或溶质颗粒导致异常，以及设备维保困难繁琐的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种真空干燥装置，用于解决现有技术中的真空干燥装置存在内壁上附着溶剂液滴或溶质颗粒导致异常，以及设备维保困难繁琐等技术问题。

为解决上述问题，第一方面，本发明提供一种真空干燥装置，包括：

壳体，所述壳体包括多个侧壁和设置于所述侧壁上方的盖板；

承载台，所述承载台设置于所述壳体内；

冷凝器，所述冷凝器设置于所述承载台上方；

挡板，与所述壳体可拆卸连接；

其中，所述挡板设置于所述侧壁与所述承载台之间和/或所述盖板与所述冷凝器之间。

在本发明的一些实施例中所述挡板包括至少一个第一挡板和一个第二挡板，任一所述第一挡板与一个所述侧壁平行，所述第二挡板与所述盖板平行。

在本发明的一些实施例中，所述盖板表面开设有至少一个第一放置口，任一所述第一挡板通过一所述第一放置口与所述壳体连接，所述侧壁开设有一个第二放置口，所述第二挡板通过所述第二放置口与所述壳体连接。

在本发明的一些实施例中，所述第一挡板上开设有第一开口，所述第一开口的高度与所述第二放置口的高度相同，所述第二挡板穿过所述第一开口和所述第二放置口。

在本发明的一些实施例中，所述第二挡板的厚度小于或等于所述第一开口的宽度，所述第二挡板的厚度为1mm～10mm，所述第一开口的宽度为1mm～10mm。

在本发明的一些实施例中，所述第二挡板上开设有多个第二开口，任一所述第二开口在所述盖板上的正投影覆盖一个所述第一挡板在所述盖板上的正投影，所述第一挡板穿过所述第一放置口和所述第二开口。

在本发明的一些实施例中，所述第一挡板的厚度小于或等于所述第二开口的宽度，所述第一挡板的厚度为1mm～10mm，所述第二开口的宽度为1mm～10mm。

在本发明的一些实施例中，可拆卸连接包括螺纹连接、卡扣连接和铰链连接中的至少一种。

在本发明的一些实施例中，所述挡板的表面粗糙度小于或等于1um，所述挡板的材料为金属、塑料和大理石中的至少一种

在本发明的一些实施例中，还包括真空气泵，所述壳体包括至少一个抽气口，所述真空气泵通过抽气管道与所述抽气口连接。

相较于现有的真空干燥装置及真空干燥方法，本发明通过在所述侧壁与所述承载台之间和/或所述盖板与所述冷凝器之间安装挡板，可以减少真空干燥制程中吸附于所述壳体内壁上的溶剂液滴和溶质颗粒，减少污染；同时，所述挡板与所述壳体之间可拆卸连接，维护保养时仅需将所述挡板拆卸进行清洁，方便快捷，减少真空干燥装置开腔频率，简化了保养流程，缩短了保养时间，提高了生产效率和产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一个实施例中真空干燥装置的结构示意图；

图2A～2B为本发明一个实施例中真空干燥装置的俯视图；

图3为本发明一个实施例中挡板的示意图；

图4为本发明一个实施例中真空干燥方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。

现有技术中真空干燥装置存在内壁上附着溶剂液滴或溶质颗粒导致异常，以及设备维保困难繁琐的技术问题。

基于此，本发明实施例提供一种真空干燥装置及真空干燥方法。以下分别进行详细说明。

如图1所示，图1为本发明一个实施例中真空干燥装置的结构示意图。首先，本发明实施例提供一种真空干燥装置，所述真空干燥装置，包括：

壳体11，所述壳体11包括多个侧壁111和设置于所述侧壁111上方的盖板112；

承载台13，所述承载台13设置于所述壳体11内；

冷凝器14，所述冷凝器14设置于所述承载台13上方；

挡板12，与所述壳体11可拆卸连接；

其中，所述挡板12设置于所述侧壁111与所述承载台13之间和/或所述盖板112与所述冷凝器14之间。

相较于现有的真空干燥装置及真空干燥方法，本发明通过在所述侧壁111与所述承载台13之间和/或所述盖板112与所述冷凝器14之间安装挡板12，可以减少真空干燥制程中吸附于所述壳体11内壁上的溶剂液滴和溶质颗粒，减少污染；同时，所述挡板12与所述壳体11之间可拆卸连接，维护保养时仅需将所述挡板12拆卸进行清洁，方便快捷，减少真空干燥装置开腔频率，简化了保养流程，缩短了保养时间，提高了生产效率和产品质量。

在上述实施例的基础上，可拆卸连接包括螺纹连接、卡扣连接和铰链连接中的至少一种。在本实施例中，如图2A～2B所示，图2A～2B为一个实施例中真空干燥装置的俯视图。如图2A为真空干燥装置安装挡板前的俯视图。所述壳体11顶部开设有放置口112a，与所述顶部相对的，所述壳体11底部设置有卡槽112b，所述挡板12的一端穿过所述放置口112a固定在所述卡槽112b内，所述卡槽112b设计为越靠近底部宽度约小的渐变式结构，对所述挡板12起到限位作用。所述挡板12的另一端靠近所述放置口112a，且与所述壳体11进行可拆卸连接。可以理解的是，此处以所述壳体11顶部开设有放置口112a举例，所述放置口112a还可以开设于所述壳体的侧面。

如图2B为真空干燥装置安装挡板后的俯视图。所述挡板12为T字型结构，所述挡板12的腹板完全伸入所述容纳空间内，所述挡板12的翼缘与所述壳体11通过螺钉或者螺栓固定。进一步的，所述挡板12的翼缘的正投影与所述放置口112a的正投影重合。所述挡板12安装后，正好堵住所述壳体11的放置口112a，防止后续抽真空的过程中所述壳体11漏气。可以理解的是，此处以螺纹连接举例，卡扣连接和铰链连接同理。

在优选的实施例中，所述挡板12的表面粗糙度小于等于1um，所述挡板12的材料为金属、塑料和大理石中的至少一种。在本实施例中，为了避免溶剂液滴和溶质颗粒难以去除，所述挡板12朝向所述容纳空间的一侧进行抛光处理，处理后所述挡板12的表面粗糙度Ra≤1um。所述挡板12的材质选用具有一定机械强度且易于加工的材料，如金属、塑料或者大理石等。

所述壳体11的形状包括但不限于圆柱型壳体、立方体型壳体和曲面型壳体。在本发明实施例中，以立方体型壳体举例，所述壳体11包括多个侧壁111和设置于所述侧壁111上方的盖板112，所述挡板12包括多个第一挡板121和一个第二挡板122，任一所述第一挡板121与一个所述侧壁111平行，所述第二挡板122与所述盖板112平行，任一所述第一挡板121与所述第二挡板122垂直。

在本实施例中，所述壳体11的盖板112上开设有至少一个第一放置口112a，所述盖板112上的第一放置口112a与所述第一挡板121一一对应，每个所述第一挡板121穿过一个所述盖板112上的第一放置口112a并与所述壳体11可拆卸连接。

可以理解的是，所述壳体11的侧壁上111上也开设有一个第二放置口，所述第二挡板122也穿过所述侧壁111上的第二放置口并与所述壳体11可拆卸连接。所述第一挡板121与所述第二挡板122之间垂直交错。

所述真空干燥装置还包括承载台13和冷凝器14，所述承载台13设置于所述壳体11内部，所述冷凝器14设置于所述承载台13上方，所述第一挡板121设置于所述侧壁111与所述承载台13之间，所述第二挡板122设置于所述盖板112与所述冷凝器14之间，所述承载台13包括吸盘。在本实施例中，显示基板放置于所述承载台13上，并通过所述吸盘吸附所述显示基板固定，避免所述显示基板滑片。所述显示基板与所述壳体11的侧壁111之间设置有所述第一挡板121，所述显示基板与所述壳体11的盖板112之间设置有所述第二挡板122，从而避免所述显示基板上的墨水挥发至所述壳体11的侧壁111和盖板112上。

在上述实施例中，由于所述第一挡板121与所述第二挡板122相互交错，为避免干扰。本发明实施例还提供一种对所述挡板12进一步优化的技术方案，所述第一挡板121上开设有第一开口，所述第一开口的高度与所述第二放置口的高度相同，所述第二挡板122穿过所述第一开口和所述第二放置口。所述第一挡板121上的第一开口的面积大于或等于所述第二挡板122的截面面积，所述第二挡板的厚度小于或等于所述第一开口的宽度，所述第二挡板的厚度为1mm～10mm，所述第一开口的宽度为1mm～10mm，且约束了高度位置相对应，使得所述第二挡板122得以顺利穿过所述第一开口和所述第二放置口。

在本发明另一个实施例中，所述第二挡板122上开设有多个第二开口，任一所述第二开口在所述盖板112上的正投影覆盖一个所述第一挡板121在所述盖板112上的正投影，所述第一挡板121穿过所述第一放置口112a和所述第二开口。所述第二开口的面积大于或等于所述第一挡板121的截面面积。所述第一挡板121的厚度小于或等于所述第二开口的宽度，所述第一挡板的厚度为1mm～10mm，所述第二开口的宽度为1mm～10mm，且约束了投影位置相对应，使得所述第一挡板121得以顺利穿过所述第二开口和所述第一放置口112a。

在本实施例中，如图3所示，图3为本发明一个实施例中挡板的示意图。在所述第一挡板121上的交错处开口处理，开设有一个可以容纳所述第二挡板122穿过的第一开口，故所述第一开口的面积需大于或等于所述第二挡板122的截面面积。在实际生产中，由于制造误差，通过使得所述第一开口的面积略大于所述第二挡板122的截面面积。所述第一开口的高度与所述第二挡板122的高度相同。

可以理解的是，本实施例中以在所述第一挡板121上的第一开口为例，实际上在另一个实施例中，还可以在所述第二挡板122上开口。在所述第二挡板122的多个交错处分别开口处理，开设多个第二开口，每个所述第二开口可以容纳一个所述第一挡板121穿过，故所述开口的面积需大于或等于所述第一挡板121的截面面积。在实际生产中，由于制造误差，通过使得所述开口的面积略大于所述第一挡板121的截面面积。任一个所述开口距离所述壳体11的侧壁111的距离与一个所述第一挡板121距离所述壳体11的侧壁111的距离相同。

值得一提的是，若是在所述第一挡板121上开口，则是在每个所述第一挡板121上开设一个开口；若是在所述第二挡板122上开口，则是在一个所述第二挡板122上开设多个开口，所述开口的数量与所述第一挡板121的数量相同。

进一步的，所述挡板12的厚度H优选为1mm～10mm，所述开口的宽度D优选为1mm～10mm。在本实施例中，此处所述挡板12的厚度H为位于所述容纳空间内且穿过所述开口的部分的厚度，当所述挡板12为T字型结构时，所述腹板的厚度H优选为1mm～10mm。由于所述挡板12的翼缘未进入所述壳体11的容纳空间内，对所述翼缘的关键尺寸不做严格限定。但为了保证所述壳体11在抽气阶段的气密性，所述翼缘的形状和尺寸仍需与所述壳体11的放置口112a的形状和尺寸相匹配。

所述真空干燥装置还包括真空气泵，所述壳体11包括至少一个抽气口15，所述真空气泵通过抽气管道与所述抽气口15连接。在本实施例中，所述真空气泵进行抽气，在所述壳体11内形成负压，排出所述壳体11内悬浮的溶剂和溶质。同时，为了所述壳体11内的气压均匀，避免所述显示基板上不同位置的墨水挥发程度不同。当所述壳体11为立方体型壳体时，所述壳体11设置有四个所述抽气口15，分别分布于所述壳体11底部的四角处，四个所述抽气口15同时抽气。

为了更好地实施本发明实施例中的真空干燥装置，在所述真空干燥装置的基础之上，本发明实施例中还提供一种真空干燥方法，所述真空干燥方法应用于如上述实施例中所述的真空干燥装置。

如图4所示，图4为本发明一个实施例中真空干燥方法的流程图。所述真空干燥方法，用于干燥显示基板，包括以下步骤：

S1、提供一壳体11，所述壳体11具有一容纳空间；

S2、在所述壳体11朝向所述容纳空间的一侧设置挡板12；

具体的，在所述壳体11朝向所述容纳空间的一侧设置挡板12的步骤中S2包括：

S201、提供第一挡板121和第二挡板122，所述第一挡板121上开设有开口，所述壳体11包括侧壁111和设置于所述侧壁111上方的盖板112；

S202、在所述侧壁111朝向所述容纳空间的一侧设置所述第一挡板121；

S203、在所述盖板112朝向所述容纳空间的一侧设置所述第二挡板122，所述第二挡板122穿过所述第一挡板121的开口。

值得一提的是，在本实施例以在所述第一挡板121上开设开口为例，在本发明的另一个实施例中，所述真空干燥方法包括在所述第二挡板122上开设开口。

S3、在所述挡板12与所述壳体11之间进行可拆卸连接。

具体的，在所述挡板12与所述壳体11之间进行可拆卸连接的步骤S3中包括：在所述挡板12与所述壳体11之间进行螺纹连接、卡扣连接和铰链连接中的至少一种。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。具体实施时，以上各个单元或结构可以作为独立的实体来实现，也可以进行任意组合，作为同一或若干个实体来实现，以上各个单元、结构或操作的具体实施可参见前面的方法实施例，在此不再赘述。

以上对本发明实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (5)

1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体包括多个侧壁和设置于所述侧壁上方的盖板；

承载台，所述承载台设置于所述壳体内；

冷凝器，所述冷凝器设置于所述承载台上方；

挡板，与所述壳体可拆卸连接；

其中，所述挡板设置于所述侧壁与所述承载台之间和所述盖板与所述冷凝器之间；

所述挡板包括至少一个第一挡板和一个第二挡板，任一所述第一挡板与一个所述侧壁平行，所述第二挡板与所述盖板平行；

所述盖板表面开设有至少一个第一放置口，任一所述第一挡板通过一所述第一放置口与所述壳体连接，所述侧壁开设有一个第二放置口，所述第二挡板通过所述第二放置口与所述壳体连接；

所述第一挡板和所述第二挡板为T字型结构，所述第一挡板和所述第二挡板的腹板完全伸入所述壳体内，所述第一挡板和所述第二挡板的翼缘与所述壳体通过螺钉或者螺栓固定；

所述第一挡板的所述翼缘的正投影与第一放置口的正投影重合；

所述第二挡板的所述翼缘的正投影与第二放置口的正投影重合；

所述第一挡板上开设有第一开口，所述第一开口的高度与所述第二放置口的高度相同，所述第二挡板穿过所述第一开口和所述第二放置口；

所述第二挡板上开设有多个第二开口，任一所述第二开口在所述盖板上的正投影覆盖一个所述第一挡板在所述盖板上的正投影，所述第一挡板穿过所述第一放置口和所述第二开口。

2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第二挡板的厚度小于或等于所述第一开口的宽度，所述第二挡板的厚度为1mm～10mm，所述第一开口的宽度为1mm～10mm。

3.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一挡板的厚度小于或等于所述第二开口的宽度，所述第一挡板的厚度为1mm～10mm，所述第二开口的宽度为1mm～10mm。

4.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述挡板的表面粗糙度小于或等于1um，所述挡板的材料为金属、塑料和大理石中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括真空气泵，所述壳体包括至少一个抽气口，所述真空气泵通过抽气管道与所述抽气口连接。

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