CN113075241A - 中子成像和x射线成像系统、方法以及装置 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例公开了一种中子成像和X射线成像系统、方法以及装置。成像系统包括X射线源、X射线探测器、样品台、中子源和中子探测器。X射线源向样品发射X射线束线；X射线探测器与X射线源相对设置；样品台设置于X射线源和X射线探测器之间，样品放置于样品台上，样品台调整样品的姿态；中子源设置于样品台的一侧，中子源向样品发射中子束线；中子探测器设置于样品台的另一侧，并与中子源相对设置；X射线源和X射线探测器所在直线方向与中子源和中子探测器所在直线方向成角度设置。这种成像系统可以实现对同一样品同时进行中子成像和X射线成像，可以获得被测样品更全面的信息。

Description

中子成像和X射线成像系统、方法以及装置

技术领域

本发明的实施例涉及射线成像技术领域，具体涉及一种中子成像和X射线成像系统、方法以及装置。

背景技术

中子成像和X射线成像是基于射线穿过被检测样品时强度上的衰减变化，对被检测样品进行透视成像，获取被检测样品的图像信息。但是，中子成像和X射线成像的原理不同，导致它们所能检测的样品种类和检测到的样品信息不同。目前，X射线成像技术主要用于检测样品中的高密度材料，中子成像技术主要用于检测样品轻元素，仅仅使用X射线成像技术或中子成像技术无法获得被检测样品的全面的图像信息。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的中子成像和X射线成像系统、方法以及装置。

根据本发明的第一个方面，提供了一种用于对样品进行中子成像和X射线成像的成像系统，包括：X射线源，所述X射线源向所述样品发射X射线束线；X射线探测器，所述X射线探测器与所述X射线源相对设置；样品台，所述样品台设置于所述X射线源和所述X射线探测器之间，所述样品放置于所述样品台上，所述样品台调整所述样品的姿态；中子源，所述中子源设置于所述样品台的一侧，所述中子源向所述样品发射中子束线；中子探测器，所述中子探测器设置于所述样品台的另一侧，并与所述中子源相对设置；其中，所述X射线源和所述X射线探测器所在直线方向与所述中子源和所述中子探测器所在直线方向成角度设置。

可选地，所述X射线束线为锥束X射线。

可选地，所述X射线探测器为平板探测器，接收所述锥束X射线。

可选地，所述样品台设有转台，用于所述样品水平旋转。

可选地，所述样品台设有倾角台，所述倾角台的倾斜角度可调节。

可选地，所述成像系统还包括调整装置，所述X射线源和所述X射线探测器固定于所述调整装置，所述调整装置调整所述X射线源和所述X射线探测器的姿态，并且使得所述X射线源和所述X射线探测器同步围绕所述样品转动。

可选地，所述调整装置包括：主体，所述主体包括第一立柱、第二立柱和横梁，所述横梁的一端连接于所述第一立柱的一端，所述横梁的另一端连接于所述第二立柱的一端；第一支架，所述第一支架的一端可移动地固定于所述第一立柱上，所述第一支架的另一端可移动地固定于所述第二立柱上；第二支架，所述第二支架的中部同轴连接于所述第一支架的中部，所述X射线源固定于所述第二支架的一端，所述X射线探测器固定于所述第二支架的另一端。

可选地，所述第二支架固定有所述X射线探测器的一端设有调节手轮，所述调节手轮调节所述X射线探测器和所述X射线源之间的距离，并调节所述X射线探测器的设置姿态。

可选地，所述第一支架中部设有旋转手轮，操作所述旋转手轮，使得所述第二支架绕所述轴旋转摆动，带动固定于所述第二支架两端的所述X射线源和所述X射线探测器同步围绕所述样品转动。

可选地，所述第一立柱和所述第二立柱的一端设有可调节脚轮，调节所述调整装置的高度，并移动所述调整装置。

可选地，所述调整装置还包括调节件，所述调节件设置于所述第二立柱上，调节所述第一支架的高度。

可选地，所述成像系统还包括支撑装置，所述X射线源和所述X射线探测器放置于所述支撑装置。

根据本发明的第二个方面，提供了一种对样品进行中子成像和X射线成像的方法，包括：预先规划对所述样品进行扫描的时序；按照所述预先规划的扫描时序对所述样品进行扫描；采集扫描的所述样品的数据；利用所述扫描的数据重新构建所述样品的图像信息。

可选地，所述方法还包括：按照所述预先规划的扫描时序控制对所述样品进行扫描的位置和运动速度。

可选地，所述方法还包括：在对所述样品进行扫描前，对扫描的设置姿态进行校正。

根据本发明的第三个方面，提供了一种对样品进行中子成像和X射线成像的装置，包括：预设模块，所述预设模块预先规划对所述样品进行扫描的时序；扫描模块，所述扫描模块按照所述预先规划的扫描时序对所述样品进行扫描；采集模块，所述采集模块采集扫描的所述样品的数据；重建模块，所述重建模块利用所述扫描的数据重新构建所述样品的图像信息。

可选地，所述装置还包括控制模块，所述控制模块按照所述预先规划的扫描时序控制所述扫描模块的位置和运动速度。

可选地，所述装置还包括校正模块，所述校正模块对所述扫描模块的姿态设置进行校正。

与现有技术相比，本发明提供的中子成像和X射线成像系统、方法以及装置可以实现对同一样品同时进行中子成像和X射线成像，可以获得被测样品更全面的信息。

附图说明

通过下文中参照附图对本发明所作的描述，本发明的其它目的和优点将显而易见，并可帮助对本发明有全面的理解。

图1是根据本发明的一个实施例的中子成像和X射线成像系统的示意图；

图2是图1所示的中子成像和X射线成像系统在一个预设角度时的俯视图；

图3是图1所示的中子成像和X射线成像系统在另一个预设角度时的俯视图；

图4是根据本发明的一个实施例的调整装置的结构示意图。

应该注意的是，附图并未按比例绘制，并且出于说明目的，在整个附图中类似结构或功能的元素通常用类似的附图标记来表示。还应该注意的是，附图只是为了便于描述优选实施例，而不是本发明本身。附图没有示出所描述的实施例的每个方面，并且不限制本发明的范围。

图中，10为X射线源，20为X射线探测器，30为样品台，40为中子源，50为中子探测器，60为调整装置，70为支撑装置，61为主体，62为第一支架，63为第二支架，611为第一立柱，612为第二立柱，613为横梁，621为旋转手轮，631为调节手轮。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一个实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

除非另外定义，本发明使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括但不限于一个或者更多个所述特征。

本发明的实施例提供了一种中子成像和X射线成像系统，中子成像技术和X射线成像技术都是基于射线穿过被检测样品时强度上的衰减变化，对被检测样品进行透视成像，获取被检测样品的综合信息。但是中子和X射线与物质发生作用的原理不同，中子与物质的原子核相互作用，而X射线与物质原子核外的电子相互作用，物质的核外电子数越多，与X射线作用的截面越大。中子和X射线与物质发生作用的原理不同，也就意味着中子成像技术和X射线成像技术能够检测的信息不同，中子成像技术在检测含轻元素的材料、原子序数相近元素、同位素、放射性材料等方面具有优势，X射线成像技术在检测金属材料、高密度物质等方面具有优势，因此，对被检测样品同时进行中子成像和X射线成像，有利于获得被检测样品更全面的图像信息，有助于准确了解被检测样品的结构、材质和质量信息等。图1是根据本发明的一个实施例的中子成像和X射线成像系统的示意图，中子成像和X射线成像系统包括X射线源10、X射线探测器20、样品台30、中子源40和中子探测器50。

X射线源10向样品发射X射线束线；X射线探测器20与X射线源10相对设置；样品台30设置于X射线源10和X射线探测器20之间，样品放置于样品台30上，样品台30调整样品的姿态；中子源40设置于样品台30的一侧，中子源40向样品发射中子束线；中子探测器50设置于样品台30的另一侧，并与中子源40相对设置；X射线源10和X射线探测器20所在直线方向与中子源40和中子探测器50所在直线方向成角度设置。

在本发明的实施例中，X射线源10向样品发射X射线束线，X射线探测器探测到经过样品的X射线束线并记录下来表现在X射线图像上。中子源40向样品发射中子束线，中子探测器50探测到经过样品的中子束线并记录下来表现在图像上。X射线源10所发射的X射线束线所在方向与中子源40所发射的中子束线所在方向成角度，也就是说，X射线束线不会阻挡中子束线，中子束线也不会阻挡X射线束线。此种位置设置使得对同一样品的中子成像和X射线成像在不同的投影坐标系下可以同时完成，使得中子成像和X射线成像两种独立成像模式在时间上和空间位置上一致，对被检测样品的图像信息的获取更加准确，能得到高质量的图像信息，并且X射线成像和中子成像两种成像模式不会相互阻挡束线，避免相互干扰。

图2是图1所示的中子成像和X射线成像系统在一个预设角度时的俯视图，图3是图1所示的中子成像和X射线成像系统在另一个预设角度时的俯视图，参见图2和图3，X射线源10和X射线探测器20所在直线方向与中子源40和中子探测器50所在直线方向成角度设置，使得两种成像模式在不同的投影坐标系下对样品进行成像，用于避免两种成像模式之间相互干扰。在一些实施例中，X射线源10和X射线探测器20所在直线方向与中子源40和中子探测器50所在直线方向成90°设置，如图2所示。在另一些实施例中，X射线源10和X射线探测器20所在直线方向与中子源40和中子探测器50所在直线方向所成角度成45°设置，如图3所示。本领域技术人员可以理解地，X射线源10和X射线探测器20所在直线方向与中子源40和中子探测器50所在直线方向所成角度可以根据实际情况的不同通过调整X射线源10、X射线探测器20、中子源40和/或中子探测器50的位置来设置不同的角度。

X射线源10向样品发射的X射线束线可以为锥束X射线，锥束X射线成像技术可以为锥束CT(Computed Tomography，X射线计算机断层成像)成像和数字合成体层成像，锥束CT通过锥形束X射线光源和平板探测器同步地沿圆形扫描轨迹采集不同投影角度下物体的投影数据，并利用采集的投影数据准确地重建物体内部组织的三维图像信息，锥束CT具有扫描成像速度快、X射线利用效率高、空间成像分辨率高以及直接获得组织三维重建图像等优点。数字合成体层成像技术是一种新型锥束X射线成像技术，该技术以传统断层成像和锥束CT成像为理论基础，只需要在有限扫描角度下采集有限投影数据即可重建样品的图像信息。X射线成像方法还可以是X射线摄影成像和传统X射线断层成像，由于这些方法本身是本领域技术人员所习知的，在此不做赘述。可选地，本发明的实施例选用数字合成体层成像技术对被检测样品进行成像。

X射线探测器20可以为平板探测器，锥束X射线成像技术区别于传统CT成像技术的一个重要特点就是采用平板探测器对被检测样品进行扫描，平板探测器对成像质量起着决定性的作用，采用平板探测器有助于提高成像质量和减少X射线辐射计量。锥束X射线成像技术中所采用的平板探测器可以是电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)型探测器和薄膜场效应晶体管(Thin Film Transistor，TFT)型探测器，其中薄膜场效应晶体管型探测器可以是非晶硅平板探测器和非晶硒平板探测器，由于这些探测器本身是本领域技术人员所习知的，在此不做赘述。

X射线成像系统可以是基于X射线像增强器的成像系统、基于X射线线阵成像器件的成像系统和基于X射线面阵成像器件的成像系统。基于像增强器的成像系统的成像器件是X射线像增强器，用于将接收到的X射线束线转换为可见光的图像。线阵成像系统的成像器件是线阵探测器，线阵探测器所成的像为一条线，因此在利用线阵成像系统对被检测样品进行检测时，需要精密的机械扫描系统才能形成一幅完整的图像，使得整个线阵成像系统的空间体积变大。面阵成像系统的成像器件是面阵成像器件，采用这种成像方案所获得的图像清晰度高，获取的X射线的图像质量高。可选地，本发明的实施例选用非晶硅面阵列探测器。

锥束X射线成像系统的机械结构可以是卧式结构和立式结构。卧式锥束X射线成像系统在成像扫描时，无需旋转被检测样品，通过X射线源10和X射线探测器20在滑轨上围绕被检测样品进行旋转扫描。立式结构可以是X射线源10和X射线探测器20的位置固定，被检测样品放置于可旋转的样品台30上，成像过程中被检测样品随着样品台30旋转完成扫描，也可以是被检测样品放置于固定的样品台30上，X射线源10和X射线探测器20同步围绕被检测样品进行旋转扫描。可选地，本发明的实施例选用立式结构。

样品台30用于放置被检测样品，样品台30上设有转台，用于所述样品水平旋转。样品台30上设有倾角台，倾角台的倾斜角度可以进行调节，在实验中可以根据不同需求调节倾角台的倾斜角度，用于对被检测样品进行成像时，可以从被检测样品的多个角度进行扫描成像。样品台30可以使样品沿着垂直于束线方向、平行于束线方向和垂直于样品台30方向进行移动，用于调整被检测样品的位置和设置姿态，得到被检测样品更完整的图像信息。可选地，样品台30整体可以选用铝合金材料。

图4是根据本发明的一个实施例的调整装置60的结构示意图。X射线源10和X射线探测器20固定于调整装置60，调整装置60用于调整X射线源10和X射线探测器20的姿态，并且使得X射线源10和X射线探测器20同步围绕样品转动。被检测样品与X射线源10、X射线探测器20、中子源40和中子探测器50之间的距离可以通过样品台30和调整装置60进行调整，X射线源10所发射的X射线束线和中子源所发射的中子束线的相对位置也可以通过调整装置60进行调整。

调整装置60包括主体61、第一支架62和第二支架63。主体61包括第一立柱611、第二立柱612和横梁613，横梁613的一端连接于第一立柱611的一端，横梁613的另一端连接于第二立柱612的一端，第一立柱611、第二立柱612和横梁613三部分可以组成一个龙门结构；第一支架62的一端可移动地固定于第一立柱611上，第一支架62的另一端可移动地固定于第二立柱612上；第二支架63的中部同轴连接于第一支架62的中部，X射线源10固定于第二支架63的一端，X射线探测器20固定于第二支架63的另一端。

第二支架63固定有X射线探测器20的一端设有调节手轮631，调节手轮631用于调节X射线探测器20和X射线源10之间的距离，并调节X射线探测器20的设置姿态，此处的设置姿态可以为设置位置、设置角度和设置姿势等。X射线探测器20的设置位置、设置角度和设置姿势都可以通过调节手轮631进行调节。

第一支架62中部设有旋转手轮621，操作旋转手轮621，使得第二支架63绕轴旋转摆动，带动固定于第二支架63两端的X射线源10和X射线探测器20同步围绕所述样品转动。在一些实施例中，第二支架63旋转摆动的角度范围为0°～10°。在其它实施例中，第二支架63旋转摆动的角度可以设置为其它数值。

第一立柱611和第二立柱612的一端设有可调节脚轮(未示出)，用于调节调节调整装置60的高度，并移动调整装置60。在一些实施例中，第一立柱611和第二立柱612的一端可以设有底座。可选地，本发明的实施例选用制动式万向脚轮。

调整装置60还包括调节件(未示出)，调节件设置于第二立柱612上，调节第一支架62的高度。在一些实施例中，调节件可以是手摇机构，通过转动手摇机构实现第一支架62的升降，同时带动与第一支架62中部同轴连接的第二支架63实现升降运动，即带动分别固定在第二支架63两端的X射线源10和X射线探测器20实现升降运动。在其它实施例中，调节件也可以是电机，通过电力驱动实现第一支架62的升降。在一些实施例中，升降部分可以使用高强度圆导轨作为导向，高强度圆导轨导向精度高、平稳性好以及耐磨。在其它实施例中，升降部分可以使用三角导轨作为导向。本领域技术人员可以理解地，升降部分所使用的导轨根据实际情况的不同可以选择不同的类型。

成像系统还包括支撑装置70，X射线源10和X射线探测器20放置于支撑装置70。X射线源10和X射线探测器20的上端固定在调整装置60的第二支架63上，在利用调整装置60调整X射线源10和X射线探测器20的位置后，可以将X射线源10与X射线探测器20放置于支撑装置60上，使得X射线源10和X射线探测器20在对样品进行成像时更加稳定。在一些实施例中，支撑装置70可以为支撑平台。

在使用本发明的实施例提供的成像系统对样品进行成像时，首先将被检测样品放置于样品台30上，旋转调整装置60上的旋转手轮621，使第二支架63旋转摆动，从而使得固定在第二支架63两端的X射线源10和X射线探测器20围绕样品旋转摆动，调节X射线源10、X射线探测器20相对于中子源40、中子探测器50的位置，使X射线源10发射的X射线束线所在方向与中子源40发射的中子束线所在方向成角度设置，在一些实施例中，X射线源10发射的X射线束线所在方向与中子源40发射的中子束线所在方向成90°设置，在其它实施例中，X射线源10发射的X射线束线所在方向与中子源40发射的中子束线所在方向成45°设置，X射线源10发射的X射线束线所在方向与中子源40发射的中子束线所在方向所成的角度值也可以为其他数值。在调整过程中，可以通过可调节脚轮移动调整装置60或调节调整装置60的高度，也可以通过设于第二立柱612上的调节件调节第一支架62的高度，从而调节第二支架63的高度，也就是调节固定于第二支架63两端的X射线源10和X射线探测器20的高度，使X射线源10发射的X射线束线准确地经过被检测样品。操作位于第二支架63一端的调节手轮631，可以微调X射线探测器20的角度和X射线探测器20相对于样品的距离。调整好X射线源10和X射线探测器20的位置后，可以将X射线源10和X射线探测器20放置于支撑装置70上，X射线源10向样品发射X射线束线，中子源40向样品发射中子束线，X射线探测器20接收经过样品的X射线束线，中子探测器50接收经过样品的中子束线，并生成样品的图像信息。在成像过程中，可以通过样品台30使样品水平旋转，也可以将样品放置于样品台30的倾角台上，调节倾角台的倾斜角度，从而获得样品更全面的图像信息。本发明的实施例提供的成像系统利用中子成像和X射线成像同时对同一样品进行成像，充分发挥中子成像技术与X射线成像技术的互补性，且中子束线和X射线束线不相互阻挡，可以准确地获得被检测样品更为全面的成分结构信息。

本发明的实施例提供了一种对样品进行中子成像和X射线成像的方法，包括：预先规划对样品进行扫描的时序；按照预先规划的扫描时序对样品进行扫描；采集扫描的样品的数据；利用扫描的数据重新构建样品的图像信息。在对样品进行扫描前，对扫描的姿态设置进行校正。在对样品进行扫描时，按照预先规划的扫描时序控制对样品进行扫描的位置和运动速度。

本发明的实施例提供了一种对样品进行中子成像和X射线成像的装置，包括预设模块、扫描模块、采集模块和重建模块。预设模块用于预先规划对样品进行扫描的时序；扫描模块用于按照预先规划的扫描时序对样品进行扫描；采集模块用于采集扫描的样品的数据；重建模块利用扫描的数据重新构建样品的图像信息。上述装置还包括控制模块，在对样品进行扫描时，控制模块按照预先规划的扫描时序控制对样品进行扫描的位置和运动速度。上述装置还包括校正模块，在对样品进行扫描前，校正模块对扫描模块的姿态设置进行校正。

对于本发明的实施例，还需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (18)

1.一种用于对样品进行中子成像和X射线成像的成像系统，其特征在于，包括：

X射线源(10)，所述X射线源(10)向所述样品发射X射线束线；

X射线探测器(20)，所述X射线探测器(20)与所述X射线源(10)相对设置；

样品台(30)，所述样品台(30)设置于所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)之间，所述样品放置于所述样品台(30)上，所述样品台(30)调整所述样品的姿态；

中子源(40)，所述中子源(40)设置于所述样品台(30)的一侧，所述中子源(40)向所述样品发射中子束线；

中子探测器(50)，所述中子探测器(50)设置于所述样品台(30)的另一侧，并与所述中子源(40)相对设置；

其中，所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)所在直线方向与所述中子源(40)和所述中子探测器(50)所在直线方向成角度设置。

2.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，所述X射线束线为锥束X射线。

3.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，所述X射线探测器(20)为平板探测器，接收所述锥束X射线。

4.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，所述样品台(30)设有转台，用于所述样品水平旋转。

5.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，所述样品台(30)设有倾角台，所述倾角台的倾斜角度可调节。

6.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，还包括调整装置(60)，所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)固定于所述调整装置(60)，所述调整装置(60)调整所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)的姿态，并且使得所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)同步围绕所述样品转动。

7.根据权利要求6所述的成像系统，其特征在于，所述调整装置(60)包括：

主体(61)，所述主体(61)包括第一立柱(611)、第二立柱(612)和横梁(613)，所述横梁(613)的一端连接于所述第一立柱(611)的一端，所述横梁(613)的另一端连接于所述第二立柱(612)的一端；

第一支架(62)，所述第一支架(62)的一端可移动地固定于所述第一立柱(611)上，所述第一支架(62)的另一端可移动地固定于所述第二立柱(612)上；

第二支架(63)，所述第二支架(63)的中部同轴连接于所述第一支架(62)的中部，所述X射线源(10)固定于所述第二支架(63)的一端，所述X射线探测器(20)固定于所述第二支架(63)的另一端。

8.根据权利要求7所述的成像系统，其特征在于，所述第二支架(63)固定有所述X射线探测器(20)的一端设有调节手轮(631)，所述调节手轮(631)调节所述X射线探测器(20)和所述X射线源(10)之间的距离，并调节所述X射线探测器(20)的设置姿态。

9.根据权利要求7所述的成像系统，其特征在于，所述第一支架(62)中部设有旋转手轮(621)，操作所述旋转手轮(621)，使得所述第二支架(63)绕所述轴旋转摆动，带动固定于所述第二支架(63)两端的所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)同步围绕所述样品转动。

10.根据权利要求7所述的成像系统，其特征在于，所述第一立柱(611)和所述第二立柱(612)的一端设有可调节脚轮，调节所述调整装置(60)的高度，并移动所述调整装置(60)。

11.根据权利要求7所述的成像系统，其特征在于，所述调整装置(60)还包括调节件，所述调节件设置于所述第二立柱(612)上，调节所述第一支架(62)的高度。

12.根据权利要求1所述的成像系统，其特征在于，还包括支撑装置(70)，所述X射线源(10)和所述X射线探测器(20)放置于所述支撑装置(70)。

13.一种对样品进行中子成像和X射线成像的方法，其特征在于，包括：

预先规划对所述样品进行扫描的时序；

按照所述预先规划的扫描时序对所述样品进行扫描；

采集扫描的所述样品的数据；

利用所述扫描的数据重新构建所述样品的图像信息。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，还包括：

按照所述预先规划的扫描时序控制对所述样品进行扫描的位置和运动速度。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，还包括：

在对所述样品进行扫描前，对扫描的设置姿态进行校正。

16.一种对样品进行中子成像和X射线成像的装置，其特征在于，包括：

预设模块，所述预设模块预先规划对所述样品进行扫描的时序；

扫描模块，所述扫描模块按照所述预先规划的扫描时序对所述样品进行扫描；

采集模块，所述采集模块采集扫描的所述样品的数据；

重建模块，所述重建模块利用所述扫描的数据重新构建所述样品的图像信息。

17.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，还包括控制模块，所述控制模块按照所述预先规划的扫描时序控制所述扫描模块的位置和运动速度。

18.根据权利要求16所述的装置，其特征在于，还包括校正模块，所述校正模块对所述扫描模块的姿态设置进行校正。

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