CN113046730A - 一种镀膜方法及镀膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种镀膜方法及镀膜设备，其属于镀膜技术领域，镀膜方法包括初始化步骤，对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号；进行多次循环步骤；该循环步骤包括：依次检测每个编号位置处的产品的编号位置膜厚，得到多个编号位置膜厚，并得到多个编号位置膜厚的平均膜厚；根据平均膜厚及每个编号位置对应的编号位置膜厚，得到每个编号位置的膜厚差值；根据每个编号位置的膜厚差值及预设算法，得到每个编号位置对应的旋转速度；在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有编号位置。本发明能使每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，以提高镀膜厚度的均匀性。

Description

一种镀膜方法及镀膜设备
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜方法及镀膜设备。
背景技术
在电子产品制造过程中，通常需要在产品的表面沉积一层膜层，以对产品起到防护的作用。
现有技术中，通常采用化学气相沉积真空镀膜设备在产品上沉积膜层，且针对体积较小的产品，为了提高镀膜的效率，设备中的治具架上通常摆放多个产品。在沉积过程中，控制治具架在设备内单向恒速旋转，以带动多个产品依次经过入料口。但是，受设备内结构及流体流场的影响，较容易出现产品上膜层厚度不均匀的情况，如一个产品上膜层的厚度大于另一个产品上膜层的厚度。膜层厚度不均匀会影响产品的质量，进而影响成品率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镀膜方法及镀膜设备，能够提高在产品上镀膜厚度的均匀性。
如上构思，本发明所采用的技术方案是：
一种镀膜方法，包括：
S1、初始化步骤，对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号，各编号位置呈环形阵列排列；
S2、进行多次循环步骤，直至每个所述编号位置处的产品的膜层厚度与多个所述产品的平均膜层厚度的差值小于预设值，所述循环步骤包括：
S21、依次检测每个所述编号位置处的产品的编号位置膜厚，得到多个编号位置膜厚；
S22、根据多个所述编号位置膜厚计算得到平均膜厚；
S23、根据所述平均膜厚及每个所述编号位置对应的所述编号位置膜厚，计算得到每个所述编号位置的膜厚差值，所述膜厚差值为所述编号位置膜厚与所述平均膜厚的差值；
S24、根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及预设算法，得到每个所述编号位置对应的旋转速度；
S25、在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有所述编号位置，所述预设编号位置为多个所述编号位置中的任一个，所述预设部分与镀膜设备的入料口在预设平面上的正投影重合，所述预设平面平行于镀膜设备的顶面或底面。
可选地，所述预设算法包括转换公式，在步骤S5中，根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及所述转换公式，得到每个所述编号位置对应的旋转速度，所述转换公式为：
Nμ＝N×ΔV+N，式中，Nμ表示μ号编号位置对应的旋转速度，N表示未调节前的旋转速度，ΔV表示μ号编号位置对应的膜厚差值。
可选地，所述膜厚差值的计算公式为：ΔV＝Vp-Vμ，其中，Vp表示所述平均膜厚，Vμ表示μ号编号位置对应的编号位置膜厚。
可选地，在步骤S21中，控制治具架旋转一圈，以使每个所述编号位置处的产品依次经过厚度测量装置，进而得到每个所述编号位置处的产品的编号位置膜厚。
可选地，在步骤S6中，上一个编号位置在镀膜设备上的正投影刚好位于所述预设部分外时，控制治具架以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，上一个编号位置为位于所述预设编号位置上游的编号位置。
一种镀膜设备，包括：
壳体，所述壳体内设有治具架，且所述壳体的壁面上设有入料口，所述治具架上具有多个编号位置；
厚度测量装置，用于检测所述治具架上产品的编号位置膜厚；
编号标定模块，用于所述治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号，各编号位置呈环形阵列排列；
处理模块，用于根据多个所述编号位置膜厚计算得到平均膜厚，根据所述平均膜厚及每个所述编号位置对应的所述编号位置膜厚，计算得到每个所述编号位置的膜厚差值，所述膜厚差值为所述编号位置膜厚与所述平均膜厚的差值，以及根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及预设算法，得到每个所述编号位置对应的旋转速度；
动力装置，连接于所述治具架，并用于在预设编号位置经过所述壳体的预设部分时，驱动所述治具架以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有所述编号位置，所述预设编号位置为多个所述编号位置中的任一个，所述预设部分与壳体的入料口在预设平面上的正投影重合，所述预设平面平行于壳体的顶面或底面。
可选地，所述壳体的顶盖上具有透明视窗，所述厚度测量装置通过所述透明视窗检测所述产品的所述编号位置膜厚。
可选地，多个所述编号位置相对于所述治具架的中心轴线排列成圆形，使得所述治具架旋转时，多个所述编号位置依次经过所述透明视窗的正下方。
可选地，所述动力装置包括减速机及变速电机，所述减速机驱动连接于所述治具架，在所述预设编号位置经过壳体的预设部分时，所述变速电机向所述减速机输出预设转矩，以使所述减速机驱动治具架以所述预设编号位置对应的所述旋转速度旋转。
可选地，所述入料口设置在所述壳体的侧壁，且所述壳体的侧壁上还设有与所述入料口相对的出料口。
本发明提出的镀膜方法及镀膜设备至少具有如下有益效果：
先进行初始化步骤，即对治具架上的多个位置进行编码标定分配相应编号，然后进行多次循环步骤，该循环步骤包括先依次检测治具架上每个产品的编号位置膜厚，之后根据多个编号位置膜厚得到多个产品的平均膜厚，之后根据平均膜厚及每个产品的编号位置膜厚确定每个产品所编号位置对应的膜厚差值，再根据预设算法得到每个编号位置对应的旋转速度，最终在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以该预设编号位置对应的旋转速度旋转，以实现每个编号位置的镀膜膜厚的自动调节，从而使得每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，提高了镀膜厚度的均匀性。
附图说明
图1是本发明实施例一提供的镀膜方法的流程图；
图2是本发明实施例一提供的循环步骤的流程图
图3是本发明实施例二提供的镀膜设备的截面示意图；
图4是本发明实施例二提供的壳体的侧视图；
图5是本发明实施例二提供的部分镀膜设备的俯视图。
图中：
1、壳体；11、入料口；12、透明视窗；13、顶盖；14、侧壁；2、治具架；3、厚度测量装置；4、动力装置；41、减速机；42、变速电机；5、编号标定模块；6、入料管；7、出料管；10、编号位置；20、产品；30、预设部分。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例一
本实施例提供了一种镀膜方法，应用于镀膜设备，能够使每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，以提高镀膜厚度的均匀性。
如图1所示，该镀膜方法包括如下步骤：
S1、初始化步骤，对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号。
本实施例中，可以通过编号标定模块对治具架上的多个位置进行编码标定并分配相应编号，如治具架上具有三个位置，则可以沿治具架的旋转方向，将该三个编号位置分别编码为1号位置、2号位置及3号位置。需要说明的是每个编码位置处放置一个待镀膜的产品。可选地，各编号位置呈环形阵列排列。
S2、进行多次循环步骤，直至每个编号位置处的产品的膜层厚度与多个产品的平均膜层厚度的差值小于预设值。
本实施例中，在进行一侧循环步骤后，可以对每个产品的膜层厚度进行测量，以确定是否进行下一次循环步骤，当存在一个或多个编号位置处的产品的膜厚层厚与平均膜层厚度的差值大于或等于预设值时，则说明该编号位置处的产品的膜层厚度与其他编号位置处的产品的膜层厚度相差较大，需要再次进行循环步骤；当多个编号位置处的产品的膜层厚度与平均膜层厚度的差值均小于预设值时，则说明多个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，则可以停止执行循环步骤。
其中，如图2所示，上述循环步骤包括：
S21、依次检测每个编号位置处的产品的编号位置膜厚，得到多个编号位置膜厚。
本实施例中，多个编号位置膜厚与多个编号位置一一对应，可以通过厚度检测装置对产品的编号位置膜厚进行检测，且产品所在的编号位置与该产品的编号位置膜厚相对应，以便于后序计算步骤。需要说明的是，未镀膜的产品的编号位置膜厚为0，经过依次循环步骤后的产品的编号位置膜厚为经上一次循环步骤镀膜后的产品的膜层厚度。
可选地，在步骤S21中，可以控制治具架旋转一圈，以使每个编号位置处的产品依次经过厚度测量装置，进而得到每个编号位置处的产品的编号位置膜厚。
S22、根据多个编号位置膜厚计算得到平均膜厚。
在确定每个产品的编号位置膜厚后，根据多个编号位置膜厚计算得到多个产品的平均膜厚，平均膜厚的计算公式为多个编号位置膜厚的和除以产品的个数。
S23、根据平均膜厚及每个编号位置对应的编号位置膜厚，计算得到每个编号位置的膜厚差值。
其中，膜厚差值为编号位置膜厚与平均膜厚的差值。本实施例中，每个编号位置对应一个编号位置膜厚及一个膜厚差值。
S24、根据每个编号位置的膜厚差值及预设算法，得到每个编号位置对应的旋转速度。
在得到每个编号位置的膜厚差值后，可以根据预设算法得到每个编号位置对应的旋转速度，该旋转速度可以为治具架的旋转速度，也即是，本实施例中，针对不同的编号位置，可以控制治具架具有不同的旋转速度，以使每个编号位置上的产品在治具架旋转一圈的过程中，新增膜层的厚度可以不同，进而实现对产品上镀膜厚度的分别调节。
S25、在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有编号位置。
其中，预设编号位置为多个编号位置中的任一个，预设部分与镀膜设备的入料口在预设平面上的正投影重合，预设平面平行于镀膜设备的顶面或底面，也即是，入料口在竖直方向上位于预设部分中。本实施例中，遍历所有编号位置可以通过控制治具架旋转一圈实现，也即是，控制治具架旋转一圈，在旋转过程中，预设编号位置经过预设部分时，控制治具架以预设编号位置对应的旋转速度旋转。
本实施例提供的镀膜方法中，先进行初始化步骤，即对治具架上的多个位置进行编码标定分配相应编号，然后进行多次循环步骤，该循环步骤包括先依次检测治具架上每个产品的编号位置膜厚，并生成产品编号位置与编号位置膜厚的一一对应关系，之后根据多个编号位置膜厚得到多个产品的平均膜厚，之后根据平均膜厚及每个产品的编号位置膜厚确定每个产品所编号位置对应的膜厚差值，再根据预设算法得到每个编号位置对应的旋转速度，最终在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以该预设编号位置对应的旋转速度旋转，以实现每个编号位置的镀膜膜厚的自动调节，从而使得每个编号位置的产品的膜层厚度达到一致，提高了镀膜厚度的均匀性。
可选地，上述预设算法包括转换公式，并且，在步骤S5中，根据每个编号位置的膜厚差值及转换公式，得到每个编号位置对应的旋转速度，其中，转换公式为：Nμ＝N×ΔV+N，式中，Nμ表示μ号编号位置对应的旋转速度，N表示未调节前的旋转速度，示例地，该未调节前的旋转速度可以为镀膜设备预设设置的旋转速度，ΔV表示该μ号编号位置对应的膜厚差值。
进一步地，膜厚差值的计算公式为：ΔV＝Vp-Vμ，其中，Vp表示平均膜厚，Vμ表示μ号编号位置对应的编号位置膜厚。
在步骤S6中，上一个编号位置在镀膜设备上的正投影刚好位于预设部分外时，控制治具架以预设编号位置对应的旋转速度旋转，上一个编号位置为在治具架的旋转方向上位于预设编号位置上游的编号位置。
通过本实施例提供的镀膜方法对产品进行镀膜能够提高镀膜的均匀性，进而使得多个产品的膜层厚度能够一致，提高了产品良率。
实施例二
本实施例还提供了一种镀膜设备，该镀膜设备能够执行上述实施例一中的镀膜方法。
如图3至图5所示，镀膜设备包括壳体1，设置于壳体1内的治具架2、厚度测量装置3、编码标号模块、处理模块及动力装置4。
其中，如图3所示，壳体1的壁面上设有入料口11及出料口(未示出)，具体地，入料口11和出料口分别设置在壳体1的侧壁14，且出料口与入料口11相对设置，使得用于镀膜的材料由壳体1一侧壁面14的入料口11进入，部分材料沉积在产品20的外表面，剩余的材料由壳体1另一侧壁面14的出料口流出。可选地，如图3所示，入料口11连接有入料管6，且入料管6与料源连通。出料口连接有出料管7。
治具架2上具有多个编号位置10，多个产品20与多个编号位置10一一对应，且产品20位于其对应的编号位置10处。上述厚度测量装置3安装在壳体1上或与壳体1相对设置，且厚度测量装置3用于检测治具架2上产品20的编号位置膜厚。示例地，厚度测量装置3可以为光学测厚仪。
上述编号标定模块5用于对治具架上的多个编号位置10进行编码标定，示例地，如图3所示，编号标定模块5安装在壳体1外。处理模块用于根据多个编号位置膜厚计算得到平均膜厚，根据平均膜厚及每个编号位置10对应的编号位置膜厚，计算得到每个编号位置10的膜厚差值，膜厚差值为编号位置膜厚与平均膜厚的差值，以及根据每个编号位置10的膜厚差值及预设算法，得到每个编号位置10对应的旋转速度。示例地，编号标定模块5可以为编码器，处理模块可以具有运算功能的处理器。
请参考图3，动力装置4穿过壳体1后连接于治具架2，并用于在预设编号位置经过壳体1的预设部分30时，驱动治具架2以预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有编号位置10。其中，预设编号位置为多个编号位置10中的任一个，预设部分30与壳体1的入料口11在预设平面上的正投影重合，预设平面平行于壳体1的顶面或底面。
本实施例提供的镀膜设备中，通过编号标定模块5对治具架2上的多个编号位置10进行编码标定，然后进行多次循环步骤，该循环步骤包括通过厚度测量装置3先依次检测治具架2上每个产品20的编号位置膜厚，之后处理模块根据多个编号位置膜厚得到多个产品20的平均膜厚，之后根据平均膜厚及每个产品20的编号位置膜厚确定每个产品20所编号位置10对应的膜厚差值，再根据预设算法得到每个编号位置10对应的旋转速度，最终在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，动力装置4控制治具架以该预设编号位置对应的旋转速度旋转，以实现每个编号位置10的镀膜膜厚的自动调节，从而使得每个编号位置10的产品20的膜层厚度达到一致，提高了镀膜厚度的均匀性。
可选地，如图3所示，壳体1的顶盖13上具有透明视窗12，治具架2旋转时，产品20依次经过透明视窗12的下方，使得厚度测量装置3通过透明视窗12检测产品20的编号位置膜厚。示例地，如图5所示，多个编号位置10相对于治具架2的中心轴线排列成圆形，使得治具架2旋转时，多个编号位置10依次经过透明视窗12的正下方。
可选地，如图1所示，动力装置4包括减速机41及变速电机42，减速机41驱动连接于治具架2，在预设编号位置经过壳体1的预设部分30时，变速电机42向减速机41输出预设转矩，以使减速机41驱动治具架2以预设编号位置对应的旋转速度旋转。
以上实施方式只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施方式限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种镀膜方法，其特征在于，包括：
S1、初始化步骤，对镀膜设备的治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号，各编号位置呈环形阵列排列；
S2、进行多次循环步骤，直至每个所述编号位置处的产品的膜层厚度与多个所述产品的平均膜层厚度的差值小于预设值，所述循环步骤包括：
S21、依次检测每个所述编号位置处的产品的编号位置膜厚，得到多个编号位置膜厚；
S22、根据多个所述编号位置膜厚计算得到平均膜厚；
S23、根据所述平均膜厚及每个所述编号位置对应的所述编号位置膜厚，计算得到每个所述编号位置的膜厚差值，所述膜厚差值为所述编号位置膜厚与所述平均膜厚的差值；
S24、根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及预设算法，得到每个所述编号位置对应的旋转速度；
S25、在预设编号位置经过镀膜设备的预设部分时，控制治具架以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有所述编号位置，所述预设编号位置为多个所述编号位置中的任一个，所述预设部分与镀膜设备的入料口在预设平面上的正投影重合，所述预设平面平行于镀膜设备的顶面或底面。
2.根据权利要求1所述的镀膜方法，其特征在于，所述预设算法包括转换公式，在步骤S5中，根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及所述转换公式，得到每个所述编号位置对应的旋转速度，所述转换公式为：
Nμ＝N×ΔV+N，式中，Nμ表示μ号编号位置对应的旋转速度，N表示未调节前的旋转速度，ΔV表示μ号编号位置对应的膜厚差值。
3.根据权利要求2所述的镀膜方法，其特征在于，所述膜厚差值的计算公式为：ΔV＝Vp-Vμ，其中，Vp表示所述平均膜厚，Vμ表示μ号编号位置对应的编号位置膜厚。
4.根据权利要求1所述的镀膜方法，其特征在于，在步骤S21中，控制治具架旋转一圈，以使每个所述编号位置处的产品依次经过厚度测量装置，进而得到每个所述编号位置处的产品的编号位置膜厚。
5.根据权利要求1所述的镀膜方法，其特征在于，在步骤S6中，上一个编号位置在镀膜设备上的正投影刚好位于所述预设部分外时，控制治具架以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，上一个编号位置为位于所述预设编号位置上游的编号位置。
6.一种镀膜设备，其特征在于，包括：
壳体(1)，所述壳体(1)内设有治具架(2)，且所述壳体(1)的壁面上设有入料口(11)；
厚度测量装置(3)，用于检测所述治具架(2)上产品的编号位置膜厚；
编号标定模块，用于所述治具架上多个位置进行编码标定分配相应编号，各编号位置呈环形阵列排列；
处理模块，用于根据多个所述编号位置膜厚计算得到平均膜厚，根据所述平均膜厚及每个所述编号位置对应的所述编号位置膜厚，计算得到每个所述编号位置的膜厚差值，所述膜厚差值为所述编号位置膜厚与所述平均膜厚的差值，以及根据每个所述编号位置的所述膜厚差值及预设算法，得到每个所述编号位置对应的旋转速度；
动力装置(4)，连接于所述治具架(2)，并用于在预设编号位置经过所述壳体(1)的预设部分时，驱动所述治具架(2)以所述预设编号位置对应的旋转速度旋转，直至遍历所有所述编号位置，所述预设编号位置为多个所述编号位置中的任一个，所述预设部分与壳体(1)的入料口(11)在预设平面上的正投影重合，所述预设平面平行于壳体(1)的顶面或底面。
7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述壳体(1)的顶盖(13)上具有透明视窗(12)，所述厚度测量装置(3)通过所述透明视窗(12)检测所述产品的所述编号位置膜厚。
8.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，多个所述编号位置相对于所述治具架(2)的中心轴线排列成圆形，使得所述治具架(2)旋转时，多个所述编号位置依次经过所述透明视窗(12)的下方。
9.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述动力装置(4)包括减速机(41)及变速电机(42)，所述减速机(41)驱动连接于所述治具架(2)，在所述预设编号位置经过壳体(1)的预设部分时，所述变速电机(42)向所述减速机(41)输出预设转矩，以使所述减速机(41)驱动治具架(2)以所述预设编号位置对应的所述旋转速度旋转。
10.根据权利要求7所述的镀膜设备，其特征在于，所述入料口(11)设置在所述壳体(1)的侧壁，且所述壳体(1)的侧壁上还设有与所述入料口(11)相对的出料口。
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