CN112993086A - 一种n型晶硅电池的电注入方法及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供一种N型晶硅电池的电注入方法及制备方法，涉及太阳能电池领域。N型晶硅电池的电注入方法主要是将电池片依次经过三个阶段的电注入处理：第一阶段：电注入电流为10～12A，电注入时间为300～450s；第二阶段：电注入电流为16～18A，电注入温度为260～285℃，电注入时间为1500～2250s；第三阶段：电注入电流为14～16A，电注入温度为240～275℃，电注入时间为600～900s。本申请实施例的N型晶硅电池的电注入方法及制备方法用以实现N型晶硅电池的提效，且提效效果好。
Description
技术领域
本申请涉及太阳能电池领域，具体而言，涉及一种N型晶硅电池的电注入方法及制备方法。
背景技术
电注入是在合适的温度条件下，对电池片持续通入一定的电流，从而达到钝化效果，可以显著提高电池片的效率和抗光衰能力。目前，电注入技术已广泛应用于P型PERC电池(Passivated Emitter Rear Cell，钝化反射极和背面电池结构)的量产，其主要依靠加热和载流子注入的方式(主要工艺可以设置为185℃的温度和9A的电流)，利用氢钝化硼氧复合体，从而改善电池缺陷，提高转换效率。例如，一种降低掺硼PERC电池载流子衰减的方法，其主要是在退火后，先将太阳能电池预热至120-250℃，然后分为三个阶段进行电注入处理，这三个阶段的温度顺次降低，通入电流也顺次降低，处理时间也顺次降低。
对于N型晶硅电池，比如隧穿氧化钝化接触电池(TOPCon)是近些年光伏行业关注的焦点，因此，优化工艺、提高效率、降低成本也是热门的研究方向。例如，一种TOPCon结构电池的制备方法，该电池采用n型硅片，硅片背面覆盖了一层二氧化硅层作为隧穿氧化层，然后再覆盖一层掺杂的多晶硅层，使电池的背面钝化。该电池通过电注入氢钝化，对电池片加载一定电流(15A-30A)和接近200℃的温度处理，其可将电池内部部分缺陷进行钝化。
虽然目前对于P型晶硅电池和N型晶硅电池都有各种不同的电注入方式，但是现有的对P型晶体硅电池的提升效果较好的电注入工艺，对于N型晶体硅电池的提升效果一般，现有的N型晶硅电池的提升效果也比较有限，仍然存在提升空间。
因此，需要探索一种适合N型晶硅电池、且提升效果好的电注入方法。
发明内容
本申请实施例的目的在于提供一种N型晶硅电池的电注入方法及制备方法，用以实现N型晶硅电池的提效，且提效效果好。
第一方面，本申请实施例提供了一种N型晶硅电池的电注入方法，其主要是将电池片依次经过三个阶段的电注入处理：
第一阶段：电注入电流为10～12A，电注入时间为300～450s；
第二阶段：电注入电流为16～18A，电注入温度为260～285℃，电注入时间为1500～2250s；
第三阶段：电注入电流为14～16A，电注入温度为240～275℃，电注入时间为600～900s。
在上述技术方案中，电注入方法的第一阶段为预热升温阶段，施加于电池片的电注入电流为10～12A，第二阶段为提效阶段，电注入电流加强至16～18A这种大电流并持续较长时间，从而可以增加氢离子的比例，达到钝化目的，获得较佳的提效效果，第三阶段的电注入电流控制为14～16A，减少电池片击穿现象的发生。而且，电注入方法在第二阶段采用的电注入温度为260～285℃，高温可以增加氢的扩散速率，第三阶段的电注入温度为240～275℃减少因局部高温导致的粘片现象，从而保证电池片的提效效果。
在一种可能的实现方式中，第二阶段的电注入电流不低于第三阶段的电注入电流，第二阶段的电注入温度不低于第三阶段的电注入温度。
在上述技术方案中，这种先从第一阶段的电注入电流提升至第二阶段的目标电注入电流，再降低至第三阶段的电注入电流的方式对N型晶硅电池的提效效果好，还能够减少因大电流击穿电池片的现象。而且，电注入方法在第二阶段的电注入温度为260～285℃，高温可以增加氢的扩散速率，第三阶段相对第二阶段降低了电注入温度，实现逐步降温，减少粘片现象，尤其是减少因局部高温导致的粘片现象，从而保证电池片的提效效果。
在一种可能的实现方式中，还包括第四阶段的冷却处理，第四阶段的处理时间为1200～1800s。
在上述技术方案中，第四阶段为冷却处理阶段，停止对电池片施加温度和电流，稳定前述电注入对电池片的钝化效果。
在一种可能的实现方式中，先将电池片放入电注入料盒中，再进行电注入处理，电注入料盒包括两端开口的盒体和分别盖设于盒体两端开口的金属盖板，两块金属盖板分别用作上电极和下电极。
在上述技术方案中，电注入料盒为相对封闭的空间，将电池片放入电注入料盒中再进行电注入处理，便于每个阶段的电注入电流和电注入温度的实现和控制；而且金属盖板还能作为上电极和下电极，对电注入料盒内的电池片施加电注入电流。
在一种可能的实现方式中，电池片堆叠放置于电注入料盒内，电池片的数目为300～500片。
在上述技术方案中，电池片堆叠放置于电注入料盒内，能同时实现多片电池片的电注入处理。
在一种可能的实现方式中，在电注入处理过程中，通过上电极和下电极之间通电实现对电池片施加电注入电流，通过加热上电极和下电极至一定温度用于补偿电池片的温度至电注入温度。
在上述技术方案中，由于电池片升温较慢，在电注入温度环境中的电池片难以达到电注入温度，因此通过控制上电极和下电极的温度，能够补偿它们之间的电池片达到目标的电注入温度。
在一种可能的实现方式中，在第一阶段、第二阶段和第三阶段中，上电极温度为260～280℃；下电极温度为280～300℃。
在上述技术方案中，控制上电极温度为260～280℃，下电极温度为280～300℃，能够辅助所有电池片的温度快速、且尽可能同时达到预定的电注入温度；尤其是第一阶段，通过上电极和下电极，就能够实现对电池片的预热目的。
第二方面，本申请实施例提供了一种N型晶硅电池的制备方法，其包括以下步骤：
将处理得到的电池片第一方面提供的电注入方法进行电注入处理。
在一种可能的实现方式中，N型晶硅电池为N型TOPCon电池。
在一种可能的实现方式中，处理包括以下步骤：制绒、硼扩、刻蚀、隧穿氧化及掺杂非晶硅、激活、清洗、氧化、钝化、镀膜、丝网印刷、烧结。
具体实施方式
发明人在研究过程中发现：相比于P型晶体硅，磷掺杂的N型晶体硅中硼含量较低，因此，采用P型晶体硅的电注入工艺对N型晶体硅中的硼氧复合体影响较小，钝化效果较差，因此需要调整P型晶体硅的电注入工艺，才能达到对N型晶体硅提效的目的。因此，发明人探索出一种N型晶体硅电池的电注入方法及制备方法，能够实现对N型晶体硅较好的提效效果。
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
下面对本申请实施例的N型晶硅电池的电注入方法及制备方法进行具体说明。
本申请实施例提供了一种N型晶硅电池的电注入方法，其主要是将电池片依次经过三个阶段的电注入处理和一个阶段的冷却处理。该电注入方法通常是先将电池片放入电注入料盒中，再进行电注入处理。作为一种实施方式，电注入料盒包括两端开口的盒体和分别盖设于盒体两端开口的金属盖板，两块金属盖板分别用作上电极和下电极，例如分别采用厚度为2～3mm的金属盖板作为电注入料盒的上电极和下电极。电池片堆叠放置于电注入料盒内，电池片的数目为300～500片。
需要说明的是，电注入方法是通过对电池片施加一定电注入电流，可选还施加一定电注入温度，并持续一定时间而实现的。电注入电流是指通过电池片的电流，在本申请实施例的电注入处理过程中，通过上电极和下电极之间通电实现对电池片施加电注入电流；电注入温度是指电池片所处的环境温度，即电池片的目标温度，对于电池片堆叠放置于电注入料盒内的情况，电注入温度是指电注入料盒的上/中/下温区温度，本申请实施例还通过上电极和下电极的温度用于补偿电池片的温度至电注入温度，即目标温度。
本申请实施例的电注入方法具体包括以下步骤：
(1)第一阶段：此阶段为预热升温阶段，无需设置电注入温度，通过上电极和下电极的温度就能实现电池片的预热。
电注入电流为10～12A，电注入时间为300～450s；上电极温度为260～280℃，下电极温度为280～300℃。
(2)第二阶段：此阶段为主提效阶段，同时设置较高的电注入电流和电注入温度。
电注入电流为16～18A，电注入温度(上/中/下温区温度)为260～285℃，电注入时间为1500～2250s；上电极温度为260～280℃，下电极温度为280～300℃。
(3)第三阶段：此阶段为辅提效阶段，同时为了避免缺陷产生，同时设置了相对较低的电注入电流和电注入温度。
电注入电流为14～16A，电注入温度(上/中/下温区温度)为240～275℃，电注入时间为600～900s；上电极温度为260～280℃，下电极温度为280～300℃。
(4)第四阶段：本阶段为冷却处理阶段，不设置电注入电流、电注入温度，也不设置辅助加热的上电极、下电极温度，可以采用风冷的方式，比如风扇冷却。
处理时间为1200～1800s。
各阶段的工艺条件控制如下表1所示。
表1 电注入处理工艺
| 阶段 | 第一 | 第二 | 第三 | 第四 |
| 上电极温度/℃ | 260～280 | 260～280 | 260～280 | - |
| 下电极温度/℃ | 280～300 | 280～300 | 280～300 | - |
| 电注入电流/A | 10～12 | 16～18 | 14～16 | - |
| 时间/s | 300～450 | 1500～2250 | 600～900 | 1200～1800 |
| 电注入温度/℃ | - | 260～285 | 240～275 | - |
需要说明的是，第一阶段～第三阶段的每个阶段的温度和电流可以波动变化，只要保证在对应的温度范围和电流范围内即可。
特别地，第一阶段的电注入电流低于第二阶段和第三阶段的电注入电流，第二阶段的电注入电流不低于第三阶段的电注入电流，第二阶段的电注入温度不低于第三阶段的电注入温度；但是优选实施例为，第二阶段的电注入电流高于第三阶段的电注入电流；第二阶段的电注入温度高于第三阶段的电注入温度。
另外，本申请实施例提供了一种N型晶硅电池的制备方法，N型晶硅电池为N型TOPCon电池，其包括以下步骤：
步骤1、处理得到电池片。
处理通常包括制绒、硼扩、刻蚀、隧穿氧化及掺杂非晶硅、激活、清洗、氧化、钝化、镀膜、丝网印刷、烧结等步骤，各步骤的处理方式如下：
制绒：对N型晶体硅进行制绒，形成金字塔结构；
硼扩：制绒后放入扩散炉，以三氯化硼为硼源进行扩散，形成p+掺杂层和硼硅玻璃层；
刻蚀：去除背面硼硅玻璃层；
隧穿氧化层及掺杂非晶硅层：高温氧化，沉积薄的二氧化硅层，并原位掺杂非晶硅层；
激活：非晶硅层在高温下转变为多晶硅，完成晶化；
清洗：去除硼硅玻璃和磷硅玻璃层；
氧化：在两面沉积二氧化硅层；
钝化：在两面沉积氧化铝层；
镀膜：在正面沉积氮氧化硅层，背面沉积氮化硅层；
丝网印刷：正面使用DUP网版，分别印刷主栅和细栅，背面使用SP网版，印刷主栅和细栅；
烧结：在高温烧结炉中形成良好的金属接触。
步骤2、将电池片按照上述的电注入方法进行电注入处理。
以下结合实施例对本申请的特征和性能作进一步的详细描述。
本实施例和对比例的电注入工艺是在同一种电注入装置中进行的，该电注入装置包括框架主体和依次设置于框架主体中的13个工位：工位1、工位2、工位3……，工位13，框架主体的底部设置有可承载电注入料盒沿13个工位的布置方向移动的输送机构，使电注入料盒依次在每个工位停留一定时间以进行相应处理。13个工位中，工位1为上料工位，该工位不设置温度和电流；工位2～工位9为电注入工位，每个工位会设置相同或不同的温度和电流；工位10～工位13为冷却工位，每个工位不设置温度和电流，而是采用风扇冷却的方式。
本实施例和对比例考察的电池提升效率包括以下几方面：Voc-开路电压；Isc-短路电流；Rs-串联电阻；Rsh-并联电阻；FF-填充因子；Ncell-转化效率；Irev2-反向电流。
实施例1
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其按照以下步骤制备得到：
(1)按N型TOPCon电池的常规工艺制备电池片，包括制绒、硼扩、刻蚀、隧穿氧化及掺杂非晶硅、激活、清洗、氧化、钝化、镀膜、丝网印刷、烧结，得到电池片。
(2)将400片电池片堆叠放入电注入料盒，电注入料盒的上电极和下电极均使用2mm的金属盖板，将电注入料盒放入电注入装置中的工位1，并依次经过各个工位进行电注入处理。各个工位的电注入处理工艺如表2所示：
表2 电注入处理工艺
分别检测电池片在电注入前后的各项性能，电注入前后的提升效率效果如表3所示。
提升效率＝电注入后效率–电注入前效率–对比片效率差值。
其中，对比片效率差值是在测试实验片前，先测试对比例的各项性能，以比较同一台测试机在不同时间测试时可能产生的差异，本实施例选用的对比片是已经过电注入的P型PERC电池片。
表3 实验结果
由表3可以看出：以电注入料盒上部的电池片为例，电注入的提升效率即为22.49％-22.37％-(-0.03％)＝0.15％，由于在电注入料盒上中下位置的电池片的提效存在波动，平均提效在0.08％左右。
实施例2
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其与实施例1的制备方式基本相同，不同之处在于：本实施例各个工位的电注入处理工艺如表4所示：
表4 电注入处理工艺
| 工位 | 2 | 3～7 | 8～9 | 10～13 |
| 上电极温度/℃ | 280 | 280 | 280 | - |
| 下电极温度/℃ | 300 | 300 | 300 | - |
| 电流/A | 12 | 18 | 16 | - |
| 每个工位的停留时间/s | 400 | 400 | 400 | 400 |
| 上/中/下温区温度/℃ | - | 280 | 270 | - |
经检测，以电注入料盒上部的电池片为例，电注入的提升效率为0.16％，平均提效在0.10％左右。
实施例3
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其与实施例1的制备方式基本相同，不同之处在于：本实施例各个工位的电注入处理工艺如表5所示：
表5 电注入处理工艺
| 工位 | 2 | 3～7 | 8～9 | 10～13 |
| 上电极温度/℃ | 260 | 260 | 260 | - |
| 下电极温度/℃ | 280 | 280 | 280 | - |
| 电流/A | 10 | 16 | 14 | - |
| 每个工位的停留时间/s | 400 | 400 | 400 | 400 |
| 上/中/下温区温度/℃ | - | 260 | 240 | - |
经检测，以电注入料盒上部的电池片为例，电注入的提升效率为0.18％，平均提效在0.08％左右。
实施例4
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本实施例各个工位的电注入处理工艺如表6所示，电注入前后的提升效率效果如表7所示。
表6 电注入处理工艺
表7 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6963 | 10.2768 | 0.0033 | 4369 | 79.91 | 22.69％ | 0.0658 |
| 电注入后 | 0.6966 | 10.2892 | 0.0033 | 6561 | 80.32 | 22.84％ | 0.0659 |
| 差值 | 0.0003 | 0.0124 | 0.0000 | 2192 | 0.41 | 0.15％ | 0.0001 |
由表7可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池有一定的提效效果，仅Voc的提效效果差一些。
实施例5
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本实施例各个工位的电注入处理工艺如表8所示，电注入前后的提升效率效果如表9所示。
表8 电注入处理工艺
表9 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6929 | 10.2341 | 0.0032 | 2982 | 79.73 | 22.45％ | 0.0559 |
| 电注入后 | 0.6949 | 10.2766 | 0.0033 | 4475 | 80.24 | 22.74％ | 0.0539 |
| 差值 | 0.0020 | 0.0425 | 0.0001 | 1493 | 0.51 | 0.29％ | -0.0020 |
由表9可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池有较佳的提效效果。
实施例6
本实施例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本实施例各个工位的电注入处理工艺如表10所示，电注入前后的提升效率效果如表11所示。
表10 电注入处理工艺
表11 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6942 | 10.2575 | 0.0035 | 219 | 79.15 | 22.37％ | 1.0947 |
| 电注入后 | 0.6952 | 10.2702 | 0.0035 | 259 | 79.38 | 22.49％ | 1.1100 |
| 差值 | 0.0010 | 0.0127 | 0.0000 | 40 | 0.22 | 0.12％ | 0.0153 |
由表11可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池有一定的提效效果。
对比例1
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表12所示，电注入前后的提升效率效果如表13所示。
表12 电注入处理工艺
表13 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.7006 | 10.2698 | 0.0020 | 1207 | 82.11 | 23.44％ | 1.1931 |
| 电注入后 | 0.6986 | 10.2624 | 0.0020 | 2015 | 82.05 | 23.34％ | 1.0845 |
| 差值 | -0.0020 | -0.0074 | 0.0000 | 808 | -0.06 | -0.10％ | -0.1086 |
表12的电注入处理工艺通常适用于P型PERC电池，由表13可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池没有提效。
对比例2
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表14所示，电注入前后的提升效率效果如表15所示。
表14 电注入处理工艺
表15 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6971 | 10.2636 | 0.0033 | 694 | 80.07 | 22.73％ | 1.9940 |
| 电注入后 | 0.6956 | 10.2582 | 0.0033 | 766 | 80.07 | 22.67％ | 2.0128 |
| 差值 | -0.0015 | -0.0054 | 0.0000 | 72 | 0.00 | -0.06％ | 0.0188 |
由表15可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池的提效效果不理想，几乎没有提效。
对比例3
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表16所示，电注入前后的提升效率效果如表17所示。
表16 电注入处理工艺
表17 实验结果
由表17可以看出：虽然相较于对比例2的电注入处理工艺，该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池有一定提效，但提效效果仍不理想，相较于实施例1的提效效果的差距明显。
对比例4
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表18所示，电注入前后的提升效率效果如表19所示。
表18 电注入处理工艺
表19 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6972 | 10.3030 | 0.0036 | 317 | 79.55 | 22.68％ | 2.0003 |
| 电注入后 | 0.6964 | 10.2792 | 0.0037 | 380 | 79.53 | 22.60％ | 2.0183 |
| 差值 | -0.0008 | -0.0238 | 0.0001 | 63 | -0.02 | -0.08％ | 0.0180 |
由表19可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池没有提效效果。
对比例5
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表20所示，电注入前后的提升效率效果如表21所示。
表20 电注入处理工艺
表21 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6928 | 10.2116 | 0.0023 | 2529 | 80.61 | 22.63％ | 0.4207 |
| 电注入后 | 0.6931 | 10.2059 | 0.0024 | 3024 | 80.76 | 22.67％ | 0.4095 |
| 差值 | 0.0003 | -0.0057 | 0.0000 | 495 | 0.15 | 0.04％ | -0.0112 |
由表21可以看出：该电注入处理工艺对于N型TOPCon电池有一定的提效效果，但提效效果不理想，相较于实施例1的提效效果的差距明显。
对比例6
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表22所示，电注入前后的提升效率效果如表23所示。
表22 电注入处理工艺
| 工位 | 2 | 3～9 | 10～13 |
| 上电极温度/℃ | 270 | 270 | - |
| 下电极温度/℃ | 290 | 290 | - |
| 电流/A | 11 | 17 | - |
| 每个工位的停留时间/s | 400 | 400 | 400 |
| 上/中/下温区温度/℃ | - | 270 | - |
表23 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6993 | 10.3067 | 0.0035 | 329 | 79.88 | 22.85％ | 2.2967 |
| 电注入后 | 0.6982 | 10.2855 | 0.0036 | 383 | 79.84 | 22.75％ | 2.2999 |
| 差值 | -0.0012 | -0.0212 | 0.0001 | 54 | -0.05 | -0.10％ | 0.0032 |
整个提效过程中，粘片会严重，碎片率增加；持续高温高电流容易造成无法修复的衰减。
对比例7
本对比例提供一种N型TOPCon电池，其制备方式与实施例1的大致相同，不同之处在于：本对比例各个工位的电注入处理工艺如表24所示，电注入前后的提升效率效果如表25所示。
表24 电注入处理工艺
| 工位 | 2 | 3～9 | 10～13 |
| 上电极温度/℃ | 270 | 270 | - |
| 下电极温度/℃ | 290 | 290 | - |
| 电流/A | 11 | 15 | - |
| 每个工位的停留时间/s | 400 | 400 | 400 |
| 上/中/下温区温度/℃ | - | 250 | - |
表25 实验结果
| Voc | Isc | Rs | Rsh | FF | Ncell | Irev2 | |
| 电注入前 | 0.6971 | 10.2636 | 0.0033 | 694 | 80.07 | 22.73％ | 1.9940 |
| 电注入后 | 0.6956 | 10.2582 | 0.0033 | 766 | 80.07 | 22.67％ | 2.0128 |
| 差值 | -0.0015 | -0.0053 | 0.0001 | 72 | 0.00 | -0.06％ | 0.0188 |
由表25可以看出，电注入过程的低温低电流对缺陷钝化修复有限，提效不明显或存在衰减。
综上所述，本申请实施例的N型晶硅电池的电注入方法及制备方法，用以实现N型晶硅电池的提效，且提效效果好。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，其主要是将电池片依次经过三个阶段的电注入处理：
第一阶段：电注入电流为10～12A，电注入时间为300～450s；
第二阶段：电注入电流为16～18A，电注入温度为260～285℃，电注入时间为1500～2250s；
第三阶段：电注入电流为14～16A，电注入温度为240～275℃，电注入时间为600～900s。
2.根据权利要求1所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，第二阶段的电注入电流不低于第三阶段的电注入电流，第二阶段的电注入温度不低于第三阶段的电注入温度。
3.根据权利要求1所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，还包括第四阶段的冷却处理，第四阶段的处理时间为1200～1800s。
4.根据权利要求1所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，先将所述电池片放入电注入料盒中，再进行电注入处理，所述电注入料盒包括两端开口的盒体和分别盖设于所述盒体两端开口的金属盖板，两块所述金属盖板分别用作上电极和下电极。
5.根据权利要求4所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，所述电池片堆叠放置于所述电注入料盒内，所述电池片的数目为300～500片。
6.根据权利要求4所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，在电注入处理过程中，通过所述上电极和所述下电极之间通电实现对所述电池片施加电注入电流，通过加热所述上电极和所述下电极至一定温度用于补偿所述电池片的温度至电注入温度。
7.根据权利要求6所述的N型晶硅电池的电注入方法，其特征在于，在所述第一阶段、所述第二阶段和所述第三阶段中，所述上电极温度为260～280℃；所述下电极温度为280～300℃。
8.一种N型晶硅电池的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：
将处理得到的电池片按照如权利要求1至7中任一项所述的电注入方法进行电注入处理。
9.根据权利要求8所述的N型晶硅电池的制备方法，其特征在于，所述N型晶硅电池为N型TOPCon电池。
10.根据权利要求8所述的N型晶硅电池的制备方法，其特征在于，所述处理包括以下步骤：制绒、硼扩、刻蚀、隧穿氧化及掺杂非晶硅、激活、清洗、氧化、钝化、镀膜、丝网印刷、烧结。
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