CN112985774B - 一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法 - Google Patents

一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，包括以下步骤：1）、确定光谱仪的镜头与平台A轴垂直；2）、寻找B轴的机械圆心；3）、设定五轴的机械原点；4）、进行角度拟合；5）、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标。与现有技术相比，本发明提供的五轴角度测试方法具有成本低、精度高（1～2um级别），可满足小尺寸产品任意角度的测试。

Description

一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法
技术领域
本发明涉及硅基Micro OLED微显示器领域，具体而言涉及一种使用算法实现一种硅基Micro OLED微显示器在低成本时的高精度的五轴角度测试方法。
背景技术
硅基Micro OLED微型显示器件是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件，区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管（LPTS）为背板的AMOLED器件，其像素为传统显示器件的1/10，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。
而传统低温多晶硅LTPS-OLED显示器仅能达到800PPI的分辨率和120HZ的刷新率，因此容易产生眩晕感，而硅基Micro OLED搭载在高纯度硅基半导体背板电路之上，能够实现2000PPI的分辨率和2000HZ的刷新水平，特别适合包括AR/VR终端、望远镜、军事应用瞄准镜、摄像头、无人机第一视角镜等方面的应用。随着5G应用加持，AR/VR 逐渐从军用市场拓展到消费级市场，向更多领域渗透。
在硅基Micro OLED微型显示器件的光学测试时，由于其本身发光区域尺寸都是mm级别的（如一款产品，其发光区域为6mm*10mm），其上面的显示“+”为2um粗细。而在角度测试时，需要五轴联动，如何在测试任意角度时，保证其光谱仪的测试点一直都在“+”的中心点上面。而市面上的高精度五轴平台的成本动则几十万，对于光学机台来说，成本过高，无法承受。如何用低成本又能达到高精度的五轴平台转动，这是一个难点。
在进行角度测试时，理论上在不同的测量角度时，其沿着机械圆心旋转时，其旋转半径是一致的。但是实际上在不同的测量角度上其旋转半径是有一定的偏差的。导致这一误差的原因主要有以下几点：（1）、由于测试仪器上的X、Y、Z三轴与下面产品放置平台的A、B两轴的匹配性；（2）、机构组装过程中的机械误差；（3）、由于光谱仪本身安装存在的机构误差；（4）、由于产品放置时存在一定的机构误差，比如不是绝对的水平等原因。
由于上面种种原因导致存在不可避免的机构误差，而这些机构误差在进行角度测试时会导致一定的旋转角度误差；同时由于产品本身过小（6mm），故在多倍放大镜下观察时，可以明显看到其测试点与产品中心偏差较大，误差在0.5-1mm左右，而0.5-1mm（500um～1000um）的误差在此类产品上已经非常之大，实际允许误差为1um～2um。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种低成本、高精度的硅基MicroOLED微显示器高精度角度测试方法。
本发明解决技术问题所采用的技术方案是：一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，所述测试方法主要包括以下步骤：
步骤1）、确定光谱仪的镜头与A轴垂直；
在光谱仪的目镜上安装CCD视觉相机，通过相机可以实时得到光谱仪的测试光斑所对准的位置；首先，在平台上放置一个标准的“+”标记；让测试光斑对准 “+”，然后移动测试机台的Z轴，让其上下移动；从相机中实时查看测试光斑是否一直对准这个“+”中心；在移动过程中，随着距离的变化，实时调整光谱仪镜头的焦距，达到在每个距离时，都能清晰的看到“+”标记；当无论是距离最远处还是距离最近处，测试光斑都与“+”标记重合时，则认为光谱仪的镜头与A轴垂直；
步骤2）、寻找B轴的机械圆心；
先在B轴上标记一个“+”标记点，认为此标记点为机械圆心，移动测试机台的X、Y轴，让光谱仪的测试光斑对准此标记点，记录下此标记点的X、Y坐标为（X1，Y1）；将B轴旋转180度，再移动测试机台的X、Y轴，使测试光斑再次对准“+”标记点，记录此时标记点的坐标（X2，Y2）；则B轴的真实机械圆心就是：X0=(X2-X1)/2；Y0=(Y2-Y1)/2；移动B轴回到0度，移动测试机台的X、Y轴到（X0，Y0），然后结合相机实时对准，将“+”移动到（X0，Y0）的位置；
步骤3）、设定五轴的机械原点；
X轴的机械原点为上述步骤2）中的X0；Y轴的机械原点为上述步骤2）中提到的Y0；A轴的机械原点为水平仪测试出来的0度角；B轴机械原点的确定方法为：在平台上画一条通过机械圆心的直线，Y轴前后移动时通过相机观测，同时调整B轴的角度，直到B轴的某个角度达到与Y轴平行，使Y轴能沿着所画的直线移动时，该角度即为B轴的机械原点；Z轴的机械原点为光谱仪的镜头离平台150mm的位置处；
步骤4）、进行角度拟合；
a. 在步骤2）中得到的B轴机械圆心处放置“+”标记，移动X、Y轴，让其回归到（0，0），让光谱仪的测试光斑对准“+”标记；
b. 移动A轴到一定角度a，然后移动X轴，先看到“+”；然后调整Z轴，使“+”标记的竖线到清晰为止，再微调X、Y轴，使测试光斑到“+”标记的中心，记录下此时的X轴坐标、Y轴坐标为（X，Y）；
c. 依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为（Xn，Yn），其中n为≥0的整数；
d. 依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为（Xm，Ym），其中m为≥0的整数；
e. 将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式一；
f. 将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式三；
g. 将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式二；
h. 将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式四；
步骤5）、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标；
实际测试时，已知旋转角度a，产品离平台的高度H，光谱仪实际的高度Z0，没有放置产品时的X轴坐标为X0，X0可根据上述步骤4）中的公式一或公式二得到，旋转半径为r=X0/sin(a)；当放置产品在平台上时，旋转半径R=H+r，得到公式五为X1=H*sin(a)+X0，根据公式五可得到X1；公式六和公式七分别为ΔZ=（H+r）*（1-cos(a)）=(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))（ΔZ为Z轴的变化量）和Z1=Z0-ΔZ=Z0-(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))；根据公式七可得到Z1；根据公式三或公式四，可得到Y1，坐标（X1，Y1，Z1）是产品的中心点与B轴的机械圆心一致时的坐标值。
进一步地，所述步骤1）中，当测试光斑与“+”标记没有对准时，则要通过安装在光谱仪背后的XY微调机构进行调整；XY微调机构，可以在测试机台的X方向和Y方向进行微调；调试方法如下：当测试光斑与“+”标记的距离最近处，让测试光斑在“+”标记的中心；移动测试机台的Z轴到最远处，调整焦距，显示清晰的“+”；此时测试光斑坐落在“+”的位置（X,Y），通过调整XY微调机构把测试光斑调整到“+”坐标的（-X，-Y）；然后再将测试机台的Z轴移动到最近处，将测试光斑对准“+”；再移动测试机台的Z轴到最远处，看测试光斑是否对准“+”；循环多次，直到测试光斑在最近处和最远处都对准“+” 标记。
进一步地，所述步骤4）中，A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔5度的X轴坐标、Y轴坐标，为（Xn，Yn），其中n为整数，n=0～16；A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔-5度的X轴坐标、Y轴坐标，为（Xm，Ym），其中m为整数，m=20～36。
进一步地，所述步骤5）中，当产品的中心点与B轴的机械圆心不重合时，产品的中心点坐标为（X2，Y2，Z2），实际产品放置于平台上时的坐标为（X2+X1，Y2+Y1，Z1）。
进一步地，所述角度测试方法中采用的测试机台包括X轴模组、Y轴模组、Z轴模组、光谱仪、平台、二维旋转台，所述二维旋转台包含A轴和B轴；所述X轴模组、Y轴模组和Z轴模组分别用于调整X轴坐标、Y轴坐标和Z轴坐标；所述光谱仪可通过所述X轴模组、Y轴模组、Z轴模组控制调节方向，所述光谱仪上设有镜头，所述镜头上设有CCD视觉相机，所述光谱仪的背部设有XY微调机构；所述平台用于放置待测试的产品，所述二维旋转台用于调整平台在A轴和B轴上的方位。
本发明的有益效果是：与现有技术相比，本发明提供的五轴角度测试方法具有成本低、精度高（1～2um级别），可满足小尺寸产品任意角度的测试。
附图说明
图1为本发明提供的测试机台的立体结构示意图。
图2为本发明中提供的角度a在0～80度之间与X轴坐标的多项式拟合图。
图3为本发明中提供的角度a在0～-80度之间与X轴坐标的多项式拟合图。
图4为本发明中提供的角度a在0～80度之间与Y轴坐标的多项式拟合图。
图5为本发明中提供的角度a在0～-80度之间与Y轴坐标的多项式拟合图。
图6为本发明中待测产品放置在平台上的示意图。
其中，图1中，1- X轴模组；2- Z轴模组；3-CCD视觉相机；4-光谱仪；5- Y轴模组；6-镜头；7-平台；8-二维旋转台。
具体实施方式
下面通过具体实施例来进一步说明本发明。但这些实例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
实施例
如图1～6所示，一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，所述测试方法主要包括以下步骤：
步骤1）、确定光谱仪的镜头与A轴垂直；
在光谱仪的目镜上安装CCD视觉相机，通过相机可以实时得到光谱仪的测试光斑所对准的位置；首先，在平台上放置一个标准的“+”标记；让测试光斑对准 “+”，然后移动测试机台的Z轴，让其上下移动；从相机中实时查看测试光斑是否一直对准这个“+”中心；在移动过程中，随着距离的变化，实时调整光谱仪镜头的焦距，达到在每个距离时，都能清晰的看到“+”标记；当无论是距离最远处还是距离最近处，测试光斑都与“+”标记重合时，则认为光谱仪的镜头与A轴垂直。
当测试光斑与“+”标记没有对准时，则要通过安装在光谱仪背后的XY微调机构进行调整；XY微调机构，可以在测试机台的X方向和Y方向进行微调；调试方法如下：当测试光斑与“+”标记的距离最近处，让测试光斑在“+”标记的中心；移动测试机台的Z轴到最远处，调整焦距，显示清晰的“+”；此时测试光斑坐落在“+”的位置（X,Y），通过调整XY微调机构把测试光斑调整到“+”坐标的（-X，-Y）；然后再将测试机台的Z轴移动到最近处，将测试光斑对准“+”；再移动测试机台的Z轴到最远处，看测试光斑是否对准 “+”；循环多次，直到测试光斑在最近处和最远处都对准“+” 标记。
步骤2）、寻找B轴的机械圆心；
先在B轴上标记一个“+”标记点，认为此标记点为机械圆心，移动测试机台的X、Y轴，让光谱仪4的测试光斑对准此标记点，记录下此标记点的X、Y坐标为（X1，Y1）；将B轴旋转180度，再移动测试机台的X、Y轴，使测试光斑再次对准“+”标记点，记录此时标记点的坐标（X2，Y2）；则B轴的真实机械圆心就是：X0=(X2-X1)/2；Y0=(Y2-Y1)/2；移动B轴回到0度，移动测试机台的X、Y轴到（X0，Y0），然后结合相机实时对准，将“+”移动到（X0，Y0）的位置。
步骤3）、设定五轴的机械原点；
X轴的机械原点为上述步骤2）中的X0；Y轴的机械原点为上述步骤2）中提到的Y0；A轴的机械原点为水平仪测试出来的0度角；B轴机械原点的确定方法为：在平台上画一条通过机械圆心的直线，Y轴前后移动时通过相机观测，同时调整B轴的角度，直到B轴的某个角度达到与Y轴平行，使Y轴能沿着所画的直线移动时，该角度即为B轴的机械原点；Z轴的机械原点为光谱仪的镜头离平台150mm的位置处。
步骤4）、进行角度拟合；
a. 在步骤2）中得到的B轴机械圆心处放置“+”标记，移动X、Y轴，让其回归到（0，0），让光谱仪的测试光斑对准“+”标记；
b. 移动A轴到一定角度a，然后移动X轴，先看到“+”；然后调整Z轴，使“+”标记的竖线到清晰为止，再微调X、Y轴，使测试光斑到“+”标记的中心，记录下此时的X轴坐标、Y轴坐标为（X，Y）；
c. 依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔5度的X轴坐标、Y轴坐标；d. 依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔-5度的X轴坐标、Y轴坐标。具体数据见下表1和表2，多项式拟合图线见图2～5。
表1：角度与X轴坐标的关系
角度（°） X轴坐标（mm） 角度（°） X轴坐标(mm)
0 0 0 0
5 -17.655 -5 17.47
10 -35.01 -10 34.885
15 -52.115 -15 52.015
20 -68.865 -20 68.705
25 -85.055 -25 84.915
30 -100.975 -30 100.47
35 -115.68 -35 115.2
40 -129.565 -40 129.14
45 -142.515 -45 142.015
50 -154.325 -50 153.85
55 -164.86 -55 164.49
60 -174.135 -60 173.81
65 -182.315 -65 181.75
70 -188.68 -70 188.37
75 -193.955 -75 193.545
80 -197.41 -80 197.16
表2：角度与Y轴坐标的关系
角度(°) Y轴坐标(mm) 角度（°） Y轴坐标(mm)
0 0 0 0
5 0.13 -5 0.1
10 0.13 -10 0.03
15 0.03 -15 0.02
20 0.03 -20 0.07
25 0.03 -25 0.08
30 -0.13 -30 0.01
35 -0.18 -35 -0.07
40 -0.33 -40 -0.16
45 -0.59 -45 -0.27
50 -0.59 -50 -0.37
55 -0.85 -55 -0.61
60 -1.12 -60 -0.95
65 -1.4 -65 -1.13
70 -1.53 -70 -1.24
75 -1.65 -75 -1.46
80 -1.65 -80 -1.47
e. 将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式一。从图2中可以看出，其斜率为旋转半径，当角度a从0度到40度时，其斜率为统一，代表其旋转半径时一致的；当角度a超过40度之后，其斜率成多项式分布，说明其旋转半径在每一度时都发生了变化。
当a>=0，计算X轴坐标使用公式一。
公式一：X= 5E-10a6 - 1E-07a5 + 1E-05a4 - 0.000a3 + 0.006a2 - 3.554a -0.009；上述公式一中，角度值a为图2中的x，X轴移动坐标X为图2中的y。
f. 将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式三。从图4中可以看出，Y轴的移动坐标会随着角度a的不同而变换，可以逼近成一个多项式关系。
当a>=0，计算Y轴坐标使用公式三。
公式三：Y = -1E-10a6 + 4E-08a5 - 4E-06a4 + 0.000a3 - 0.005a2 + 0.049a -0.002；上述公式三中，角度值a为图4中的x，Y轴的移动坐标Y为图4中的y。
g. 将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式二。从图3中可看出，当角度a从0度到-40度时，其斜率基本统一，代表其旋转半径基本一致，但是当角度a超过-40度时，其斜率成多项式分布，说明其旋转半径在每一度时都发生了变化。
当a<=0时，X轴坐标使用公式二。
公式二：X = 5E-11a6 + 1E-08a5 + 1E-06a4 + 0.000a3 + 0.000a2 - 3.501a -0.008；上述公式二中，角度值a为图3中的x，X轴移动坐标X为图3中的y。
h. 将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式四。从图5中可以看出，Y轴的移动坐标会随着角度a的不同而变换，可以逼近成一个多项式关系。
当a<=0时，计算Y轴坐标使用公式四。
公式四：Y = -5E-11a6 - 2E-08a5 - 2E-06a4 - 6E-05a3 - 0.001a2 - 0.012a；上述公式四中，角度值a为图5中的x，Y轴的移动坐标Y为图5中的y。
步骤5）、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标；
实际测试时，已知旋转角度a，产品离平台的高度H，光谱仪实际的高度Z0，没有放置产品时的X轴坐标为X0，X0可根据上述步骤4）中的公式一或公式二得到，旋转半径为r=X0/sin(a)；当放置产品在平台上时，旋转半径R=H+r，得到公式五为X1=H*sin(a)+X0，根据公式五可得到X1；公式六和公式七分别为ΔZ=（H+r）*（1-cos(a)）=(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))（ΔZ是Z轴的变化量。）和Z1=Z0-ΔZ=Z0-(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))；根据公式七可得到Z1；根据公式三或公式四，可得到Y1，坐标（X1，Y1，Z1）是产品的中心点与B轴的机械圆心一致时的坐标值。当产品的中心点与B轴的机械圆心不重合时，产品的中心点坐标为（X2，Y2，Z2），实际产品放置于平台上时的坐标为（X2+X1，Y2+Y1，Z1）。
所述角度测试方法中采用的测试机台包括X轴模组1、Y轴模组5、Z轴模组2、光谱仪4、平台7、二维旋转台8，所述二维旋转台8包括A轴和B轴；所述X轴模组1、Y轴模组5和Z轴模组2分别用于调整X轴坐标、Y轴坐标和Z轴坐标；所述光谱仪4可通过所述X轴模组1、Y轴模组5、Z轴模组2控制调节方向，所述光谱仪4上设有镜头6，所述镜头6上设有CCD视觉相机3，所述光谱仪4的背部设有XY微调机构；所述平台7用于放置待测试的产品，所述二维旋转台8用于调整平台7在A轴和B轴上的方位。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (4)

1.一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，其特征在于，所述测试方法主要包括以下步骤：
步骤1)、确定光谱仪的镜头与A轴垂直；
在光谱仪的目镜上安装CCD视觉相机，通过相机可以实时得到光谱仪的测试光斑所对准的位置；首先，在平台上放置一个标准的“+”标记；让测试光斑对准“+”，然后移动测试机台的Z轴，让其上下移动；从相机中实时查看测试光斑是否一直对准这个“+”中心；在移动过程中，随着距离的变化，实时调整光谱仪镜头的焦距，达到在每个距离时，都能清晰的看到“+”标记；当无论是距离最远处还是距离最近处，测试光斑都与“+”标记重合时，则认为光谱仪的镜头与A轴垂直；
所述步骤1)中，当测试光斑与“+”标记没有对准时，则要通过安装在光谱仪背后的XY微调机构进行调整；XY微调机构，可以在测试机台的X方向和Y方向进行微调；调试方法如下：当测试光斑与“+”标记的距离最近处，让测试光斑在“+”标记的中心；移动测试机台的Z轴到最远处，调整焦距，显示清晰的“+”；此时测试光斑坐落在“+”的位置(X,Y)，通过调整XY微调机构把测试光斑调整到“+”坐标的(-X，-Y)；然后再将测试机台的Z轴移动到最近处，将测试光斑对准“+”；再移动测试机台的Z轴到最远处，看测试光斑是否对准“+”；循环多次，直到测试光斑在最近处和最远处都对准“+”标记；
步骤2)、寻找B轴的机械圆心；
先在B轴上标记一个“+”标记点，认为此标记点为机械圆心，移动测试机台的X、Y轴，让光谱仪的测试光斑对准此标记点，记录下此标记点的X、Y坐标为(X1，Y1)；将B轴旋转180度，再移动测试机台的X、Y轴，使测试光斑再次对准“+”标记点，记录此时标记点的坐标(X2，Y2)；则B轴的真实机械圆心就是：X0＝(X2-X1)/2；Y0＝(Y2-Y1)/2；移动B轴回到0度，移动测试机台的X、Y轴到(X0，Y0)，然后结合相机实时对准，将“+”移动到(X0，Y0)的位置；
步骤3)、设定五轴的机械原点；
X轴的机械原点为上述步骤2)中的X0；Y轴的机械原点为上述步骤2)中提到的Y0；A轴的机械原点为水平仪测试出来的0度角；B轴机械原点的确定方法为：在平台上画一条通过机械圆心的直线，Y轴前后移动时通过相机观测，同时调整B轴的角度，直到B轴的某个角度达到与Y轴平行，使Y轴能沿着所画的直线移动时，该角度即为B轴的机械原点；Z轴的机械原点为光谱仪的镜头离平台150mm的位置处；
步骤4)、进行角度拟合；
a.在步骤2)中得到的B轴机械圆心处放置“+”标记，移动X、Y轴，让其回归到(0，0)，让光谱仪的测试光斑对准“+”标记；
b.移动A轴到一定角度a，然后移动X轴，先看到“+”；然后调整Z轴，使“+”标记的竖线到清晰为止，再微调X、Y轴，使测试光斑到“+”标记的中心，记录下此时的X轴坐标、Y轴坐标为(X，Y)；
c.依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xn，Yn)，其中n为≥0的整数；
d.依据上述步骤b的方法，记录下A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔一定角度时的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xm，Ym)，其中m为≥0的整数；
e.将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式一；
f.将上述步骤c中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到正方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式三；
g.将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“X轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的X轴与角度a之间的多项式关系，为公式二；
h.将上述步骤d中得到的数据，以“角度a”-X，以“Y轴坐标”-Y进行多项式的拟合，得到负方向角度测试时的Y轴与角度a之间的多项式关系，为公式四；
步骤5)、实际产品放置于平台上时的X、Y、Z轴坐标；
实际测试时，已知旋转角度a，产品离平台的高度H，光谱仪实际的高度Z0，没有放置产品时的X轴坐标为X0，X0可根据上述步骤4)中的公式一或公式二得到，旋转半径为r＝X0/sin(a)；当放置产品在平台上时，旋转半径R＝H+r，得到公式五为X1＝H*sin(a)+X0，根据公式五可得到X1；公式六和公式七分别为ΔZ＝(H+r)*(1-cos(a))＝(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))和Z1＝Z0-ΔZ＝Z0-(H+X0/sin(a))*(1-cos(a))，ΔZ为Z轴的变化量；根据公式七可得到Z1；根据公式三或公式四，可得到Y1，坐标(X1，Y1，Z1)是产品的中心点与B轴的机械圆心一致时的坐标值。
2.如权利要求1所述的一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，其特征在于：所述步骤4)中，A轴转动角度a在0度到80度之间每间隔5度的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xn，Yn)，其中n为整数，n＝0～16；A轴转动角度a在0度到-80度之间每间隔-5度的X轴坐标、Y轴坐标，为(Xm，Ym)，其中m为整数，m＝20～36。
3.如权利要求1所述的一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，其特征在于：所述步骤5)中，当产品的中心点与B轴的机械圆心不重合时，产品的中心点坐标为(X2，Y2，Z2)，实际产品放置于平台上时的坐标为(X2+X1，Y2+Y1，Z1)。
4.如权利要求1所述的一种硅基Micro OLED微显示器高精度角度测试方法，其特征在于：所述角度测试方法中采用的测试机台包括X轴模组、Y轴模组、Z轴模组、光谱仪、平台、二维旋转台，所述二维旋转台包含A轴和B轴；所述X轴模组、Y轴模组和Z轴模组分别用于调整X轴坐标、Y轴坐标和Z轴坐标；所述光谱仪可通过所述X轴模组、Y轴模组、Z轴模组控制调节方向，所述光谱仪上设有镜头，所述镜头上设有CCD视觉相机，所述光谱仪的背部设有XY微调机构；所述平台用于放置待测试的产品，所述二维旋转台用于调整平台在A轴和B轴上的方位。
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