CN112964731B - 玻璃检测机台 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 118
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title abstract description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 27
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Abstract
本发明的实施例提供了一种玻璃检测机台，包括：载台；支撑件，位于载台上，支撑件用于将玻璃固定在载台上方，并且支撑件用于在玻璃和载台之间形成空间；取像装置，设置在载台和支撑件上方，取像装置用于获取和接收玻璃的影像。本发明的目的在于提供一种玻璃检测机台，以提高检测的准确性。
Description
技术领域
本发明的实施例涉及玻璃检测机台。
背景技术
在目前的半导体器件的制程中，会对封装或线路结构等设备进行测试，在测试时会以玻璃基板为基底来进行监控，在玻璃基板上来调整参数以确认制程的可行性。在以玻璃基板作为基底之前，需要对玻璃的表面进行检测，以避免颗粒(Particle)对后续的制程产生影响。
发明内容
针对相关技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种玻璃检测机台，以提高检测的准确性。
为实现上述目的，本发明的实施例提供了一种玻璃检测机台，包括：载台；支撑件，位于载台上，支撑件用于将玻璃固定在载台上方，并且支撑件用于在玻璃和载台之间形成空间；取像装置，设置在载台和支撑件上方，取像装置用于获取和接收玻璃的影像。
在一些实施例中，取像装置是电荷耦合器件(CCD)相机。
在一些实施例中，空间的高度大于玻璃的厚度的二倍。
在一些实施例中，空间的高度大于600μm。
在一些实施例中，支撑件包括用于固定玻璃的顶部边缘。
在一些实施例中，顶部边缘包括共用构造成L形的纵向部和横向部，玻璃放置在横向部上，纵向部横向围绕玻璃。
在一些实施例中，纵向部的顶面与玻璃的顶面齐平。
在一些实施例中，纵向部的顶面高于玻璃的顶面。
在一些实施例中，横向部设置有用于吸附固定玻璃的第一真空吸孔。
在一些实施例中，支撑件还包括连接于顶部边缘的横向部的十字支架，十字支架和横向部均接触玻璃。
在一些实施例中，十字支架设置有用于吸附固定玻璃的第二真空吸孔。
在一些实施例中，支撑件还包括连接于横向部和十字支架的复数个延伸部，复数个延伸部接触并支撑玻璃。
在一些实施例中，载台的面向玻璃的表面涂覆有抗反射材料。
在一些实施例中，载台、支撑件和玻璃具有相似形状的外轮廓。
在一些实施例中，在载台和玻璃之间存在颗粒。
在一些实施例中，颗粒位于载台的上表面上并且与玻璃隔开。
在一些实施例中，颗粒位于玻璃的下表面上并且与载台隔开。
在一些实施例中，在玻璃的上表面上也存在颗粒。
在一些实施例中，玻璃是透光的，并且玻璃的表面未涂覆有其他材料。
在一些实施例中，空间由载台、支撑件以及玻璃包围，并且空间为真空的。
附图说明
当结合附图进行阅读时，从以下详细描述可最佳理解本发明的各个方面。应该指出，根据工业中的标准实践，各个部件未按比例绘制。实际上，为了清楚的讨论，各个部件的尺寸可以任意地增大或减小。
图1至图4示出了现有的机台的结构示意图及其成像。
图5至图8示出了根据本申请实施例的机台的结构示意图。
具体实施方式
为更好的理解本申请实施例的精神，以下结合本申请的部分优选实施例对其作进一步说明。
本申请的实施例将会被详细的描示在下文中。在本申请说明书全文中，将相同或相似的组件以及具有相同或相似的功能的组件通过类似附图标记来表示。在此所描述的有关附图的实施例为说明性质的、图解性质的且用于提供对本申请的基本理解。本申请的实施例不应该被解释为对本申请的限制。
如本文中所使用，术语“大致”、“大体上”、“实质”及“约”用以描述及说明小的变化。当与事件或情形结合使用时，所述术语可指代其中事件或情形精确发生的例子以及其中事件或情形极近似地发生的例子。举例来说，当结合数值使用时，术语可指代小于或等于所述数值的±10％的变化范围，例如小于或等于±5％、小于或等于±4％、小于或等于±3％、小于或等于±2％、小于或等于±1％、小于或等于±0.5％、小于或等于±0.1％、或小于或等于±0.05％。举例来说，如果两个数值之间的差值小于或等于所述值的平均值的±10％(例如小于或等于±5％、小于或等于±4％、小于或等于±3％、小于或等于±2％、小于或等于±1％、小于或等于±0.5％、小于或等于±0.1％、或小于或等于±0.05％)，那么可认为所述两个数值“大体上”相同。
在本说明书中，除非经特别指定或限定之外，相对性的用词例如：“中央的”、“纵向的”、“侧向的”、“前方的”、“后方的”、“右方的”、“左方的”、“内部的”、“外部的”、“较低的”、“较高的”、“水平的”、“垂直的”、“高于”、“低于”、“上方的”、“下方的”、“顶部的”、“底部的”以及其衍生性的用词(例如“水平地”、“向下地”、“向上地”等等)应该解释成引用在讨论中所描述或在附图中所描示的方向。这些相对性的用词仅用于描述上的方便，且并不要求将本申请以特定的方向建构或操作。
另外，有时在本文中以范围格式呈现量、比率和其它数值。应理解，此类范围格式是用于便利及简洁起见，且应灵活地理解，不仅包含明确地指定为范围限制的数值，而且包含涵盖于所述范围内的所有个别数值或子范围，如同明确地指定每一数值及子范围一般。
再者，为便于描述，“第一”、“第二”、“第三”等等可在本文中用于区分一个图或一系列图的不同组件。“第一”、“第二”、“第三”等等不意欲描述对应组件。
参见图1至图2，图1为立体图，图2为侧视图。目前需要确认作为基板的玻璃10的颗粒12是否影响制程能力的方式，为将玻璃10贴附于真空的载台14上，藉由CCD获取影像后确认其灰阶来判断位于玻璃的上表面(预作业表面)的颗粒12状态是否会影响制程，然而此方式会因为位于玻璃10背侧的颗粒12的反射或折射距离较短，成像明显而造成误判，发生过杀的情况。其中箭头L表示光线。图3和图4均示出了获取的玻璃10的影像，其中，图3示出了位于玻璃10的上表面的颗粒12的影像，图4示出了位于玻璃10的下表面的颗粒12的影像。
图5示出了本发明的实施例玻璃检测机台50的侧视图，包括：载台52；支撑件54，位于载台52上，支撑件54用于将玻璃10固定在载台52上方，并且支撑件54用于在玻璃10和载台52之间形成空间58；取像装置CCD，设置在载台52和支撑件54上方，取像装置CCD用于获取和接收玻璃10的影像。在一些实施例中，空间58的高度大于玻璃10的厚度的二倍。在一些实施例中，空间58的高度大于600μm。在一些实施例中，支撑件54包括用于固定玻璃10的顶部边缘540。在一些实施例中，顶部边缘包括共用构造成L形的纵向部541和横向部542，玻璃10放置在横向部上542，纵向部541横向围绕玻璃10。在一些实施例中，纵向部541的顶面与玻璃10的顶面齐平。在一些实施例中，参照图6，纵向部541的顶面高于玻璃10的顶面。目前的机台检验具有颗粒12的玻璃需在背面多设置一层种子层，且无法检验纯玻璃。本申请的实施例利用支撑件54将玻璃与载台52距离拉大，让反光效果减少(光反射接收变少)。以机台能力偏差(Deviation)1％检验结果发现过杀数量会由1.5k降到0.05k，过杀数量的减少可以减少覆判缺陷影像的时间。
参见图7至图8，图7示出了本发明的实施例玻璃检测机台50的立体图，图8示出了支撑件54的俯视图。在一些实施例中，横向部542设置有用于吸附固定玻璃10的第一真空吸孔543。在一些实施例中，支撑件54还包括连接于顶部边缘540的横向部的十字支架545，十字支架545和横向部542均接触玻璃10。在一些实施例中，十字支架545设置有用于吸附固定玻璃的第二真空吸孔(未示出)。在一些实施例中，支撑件54还包括连接于横向部542和十字支架545的复数个延伸部546，复数个延伸部接触并支撑玻璃10。
在一些实施例中，载台52的面向玻璃10的表面涂覆有抗反射材料，以进一步减小对玻璃10下表面处的颗粒12的反射。在一些实施例中，载台52、支撑件54和玻璃10具有相似形状的外轮廓，例如而不限于如图所示的正方形。在一些实施例中，在载台52和玻璃10之间存在颗粒12，颗粒12可能是落尘。在一些实施例中，颗粒12位于载台52的上表面上并且与玻璃10隔开。在一些实施例中，颗粒12位于玻璃10的下表面上并且与载台52隔开。在一些实施例中，在玻璃10的上表面上也存在颗粒12。在一些实施例中，玻璃10是透光的，并且玻璃10的表面未涂覆有其他材料。在一些实施例中，空间58由载台52、支撑件54以及玻璃10包围，并且空间58为真空的。
本申请在真空的载台52与待测的玻璃基板之间提供一空间58，使位于在玻璃下的光源能够进行散射或折射，并且拉远反射距离，降低CCD接收到光源影像，因此位于玻璃下的颗粒会因光的散射或折射、且与CCD之间反射距离较长降低聚焦于CCD上的可能，造成影像雾化，以避免位于玻璃基板背侧上的颗粒判定为位于玻璃基板上表面的颗粒。借由上述技术，本发明还实现使反射光接收变少，以降低反光效果，避免误判。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (18)
1.一种玻璃检测机台，其特征在于，包括：
载台；
支撑件，位于所述载台上，所述支撑件用于将所述玻璃固定在所述载台上方，并且所述支撑件用于在所述玻璃和所述载台之间形成空间；
取像装置，设置在所述载台和所述支撑件上方，所述取像装置用于获取和接收所述玻璃的影像，
其中，所述空间使得位于在所述玻璃下的光源进行散射或折射，并且所述空间拉远反射距离，以避免位于所述玻璃的下表面上的颗粒判定为位于所述玻璃的上表面的颗粒，
其中，所述空间的高度大于所述玻璃的厚度的二倍，所述载台的面向所述玻璃的表面涂覆有抗反射材料。
2.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述取像装置是电荷耦合器件相机。
3.根据权利要求1-2任一项所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述空间的高度大于600μm。
4.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件包括用于固定所述玻璃的顶部边缘。
5.根据权利要求4所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述顶部边缘包括共用构造成L形的纵向部和横向部，所述玻璃放置在所述横向部上，所述纵向部横向围绕所述玻璃。
6.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述纵向部的顶面与所述玻璃的顶面齐平。
7.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述纵向部的顶面高于所述玻璃的顶面。
8.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述横向部设置有用于吸附固定所述玻璃的第一真空吸孔。
9.根据权利要求5所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件还包括连接于所述顶部边缘的所述横向部的十字支架，所述十字支架和所述横向部均接触所述玻璃。
10.根据权利要求9所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述十字支架设置有用于吸附固定所述玻璃的第二真空吸孔。
11.根据权利要求9所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述支撑件还包括连接于所述横向部和所述十字支架的复数个延伸部，所述复数个延伸部接触并支撑所述玻璃。
12.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述载台、所述支撑件和所述玻璃具有相似形状的外轮廓。
13.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，在所述载台和所述玻璃之间存在颗粒。
14.根据权利要求13所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述颗粒位于所述载台的上表面上并且与所述玻璃隔开。
15.根据权利要求13所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述颗粒位于所述玻璃的下表面上并且与所述载台隔开。
16.根据权利要求13所述的玻璃检测机台，其特征在于，在所述玻璃的上表面上也存在颗粒。
17.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述玻璃是透光的，并且所述玻璃的表面未涂覆有其他材料。
18.根据权利要求1所述的玻璃检测机台，其特征在于，所述空间由所述载台、所述支撑件以及所述玻璃包围，并且所述空间为真空的。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202110190143.3A CN112964731B (zh) | 2021-02-18 | 玻璃检测机台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110190143.3A CN112964731B (zh) | 2021-02-18 | 玻璃检测机台 |
Publications (2)
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| CN112964731A CN112964731A (zh) | 2021-06-15 |
| CN112964731B true CN112964731B (zh) | 2024-07-05 |
Family
ID=
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1924513A (zh) * | 2005-08-31 | 2007-03-07 | De&T株式会社 | 用于玻璃面板的微观检测装置 |
Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN1924513A (zh) * | 2005-08-31 | 2007-03-07 | De&T株式会社 | 用于玻璃面板的微观检测装置 |
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