CN112947006A - 一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质 - Google Patents

一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质 Download PDF

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Abstract

本申请实施例公开了一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。该方法包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行处理的对准标记组，减少了对准标记选择的数据运算量，同时提高了对准标记组的选择效率。

Description

一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质
技术领域
本申请实施例涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质。
背景技术
投影扫描式光刻机通常用于将掩模上的图像清晰、正确地成像在涂有光刻胶的硅片或基板上。为了满足套刻的要求，通常需要在裸片上制定对准标记，后续工艺层会根据标记进行对准，因此对准标记的选择直接影响着套刻的效果。
现有技术中，通常采用全局搜索的方式进行对准标记的选择。然而，当裸片上预先制定的对准标记数量较多时，进行对准标记选择的数据运算量较大，将会占用较大的内存资源，同时运算时间较长，严重降低了运算效率。
发明内容
本申请提供一种对准标记选择方法、装置、设备、光刻系统及介质，以减少对准标记选择的数据运算量，提高选择效率。
第一方面，本申请实施例提供了一种对准标记选择方法，包括：
将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
第二方面，本申请实施例还提供了一种对准标记选择装置，包括：
种群构建模块，用于将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
适应度确定模块，用于根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
对准标记组选择模块，用于根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
第三方面，本申请实施例还提供了一种电子设备，包括：
一个或多个处理器；
存储器，用于存储一个或多个程序；
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如第一方面实施例所提供的一种对准标记选择方法。
第四方面，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如第一方面实施例所提供的一种对准标记选择方法。
本申请实施例将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包括多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据种群中各染色体的适应度，从种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行处理的对准标记组，减少了对准标记选择的数据运算量，同时提高了对准标记组的选择效率。
附图说明
图1是本申请实施例一中的一种对准标记选择方法的流程图；
图2是本申请实施例二中的一种对准标记选择方法的流程图；
图3是本申请实施例三中的一种对准标记选择方法的流程图；
图4A是本申请实施例四中的一种对准标记选择方法的流程图；
图4B是本申请实施例四中的一种预测残差变化图；
图4C是通过本申请实施例四中的方案所确定的对准标记分布示意图；
图4D是通过现有技术穷举所确定的对准标记分布示意图；
图5是本申请实施例五中的一种对准标记选择装置的结构图；
图6是本申请实施例六中的一种电子设备的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。
实施例一
图1是本申请实施例一中的一种对准标记选择方法的流程图，本申请实施例适用于对基板(例如硅片)进行光刻或验证基板性变形等情况下，对基板中的对准标记进行选择的情况，该方法通过对准标记选择装置执行，该装置采用软件和/或硬件实现，并具体配置于电子设备中。
如图1所示的一种对准标记选择方法，包括：
S110、将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群。
将对准标记作为基因，通过将设定数量的基因组合生成染色体，并基于多个染色体构建种群。
S120、根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度。
其中，适应度用于标识不同染色体的被选择程度。
针对种群中的每一个染色体，根据染色体中每个对准标记的实际位置信息与理论位置信息，确定染色体的适应度，以通过对准标记的位置信息，对各染色体进行条件限定。
其中，对准标记的理论位置信息在基板中进行对准标记生成时进行确定，并预先存储在电子设备、与电子设备相关联的其他设备或云端中，并在需要时进行理论位置信息的获取。
其中，对准标记的实际位置信息，可以通过光刻系统的离轴光学系统进行位置测量得到。
S130、根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
将种群中各染色体的适应度作为选择条件，基于“优胜劣汰”的思想对种群中的染色体进行选择。示例性地，可以选择种群中染色体的适应度最高的目标染色体，并将选择的目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，使用选择的对准标记组对基板进行处理。
需要说明的是，选择的目标染色体的数量可以根据用户需要进行设定。一般的，为了避免仅选择一个目标染色体时，由于偶然因素导致的该染色体对应的对准标记组无法使用的情况的发生，通常会选择多个目标染色体，相应的，得到多组对准标记组。在基于选择的对准标记组对基板进行处理时，选择其中一组对准标记组进行使用，剩余对准标记组留作备用。
在本申请实施例的一种可选实施方式中，在从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组之后，还可以选择选择其中一组对准标记组作为目标对准标记组，并根据所述目标对准标记组对所述基板进行对准；若对准失败，则选择其余对准标记组中的其中一组作为备用对准标记组，并根据所述备用对准标记组对所述基板进行对准。
在本申请实施例的另一可选实施方式中，在从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组之后，还可以根据对准标记组中的各对准标记的实际位置信息，拟合对准参数；根据所述对准参数中包含的旋转参数，确定非正交因子；根据各所述对准标记组的非正交因子的差异，确定所述基板是否发生形变。
其中，对准参数包括基板在移动工件台中进行移动时在第一方向(例如X方向)的旋转参数和与第一方向垂直的第二方向(例如Y方向)的旋转参数；在第一方向和第二方向上的平移参数，以及在第一方向和第二方向上的倍率参数。
其中，根据对准标记组中的各对准标记的实际位置进行对准参数拟合时，可以采用现有技术的方式加以实现。
示例性地，根据对准参数中包含的旋转参数，确定非正交因子，可以是通过第二方向的旋转参数与第一方向的旋转参数做差，将确定的差值作为非正交因子。相应的，根据各对准标记组的非正交因子的差异，确定所述基板是否发生形变，可以是确定对准标记组的非正交因子的平均值，并将各对准标记组的非正交因子与确定的平均值之间的差值作为差异参考值；根据各对准标记组的差异参考值与设定差异参考阈值，确定基板是否发生形变。例如，当存在对准标记组的差异参考值大于设定差异参考阈值，则确定基板发生形变；当不存在对准标记组的差异参考值大于设定差异参考阈值，则确定基板未发生形变。
可以理解的是，为了避免进行染色体选择时，所选择的染色体中的对准标记位置过于集中或出现共线情况，使得基于所选择的染色体对应的对准标记组进行其他操作时，影响操作结果，例如使用对准标记组进行对准时，对准效果较差，因此在形成染色体时，典型是保证染色体中各对准标记位置离散且不共线。
本申请实施例将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包括多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据种群中各染色体的适应度，从种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行处理的对准标记组，减少了对准标记选择的数据运算量，同时提高了对准标记组的选择效率。
实施例二
图2是本申请实施例二中的一种对准标记选择方法的流程图，本申请实施例在上述各实施例的技术方案的基础上，进行了优化改进。
进一步地，将“构建包含多个染色体的种群”，细化为“基于多个染色体构建种群；对所述种群进行基因突变，以更新种群；其中，更新前的种群和更新后的种群中染色体数量一致”，以完善种群的构建机制。
如图2所示的一种对准标记选择方法，包括：
S210、将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并基于多个染色体构建种群。
S220、对所述种群进行基因突变，以更新种群；其中，更新前的种群和更新后的种群中染色体数量一致。
可以理解的是，通过基因突变的方式对种群中的染色体进行更新，以在种群中添加新的染色体，从而实现染色体的更新换代，以便增加更优的对准标记组选择方案。
在本申请实施例的一种可选实施方式中，对种群进行基因突变，以更新种群，可以是根据种群中各染色体的对准标记的实际位置信息和理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据种群中各染色体的适应度，对种群中所包含的染色体进行筛选；对筛选后的染色体进行基因突变，并采用突变后的染色体更新种群。
可以理解的是，通过适应度对种群中的染色体进行筛选，将适应度较差的染色体进行删除，保留适应度较好的染色体，从而保证种群中的染色体对应的对准标记组使用效果较佳。为了提高所选择的染色体对应的对准标记组的使用效果，还可以通过将适应度较好的染色体进行基因突变的方式，在种群中引入新的染色体，以实现对所选择染色体的增广。
需要说明的是，为了保证种群中所包含的染色体的适应度，在对种群进行更新时，可以增加更新次数，从而在每次种群更新时，将适应度较差的染色体剔除，并在种群中引入新的染色体以更新种群；继续对更新后的种群中的各染色体进行适应度确定，并通过确定的适应度进行染色体的筛选和剔除；通过对筛选的染色体进行基因突变得到新的染色体，在种群中引入突变后的染色体以更新种群。如此周而复始，对种群中的染色体，通过适应度优胜劣汰，从而使最后得到的种群中的染色体的适应度均普遍较高。其中，对种群的更新次数，可以由技术人员根据经验值进行确定，还可以通过大量试验择优选取。
需要说明的是，在对筛选后的染色体进行基因突变时，可以通过剔除的染色体的数量，进行突变后的染色体数量的控制，从而使更新前后的种群中所包含的染色体的数量相一致。可选的，在进行基因突变过程中，从筛选后的染色体中随机选取一染色体作为当前染色体，并对当前染色体进行基因突变，将突变后的染色体添加至剔除染色体后的种群中，以更新种群；从筛选后的其他染色体中继续进行当前染色体的选取操作，制止更新后的种群与剔除染色体前的种群中所包含染色体的数量一致。
为了加快种群中所包含染色体的适应度的收敛速度，还可以在对种群中的染色体进行基因突变的过程中，引入变异概率，以控制变异的发生时机。示例性地，在选取出当前染色体，并对当前染色体进行基因突变之后，通过生成一0～1之间的随机数，确定种群接受该突变行为的概率；当随机数小于设定变异阈值时，则不接受该次突变行为产生的染色体，返回执行当前染色体选取操作；当随机数不小于设定变异阈值时，接受该次突变行为产生的染色体，将突变后的染色体添加至剔除染色体后的种群中，以更新种群，并返回执行当前染色体选取操作。
可以理解的是，为了保证构建的种群中的染色体中的各对准标记位置离散，且不共线，在本申请实施例的一种可选实施方式中，还可以在构建种群之前，根据所述染色体中各对准标记的理论位置信息，确定所述染色体的位置离散度和相关系数；根据所述位置离散度和所述相关系数，对所述染色体进行筛选；相应的，根据筛选出的染色体构建种群。
为了保证更新的种群中的染色体中的各对准标记位置离散，且不共线，在本申请实施例的另一可选实施方式中，还可以在更新种群之前，根据突变后的染色体中各对准标记的理论位置信息，确定突变后的染色体的位置离散度和相关系数；根据突变后的染色体的位置离散度和所述相关系数，对突变后的染色体进行筛选；相应的，根据筛选出的突变后的染色体更新种群。
可选的，可以采用如下公式确定染色体的位置离散度：
Figure BDA0002290017740000091
其中，D(X)为第一方向，也即X方向的位置离散度；D(Y)为第二方向，也即Y方向的位置离散度；(Xi,Yi)为染色体中第i个对准标记的理论位置坐标；
Figure BDA0002290017740000092
为染色体中各对准标记的平均位置坐标；N为染色体中包含的对准标记的数量。
当然，位置离散度还可以通过现有技术中的能够反映对准标记之间位置关系的其他参数进行替代，在此不再赘述。
其中，相关系数可以通过现有技术加以确定，在此不再赘述。
可选的，根据所述位置离散度和所述相关系数，对所述染色体进行筛选，可以是：筛选出位置离散度均大于设定离散度阈值，且相关系数大于设定相关系数阈值的染色体，也即剔除位置离散度不大于设定离散度阈值，或者相关系数不大于设定相关系数阈值的染色体。其中，设定离散度阈值和设定相关系数阈值由技术人员根据需要或经验值进行设定。例如，设定离散度阈值可以是100(对应位置坐标单位为mm)；设定相关系数阈值可以是0.3。
S230、根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度。
需要说明的是，由于更新后的种群中包括从上一种群中筛选出的第一染色体和基于筛选出的第一染色体基因突变后得到的第二染色体，而在每次进行染色体更新时，均会进行适应度计算，所以第一染色体的适应度在上一种群中已经确定，无需再次计算。也就是说，在确定更新后的种群中各染色体的适应度时，延续使用各第一染色体的适应度，仅需确定各第二染色体的是适应度即可。
S240、根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
本申请实施例通过对种群构建步骤细化为基于多个染色体构建种群；对种群中染色体进行基因突变，以更新种群；其中，更新前后的种群中染色体数量一致，完善了种群的构建机制，并通过基因突变的方式改变种群中的染色体，增加了染色体的选择广度，进而提高了所选择的染色体对应的对准标记组的准确度。
实施例三
图3是本申请实施例三中的一种对准标记选择方法的流程图，本申请实施例在上述各实施例的技术方案的基础上，进行了优化改进。
进一步地，将操作“根据种群中各染色体中对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度”，细化为“针对种群中的每个染色体，根据所述染色体中各对准标记的实际位置与理论位置，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差；根据所述染色体中各对准标记的对准偏差确定预测残差，并根据所述预测残差，确定所述染色体的适应度”，以完善染色体适应度的确定机制。
如图3所示的一种对准标记选择方法，包括：
S310、将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群。
S320、针对种群中的每个染色体，根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差。
在本申请实施例的一个可选实施方式中，在根据染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各对准标记的对准偏差，可以是：根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息，拟合对准参数；根据所述对准参数和对准标记的理论位置信息，分别预测所述染色体中各对准标记的对准偏差。其中，对准参数包括在在第一方向(例如X方向)和第二方向(例如Y方向)上的平移参数、倍率参数以及旋转参数。
示例性地，可以采用如下公式预测对准标记的对准偏差：
Figure BDA0002290017740000121
其中，[Tx,Ty,Mx,My,Rx,Ry]为拟合出的对准参数；Tx、Ty分别表示在X方向上的平移参数和Y方向上的平移参数；Mx、My分别表示在X方向上的倍率参数和Y方向上的倍率参数；Rx、Ry分别表示在X方向上的旋转参数和Y方向上的旋转参数；
Figure BDA0002290017740000127
分别表示X方向上的对准偏差和Y方向上的对准偏差。
S330、根据所述染色体中各对准标记的对准偏差确定预测残差，并根据所述预测残差，确定所述染色体的适应度。
示例性地，可以采用以下公式，确定染色体的预测残差：
Figure BDA0002290017740000122
其中，
Figure BDA0002290017740000123
为染色体中各对准标记的
Figure BDA0002290017740000124
的平均值和
Figure BDA0002290017740000125
的平均值；pre_error为染色体的预测残差。
示例性地，根据预测残差，确定染色体的适应度，可以构建以预测残差为自变量的单调函数，将所构建的单调函数的函数值作为适应度。其中，单调函数可以是单调递增函数或单调递减函数。
例如，可以采用以下工作，确定染色体的适应度：
Figure BDA0002290017740000126
其中，fit为染色体的适应度。
S340、根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
本申请实施例将染色体的适应度确定过程细化为针对种群中的每个染色体，根据染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测染色体中各对准标记的对准偏差；根据染色体中各对准偏差确定预测残差，并根据预测残差确定染色体的适应度，完善了适应度的确定机制，使得在进行染色体选择时，能够充分考虑染色体中所包含的各对准标记组合后的对准偏差，从而保证所选择的染色体对应的对准标记组的对准精度。
实施例四
图4A是本申请实施例四中的一种对准标记选择方法的流程图，本申请实施例在上述各实施例的技术方案的基础上，提供了一种优选实施方式。
如图4A所示的一种对准标记选择方法，包括：
S401、对基板中的所有标记进行0-1编码，形成一个染色体；
其中基因个数为标记个数，1表示选择，0表示不选择。
S402、根据染色体的理论位置信息确定位置离散度和相关系数。
具体的，可以采用如下公式确定染色体的位置离散度：
Figure BDA0002290017740000131
其中，D(X)为第一方向，也即X方向的位置离散度；D(Y)为第二方向，也即Y方向的位置离散度；(Xi,Yi)为染色体中第i个对准标记的理论位置坐标；(X,Y)为染色体中各对准标记的平均位置坐标；N为染色体中包含的对准标记的数量。
S403、判断染色体的位置离散度是否大于设定离散度阈值，且相关系数大于设定相关系数阈值；若是，则继续执行S404A；否则执行S404B。
其中，设定离散度阈值为100(对应位置坐标单位为mm)；设定相关系数阈值为0.3。
S404A、选择多个染色体构建种群。继续执行S405。
S404B、不使用该染色体构建种群。
S405、针对种群中的每个染色体，根据染色体中包含的各对准标记的实际位置信息和理论位置信息，确定染色体的适应度。
具体的，根据以下公式预测对准标记的对准偏差：
Figure BDA0002290017740000141
其中，[Tx,Ty,Mx,My,Rx,Ry]为拟合出的对准参数；Tx、Ty分别表示在X方向上的平移参数和Y方向上的平移参数；Mx、My分别表示在X方向上的倍率参数和Y方向上的倍率参数；Rx、Ry分别表示在X方向上的旋转参数和Y方向上的旋转参数；
Figure BDA0002290017740000142
分别表示X方向上的对准偏差和Y方向上的对准偏差。
具体的，根据以下公式，确定染色体的预测残差：
Figure BDA0002290017740000143
其中，
Figure BDA0002290017740000144
为染色体中各对准标记的
Figure BDA0002290017740000145
的平均值和
Figure BDA0002290017740000146
的平均值；pre_error为染色体的预测残差。
具体的，根据以下公式，确定染色体的适应度：
Figure BDA0002290017740000147
其中，fit为染色体的适应度。
S406、根据种群中各染色体的适应度进行排序，剔除设定数量适应度较差的染色体。
其中，设定数量可以由预先设定的适应度阈值确定，还可以根据预先设定的比例确定。
S407、从剔除后的染色体中随机选择一未选择的染色体作为当前染色体；
S408、通过随机函数，生成该当前染色体的突变概率。
其中，随机函数为0-1之间的随机函数。
S409、判断突变概率是否大于设定突变阈值，若是，则继续执行S410；否则，返回执行S407。
其中，设定突变阈值可以通过大量试验反复确定。
S410、对染色体进行基因突变，并根据突变后的染色体的理论位置信息确定位置离散度和相关系数。
其中，位置离散度参照前述公式进行确定，相关系数参照现有技术进行确定。
S411、判断突变后染色体的位置离散度是否大于设定离散度阈值，且相关系数大于设定相关系数阈值；若是，则执行S412；否则返回执行S407。
S412、将突变后的染色体添加至剔除染色体后的种群中，以更新种群。
S413、判断更新后的种群与初始构建的种群中的染色体数量是否一致；若是，则执行S414；否则，返回执行S407。
S414、判断种群的更新次数是否达到设定更新次数；若是，执行S415；否则，返回执行S405。
其中，设定更新次数可以通过技术人员根据大量试验反复确定。
参见图4B所示的预测残差变化图可知，通过大量试验表明，当种群更新次数，也即遗传代数不断增加，后续进行目标染色体选择时，所选择的目标染色体的预测残差也不断减小，当遗传代数增加到一定程度，预测残差趋于平稳，因此可以通过反复实验进行遗传代数的确定。
S415、根据突变后的染色体中包含的各对准标记的实际位置信息和理论位置信息，确定突变后的染色体的适应度。
其中，适应度的确定方式参照前述公式。
S416、根据种群中各染色体的适应度进行排序，选取适应度最高的设定数目的目标染色体。
其中，设定数目可以由技术人员根据需要或经验值进行确定。例如，设定数目可以是5。
图4C和图4D分别示例性给出了采用本申请方案和现有技术穷举的方式从基板中的从对准标记1-16中选取6个对准标记时，对应的对准标记分布示意图。其中，图4C最终确定的对准标记组为[1,3,4,7,9,12]，预测残差为42nm；图4D最终确定的对准标记组为[2,3,8,10,14,15]，预测残差为41nm。由此可见，通过本申请的技术方案选择的对准标记组接近最优解，但确定过程的计算量显著减少，确定效率显著提升。
S417A、选择其中一个目标染色体中的对准标记，对基板进行对准。
当使用选择的目标染色体对应的对准标记对基本进行对准失败时，重新选择一目标染色体中的对准标记对基板进行对准，直至对准成功，或使用完所有该的目标染色体。
S417B、根据各目标染色体分别对应的对准标记组，确定基板是否发生形变。
具体的，针对每个目标染色体，根据目标染色体中各对准标记的实际位置信息，分别拟合对准参数；将对准参数中的Y向旋转参数与X向旋转参数做差，确定非正交因子；若各目标染色体的非正交因子小于预设非正交阈值，则确定基板已发生形变，否则确定未发生形变。
实施例五
图5是本申请实施例五中的一种对准标记选择装置的结构图，本申请实施例适用于对基板(例如硅片)进行光刻或验证基板性变形等情况下，对基板中的对准标记进行选择的情况，该装置采用软件和/或硬件实现，并具体配置于电子设备中。
如图5所示的一种对准标记选择装置，包括：种群构建模块510、适应度确定模块520和对准标记组选择模块530。其中，
种群构建模块510，用于将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
适应度确定模块520，用于根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
对准标记组选择模块530，用于根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
本申请实施例通过种群构建模块将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包括多个染色体的种群；通过适应度确定模块根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；通过对准标记组选择模块根据种群中各染色体的适应度，从种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对基板进行处理。上述技术方案通过基于基板中的对准标记作为染色体构建种群，并通过对准标记的位置信息对种群中的染色体进行筛选，从而确定后续对基板进行处理的对准标记组，减少了对准标记选择的数据运算量，同时提高了对准标记组的选择效率。
进一步地，种群构建模块510，包括：
种群构建单元，用于基于多个染色体构建种群；
种群更新单元，用于对所述种群进行基因突变，以更新种群；其中，更新前的种群和更新后的种群中染色体数量一致。
进一步地，种群更新单元，具体用于：
根据种群中各染色体的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定所述种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，对所述种群中所包含的染色体进行筛选；
对筛选后的染色体进行基因突变，并采用突变后的染色体更新种群。
进一步地，所述染色体中的各对准标记位置离散，且不共线。
进一步地，该装置还包括，筛选模块，用于
在构建种群，或更新种群之前，根据所述染色体中各对准标记的理论位置信息，确定所述染色体的位置离散度和相关系数；
根据所述位置离散度和所述相关系数，对所述染色体进行筛选。
进一步地，适应度确定模块520或种群更新单元，在执行根据种群中各染色体中对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度时，具体用于：
针对种群中的每个染色体，根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差；
根据所述染色体中各对准标记的对准偏差确定预测残差，并根据所述预测残差，确定所述染色体的适应度。
进一步地，适应度确定模块520或种群更新单元，在执行根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差时，具体用于：
根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息，拟合对准参数；
根据所述对准参数和对准标记的理论位置信息，分别预测所述染色体中各对准标记的对准偏差。
上述对准标记选择装置可执行本申请任意实施例所提供的对准标记选择方法，具备执行对准标记选择方法相应的功能模块和有益效果。
实施例六
图6是本申请实施例六中的一种电子设备的结构图，该设备包括：输入装置610、输出装置620、处理器630以及存储装置640。
其中，输入装置610，用于获取种群中各染色体中的对准标记的实例位置信息与理论位置信息
输出装置620，用于输出确定的对准标记组；
一个或多个处理器630；
存储装置640，用于存储一个或多个程序。
图6中以一个处理器630为例，该电子设备中的输入装置610可以通过总线或其他方式与输出装置620、处理器630以及存储装置640相连，且处理器630和存储装置640也通过总线或其他方式连接，图6中以通过总线连接为例。
在本实施例中，电子设备中的处理器630可以将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；还可以从输入装置610中获取种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息；并根据从输入装置610获取的种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；还可以根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理；还可以控制输出装置620对确定的对准标记组加以显示。
该电子设备中的存储装置640作为一种计算机可读存储介质，可用于存储一个或多个程序，所述程序可以是软件程序、计算机可执行程序以及模块，如本申请实施例中对准标记选择方法对应的程序指令/模块(例如，附图5所示的种群构建模块510、适应度确定模块520和对准标记组选择模块530)。处理器630通过运行存储在存储装置640中的软件程序、指令以及模块，从而执行电子设备的各种功能应用以及数据处理，即实现上述方法实施例中的对准标记选择方法。
存储装置640可包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序；存储数据区可存储数据等(如上述实施例中的染色体、对准标记的理论位置信息与实际位置信息以及染色体的适应度等)。此外，存储装置640可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非易失性固态存储器件。在一些实例中，存储装置640可进一步包括相对于处理器630远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至服务器。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
实施例七
本申请实施例还提供了一种光刻系统，该光刻系统上设置有图6所述的电子设备，以通过该电子设备进行对准标记的选择，从而通过选择的对准标记组对基板进行对准，并在对准后对基板进行光刻处理。
实施例八
本申请实施例八还提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被对准标记选择装置执行时实现本申请实施提供的对准标记选择方法，该方法包括：将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
通过以上关于实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，本申请可借助软件及必需的通用硬件来实现，当然也可以通过硬件实现，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如计算机的软盘、只读存储器(Read-Only Memory,ROM)、随机存取存储器(RandomAccess Memory,RAM)、闪存(FLASH)、硬盘或光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述的方法。
注意，上述仅为本申请的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本申请不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本申请的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本申请进行了较为详细的说明，但是本申请不仅仅限于以上实施例，在不脱离本申请构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本申请的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种对准标记选择方法，其特征在于，包括：
将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，构建包含多个染色体的种群，包括：
基于多个染色体构建种群；
对所述种群进行基因突变，以更新种群；其中，更新前的种群和更新后的种群中染色体数量一致。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，对所述种群进行基因突变，以更新种群，包括：
根据种群中各染色体的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定所述种群中各染色体的适应度；
根据所述种群中各染色体的适应度，对所述种群中所包含的染色体进行筛选；
对筛选后的染色体进行基因突变，并采用突变后的染色体更新种群。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，在构建种群，或更新种群之前，所述方法还包括：
根据所述染色体中各对准标记的理论位置信息，确定所述染色体的位置离散度和相关系数；
根据所述位置离散度和所述相关系数，对所述染色体进行筛选。
5.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，根据种群中各染色体中对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度，包括：
针对种群中的每个染色体，根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差；
根据所述染色体中各对准标记的对准偏差确定预测残差，并根据所述预测残差，确定所述染色体的适应度。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别预测所述染色体中各所述对准标记的对准偏差，包括：
根据所述染色体中各对准标记的实际位置信息，拟合对准参数；
根据所述对准参数和对准标记的理论位置信息，分别预测所述染色体中各对准标记的对准偏差。
7.一种对准标记选择装置，其特征在于，包括：
种群构建模块，用于将基板中设置的设定数量的对准标记作为染色体，并构建包含多个染色体的种群；
适应度确定模块，用于根据种群中各染色体中的对准标记的实际位置信息与理论位置信息，分别确定种群中各染色体的适应度；
对准标记组选择模块，用于根据所述种群中各染色体的适应度，从所述种群中选择目标染色体，并将目标染色体包括的对准标记作为对准标记组，用于对所述基板进行处理。
8.一种电子设备，其特征在于，包括：
一个或多个处理器；
存储器，用于存储一个或多个程序；
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1-6任一项所述的一种对准标记选择方法。
9.一种光刻系统，其特征在于，包括如权利要求8所述的电子设备。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-6任一项所述的一种对准标记选择方法。
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