CN112946120A - 一种离子浓度检测设备和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种离子浓度检测设备和方法。离子浓度检测设备包括输入组件和分析组件，所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环，所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连，所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍，N大于1，所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。本发明实施例在环境中可能存在的污染物一定的情况下，对于标准溶液的影响更低，从而有助于提高测量结果的准确程度。
Description
技术领域
本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种离子浓度检测设备和方法。
背景技术
离子色谱法可以用于测量硅片等半导体、超纯水或空气中阴阳离子含量，相关技术中，通常采用的是大定量环单一进样或微量进样针和大环共同作用的方式。然而这种测量方式可能受到环境的污染，导致对于离子检测的准确程度降低。
发明内容
本发明实施例提供一种离子浓度检测设备和方法，以解决现有测量方式可能受到环境的污染，导致对于离子检测的准确程度降低的问题。
第一方面，本发明实施例提供了一种离子浓度检测设备，包括输入组件和分析组件，所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环，所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连，所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍，N大于1，所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。
可选的，所述第一定量环分别与所述十通阀的七号位和十号位相连，所述第二定量环分别与所述十通阀的二号位和五号位相连，所述分析组件通过所述十通阀的六号位与所述十通阀相连。
可选的，所述分析组件包括六通阀、浓缩柱、分析柱、动力泵和电导检测器，所述十通阀的六号位与所述六通阀的五号位相连，所述浓缩柱的输入端与所述六通阀的四号位相连，所述浓缩柱的输出端与所述六通阀的一号位相连，所述动力泵与所述六通阀的三号位相连，所述分析柱的输入端与所述六通阀的二号位相连，所述电导检测器与所述分析柱的输出端相连。
第二方面，本发明实施例提供了一种离子浓度检测方法，应用于第一方面中任一项所述的离子浓度检测设备，所述方法包括以下步骤：
分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果；
根据所述第一分析结果建立离子浓度的标准对应关系；
将待测样品输入第二定量环，获取所述待测样品的第二分析结果，其中，所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍，N大于1，所述多份标准溶液的浓度分别为多个目标浓度的N倍，所述待测样品中离子浓度位于所述多个目标浓度覆盖的离子浓度区间；
根据所述标准对应关系和所述第二分析结果确定待测样品中的离子浓度。
可选的，分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果，包括：
分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件；
通过所述分析组件对所述标准溶液进行分析，获得每一浓度的所述标准对应的第一分析结果。
可选的，将待测样品输入第二定量环，获取所述待测样品的第二分析结果，包括：
将所述待测样品通过连接于所述十通阀上的第二定量环输入所述分析组件，通过所述分析组件对所述待测样品进行分析，获得所述待测样品对应的第二分析结果。
可选的，在应用于第一方面第二种离子浓度检测设备的情况下，所述分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件，包括：
在所述十通阀处于第一工作状态下，通过所述十通阀的九号位向所述第一定量环输入标准溶液，其中，所述十通阀处于第一工作状态时，所述十通阀的九号位和十号位相连通，所述十通阀的六号位和七号位相断开；
将所述十通阀切换至第二工作状态，将所述第一定量环中的标准溶液输入所述分析组件，其中，所述十通阀处于第二工作状态时，所述十通阀的九号位和十号位相断开，所述十通阀的六号位和七号位相连通。
可选的，所述将待测样品输入第二定量环，包括：
在所述十通阀处于第二工作状态时，通过所述十通阀的三号位向所述第二定量环输入待测样品，其中，所述十通阀处于第二工作状态时，所述十通阀的二号位和三号位相连通，所述十通阀的五号位和六号位相断开；
将所述十通阀切换至第一工作状态，将所述第二定量环中的待测样品输入所述分析组件，其中，所述十通阀处于第一工作状态时，所述十通阀的二号位和三号位相断开，所述十通阀的五号位和六号位相连通。
可选的，在应用于第一方面第三种离子浓度检测设备的情况下，所述通过所述分析组件对所述待测样品进行分析，包括：
在所述六通阀处于第一工作状态时，通过所述六通阀的五号位将所述待测样品注入浓缩柱，并通过所述六通阀的六号位排除基底，其中，所述六通阀处于第一工作状态时，所述六通阀的四号位和五号位相连通，所述六通阀的一号位和六号位相连通；
将所述六通阀切换为第二工作状态，利用动力泵将所述浓缩柱中浓缩后的待测样品由所述六通阀的二号位输入所述分析柱和所述电导检测器。
可选的，所述第二定量环的容积大于或等于所述第一定量环的容积的20倍。
本发明实施例通过设置第一定量环和第二定量环，其中，第一定量环用于向分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，第二定量环用于向分析组件输入待测样品。由于第二定量环的容积为第一定量环容积的N倍，N大于1，所以向第二定量化中注入的标准溶液的浓度需要更高，这样，在环境中可能存在的污染物一定的情况下，对于标准溶液的影响更低，从而有助于提高测量结果的准确程度。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。
图1是本发明一实施例中十通阀的第一工作状态示意图；
图2是本发明一实施例中十通阀的第二工作状态示意图；
图3是本发明一实施例中离子浓度检测方法的流程图；
图4是本发明一实施例中离子浓度检测的场景示意图；
图5是本发明一实施例中标准对应关系对应的标准曲线示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种离子浓度检测设备。
在一个实施例中，该离子浓度检测设备包括输入组件和分析组件，其中，输入组件包括十通阀101、第一定量环102和第二定量环103，第一定量环102和第二定量环103分别与十通阀101的不同号位相连，第二定量环103的容积为第一定量环102容积的N倍，N大于1，第一定量环102用于向分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，第二定量环103用于向分析组件输入待测样品。
如图1和图2所示，图1为一种十通阀101的结构，十通阀101包括十个号位，记做一号位至十号位，十通阀101具有两种工作状态，本实施例中记做第一工作状态和第二工作状态。
如图1所示，在第一工作状态下，十通阀101的一号位和二号位相连通、三号位和四号位相连通、五号位和六号位相连通、七号位和八号位相连通、九号位和十号位相连通，除此之外，任意两个号位之间均处于断开状态。
如图2所示，当对十通阀101进行切换，能将十通阀101切换为第二工作状态，此时，十通阀101的十号位和一号位相连通、二号位和三号位相连通、四号位和五号位相连通，六号位和七号位相连通、八号位和九号位相连通，除此之外，任意两个号位之间均处于断开状态。
工作过程中，十通阀101的工作状态可以在上述第一工作状态和第二工作状态时间切换，从而实现提供不同的连通效果。
本发明还提供了一种离子浓度检测方法，应用于本发明任一种离子浓度检测设备。
如图3所示，在一个实施例中，该方法包括以下步骤：
步骤301：分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环102后进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果。
步骤302：根据所述第一分析结果建立离子浓度的标准对应关系。
步骤303：将待测样品输入第二定量环103，获取所述待测样品的第二分析结果。
步骤304：根据所述标准对应关系和所述第二分析结果确定待测样品中的离子浓度。
本实施例中，首先预估待测样品中的离子浓度区间，然后根据该区间设定目标浓度的溶液，例如，在一个实施例中，预计待测样品中的例子浓度约在200至300ppt(ng/L，纳克/升)，待测样品中离子浓度位于所述多个目标浓度覆盖的离子浓度区间，则设定离子浓度区间为0至500ppt，设定的目标浓度为0、50ppt、100ppt、200ppt、500ppt。
接下来，根据所确定的离子浓度区间配置的标准溶液，其中，第二定量环103的容积为第一定量环102容积的N倍，N大于1，相应的，多份标准溶液的浓度分别为多个目标浓度的N倍。
可以理解为，第二定量环103的容积大于第一定量环102的容积，该N为第二定量环103和第一定量环102的体积比，该N的取值可以是2、3、4、10、20等各种数值，N的取值可以是整数，也可以是小数，为了便于计算，以及为了便于适应定量环的选择，本实施例中的N可以是整数。
在一些可选的实施例中，第二定量环103的容积大于或等于所述第一定量环102的容积的20倍，即N大于或等于20，本实施例中以N等于20为例做示例性说明。
示例性的，在一个实施例中，所设定的目标浓度为0、50ppt、100ppt、200ppt、500ppt，接下来，配置离子浓度区间为目标浓度N倍的标准溶液，在N等于20的情况下，配置获得离子浓度为0、1ppb(ug/L，微克/升)、2ppb、3ppb、10ppb的溶液作为标准溶液。
接下来，分别对各份标准溶液进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果。
在一个实施例中，该步骤301包括：
分别将所述标准溶液通过连接于十通阀101上的第一定量环102输入分析组件；
通过所述分析组件对所述标准溶液进行分析，获得每一浓度的所述标准对应的第一分析结果。
本实施例中，首先将离子浓度为0的标准溶液，注入第一定量环102，获得容积与第一定量环102的容积相同的标准溶液，然后利用分析组件对该标准溶液进行分析检测，获得离子浓度为0的标准溶液的第一分析结果。
接下来，将离子浓度为1ppb的标准溶液输入第一定量环102，获得容积与第一定量环102的容积相同的标准溶液，然后利用分析组件对该标准溶液进行分析检测，获得离子浓度为1ppb的标准溶液的第一分析结果。
依此类推，对获得的多份标准溶液进行分析，直至获得全部标准溶液的第一分析结果。
在其中一些实施例中，上述将标准溶液通过连接于十通阀101上的第一定量环102输入分析组件的步骤具体包括：
在所述十通阀101处于第一工作状态下，通过所述十通阀101的九号位向所述第一定量环102输入标准溶液，其中，所述十通阀101处于第一工作状态时，所述十通阀101的九号位和十号位相连通，所述十通阀101的六号位和七号位相断开；
将所述十通阀101切换至第二工作状态，将所述第一定量环102中的标准溶液输入所述分析组件，其中，所述十通阀101处于第二工作状态时，所述十通阀101的九号位和十号位相断开，所述十通阀101的六号位和七号位相连通。
以对离子浓度为1ppb的标准溶液进行分析为例说明，如图4所示，在其中一些实施例中，第一定量环102分别与十通阀101的七号位和十号位相连，第二定量环103分别与十通阀101的二号位和五号位相连，分析组件通过十通阀101的六号位与十通阀101相连。
实施时，首先控制十通阀101处于第一工作状态，即图4中的实线连接的号位之间处于连接状态，虚线连接的号位处于端口状态。此时，由九号位向第一定量环102输入离子浓度为1ppb的标准溶液。
接下来，将十通阀101切换为第二工作状态，此时，图4中的虚线连接的号位之间处于连接状态，实现连接的号位处于端口状态。进一步的，将第一定量环102中的标准溶液输入分析组件中，利用分析组件对标准溶液进行分析获得分析结果。
在获得了不同浓度标准溶液对应的第一分析结果之后，汇总获得的多个第一分析结果，获得标准对应关系，该标准对应关系可以是根据上述多个第一分析结果绘制的标准曲线，也可以是根据上述标准对应关系建立的函数关系。
在一个实施例中，上述步骤303具体包括：
将所述待测样品通过连接于所述十通阀101上的第二定量环103输入所述分析组件，通过所述分析组件对所述待测样品进行分析，获得所述待测样品对应的第二分析结果。
本实施例中，将待测样品输入第二定量环103的过程具体包括：
在所述十通阀101处于第二工作状态时，通过所述十通阀101的三号位向所述第二定量环103输入待测样品，其中，所述十通阀101处于第二工作状态时，所述十通阀101的二号位和三号位相连通，所述十通阀101的五号位和六号位相断开；
将所述十通阀101切换至第一工作状态，将所述第二定量环103中的待测样品输入所述分析组件，其中，所述十通阀101处于第一工作状态时，所述十通阀101的二号位和三号位相断开，所述十通阀101的五号位和六号位相连通。
请继续参阅图4，十通阀101处于第二工作状态时由三号位向第二定量环103注入待测样品，然后切换十通阀101的工作状态为第一工作状态，使得五号位和六号位相连通，并进一步将第二定量环103中的待测样品输入分析组件，从而实现对于待测样品的输入和分析。
如图4所示，在一个实施例中，分析组件包括六通阀201，分析组件还可以包括浓缩柱202、分析柱、动力泵和电导检测器等，十通阀101的六号位与六通阀201的五号位相连，浓缩柱202的输入端与六通阀201的四号位相连，浓缩柱202的输出端与六通阀201的一号位相连，动力泵与六通阀201的三号位相连，分析柱的输入端与六通阀201的二号位相连，电导检测器与分析柱的输出端相连。
六通阀201的结构和功能与十通阀101类似，其主要区别在于，六通阀201仅包括六个号位，六通阀201同样包括两个工作状态，在其中一个工作状态下，六通阀201的一号位和二号位相连通、三号位和四号位相连通、五号位和六号位相连通，除此之外，各号位之间均相断开。在另一个工作状态下，六通阀201的二号位和三号位相连通、四号位和五号位相连通、六号位和一号位相连通，除此之外，各号位之间均相断开。
在其中一个实施例中，上述步骤304包括：
在所述六通阀201处于第一工作状态时，通过所述六通阀201的五号位将所述待测样品注入浓缩柱202，并通过所述六通阀201的六号位排除基底，其中，所述六通阀201处于第一工作状态时，所述六通阀201的四号位和五号位相连通，所述六通阀201的一号位和六号位相连通；
将所述六通阀201切换为第二工作状态，利用动力泵将所述浓缩柱202中浓缩后的待测样品由所述六通阀201的二号位输入所述分析柱和所述电导检测器。
分析过程中，首先控制六通阀201处于第一工作状态，然后将待测样品通过五号位经由四号位注入浓缩柱202中，将待测样品浓缩，同时，超纯水基底经从一号位经由六号位排出。接下来，将六通阀201切换为第二工作状态，通过与三号位连接的动力泵提供动力，将浓缩柱202中的浓缩后的样品带出，使得浓缩后的样品从一号位经由二号位进入分析柱，并进一步由电导检测器进行分析，其中，分析柱即电导检测器等具体的分析设备的连接和控制方式等可参考相关技术，此处不做进一步限定和描述。
显然，上述过程中，利用分析组件对于标准溶液进行分析时，其控制过程与对于待测样品的分析过程类似，此处不再赘述。
由于待测样品中离子浓度位于多个目标浓度覆盖的离子浓度区间，上述标准分析结果覆盖了待测样品对应的第二分析结果，因此，根据该第二分析结果结合标准分析结果，能够确定待测样品中的离子浓度。
本发明实施例通过设置第一定量环102和第二定量环103，其中，第一定量环102用于向分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，第二定量环103用于向分析组件输入待测样品。由于第二定量环103的容积为第一定量环102容积的N倍，N大于1，所以向第二定量化中注入的标准溶液的浓度需要更高，这样，在环境中可能存在的污染物一定的情况下，对于标准溶液的影响更低，从而有助于提高测量结果的准确程度。
应当理解的是，即使在安装有化学过滤器的洁净间内，仍不可避免的会由于人体带入或环境过滤不充分或化学品挥发而引入各种可能对检测结果造成影响的阴阳离子。在配置低浓度梯度的标准溶液时，极易受到环境污染，从而导致配置的低浓度标准溶液浓度不准确，而高浓度的标准溶液受影响比率较小，最终会对所得标准曲线的线性相关系数和重复性影响较大。可以理解为，在环境中污染离子浓度一定的情况下，高浓度的标准溶液受到的影响更小，因此，本实施例中通过使用小容积的定量环输入高浓度的标准溶液，其离子含量是相同的，在配置过程中，由于标准溶液浓度较大，环境影响的作用不明显，可以忽略因此而带来的误差，从而有助于提高检测结果的准确性。
请继续参阅图5，图5为一实施例中所构建的标准对应关系示意图，其中，曲线1是基于现有技术确定的标准对应关系所绘制的标准曲线，曲线2-1、2-2和2-3分别为三次测试过程中，根据本实施例的技术方案确定的标准对应关系所绘制的标准曲线，其中，横坐标代表标准溶液的浓度，纵坐标代表离子浓度。由图5可见，现有技术中的低浓度标准溶液由于受到环境中的污染离子等因素影响，导致结果准确度较低，本实施例的技术方案确定的标准对应关系的线性回归性较高。同时，经过多次重复试验发现，本实施例的技术方案中，多次重复试验的重现性较高，有助于提高测试结果的准确程度。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种离子浓度检测设备，其特征在于，包括输入组件和分析组件，所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环，所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连，所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍，N大于1，所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液，所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。
2.根据权利要求1所述的离子浓度检测设备，其特征在于，所述第一定量环分别与所述十通阀的七号位和十号位相连，所述第二定量环分别与所述十通阀的二号位和五号位相连，所述分析组件通过所述十通阀的六号位与所述十通阀相连。
3.根据权利要求2所述的离子浓度检测设备，其特征在于，所述分析组件包括六通阀、浓缩柱、分析柱、动力泵和电导检测器，所述十通阀的六号位与所述六通阀的五号位相连，所述浓缩柱的输入端与所述六通阀的四号位相连，所述浓缩柱的输出端与所述六通阀的一号位相连，所述动力泵与所述六通阀的三号位相连，所述分析柱的输入端与所述六通阀的二号位相连，所述电导检测器与所述分析柱的输出端相连。
4.一种离子浓度检测方法，其特征在于，应用于权利要求1至3中任一项所述离子浓度检测设备，所述方法包括以下步骤：
分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果；
根据所述第一分析结果建立离子浓度的标准对应关系；
将待测样品输入第二定量环，获取所述待测样品的第二分析结果，其中，所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍，N大于1，所述多份标准溶液的浓度分别为多个目标浓度的N倍，所述待测样品中离子浓度位于所述多个目标浓度覆盖的离子浓度区间；
根据所述标准对应关系和所述第二分析结果确定待测样品中的离子浓度。
5.根据权利要求4所述的离子浓度检测方法，其特征在于，分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析，获取每份标准溶液对应的第一分析结果，包括：
分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件；
通过所述分析组件对所述标准溶液进行分析，获得每一浓度的所述标准对应的第一分析结果。
6.根据权利要求5所述的离子浓度检测方法，其特征在于，将待测样品输入第二定量环，获取所述待测样品的第二分析结果，包括：
将所述待测样品通过连接于所述十通阀上的第二定量环输入所述分析组件，通过所述分析组件对所述待测样品进行分析，获得所述待测样品对应的第二分析结果。
7.根据权利要求5或6所述的离子浓度检测方法，其特征在于，在应用于权利要求2所述的离子浓度检测设备的情况下，所述分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件，包括：
在所述十通阀处于第一工作状态下，通过所述十通阀的九号位向所述第一定量环输入标准溶液，其中，所述十通阀处于第一工作状态时，所述十通阀的九号位和十号位相连通，所述十通阀的六号位和七号位相断开；
将所述十通阀切换至第二工作状态，将所述第一定量环中的标准溶液输入所述分析组件，其中，所述十通阀处于第二工作状态时，所述十通阀的九号位和十号位相断开，所述十通阀的六号位和七号位相连通。
8.根据权利要求7所述的离子浓度检测方法，其特征在于，所述将待测样品输入第二定量环，包括：
在所述十通阀处于第二工作状态时，通过所述十通阀的三号位向所述第二定量环输入待测样品，其中，所述十通阀处于第二工作状态时，所述十通阀的二号位和三号位相连通，所述十通阀的五号位和六号位相断开；
将所述十通阀切换至第一工作状态，将所述第二定量环中的待测样品输入所述分析组件，其中，所述十通阀处于第一工作状态时，所述十通阀的二号位和三号位相断开，所述十通阀的五号位和六号位相连通。
9.根据权利要求6所述的离子浓度检测方法，其特征在于，在应用于权利要求3所述的离子浓度检测设备的情况下，通过所述分析组件对所述待测样品进行分析，包括：
在所述六通阀处于第一工作状态时，通过所述六通阀的五号位将所述待测样品注入浓缩柱，并通过所述六通阀的六号位排除基底，其中，所述六通阀处于第一工作状态时，所述六通阀的四号位和五号位相连通，所述六通阀的一号位和六号位相连通；
将所述六通阀切换为第二工作状态，利用动力泵将所述浓缩柱中浓缩后的待测样品由所述六通阀的二号位输入所述分析柱和所述电导检测器。
10.根据权利要求4所述的离子浓度检测方法，其特征在于，所述第二定量环的容积大于或等于所述第一定量环的容积的20倍。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020011096A1 (en) * | 2000-02-23 | 2002-01-31 | Jmic, Inc. | Analytical apparatus for measurement of low concentration constituent, method of measurement and calibration using the same |
| JP2005300362A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Shimadzu Corp | 気体試料導入装置 |
| CN101718753A (zh) * | 2009-11-10 | 2010-06-02 | 浙江大学 | 离子色谱单泵柱切换系统 |
| CN102253158A (zh) * | 2011-04-11 | 2011-11-23 | 浙江大学 | 离子色谱循环柱切换分析系统及检测方法 |
| CN103969377A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-08-06 | 浙江大学 | 离子色谱在线检测复杂样品中痕量的铵离子的方法 |
| CN105929033A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-09-07 | 海南大学 | 柱切换-离子色谱法测定洛铂中痕量乳酸离子的系统及方法 |
| CN106198800A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-12-07 | 中国石油化工股份有限公司 | 基于流动渗析离子色谱法检测腈纶溶剂中阴离子的装置及检测方法 |
| CN109682920A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-04-26 | 海南核电有限公司 | 一种离子色谱在线标准曲线制作的系统及方法 |
| CN109696495A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-30 | 苏州天蓝分析仪器有限公司 | 一种可以实现精确定量取样的voc监测装置及方法 |
| CN210720283U (zh) * | 2019-09-11 | 2020-06-09 | 中绿环保科技股份有限公司 | 一种集成式测量水中挥发性有机物的气相色谱仪 |
-
2021
- 2021-02-01 CN CN202110137350.2A patent/CN112946120A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020011096A1 (en) * | 2000-02-23 | 2002-01-31 | Jmic, Inc. | Analytical apparatus for measurement of low concentration constituent, method of measurement and calibration using the same |
| JP2005300362A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Shimadzu Corp | 気体試料導入装置 |
| CN101718753A (zh) * | 2009-11-10 | 2010-06-02 | 浙江大学 | 离子色谱单泵柱切换系统 |
| CN102253158A (zh) * | 2011-04-11 | 2011-11-23 | 浙江大学 | 离子色谱循环柱切换分析系统及检测方法 |
| CN103969377A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-08-06 | 浙江大学 | 离子色谱在线检测复杂样品中痕量的铵离子的方法 |
| CN105929033A (zh) * | 2016-04-12 | 2016-09-07 | 海南大学 | 柱切换-离子色谱法测定洛铂中痕量乳酸离子的系统及方法 |
| CN106198800A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-12-07 | 中国石油化工股份有限公司 | 基于流动渗析离子色谱法检测腈纶溶剂中阴离子的装置及检测方法 |
| CN109682920A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-04-26 | 海南核电有限公司 | 一种离子色谱在线标准曲线制作的系统及方法 |
| CN109696495A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-30 | 苏州天蓝分析仪器有限公司 | 一种可以实现精确定量取样的voc监测装置及方法 |
| CN210720283U (zh) * | 2019-09-11 | 2020-06-09 | 中绿环保科技股份有限公司 | 一种集成式测量水中挥发性有机物的气相色谱仪 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 戴钰等: "利用谱睿( Pre)技术超大体积进样抑制型电导离子色谱法检测超纯水中ng/L级阴离子", 《岩矿测试》 * |
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