CN112945281A - 光源定位装置和半导体光学量测装置 - Google Patents
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Abstract
该发明公开了一种用于半导体光学量测的光源定位装置和半导体光学量测装置,所述光源定位装置包括:外壳,所述外壳内限定出适于半导体光学量测的光源器件至少部分伸入的安装腔,所述外壳包括定位件和用于与所述半导体光学量测设备固定连接的固定件;定位杆,所述定位杆可移动地穿设在所述定位件上且所述定位杆的一端伸入所述安装腔内,所述定位杆伸入所述安装腔的一端设有底座,所述底座设有与所述光源器件安装定位的定位部,所述外壳安装在所述光学量测设备时所述光源器件安装到位且所述光源器件的定位标志位于定位位置处。所述光源定位装置能够提高光源器件的安装的准确性,保证光源器件的聚光性和光学量测设备的量测的稳定性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种用于半导体光学量测的光源定位装置和具有其的半导体光学量测装置。
背景技术
现有技术半导体光学量测时,更换光学量测的光源器件(如SE Lamp),仅根据操作人员个人经验,将光源器件的定位标志(Lamp notch)朝向大致放在平行EFEM方向,这种情况易导致SE Lamp聚光性,进而导致后期光路调整及产品量测;同时因为预留空间小,影响人员操作。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于半导体光学量测的光源定位装置,能够提高光源器件的安装的准确性,保证光源器件的聚光性和光学量测设备的量测的稳定性,便于操作人员操作。
根据本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置,包括:外壳,所述外壳内限定出适于半导体光学量测设备的光源器件至少部分伸入的安装腔,所述外壳包括定位件和用于与所述半导体光学量测设备固定连接的固定件;定位杆,所述定位杆可移动地穿设在所述定位件上且所述定位杆的一端伸入所述安装腔内,所述定位杆伸入所述安装腔的一端设有底座,所述底座设有与所述光源器件安装定位的定位部,所述外壳安装在所述半导体光学量测设备时所述光源器件安装到位且所述光源器件的定位标志位于定位位置处。
根据本发明的一些实施例,所述固定件环绕所述定位件的周向延伸且与所述定位件共同限定出所述安装腔。
可选地,所述外壳形成为中空的圆筒状且所述外壳的一端封闭,所述固定件形成为外壳的侧壁,所述定位件形成为所述外壳的底壁,所述定位件设有沿所述外壳轴向贯穿所述定位件的通孔,所述定位杆沿所述外壳的轴向可移动地穿设在所述通孔内。
根据本发明的一些实施例,所述固定件设有与所述半导体光学量测设备固定连接的至少一个固定孔。
根据本发明的一些实施例,所述用于半导体光学量测的光源定位装置还包括限位件,所述限位件设在所述外壳上且沿伸入和伸出所述安装腔的方向可移动,所述限位件伸入所述安装腔内时与所述光源器件配合以固定所述光源器件。
可选地,所述固定件设有与所述安装腔连通的限位孔,所述限位件可移动地设在所述限位孔内以在所述光源器件到位时伸入所述安装腔内止抵固定所述光源器件。
可选地,所述限位件为两个且相对设置,两个所述限位件伸入所述安装腔时止抵所述光源器件的相对两侧以固定所述光源器件。
根据本发明的一些实施例,所述定位杆设有定位止挡部,所述定位止挡部设在所述定位杆位于所述安装腔外的一端以限定所述定位杆的移动行程。
根据本发明的一些实施例,所述定位部形成为具有螺纹的螺孔,所述光源器件与所述定位部螺纹连接,所述光源器件与所述螺孔安装到位时,所述光源器件的定位标志位于定位位置处。
本发明还提出了一种半导体光学量测装置。
根据本发明实施例的半导体光学量测装置,包括上述实施例所述用于半导体光学量测的光源定位装置。
根据本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置,光源器件伸入外壳内以与定位部安装定位,使得光源器件的定位标志相对光源定位装置朝向固定,外壳与半导体光学量测设备固定,使得光源器件与半导体光学量测设备的相对位置固定,且光源器件定位标志朝向特定方向,通过定位杆推动光源器件以将光源器件安装到半导体光学量测设备上,从而使得光源器件能够准确安装,使得定位标志朝向唯一,提高光源器件安装定位的准确性,不需要仅根据人工经验来安装,提高安装成功率且方便操作人员作业,也便于光源器件的更换;进而保证光源器件的聚光性和半导体光学量测设备的量测的稳定性。
附图说明
图1为本发明实施例的半导体光学量测装置的结构示意图;
图2为本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置的结构示意图。
附图标记:
1000:半导体光学量测装置;
100:用于半导体光学量测的光源定位装置,
1:外壳,11:固定件,111:固定孔,112:固定螺钉,12:定位件,121:通孔,13:安装腔;
2:定位杆,21:定位止挡部,22:底座,23:定位部;
3:限位件,31:限位孔;
200:光源器件,4:定位标志;
300:半导体光学量测设备;
400:EFEM装置。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式对本发明提出的一种用于半导体光学量测的光源定位装置100作进一步详细说明。
半导体光学量测设备300设有光源器件200以用于半导体光学量测,光源器件200可以为激光器等,光源器件200具有定位标志4,定位标志4可以形成为凸出的凸点,例如可形成为凸出的棱锥或者圆锥状,在将光源器件200安装在半导体光学量测设备300上时,定位标志4方向需朝向特定方向以保证后续光路调整以及量测的稳定性。现有技术的光源器件200的安装仅根据操作人员的个人经验,这导致了光源器件200安装定位不准确,容易导致光源器件200的聚光性不好,进而导致后续光路调整和产量量测。
下面参考附图描述根据本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置100。所述光源定位装置100能够实现光源器件200的准确定位安装,提高光源器件200的聚光性和量测的稳定性。
如图1和图2所示,根据本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置100包括外壳1和定位杆2。
外壳1内限定出适于半导体光学量测的光源器件200至少部分伸入的安装腔13,外壳1包括定位件12和用于与半导体光学量测的壳体固定连接的固定件11,这样,外壳1通过固定件11与半导体光学量测设备300固定,例如,固定件11可与半导体光学量测设备300安装光源器件200的壳体固定,以能够使得外壳1与半导体光学量测设备300的位置固定,安装腔13的开口朝向半导体光学量测设备300的方向敞开,光源器件200可至少部分伸入安装腔13内以及与光源定位装置100安装配合,这样,通过光源定位装置100将光源器件200安装在半导体光学量测设备300上,能够实现对每次光源器件200的安装定位,也便于实现对光源器件200的更换安装。
定位杆2可移动地穿设在定位件12上且定位杆2的一端伸入安装腔13内,定位杆2伸入安装腔13的一端设有底座22,底座22设有与光源器件200安装定位的定位部23,外壳1安装在光学量测设备300时光源器件200安装到位且光源器件200的定位标志4位于定位位置处,所述定位位置即光源器件200的定位标志朝向大致放在平行EFEM方向,以保证光源器件200的聚光性。
具体地,定位杆2在朝向安装腔13的开口和远离安装腔13的开口的方向可移动地设在定位件12上,定位杆2的一端伸入安装腔13内以便于与光源器件200连接,定位杆2的另一端位于外壳1外部以便于操作者操作定位杆2的移动,这样,通过定位杆2的移动可推动光源器件200朝向半导体光学量测设备300活动以将光源器件200安装插入在半导体光学量测设备300上。
其中,定位杆2伸入安装腔13的一端具有可与光源器件200的底座22,光源器件200与底座22固定连接,底座22上设有定位部23,光源器件200与定位部23相连,光源器件200与定位部23安装后光源器件200安装到位且与光源定位装置100的相对位置固定,这样光源器件200与光源定位装置100安装固定且位置不会发生移动,光源器件200的定位标志4位于定位位置处且朝向固定,外壳1与半导体光学量测设备300固定后,此时光源器件200的定位标志4朝向特定定位方向,推动定位杆2将光源器件200安装在半导体光学量测设备300上,定位标志4始终指向特定方向,在如图1所示的示例中,光源器件200的定位标志4朝向大致与EFEM装置400所在方向平行,以保证半导体光学量测设备300的聚光性。由此不需要仅依靠操作人员的个人经验安装,能够保证每次安装的光源器件200的定位标志4均朝向特定方向,使得光源器件200每次能够准确安装,提高了光源器件200的安装定位的准确性,也提高了光源器件200的聚光性,进而能够保证后续光路的调整,也能够提高量测的稳定性。
可选地光源器件200与定位部23为可脱离连接,这样在光源器件200安装到半导体光学量测设备300上后,光源定位装置100可与光源器件200分离,以便于光源定位装置100的拆卸。例如光源器件200可与定位部23螺纹连接或者卡接,这样不仅能够固定光源器件200以保证定位标志4的朝向固定,避免光源器件200沿周向上移动且能够在光源器件200安装完成后拆卸。
由此,根据本发明实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置100,光源器件200伸入外壳1内以与定位部23安装定位,使得光源器件200的定位标志4相对光源定位装置100朝向固定,外壳1与半导体光学量测设备300固定,使得光源器件200与半导体光学量测设备300的相对位置固定,且光源器件200的定位标志4朝向特定方向,通过定位杆2推动光源器件200以将光源器件200安装到半导体光学量测设备300上,从而使得光源器件200能够准确安装,使得定位标志4朝向唯一,提高光源器件200安装定位的准确性,不需要仅根据人工经验来安装,提高安装成功率且方便操作人员作业,也便于光源器件200的更换;进而保证光源器件200的聚光性和半导体光学量测设备300的量测的稳定性。
在本发明的一些具体示例中,定位部23可形成为具有螺纹的螺孔,光源器件200与定位部23螺纹连接,光源器件200插入螺孔与螺孔拧紧安装到位时,光源器件200的定位标志4位于定位位置处且在光源定位装置100与光学量测设备300安装后朝向特定方向,由此通过定位部23与光源器件200的螺纹连接,不仅能实现对光源器件200的固定安装,也便于光源器件200与定位部23的拆分,而且通过在设置螺纹的长度或者圈数,使得光源器件200与定位部23安装到位时,能够确保光源器件200的定位标志4朝向特定方向。
在本发明的一些实施例中,固定件11环绕定位件12的周向延伸且与定位件12共同限定出安装腔13。换言之,固定杆设在定位件12的外边缘且环绕定位件12的周向设置,这样定位杆2沿定位件12的厚度方向穿设在定位件12上,并可伸入安装腔13内,固定件11与半导体光学量测设备300相连,由此使得光源定位装置100结构简单,且便于定位杆2的伸入和移动。
可选地,定位杆2和定位件12之间可设有滑动装置,例如定位杆2和定位件12中的一个上设有滑轨,定位杆2和定位件12中的另一个上设有适于与滑轨配合滑动的滑动部,由此使得定位杆2和定位件12之间可相对滑动以使得定位杆2沿安装腔13的轴向可移动。
在本发明的一个具体示例中,如图1和图2所示,外壳1形成为中空的圆筒状且外壳1的一端封闭,固定件11形成为外壳1的侧壁,定位件12形成为外壳1的底壁,定位件12设有沿外壳1轴向贯穿定位件12的通孔121,定位杆2沿外壳1的轴向可移动地穿设在通孔121内,通孔121沿定位件12的厚度方向贯穿定位件12,定位杆2穿过通孔121伸入安装腔13内并与通孔121可移动配合,这样定位杆2沿通孔121移动即沿安装腔13的轴向可移动,以带动底座22移动,进而带动光源器件200沿安装腔13的轴向移动,以使得光源器件200能够沿轴向移动安装且沿周向不转动,从而确保光源器件200安装正确以确保定位标志4的朝向准确。
在本发明的一些实施例中,固定件11设有与光学量测设备300固定连接的至少一个固定孔111,换言之,固定孔111可以为一个或者多个,例如可以为两个、三个或者四个等,在如图1和图2所示的示例中,固定孔111可以为两个且沿固定件11的径向方向相对设置,以提高固定件11与半导体光学量测设备300的固定效果。由此可通过螺钉112等穿过固定孔111与半导体光学量测设备300相连以将外壳1与半导体光学量测设备300固定,不仅能够保证固定效果,而且在光源器件200安装后也便于拆卸。当然固定件11也可采用其它连接方式与光学量测设备300相连,例如固定件11可与光学量测设备300通过卡扣连接,结构简单且便于拆卸。
在本发明的一些实施例中,用于半导体光学量测的光源定位装置100还可以包括限位件3,限位件3设在外壳1上且沿伸入和伸出安装腔13的方向可移动,限位件3伸入安装腔13内时与光源器件200配合以固定光源器件200。由此在光源器件200安装完成后将光源定位装置100拆离光源器件200时可防止光源器件200移动,以进一步地提高光源器件200的准确定位效果。具体地,当光源器件200安装到半导体光学量测设备300后,通过限位件3伸入安装腔13内以固定光源器件200例如夹住光源器件200,确保拆卸光源定位装置100如将底座22与光源定位装置100拆分时避免光源器件200沿周向转动,以进一步地确保光源器件200的定位标志4的方向。
可选地,固定件11可设有与安装腔13连通的限位孔31,限位件3可移动地设在限位孔31内以在光源器件200安装完成时伸入安装腔13内止抵固定光源器件200。由此,在光源器件200安装完成之前,限位件3不伸入安装腔13内以避免影响光源器件200伸入安装腔13内与底座22连接,在光源器件200安装完成后,限位件3通过限位孔31伸入安装腔13内并止抵光源器件200的表面,以固定光源器件200防止光源器件200沿沿周向转动,进而保证定位标志4的方向。进一步地,限位件3伸入安装腔13的一端可设有缓冲件,通过缓冲件可减小限位件3止抵光源器件200的力,提高限位件3与光源器件200的摩擦力以进一步地防止光源器件200发生转动,也能够避免限位件3将光源器件200表面划伤。
在如图1和图2所示的示例中,限位件3可以为两个且相对设置,两个限位件3伸入安装腔13时止抵光源器件200的相对两侧以固定光源器件200。由此,通过两个限位件3分别止抵光源器件200的相对两侧,从而能够将光源器件200固定在两个限位件3之间,防止光源器件200转动,确保定位标志4的方向。可选地,限位件3与限位孔31可采用螺纹连接,由此不仅能够实现限位件3在限位孔31内的移动且能够实现限位件3与限位孔31的固定,提高限位件3对光源器件200的止抵固定效果。
在本发明的一些实施例中,定位杆2设有定位止挡部21,定位止挡部21设在定位杆2位于安装腔13外的一端以限定定位杆2的移动行程,这样当定位杆2推动光源器件200移动一定距离后,定位止挡部21止抵定位件12表面,从而能够限定定位杆2的移动距离,以限定光源器件200插入半导体光学量测设备300的深度,防止定位杆2带动光源器件200过度伸入半导体光学量测设备300内而导致光学量测设备300或光源器件200损坏失效。对于定位止挡部21的设置位置,能够确定光源器件200装入半导体光学量测设备300时轴向深度正确且固定即可。
可选地,定位止挡部21可以为定位销,定位止挡部21可拆卸地安装在定位杆2上,这样,定位杆2未安装定位止挡部21时可穿过安装腔13并通过通孔121伸出外壳1,以安装在定位件12上,然后将定位销安装在定位杆2位于外壳1外的一端上,从而便于光源定位装置100的组装。
本发明还提出了一种半导体光学量测装置1000。
根据本发明实施例的半导体光学量测装置1000包括半导体光学量测设备300、光源器件200和光源定位装置100,通过设置上述实施例的用于半导体光学量测的光源定位装置100,使得光源器件200能够安装准确,也能够使得每次光源器件200安装时位置和定位标志4的朝向唯一,方便光源器件200的更换,能够提高光源器件200的安装成功率,提高定位标志4的定位准确性,也能够提高半导体光学量测装置1000量测的稳定性,而且方便操作人员的操作。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,包括:
外壳,所述外壳内限定出适于半导体光学量测设备的光源器件至少部分伸入的安装腔,所述外壳包括定位件和用于与所述半导体光学量测设备固定连接的固定件;
定位杆,所述定位杆可移动地穿设在所述定位件上且所述定位杆的一端伸入所述安装腔内,所述定位杆伸入所述安装腔的一端设有底座,所述底座设有与所述光源器件安装定位的定位部,所述外壳安装在所述半导体光学量测设备时所述光源器件安装到位且所述光源器件的定位标志位于定位位置处。
2.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述固定件环绕所述定位件的周向延伸且与所述定位件共同限定出所述安装腔。
3.根据权利要求2所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述外壳形成为中空的圆筒状且所述外壳的一端封闭,所述固定件形成为外壳的侧壁,所述定位件形成为所述外壳的底壁,所述定位件设有沿所述外壳轴向贯穿所述定位件的通孔,所述定位杆沿所述外壳的轴向可移动地穿设在所述通孔内。
4.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述固定件设有与所述半导体光学量测设备固定连接的至少一个固定孔。
5.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,还包括限位件,所述限位件设在所述外壳上且沿伸入和伸出所述安装腔的方向可移动,所述限位件伸入所述安装腔内时与所述光源器件配合以固定所述光源器件。
6.根据权利要求5所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述固定件设有与所述安装腔连通的限位孔,所述限位件可移动地设在所述限位孔内以在所述光源器件到位时伸入所述安装腔内止抵固定所述光源器件。
7.根据权利要求5所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述限位件为两个且相对设置,两个所述限位件伸入所述安装腔时止抵所述光源器件的相对两侧以固定所述光源器件。
8.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述定位杆设有定位止挡部,所述定位止挡部设在所述定位杆位于所述安装腔外的一端以限定所述定位杆的移动行程。
9.根据权利要求1所述的用于半导体光学量测的光源定位装置,其特征在于,所述定位部形成为具有螺纹的螺孔,所述光源器件与所述定位部螺纹连接,所述光源器件与所述螺孔安装到位时,所述光源器件的定位标志位于定位位置处。
10.一种半导体光学量测装置,其特征在于,包括根据权利要求1-9中任一项所述的用于半导体光学量测的光源定位装置。
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- 2021-01-25 CN CN202110096345.1A patent/CN112945281B/zh active Active
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