CN112924350A - 一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，包括抽风机、防护罩、空气微粒量测仪和控制器，利用抽风机使洁净室车间内的空气通过传输管送入储气盒内，并进一步通过导风管进入空气微粒量测仪，从而实现对洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体进行量测的目的，通过设置多组传输管和抽风机实现对洁净室车间多点侦测的目的，当洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体超标时，空气微粒量测仪向控制器发送电信号，控制器进一步控制警报灯报警，方便操作人员及时掌握洁净室车间内空气情况，达到对洁净室车间进行实时量测监控目的,提早报警得知厂内洁净室车间污然程度,使工厂产品良品率提升。
Description
技术领域
本发明涉及一种侦测分析多点式系统，具体是一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统。
背景技术
由于近来制程技术发展迅速，目前洁净室车间生产技术已进入了16-10nm的制程，为达到高科技产业对于产品生产的超高空气质量要求，各制造商均积极提高良率以提高竞争力，在此严苛的生产环境下，洁净室车间内的空气的污染(AMC，Airborne moleculecontamination solution)，成为左右制造良率的重大因素，微量的腐蚀性气体存在，严重者甚至破坏整个制程。
为了保证和提升工厂产品良品率，需要对洁净室车间内空气微尘粒子及微污然气体进行量测，因此亟需设计一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，包括顶板，所述顶板正下方设置有底板，所述顶板底部对称设置有第一调节装置和第二调节装置，所述底板底部对称安装有行走轮，所述底板底部对称设置有两个定位装置，所述顶板顶部固定安装有空气微粒量测仪，所述空气微粒量测仪外侧套设有防护罩，所述防护罩通过螺栓固定安装在顶板顶部，所述防护罩顶部开设有散热孔，所述防护罩顶部固定安装有警报灯和控制器，所述空气微粒量测仪两侧分别开设有一个进气口，两个进气口分别与两个导气管的一端连接，两个导气管的另一端分别设置有第一吸收装置和第二吸收装置。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、设置行走轮用于方便操作人员推动底板移动，提高了装置的便携性，调节第一杆体在筒体内伸缩，从而实现对顶板高度的调节，满足不同情况下对顶板不同的高度需求；
2、设置防护罩用于对空气微粒量测仪进行防护，利用螺栓穿过安装板上开设的定位孔，从而方便将安装板固定在洁净室车间顶部，设置安装机构实现对传输管和固定板位置的限定；
3、当需要对装置位置进行定位时，手握橡胶套转动第二螺纹套，使第二螺纹套底面与地面接触，从而实现装置在地面上位置的定位，定位操作简单；
4、利用抽风机使洁净室车间内的空气通过传输管送入储气盒内，并进一步通过导风管进入空气微粒量测仪，从而实现对洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体进行量测的目的，通过设置多组传输管和抽风机实现对洁净室车间多点侦测的目的，当洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体超标时，空气微粒量测仪向控制器发送电信号，控制器进一步控制警报灯报警，方便操作人员及时掌握洁净室车间内空气情况，达到对洁净室车间进行实时量测监控目的,提早报警得知厂内洁净室车间污然程度,使工厂产品良品率提升。
附图说明
图1为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统的结构示意图。
图2为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统的正视图。
图3为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统中A处的结构示意图。
图4为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统中拉杆的结构示意图。
图5为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统中B处的结构示意图。
图6为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统中C处的结构示意图。
图7为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统中局部的结构示意图。
图8为微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统的系统框图。
图中所示：第一吸收装置1、警报灯2、散热孔3、防尘网4、控制器5、第二吸收装置6、传输管7、第一调节装置8、底板9、行走轮10、顶板11、筒体12、第二调节装置13、第一杆体14、防护罩15、空气微粒量测仪16、观察窗17、第一固定套18、安装机构19、安装板20、第一螺纹套21、拉杆22、转动座23、固定板24、吸罩25、抽风机26、第二杆体27、拉环28、第二固定套29、第三杆体30、橡胶套31、定位装置32、第二螺纹套33、导气嘴34和储气盒35。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～8，本发明实施例中，一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，包括第一吸收装置1、警报灯2、散热孔3、防尘网4、控制器5、第二吸收装置6、传输管7、第一调节装置8、底板9、行走轮10、顶板11、筒体12、第二调节装置13、第一杆体14、防护罩15、空气微粒量测仪16、观察窗17、第一固定套18、安装机构19、安装板20、第一螺纹套21、拉杆22、转动座23、固定板24、吸罩25、抽风机26、第二杆体27、拉环28、第二固定套29、第三杆体30、橡胶套31、定位装置32、第二螺纹套33、导气嘴34和储气盒35，所述顶板11正下方设置有底板9，所述顶板11底部对称设置有第一调节装置8和第二调节装置13，所述第二调节装置13包括筒体12和第一杆体14，所述第一调节装置8和第二调节装置13对称设置在底板9顶部，所述筒体12固定安装在底板9顶部，所述筒体12内滑动设置有第一杆体14，所述第一杆体14的顶端伸出筒体12且固定安装在顶板11底部，所述筒体12外侧开设有用于与螺栓螺纹连接的螺纹通孔，所述第二调节装置13和第一调节装置8的结构和各部件规格均相同，所述底板9底部对称安装有行走轮10，所述底板9底部对称设置有两个定位装置32，所述定位装置32包括第三杆体30、橡胶套31和第二螺纹套33，所述第三杆体30顶端固定安装在底板9底部，所述第三杆体30为螺纹杆，所述第三杆体30外侧套设有第二螺纹套33，所述第二螺纹套33与第三杆体30螺纹连接，所述第二螺纹套33外侧固定套设有橡胶套31，所述顶板11顶部固定安装有空气微粒量测仪16，所述空气微粒量测仪16外侧套设有防护罩15，所述防护罩15通过螺栓固定安装在顶板11顶部，所述防护罩15顶部开设有散热孔3，所述散热孔3内壁固定连接有防尘网4，所述防护罩15顶部固定安装有警报灯2和控制器5，所述空气微粒量测仪16两侧分别开设有一个进气口，两个进气口分别与两个导气管的一端连接，两个导气管的另一端分别设置有第一吸收装置1和第二吸收装置6，所述第二吸收装置6包括传输管7、第一固定套18、安装机构19、固定板24、吸罩25、抽风机26和第二固定套29，所述第二固定套29固定套设在导风管上，导风管的一端与导气管的一端连接，导风管的另一端与储气盒35的出风口连接，所述第二固定套29外侧固定连接有L型杆的一端，L型杆的另一端固定连接在防护罩15内壁，所述防护罩15外侧设置有观察窗17，所述储气盒35顶部安装有若干个导气嘴34，所述导气嘴34的一端与储气盒35内部连通，所述导气嘴34的另一端与传输管7的一端固定连接，所述传输管7的另一端与抽风机26的出风口连接，所述抽风机26的进风口通过导风管与吸罩25的出风口连接，所述吸罩25固定安装在固定板24底部，所述抽风机26固定安装在固定板24顶部，所述传输管7外侧固定套设有第一固定套18，所述第一固定套18外侧和固定板24顶部均设置有安装机构19，所述安装机构19包括安装板20、第一螺纹套21、拉杆22和转动座23，所述转动座23固定安装在固定板24顶部，所述拉杆22包括第二杆体27和拉环28，所述第二杆体27为螺纹杆，所述第二杆体27端部固定连接有拉环28，所述拉环28与第二杆体27材质相同且为一体成型设计，所述拉环28通过转轴转动安装在转动座23上，所述第二杆体27外侧螺纹连接有第一螺纹套21，所述第一螺纹套21顶端固定连接有安装板20，所述安装板20上对称开设有用于螺栓穿过的定位孔，所述第二吸收装置6和第一吸收装置1的结构和各部件规格均相同，所述警报灯2、空气微粒量测仪16和抽风机26分别通过导线与控制器5电连接，所述控制器5通过导线与外接电源电连接。
本发明的工作原理是：
设置行走轮10用于方便操作人员推动底板9移动，提高了装置的便携性，调节第一杆体14在筒体12内伸缩，从而实现对顶板11高度的调节，满足不同情况下对顶板11不同的高度需求，利用螺栓在筒体12上开设的螺纹通孔内转动对第一杆体14进行挤压，从而实现对第一杆体14位置的限定，设置防护罩15用于对空气微粒量测仪16进行防护，利用螺栓穿过安装板20上开设的定位孔，从而方便将安装板20固定在洁净室车间顶部，设置安装机构19实现对传输管7和固定板24位置的限定，当需要对装置位置进行定位时，手握橡胶套31转动第二螺纹套33，使第二螺纹套33底面与地面接触，从而实现装置在地面上位置的定位，定位操作简单，利用抽风机26使洁净室车间内的空气通过传输管7送入储气盒35内，并进一步通过导风管进入空气微粒量测仪16，从而实现对洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体进行量测的目的，通过设置多组传输管7和抽风机26实现对洁净室车间多点侦测的目的，当洁净室车间内空气中的微尘粒子及微污然气体超标时，空气微粒量测仪16向控制器5发送电信号，控制器5进一步控制警报灯2报警，方便操作人员及时掌握洁净室车间内空气情况，达到对洁净室车间进行实时量测监控目的,提早报警得知厂内洁净室车间污然程度,使工厂产品良品率提升。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，包括顶板(11)，其特征在于：所述顶板(11)正下方设置有底板(9)，所述顶板(11)底部对称设置有第一调节装置(8)和第二调节装置(13)，所述底板(9)底部对称安装有行走轮(10)，所述底板(9)底部对称设置有两个定位装置(32)，所述顶板(11)顶部固定安装有空气微粒量测仪(16)，所述空气微粒量测仪(16)外侧套设有防护罩(15)，所述防护罩(15)通过螺栓固定安装在顶板(11)顶部，所述防护罩(15)顶部开设有散热孔(3)，所述防护罩(15)顶部固定安装有警报灯(2)和控制器(5)，所述空气微粒量测仪(16)两侧分别开设有一个进气口，两个进气口分别与两个导气管的一端连接，两个导气管的另一端分别设置有第一吸收装置(1)和第二吸收装置(6)。
2.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述第二调节装置(13)包括筒体(12)和第一杆体(14)，所述第一调节装置(8)和第二调节装置(13)对称设置在底板(9)顶部，所述筒体(12)固定安装在底板(9)顶部，所述筒体(12)内滑动设置有第一杆体(14)，所述第一杆体(14)的顶端伸出筒体(12)且固定安装在顶板(11)底部，所述筒体(12)外侧开设有用于与螺栓螺纹连接的螺纹通孔。
3.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述第二调节装置(13)和第一调节装置(8)的结构和各部件规格均相同。
4.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述定位装置(32)包括第三杆体(30)、橡胶套(31)和第二螺纹套(33)，所述第三杆体(30)顶端固定安装在底板(9)底部，所述第三杆体(30)为螺纹杆，所述第三杆体(30)外侧套设有第二螺纹套(33)，所述第二螺纹套(33)与第三杆体(30)螺纹连接，所述第二螺纹套(33)外侧固定套设有橡胶套(31)。
5.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述散热孔(3)内壁固定连接有防尘网(4)。
6.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述第二吸收装置(6)包括传输管(7)、第一固定套(18)、安装机构(19)、固定板(24)、吸罩(25)、抽风机(26)和第二固定套(29)，所述第二固定套(29)固定套设在导风管上，导风管的一端与导气管的一端连接，导风管的另一端与储气盒(35)的出风口连接，所述第二固定套(29)外侧固定连接有L型杆的一端，L型杆的另一端固定连接在防护罩(15)内壁，所述储气盒(35)顶部安装有若干个导气嘴(34)，所述导气嘴(34)的一端与储气盒(35)内部连通，所述导气嘴(34)的另一端与传输管(7)的一端固定连接，所述传输管(7)的另一端与抽风机(26)的出风口连接，所述抽风机(26)的进风口通过导风管与吸罩(25)的出风口连接，所述吸罩(25)固定安装在固定板(24)底部，所述抽风机(26)固定安装在固定板(24)顶部，所述传输管(7)外侧固定套设有第一固定套(18)，所述第一固定套(18)外侧和固定板(24)顶部均设置有安装机构(19)，所述抽风机(26)分别通过导线与控制器(5)电连接。
7.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述防护罩(15)外侧设置有观察窗(17)。
8.根据权利要求6所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述安装机构(19)包括安装板(20)、第一螺纹套(21)、拉杆(22)和转动座(23)，所述转动座(23)固定安装在固定板(24)顶部，所述拉杆(22)包括第二杆体(27)和拉环(28)，所述第二杆体(27)为螺纹杆，所述第二杆体(27)端部固定连接有拉环(28)，所述拉环(28)与第二杆体(27)材质相同且为一体成型设计，所述拉环(28)通过转轴转动安装在转动座(23)上，所述第二杆体(27)外侧螺纹连接有第一螺纹套(21)，所述第一螺纹套(21)顶端固定连接有安装板(20)，所述安装板(20)上对称开设有用于螺栓穿过的定位孔，所述第二吸收装置(6)和第一吸收装置(1)的结构和各部件规格均相同。
9.根据权利要求1所述的微尘粒子及微污染气体共用侦测分析多点式系统，其特征在于：所述警报灯(2)和空气微粒量测仪(16)分别通过导线与控制器(5)电连接，所述控制器(5)通过导线与外接电源电连接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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