CN112923801A - 采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 - Google Patents
采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112923801A CN112923801A CN202110128531.9A CN202110128531A CN112923801A CN 112923801 A CN112923801 A CN 112923801A CN 202110128531 A CN202110128531 A CN 202110128531A CN 112923801 A CN112923801 A CN 112923801A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- preparing
- layer
- substrate
- pcb
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F42—AMMUNITION; BLASTING
- F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
- F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
- F42B3/10—Initiators therefor
- F42B3/12—Bridge initiators
- F42B3/121—Initiators with incorporated integrated circuit
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F42—AMMUNITION; BLASTING
- F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
- F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
- F42B3/10—Initiators therefor
- F42B3/195—Manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
本发明属于点火和起爆领域,具体涉及一种采用PCB工艺的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法。包括如下步骤:(1)制备Cu桥箔层:在一块双面覆铜板的顶层采用内层光刻和内层刻蚀的PCB工艺实现桥箔层的图形化;(2)压合:将双面覆铜板和另一块PCB基板,通过PP片压合成为一体;(3)在PCB基板中制备飞片层、加速膛和药柱室;(4)制备过孔:采用钻孔和镀通孔技术在压合后的基片和基板中制备过孔,实现电路的连接;(5)制备底部焊盘。本发明采用PCB工艺批量制备微芯片爆炸箔起爆器,所得McEFI一致性好、体积小、价格低,并且抗高过载,有利于拓宽EFI的应用范围,使得武器系统都能使用安全可靠的McEFI作为点火器和起爆器。
Description
技术领域
本发明属于直列式钝感点火和起爆技术领域,具体涉及一种采用PCB工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法。
背景技术
爆炸箔起爆器(Exploding Foil Initiator,EFI)由基片、桥箔、飞片层、加速膛、药柱室和炸药柱组成,由于序列中无起爆药且桥箔与炸药柱之间不直接接触,因此EFI是一种极其安全和可靠的直列式点火和起爆装置。具体而言,在由脉冲高压电容、高压开关和EFI组成的电容放电单元中,高压开关控制高压电容放电,释放短脉冲大电流;电流流经桥箔,使桥箔发生电爆炸并产生大量气体和等离子体;迅速膨胀的气体和等离子体在加速膛口剪切飞片,进一步在加速膛内驱动飞片,出加速膛口后飞片达到数km/s的速度;高速飞片冲击紧贴加速膛口的炸药,实现点火或者起爆功能。传统的EFI采用手动对准安装分立元件的方式制备,导致效率低、精度低、一致性差、成本高,并且产品不具备耐高冲击过载的能力,这些缺点严重制约了EFI在低附加值弹药中的应用。
PCB工艺是一种能够以低成本批量制备电子线路的成熟技术,既是电子元器件,又是电气连接的提供者,支持组件和功能的模块化集成。PCB工艺尤其适用于多层板的制作,加大了设计灵活性,缩小了装置体积,提高了自动化水平。因此已经有不少研究利用该工艺研制了各种机电相结合的芯片装置(lab-on-PCB chips)。近年来,随着超细微孔和盲埋孔等钻孔加工及其关键技术的突破,使得PCB工艺加工精度大幅提升、成本极大降低,拓宽了PCB工艺的应用范围。
发明内容
本发明在于提供一种采用PCB工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法。
实现本发明目的的技术解决方案为:一种采用PCB工艺制备微芯片爆炸箔起爆器的方法,包括如下步骤:
步骤(1):制备Cu桥箔层:在一块双面覆铜板的顶层采用内层光刻和内层刻蚀的PCB工艺实现桥箔层的图形化;
步骤(2):压合:将双面覆铜板和另一块PCB基板,通过PP片压合为一体;
步骤(3):制备飞片层、加速膛和药柱室:在顶部基板中通过控深钻工艺制备中空相连的加速膛和药柱室,并且预留一定厚度的基板作为飞片层的一部分,飞片层的总厚度为PP片和控深预留基板的厚度之和;
步骤(4):制备过孔:采用钻孔和镀通孔技术在压合后的基片和基板中制备过孔,实现电路的连接;
步骤(5):制备底部焊盘:采用光刻和刻蚀工艺在双面覆铜板的底层制备焊盘。
进一步的,步骤(1)中采用的双面覆铜板的厚度为0.5mm-5mm。
进一步的,步骤(1)制备的Cu桥箔层包括焊盘区,截面积最小的爆炸桥箔,以及连接焊盘区和桥箔的截面积逐渐减小的过渡区。
进一步的,所述焊盘区尺寸为:长0.5mm-10mm×宽1mm-20mm;过渡区为截面减缩区域,长度为0.5mm-20mm;桥箔的横截面为矩形、方波形、S形、“万”字形的任一种或者任几种的串、并联形式,等效边长为0.1mm-1mm,厚度为2μm-36μm。
进一步的,所述PP片的厚度为10μm-25μm;PP片的材料主要由树脂和增强材料组成,增强材料优选为玻璃纤维布。
进一步的,所述基板为PCB板基板,厚度为0.2mm-10mm;所述飞片层的厚度为10μm-100μm。
进一步的,所述加速膛位于基板内部,为一个中空的圆柱或者长方体,其底部与飞片层紧贴,中空圆柱的尺寸为直径0.1mm-2mm×高0.1mm-2mm,中空长方体尺寸为长0.1mm-2mm×宽0.1mm-2mm×高0.1mm-2mm;
所述药柱室位于基板内部,为一中空的圆柱,其底部紧贴加速膛,尺寸为直径2mm-10mm×高0.2mm-5mm。
进一步的,所述过孔贯穿基板和基片,能够实现通过插针或脚线的方式实现电气连接,以及仅在底层双面覆铜板做盲孔,通过底部焊盘的形式导通脉冲大电流。
进一步的,所述底部焊盘的材料为Cu,尺寸为长0.5mm-10mm×宽1mm-20mm。
一种微芯片爆炸箔起爆器,采用上述的方法制备。
本发明与现有技术相比,其显著优点在于:
本申请采用印制电路板(Printed Circuit Board,PCB)工艺制备微芯片爆炸箔起爆器(Micro-chip Exploding Foil Initiator,McEFI),工艺简单有效、一致性好,获得的产品体积小、价格低,并且具有抗高冲击过载的特性;这些优点有利于拓宽EFI的应用范围,促进点火和起爆技术领域的发展,使得武器弹药系统朝向小型、安全、可检和可靠的方向发展。
附图说明
图1是本发明基于PCB工艺制备的McEFI的立体图。
图2是本发明基于PCB工艺制备的McEFI的主视图。
图3是本发明基于PCB工艺制备的McEFI的俯视图。
图4是本发明基于PCB工艺制备McEFI的工艺流程图,其中图(a)为光刻和刻蚀覆铜板得到的Cu桥箔层的主视图,图(a′)为光刻和刻蚀覆铜板得到的Cu桥箔层的俯视图;图(b)为采用半固化片(Prepreg,PP片)将两块PCB基板压合之后的主视图,图(b′)为采用PP片将两块PCB基板压合之后的俯视图;图(c)为采用控深钻工艺制备的加速膛和药柱室,采用镀通孔技术(Plated-Through-Hole technology,PTH)制备的金属化过孔,以及采用光刻和刻蚀工艺制备的底部焊盘的主视图,图(c′)为采用控深钻工艺制备的加速膛和药柱室,采用镀通孔技术(PTH)制备的金属化过孔,以及采用光刻和刻蚀工艺制备的底部焊盘的俯视图。
附图标记说明:
1-基片,2-Cu桥箔层,21-焊盘区,22-过渡区,23-桥箔,3-半固化片,4-基板,5-加速膛,6-药柱室,7-过孔,8-底部焊盘。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细描述。
基于PCB工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器(Micro Chip Exploding FoilInitiator,McEFI),如图1-3所示,所述基于PCB工艺的McEFI主要包括基片1、Cu桥箔层2、PP片3、基板4、加速膛5、药柱室6、过孔7和底部焊盘8。
所述基片1在McEFI中作为其余部件的载体,并且作反射背板,约束桥箔23电爆炸产生的气体和等离子体向上运动剪切并驱动飞片。
所述Cu桥箔层2通过光刻和刻蚀覆铜板的方法制备,包括焊盘区21、过渡区22和桥箔23,脉冲大电流从焊盘区21经过过渡区22流经桥箔23,电流密度逐渐增大,有利于能量的汇聚积累,促使桥箔23发生电爆炸,进而产生大量气体和等离子体。
所述飞片层采用一定厚度的PP片和基板(PP片的材质和基板的材质可以相同,也可以不同)。
所述PP片3的材料主要由树脂和增强材料组成,增强材料优选为玻璃纤维布。
所述加速膛5和药柱室6在PCB基板4中制备而得,两者为中空相连的结构。
所述过孔7采用钻孔和镀通孔技术(Plated-Through-Hole technology,PTH)制备。
所述底部焊盘8采用光刻和刻蚀工艺制备。
所述McEFI可以用于直列式点火和直列式起爆领域。
结合图1至图3,所述基于PCB工艺的McEFI主要包括基片1、Cu桥箔层2、PP片3、基板4、加速膛5、药柱室6、过孔7和底部焊盘8。该McEFI的制备过程如下:
第一步,采用电镀工艺制备PCB双面覆铜板,PCB基板作为McEFI的基片1;
第二步,制备Cu桥箔层2:采用内层光刻(涂覆干膜、曝光、显影)和内层刻蚀的PCB工艺实现桥箔层的图形化,制备出焊盘区21、过渡区22和Cu桥箔23;
第三步,压合:将1、4两块基板,通过PP片压合为一体;
第四步,制备飞片层、加速膛5和药柱室6:在顶部基板中通过控深钻工艺制备加速膛和药柱室,两者为中空相连的结构,并且预留一定厚度基材作为飞片层的一部分,飞片层的总厚度为PP片和控深预留基板的厚度之和;
第五步,制备过孔7:采用钻孔和PTH制备;
第六步,制备底部焊盘8:采用光刻和刻蚀工艺制备特定结构的焊盘。
实施例1
本实施案例结合图4,包括以下步骤(注:图4中的左右两图分别为制备工艺的主视图和俯视图):
第一步,见图4(a)和(a′),采用内层涂覆、曝光、显影和内层刻蚀等PCB工艺实现桥箔层的图形化,制备出焊盘区21、过渡区22和Cu桥箔23。相关尺寸为:覆铜板基材为FR-4,基板1尺寸为长6mm×宽3.5mm×高1mm,其上Cu厚4μm;焊盘2为长1.5mm×宽3mm;桥箔23长0.4mm×宽0.4mm。
第二步,见图4(b)和(b′),将覆铜板1和覆铜板基板4,通过PP片3压合。相关尺寸为:PP片厚度为25μm;覆铜板基板4,材料为FR-4,尺寸为长6mm×宽3.5mm×高2mm。
第三步,见图4(c)和(c′),在基板4中通过控深钻的工艺制备加速膛5和药柱室6。相关尺寸为:加速膛5直径0.6mm×高0.4mm;药柱室6直径2mm×高1.6mm。采用控深钻和PTH工艺制备通孔7,直径为1mm。采用光刻和刻蚀工艺制备特定结构的焊盘长1.5mm×宽3mm。
Claims (10)
1.一种采用PCB工艺制备微芯片爆炸箔起爆器的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤(1):制备Cu桥箔层:在一块双面覆铜板的顶层采用内层光刻和内层刻蚀的PCB工艺实现桥箔层的图形化;
步骤(2):压合:将双面覆铜板和另一块PCB基板,通过PP片压合为一体;
步骤(3):制备飞片层、加速膛和药柱室:在顶部基板中通过控深钻工艺制备中空相连的加速膛和药柱室,并且预留一定厚度的基板作为飞片层的一部分,飞片层的总厚度为PP片和控深预留基板的厚度之和;
步骤(4):制备过孔:采用钻孔和镀通孔技术在压合后的基片和基板中制备过孔,实现电路的连接;
步骤(5):制备底部焊盘:采用光刻和刻蚀工艺在双面覆铜板的底层制备焊盘。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)中采用的双面覆铜板的厚度为0.5mm-5mm。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,步骤(1)制备的Cu桥箔层包括焊盘区,截面积最小的爆炸桥箔,以及连接焊盘区和桥箔的截面积逐渐减小的过渡区。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述焊盘区尺寸为:长0.5mm-10mm×宽1mm-20mm;过渡区为截面减缩区域,长度为0.5mm-20mm;桥箔的横截面为矩形、方波形、S形、“万”字形的任一种或者任几种的串、并联形式,等效边长为0.1mm-1mm,厚度为2μm-36μm。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述PP片的厚度为10μm-25μm;PP片的材料主要由树脂和增强材料组成,增强材料优选为玻璃纤维布。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述基板为PCB板基板,厚度为0.2mm-10mm;所述飞片层的厚度为10μm-100μm。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述加速膛位于基板内部,为一个中空的圆柱或者长方体,其底部与飞片层紧贴,中空圆柱的尺寸为直径0.1mm-2mm×高0.1mm-2mm,中空长方体尺寸为长0.1mm-2mm×宽0.1mm-2mm×高0.1mm-2mm;
所述药柱室位于基板内部,为一中空的圆柱,其底部紧贴加速膛,尺寸为直径2mm-10mm×高0.2mm-5mm。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述通孔贯穿基板和基片,能够实现通过插针或脚线的方式实现电气连接,以及仅在底层双面覆铜板做盲孔,通过底部焊盘的形式导通脉冲大电流。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述底部焊盘的材料为Cu,尺寸为长0.5mm-10mm×宽1mm-20mm。
10.一种微芯片爆炸箔起爆器,其特征在于,采用权利要求1-9任一项所述的方法制备。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110128531.9A CN112923801B (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110128531.9A CN112923801B (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112923801A true CN112923801A (zh) | 2021-06-08 |
CN112923801B CN112923801B (zh) | 2022-05-20 |
Family
ID=76168725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110128531.9A Active CN112923801B (zh) | 2021-01-29 | 2021-01-29 | 采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112923801B (zh) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090151584A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Amish Desai | Efficient exploding foil initiator and process for making same |
US20110051375A1 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Ammar Danny F | Highly Integrated Miniature Radio Frequency Module |
CN109115057A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-01-01 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种采用mems工艺制备的冲击片组件及其制备方法 |
CN109612342A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-04-12 | 南京理工大学 | 基于并联桥箔的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 |
CN109945746A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-28 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 片式爆炸箔的制备方法 |
CN109959307A (zh) * | 2017-12-25 | 2019-07-02 | 南京理工大学 | 一种基于低温共烧陶瓷的爆炸箔集成芯片及其制备工艺 |
CN110243238A (zh) * | 2018-03-09 | 2019-09-17 | 南京理工大学 | 低能触发Si基开关集成爆炸箔起爆装置及其制备方法 |
CN111641200A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-09-08 | 南京理工大学 | 基于串联式气体放电管高压脉冲功率开关的放电单元 |
CN111721163A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-29 | 南京理工大学 | 一种基于平面高压开关的微芯片集成爆炸箔起爆器 |
-
2021
- 2021-01-29 CN CN202110128531.9A patent/CN112923801B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090151584A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-18 | Amish Desai | Efficient exploding foil initiator and process for making same |
US20110051375A1 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Ammar Danny F | Highly Integrated Miniature Radio Frequency Module |
CN109959307A (zh) * | 2017-12-25 | 2019-07-02 | 南京理工大学 | 一种基于低温共烧陶瓷的爆炸箔集成芯片及其制备工艺 |
CN110243238A (zh) * | 2018-03-09 | 2019-09-17 | 南京理工大学 | 低能触发Si基开关集成爆炸箔起爆装置及其制备方法 |
CN109115057A (zh) * | 2018-10-11 | 2019-01-01 | 中国工程物理研究院化工材料研究所 | 一种采用mems工艺制备的冲击片组件及其制备方法 |
CN109612342A (zh) * | 2018-12-11 | 2019-04-12 | 南京理工大学 | 基于并联桥箔的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 |
CN111721163A (zh) * | 2019-03-18 | 2020-09-29 | 南京理工大学 | 一种基于平面高压开关的微芯片集成爆炸箔起爆器 |
CN109945746A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-06-28 | 中国电子科技集团公司第四十三研究所 | 片式爆炸箔的制备方法 |
CN111641200A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-09-08 | 南京理工大学 | 基于串联式气体放电管高压脉冲功率开关的放电单元 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112923801B (zh) | 2022-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5480503A (en) | Process for producing circuitized layers and multilayer ceramic sub-laminates and composites thereof | |
US9204552B2 (en) | Printed wiring board | |
US5839188A (en) | Method of manufacturing a printed circuit assembly | |
KR101012239B1 (ko) | 회로 기판, 다층 배선판, 회로 기판의 제조 방법 및 다층배선판의 제조 방법 | |
EP0591761A2 (en) | A two-sided printed circuit board, a multi-layered printed circuit board, and a method for producing the same | |
KR20060126832A (ko) | 다층 적층 배선판 | |
US6147870A (en) | Printed circuit assembly having locally enhanced wiring density | |
KR20100021002A (ko) | 박막 커패시터를 인쇄 배선 기판의 빌드업층에 포함시키는 방법 | |
EP1777745A2 (en) | Power core device including a capacitor and method of making thereof | |
JPH07263828A (ja) | プリント配線基板及びその製造方法 | |
CN112923801B (zh) | 采用pcb工艺制备的微芯片爆炸箔起爆器及其制备方法 | |
JP2009147026A (ja) | 回路基板およびその製造方法 | |
US9351408B2 (en) | Coreless layer buildup structure with LGA and joining layer | |
JP3474894B2 (ja) | 印刷配線板およびその製造方法 | |
JPH08316598A (ja) | プリント配線板およびその製造方法 | |
US20180156841A1 (en) | Structure and Method of Making Circuitized Substrate Assembly | |
KR100908674B1 (ko) | 회로기판의 제조방법 및 그 회로기판 및 그 회로기판을이용한 회로모듈 | |
JP2005302991A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP3474896B2 (ja) | 印刷配線板およびその製造方法 | |
CN117628992A (zh) | 一种pcb爆炸桥丝芯片及其制备方法 | |
JP2004241583A (ja) | 配線基板 | |
JPH1187912A (ja) | 両面型配線板の製造方法 | |
JP2003229661A (ja) | 配線基板およびその製造方法 | |
JP3253886B2 (ja) | 多層プリント配線板用片面回路基板とその製造方法、および多層プリント配線板 | |
JP3628313B2 (ja) | 印刷配線板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |