CN112904551A - 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构 - Google Patents

一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构 Download PDF

Info

Publication number
CN112904551A
CN112904551A CN202110045940.2A CN202110045940A CN112904551A CN 112904551 A CN112904551 A CN 112904551A CN 202110045940 A CN202110045940 A CN 202110045940A CN 112904551 A CN112904551 A CN 112904551A
Authority
CN
China
Prior art keywords
motion
platform
actuator
macro
moving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110045940.2A
Other languages
English (en)
Inventor
敬子建
王进
亓波
谭毅
任戈
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Optics and Electronics of CAS
Original Assignee
Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Institute of Optics and Electronics of CAS filed Critical Institute of Optics and Electronics of CAS
Priority to CN202110045940.2A priority Critical patent/CN112904551A/zh
Publication of CN112904551A publication Critical patent/CN112904551A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C11/00—Pivots; Pivotal connections
    • F16C11/04—Pivotal connections
    • F16C11/12—Pivotal connections incorporating flexible connections, e.g. leaf springs
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04—Constructional details
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，包括静平台、3条可伸缩的运动支链、动平台、以及3个相同的压电惯性驱动器。静平台和动平台之间通过柔性球副以及柔性虎克铰来连接，运动支链采用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器。作动器包括比例式线性霍尔传感器、作动体、运动单元、圆柱形外壳、永磁体、底座。该三维平台采用柔性铰链替代传统运动副，具有易于实现装备的小型化，提高重复定位精度，高运动灵敏度等优点，同时使平台达到静稳定状态，避免运输过程中发生的振动和碰撞问题。宏微复合运动平台是通过宏运动实现平台的大行程进给运动，借助微运动实现精密定位。本发明赋予平台大行程，高精度的宏微运动能力。

Description

一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构
技术领域
本发明涉及一种三维并联运动平台，具体涉及一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其为采用柔性铰链以压电惯性作动器驱动的三维并联运动平台。
背景技术
光学系统在工作过程中会受到重力、温度、气压以及震动等的影响，往往需要通过多自由度运动平台调整次镜位姿，来达到光学成像系统次镜的调整和校正任务，实现光学系统的稳定，以确保光束质量。然而研究国内外现状，调整机构大多采用基于六自由度的stewart并联平台(采用六条可伸缩的支杆的形式)作为调整机构。但是支杆数量越多，系统的质量就会越大，对于一些不需要六自由度运动的光学调节需求，严重限制了其应用范围。
传统运动副中构件数目多，重量大，装配时间要长，存在机构间的摩擦、磨损，以及润滑等问题。柔性铰链本身具有体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高等特点，用柔性铰链代替传统刚性运动副，可有助于提高机构精度和可靠性；另一方面利用了柔性铰链自身具有一定刚度。
压电陶瓷材料(PZT)作动器根据其原理可在电场作用下实现高精度位移输出，具有响应速度快，空间适应性强等特点，其技术特征与当前空间应用需求相吻合。对比压电驱动类型，惯性压电驱动器是采用非对称的驱动信号、以及非对称的机械夹持结构或非对称的摩擦力为控制方式，通过惯性冲击运动形成驱动，结构简单，行程大，成本低，可在实现大行程的同时兼具纳米级定位精度。基于此，本发明提出了一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种采用柔性铰链以压电惯性作动器驱动的三维并联运动平台。该三维平台通过结构设计与控制方式来实现光学系统中次镜的调整任务，具有宏微调控，空间适应性强，无耦合，静平衡稳定等特点。
为达到以上目的，本发明采用如下技术方案：
一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，包括静平台1、3条可伸缩的支链2、动平台3。
参照图1，静平台1和动平台3之间通过柔性球副以及柔性虎克铰来连接，且伸缩支链通过压电惯性驱动器进行位移变化。
参照图3，三维运动平台的伸缩运动支链3利用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器驱动，包括比例式线性霍尔传感器2-1-1、作动体2-1-2、运动单元2-1-3、圆柱形外壳2-1-4、永磁体2-1-5、底座2-1-6。圆柱形外壳2-1-4与运动支链为一体(及运动支链为内空的形式)，圆柱形外壳2-1-4内部从上到下顺序依次为：与内部轨道贴合的运动单元2-1-3包括调节螺钉2-1-3-1，楔块2-1-3-2，运动块2-1-3-3，运动块2-1-3-3左右两端设有S形弹性体，中心为菱形空腔，调节螺钉2-1-3-1穿过楔块2-1-3-2的中心的光孔，旋转进入运动块下方的作动体2-1-2；与运动单元连接的作动体2-1-2包括压电堆2-1-2-1以及相连的惯性质量块2-1-2-2；粘结在质量块2-1-2-2下边的永磁体2-1-5与底部相连的比例式线性霍尔传感器2-1-1。通过依靠压电堆2-1-2-1的变化来带动运动单元2-1-3的运动，并实时通过比例式线性霍尔传感器2-1-1感知位移。
所述的三可伸缩的支链，所采用的驱动形式为压电驱动，其工作模式分为以下两种：
宏运动(即连续伸长或缩短)：第一步，对压电堆2-1-2-1缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块2-1-2-2远离运动单元2-1-3，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力大于作动体2-1-2中质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元保持静止；第二步，对压电堆2-1-2-1快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块2-1-2-2朝向运动单元，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力远小于质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元2-1-3迅速沿轨道下滑，产生步距；重复一、二动作，就能使运动单元2-1-3带动三维运动平台运动支链连续缩短，反之，带动运动支链连续伸长，实现平台的宏调控；
微运动(即单步伸长或缩短)：第一步，对压电堆2-1-2-1缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块2-1-2-2远离运动单元2-1-3，此时运动单元3所受静摩擦力大于作动体2-1-2中质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元保持静止；第二步，对压电堆2-1-2-1快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块2-1-2-2朝向运动单元，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力远小于质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元2-1-3迅速沿轨道下滑，产生步距；至此平台支链实现微小位移；
可伸缩的支链采用其压电作动器，实现了三维运动平台宏调控(即连续步进)—以及微调控(即单步范围内扫描)，被赋予了大行程、高精度的宏微运动能力。
所述的基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其是基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其工作模式主要具有如下三种：
工作模式一(即沿X移动)：作动器2-1伸长，作动器2-2伸长，作动器2-3缩短；
工作模式二(即沿Y移动)：作动器2-1缩短，作动器2-2伸长，作动器2-3伸长；
工作模式三(即沿Z移动)：作动器2-1伸长，作动器2-2伸长，作动器2-3伸长；
可伸缩的支链间通过一定的函数关系伸长缩短，即可达到指定方向运动的目的，可将其应用于满足自由度需求的应用场合中。
本发明和现有技术相比，具有如下优点：
1、本三维平台采用3条支链的形式，相比于stewart平台减少支链数量，从而可以大大的减少光学系统的重量。
2、本发明采用柔性铰链的形式，相比于传统的铰链，易于实现装备的小型化，提高重复定位精度，具有灵敏度高、无润滑需求等特点。更为重要的是，本发明本身采用三支链驱动形式，该形式的运动平台虽然极大减少了运动支链数量，可以使机构构成形式及质量相比六自由度机构大大简化，但也使结构组成形式变为静不定，从而不具备静平衡特性。为了解决这一问题，本发明创新的提出使用柔性铰链代替传统运动副，从而使原来的非静平衡机构转化为静平衡机构，解决了机构静不定的问题。
3、本运动平台采用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器，利用非对称的锯齿波驱动压电堆通过惯性冲击作动，比例式线性霍尔传感器实时感知位移，结构紧凑，易于安装，响应速度快，位移分辨率高，断电锁止等特点。
附图说明
图1为三维运动平台的右视图，其中，1为静平台，2为可伸缩的支链，3为动平台；
图2为三维运动平台的俯视图，其中，2-1为第一作动器，2-2为第二作动器，2-3为第三作动器；
图3为三维运动平台支腿的1/4剖视图，其中，2-1-1为比例式线性霍尔传感器，2-1-2为作动体，2-1-2-1为压电堆，2-1-2-2为质量块，2-1-3为运动单元，2-1-3-1为调节螺钉，2-1-3-2为楔块，2-1-3-3为运动块，2-1-4为圆柱形外壳，2-1-5为永磁体，2-1-6为底座。
具体实施方式
以下结合附图及具体实例对本发明作进一步的详细描述。
一种采用柔性铰链以压电惯性作动器驱动的三维并联运动平台，包括静平台1、3条可伸缩的支链2、动平台3。
参照图1，静平台和动平台之间通过柔性球副以及柔性虎克铰来连接，且伸缩支链通过压电惯性驱动器进行位移变化。
参照图3，三维运动平台的伸缩支链利用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器驱动，作动器包括比例式线性霍尔传感器2-1-1、作动体2-1-2、运动单元2-1-3、圆柱形外壳2-1-4、永磁体2-1-5、底座2-1-6。圆柱形外壳2-1-4与运动支链为一体(及运动支链为内空的形式)，圆柱形外壳2-1-4内部从上到下顺序依次为：与内部轨道贴合的运动单元2-1-3包括调节螺钉2-1-3-1，楔块2-1-3-2，运动块2-1-3-3，运动块2-1-3-3左右两端设有S形弹性体，中心为菱形空腔，调节螺钉2-1-3-1穿过楔块2-1-3-2的中心的光孔，旋转进入运动块下方的作动体2-1-2。与运动单元连接的作动体2-1-2包括压电堆2-1-2-1以及相连的惯性质量块2-1-2-2；粘结在质量块2-1-2-2下边的永磁体2-1-5与底部相连的比例式线性霍尔传感器2-1-1。通过依靠压电堆2-1-2-1的变化来带动运动单元2-1-3的运动，并实时通过比例式线性霍尔传感器2-1-1感知位移。
作动原理：
1、运动支链工作模式可分为以下两种：
宏运动(连续步进)：第一步，对压电堆2-1-2-1缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块2-1-2-2远离运动单元2-1-3，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力大于作动体2-1-2中质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元2-1-3保持静止。第二步，对压电堆2-1-2-1快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块2-1-2-2朝向运动单元，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力远小于质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元2-1-3迅速沿轨道下滑，产生步距。重复一、二动作，就能使运动单元2-1-3带动三维运动平台运动支链连续缩短，反之，带动运动支链连续伸长，实现平台的宏调控。
微运动(单步位移)：第一步，对压电堆2-1-2-1缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块2-1-2-2远离运动单元2-1-3，因此时运动单元2-1-3所受静摩擦力大于作动体2-1-2中质量块2-1-2-2施加的惯性力，故保持静止。第二步，对压电堆2-1-2-1快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块2-1-2-2朝向运动单元，此时运动单元2-1-3所受静摩擦力远小于质量块2-1-2-2施加的惯性力，运动单元2-1-3迅速沿轨道下滑，产生步距。至此平台支链实现微小位移。反之，带动运动支链伸长，实现平台的微调控。采用其压电作动器，实现了三维运动平台宏调控(连续步进)—以及微调控(单步范围内扫描)，被赋予了大行程、高精度的宏微运动能力。
2、三维运动平台的运动原理：
三维运动平台其主要工作方式包括：①沿X移动：第一作动器2-1伸长，第二作动器2-2伸长，第三作动器2-3缩短；②沿Y移动：第一作动器2-1缩短，第二作动器2-2伸长，第三作动器2-3伸长；③沿Z移动：第一作动器2-1伸长，第二作动器2-2伸长，第三作动器2-3伸长。支链间通过运动解耦关系配合，来达到指定方向运动的目的，可应用于满足自由度需求的应用场合中。

Claims (3)

1.一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其特征在于：包括静平台(1)、3条两两对应可伸缩的支链(2)、动平台(3)，其中，
静平台(1)和动平台(3)之间通过3条两两对应可伸缩的支链(2)连接，可伸缩的支链(2)包括柔性球副以及柔性虎克铰，并通过柔性球运动副解决了三运动支链平台静不定问题；
可伸缩的支链(2)利用具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器驱动，作动器包括比例式线性霍尔传感器(2-1-1)、作动体(2-1-2)、运动单元(2-1-3)、圆柱形外壳(2-1-4)、永磁体(2-1-5)、底座(2-1-6)；圆柱形外壳(2-1-4)与运动支链为一体(及运动支链为内空的形式)，圆柱形外壳(2-1-4)内部从上到下顺序依次为：与内部轨道贴合的运动单元(2-1-3)包括调节螺钉(2-1-3-1)，楔块(2-1-3-2)，运动块(2-1-3-3)，运动块(2-1-3-3)左右两端设有S形弹性体，中心为菱形空腔，调节螺钉(2-1-3-1)穿过楔块(2-1-3-2)的中心的光孔，旋转进入运动块下方的作动体(2-1-2)；与运动单元连接的作动体(2-1-2)包括压电堆(2-1-2-1)以及相连的惯性质量块(2-1-2-2)；粘结在质量块(2-1-2-2)下边的永磁体(2-1-5)与底部相连的比例式线性霍尔传感器(2-1-1)；通过依靠压电堆(2-1-2-1)的变化来带动运动单元(2-1-3)的运动，并实时通过比例式线性霍尔传感器(2-1-1)感知位移。
所述的三可伸缩的支链，所采用的驱动形式为压电驱动，其工作模式分为以下两种：
宏运动(即连续伸长或缩短)：第一步，对压电堆(2-1-2-1)缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块(2-1-2-2)远离运动单元(2-1-3)，此时运动单元(2-1-3)所受静摩擦力大于作动体(2-1-2)中质量块(2-1-2-2)施加的惯性力，运动单元保持静止；第二步，对压电堆(2-1-2-1)快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块(2-1-2-2)朝向运动单元，此时运动单元(2-1-3)所受静摩擦力远小于质量块(2-1-2-2)施加的惯性力，运动单元(2-1-3)迅速沿轨道下滑，产生步距；重复一、二动作，就能使运动单元(2-1-3)带动三维运动平台运动支链连续缩短，反之，带动运动支链连续伸长，实现平台的宏调控；
微运动(即单步伸长或缩短)：第一步，对压电堆(2-1-2-1)缓慢充电，其轴向伸长，带动质量块(2-1-2-2)远离运动单元(2-1-3)，此时运动单元3所受静摩擦力大于作动体(2-1-2)中质量块(2-1-2-2)施加的惯性力，运动单元保持静止；第二步，对压电堆(2-1-2-1)快速放电，压电堆轴向迅速伸缩，带动惯性质量块(2-1-2-2)朝向运动单元，此时运动单元(2-1-3)所受静摩擦力远小于质量块(2-1-2-2)施加的惯性力，运动单元(2-1-3)迅速沿轨道下滑，产生步距；至此平台支链实现微小位移；
可伸缩的支链采用其压电作动器，实现了三维运动平台宏调控(即连续步进)—以及微调控(即单步范围内扫描)，被赋予了大行程、高精度的宏微运动能力。
2.根据权利要求1所述的基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其特征在于：其是基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其工作模式主要具有如下三种：
工作模式一(即沿X移动)：作动器(2-1)伸长，作动器(2-2)伸长，作动器(2-3)缩短；
工作模式二(即沿Y移动)：作动器(2-1)缩短，作动器(2-2)伸长，作动器(2-3)伸长；
工作模式三(即沿Z移动)：作动器(2-1)伸长,作动器(2-2)伸长，作动器(2-3)伸长；
可伸缩的支链间通过一定的函数关系伸长缩短，即可达到指定方向运动的目的，可将其应用于满足自由度需求的应用场合中。
3.根据权利要求1所述的基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构，其特征在于：该结构采用柔性铰链的形式，相比于传统的铰链，易于实现装备的小型化，提高重复定位精度，具有灵敏度高、无润滑需求的特点；更为重要的是，该结构本身采用三支链驱动形式，该形式的运动平台虽然极大减少了运动支链数量，可以使机构构成形式及质量相比六自由度机构大大简化，但也使结构组成形式变为静不定，从而不具备静平衡特性；该机构使用柔性铰链代替传统运动副，从而使原来的非静平衡机构转化为静平衡机构，解决了机构静不定的问题。
CN202110045940.2A 2021-01-14 2021-01-14 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构 Pending CN112904551A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110045940.2A CN112904551A (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110045940.2A CN112904551A (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112904551A true CN112904551A (zh) 2021-06-04

Family

ID=76113178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110045940.2A Pending CN112904551A (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112904551A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114244182A (zh) * 2021-12-25 2022-03-25 西安交通大学 含力与位移双传感的直线式压电作动器及其作动方法
CN115016095A (zh) * 2022-06-28 2022-09-06 中国科学院光电技术研究所 一种具有新型Bipod柔性支撑结构的大口径空间反射镜

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1311083A (zh) * 2001-02-27 2001-09-05 燕山大学 三自由度移动并联机器人机构
CN1634684A (zh) * 2003-12-25 2005-07-06 电子科技大学 一种新型精密微操作机器人结构
CN102179807A (zh) * 2011-03-08 2011-09-14 天津大学 可变自由度的并联机构
CN203792328U (zh) * 2014-04-04 2014-08-27 苏州大学 三自由度微动并联机器人
CN104440921A (zh) * 2014-11-07 2015-03-25 韩方元 一种多平移自由度平行四边形复杂运动副
CN104721016A (zh) * 2015-03-25 2015-06-24 北京航空航天大学 一种用于下肢康复机器人的3ups并联变胞机构
CN105252530A (zh) * 2015-11-27 2016-01-20 哈尔滨工业大学 一种六自由度大行程柔性并联平台
CN105909725A (zh) * 2016-04-14 2016-08-31 华中科技大学 一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法
CN106043736A (zh) * 2016-06-12 2016-10-26 西北工业大学 一种用于飞机部件调姿的串并联机械结构及调姿方法
CN106736635A (zh) * 2017-01-12 2017-05-31 广东工业大学 一种三自由度并联平动快速刀具伺服器
CN206717844U (zh) * 2017-03-30 2017-12-08 河北工业大学 少支链六自由度并联动感平台
CN206966847U (zh) * 2017-05-12 2018-02-06 河北美术学院 用于精细施工的焊枪调节装置及焊机
CN108512457A (zh) * 2018-04-19 2018-09-07 西安交通大学 具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器及作动方法
CN111976859A (zh) * 2020-07-30 2020-11-24 上海交通大学 基于ups的并联结构轮足移动机器人

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1311083A (zh) * 2001-02-27 2001-09-05 燕山大学 三自由度移动并联机器人机构
CN1634684A (zh) * 2003-12-25 2005-07-06 电子科技大学 一种新型精密微操作机器人结构
CN102179807A (zh) * 2011-03-08 2011-09-14 天津大学 可变自由度的并联机构
CN203792328U (zh) * 2014-04-04 2014-08-27 苏州大学 三自由度微动并联机器人
CN104440921A (zh) * 2014-11-07 2015-03-25 韩方元 一种多平移自由度平行四边形复杂运动副
CN104721016A (zh) * 2015-03-25 2015-06-24 北京航空航天大学 一种用于下肢康复机器人的3ups并联变胞机构
CN105252530A (zh) * 2015-11-27 2016-01-20 哈尔滨工业大学 一种六自由度大行程柔性并联平台
CN105909725A (zh) * 2016-04-14 2016-08-31 华中科技大学 一种三自由度微振动抑制平台及其控制方法
CN106043736A (zh) * 2016-06-12 2016-10-26 西北工业大学 一种用于飞机部件调姿的串并联机械结构及调姿方法
CN106736635A (zh) * 2017-01-12 2017-05-31 广东工业大学 一种三自由度并联平动快速刀具伺服器
CN206717844U (zh) * 2017-03-30 2017-12-08 河北工业大学 少支链六自由度并联动感平台
CN206966847U (zh) * 2017-05-12 2018-02-06 河北美术学院 用于精细施工的焊枪调节装置及焊机
CN108512457A (zh) * 2018-04-19 2018-09-07 西安交通大学 具有位移感知功能的直线式惯性压电作动器及作动方法
CN111976859A (zh) * 2020-07-30 2020-11-24 上海交通大学 基于ups的并联结构轮足移动机器人

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李耀: "六自由度隔振平台的设计与分析", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅱ辑》 *
谢志红等: "六维加速度传感器动力学方程的矩阵解法", 《压电与声光》 *
贾璞 等: "基于变胞铰链的并联机构结构设计与构型分析", 《机械工程学报》 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114244182A (zh) * 2021-12-25 2022-03-25 西安交通大学 含力与位移双传感的直线式压电作动器及其作动方法
CN114244182B (zh) * 2021-12-25 2023-10-24 西安交通大学 含力与位移双传感的直线式压电作动器及其作动方法
CN115016095A (zh) * 2022-06-28 2022-09-06 中国科学院光电技术研究所 一种具有新型Bipod柔性支撑结构的大口径空间反射镜
CN115016095B (zh) * 2022-06-28 2024-04-19 中国科学院光电技术研究所 一种具有新型Bipod柔性支撑结构的大口径空间反射镜

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Wang et al. A review of recent studies on non-resonant piezoelectric actuators
Ouyang et al. Micro-motion devices technology: The state of arts review
CN112904551A (zh) 一种基于宏微运动方式的三自由度高精度运动机构
US7275332B2 (en) Multi-axis positioning apparatus
JP3830515B2 (ja) 電気機械式の位置決めユニット
CN107464586B (zh) 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台
Gao et al. A compact 2-DOF micro/nano manipulator using single miniature piezoelectric tube actuator
JPH04226885A (ja) ロボット関節
JPH1190867A (ja) マイクロマニピュレータ
CN113464780B (zh) 一种空间三平移自由度柔顺定位平台
CN102291039A (zh) 多自由度仿生压电驱动装置
CN100439049C (zh) 一种微小型机器人的平面运动机构及微小型机器人
EP3741038A1 (en) Compact piezoelectric inertial drive stage
CN112904519A (zh) 一种基于少支链机构的多自由度高精度运动平台
CN110010190B (zh) 三维恒力并联柔性微定位平台
CN116191927B (zh) 一种基于压电双晶片驱动的平面三自由度执行器
CN116388609A (zh) 一种基于惯性步进原理驱动的平-转两自由度压电执行器
CN110086374B (zh) 一种基于柔顺机构的尺蠖式精密旋转微驱动器
CN104821741A (zh) 一种大载荷、高精度、跨尺度压电旋转驱动器及该驱动器的驱动方法
Marth et al. Development of a compact high-load PZT-ceramic long-travel linear actuator with picometer resolution for active optical alignment applications
CN109650329B (zh) 两转动一平动大行程无耦合并联压电微动平台
CN102522916A (zh) 基于摩擦力变化的纳米马达
CN108923683B (zh) 一种微型粘滑驱动跨尺度精密运动平台
CN112910310A (zh) 一种可带大负载的惯性冲击式压电驱动器及其驱动方法
Bergander et al. Micropositioners for microscopy applications and microbiology based on piezoelectric actuators

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210604